專利名稱：工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法和數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法和數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在配備有大量生產(chǎn)設(shè)施的工廠中，為了不斷地生產(chǎn)出質(zhì)量穩(wěn)定的產(chǎn)品，需要控制大量的數(shù)據(jù)，如關(guān)于這些設(shè)施的運(yùn)行的數(shù)據(jù)。以半導(dǎo)體制造工廠為例，這樣的數(shù)據(jù)類型包括各種各樣的數(shù)據(jù)，如照相平版處理中的線寬，在化學(xué)汽相淀積(縮寫為CVD)和蝕刻處理前和后的膠片厚度，離子注入過程中的載體濃度，以及晶片上雜質(zhì)粒子的粒子數(shù)量。
再者，關(guān)于生產(chǎn)設(shè)施的運(yùn)行記錄的數(shù)據(jù)、關(guān)于各個設(shè)施的日常檢查的數(shù)據(jù)、和關(guān)于各個設(shè)施的運(yùn)行環(huán)境的數(shù)據(jù)也很重要。例如，關(guān)于各個設(shè)施的運(yùn)行記錄的數(shù)據(jù)包括在CVD處理中膠片形成溫度和膠片形成壓力的數(shù)據(jù)，以及在蝕刻處理中的蝕刻時間數(shù)據(jù)。關(guān)于各個設(shè)施的日常檢查的數(shù)據(jù)包括例如，CVD設(shè)備上所配備的泵的壓力和關(guān)于曝光設(shè)備的光照強(qiáng)度的數(shù)據(jù)。關(guān)于各個設(shè)施的運(yùn)行環(huán)境的數(shù)據(jù)包括無塵室的溫度和濕度。更進(jìn)一步，關(guān)于作為產(chǎn)品的晶片的處理進(jìn)程的數(shù)據(jù)也很重要。
通過收集所述數(shù)據(jù)并監(jiān)視它們隨時間的變化，再按需要對其觀察，就可以在早期檢測異常的出現(xiàn)以處理這種異常。由于數(shù)據(jù)的收集、處理和分析便于處理能力指標(biāo)如Cp和Cpk的統(tǒng)計數(shù)據(jù)控制(統(tǒng)計處理控制縮寫為SPC)，它們對于改善制造條件和產(chǎn)品質(zhì)量變化是非常有用的。
圖4是表示在半導(dǎo)體制造工廠中數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)例子的示圖。在圖4中，建立了與主計算機(jī)1連接的局域網(wǎng)(縮寫為LAN)2，并且CVD設(shè)備3、蝕刻設(shè)備4、曝光設(shè)備5、膠片厚度測量設(shè)備6、載體濃度測量設(shè)備7等均與LAN2連接。圖4中表示的數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，從每個設(shè)備輸出的數(shù)據(jù)通過LAN2發(fā)送到主計算機(jī)1，而由主計算機(jī)1對收集的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理/分析，以便將所述數(shù)據(jù)用于SPC。
但是，在如上所述半導(dǎo)體制造工廠中，在工廠中要控制的數(shù)據(jù)也達(dá)了極大數(shù)量。因此，存在的問題是，要花費(fèi)很多時間來收集數(shù)據(jù)，而能夠處理/分析的數(shù)據(jù)卻是有限的。
作為解決這個問題的相關(guān)技術(shù)，提議應(yīng)當(dāng)建立一個第二網(wǎng)絡(luò)，使其位于主設(shè)備所連接的第一網(wǎng)絡(luò)的從屬位置，并且提議，作為對在第二網(wǎng)絡(luò)上執(zhí)行的數(shù)據(jù)收集和數(shù)據(jù)分析的結(jié)果，僅將證明為有用的信息通過第一網(wǎng)絡(luò)傳遞給主設(shè)備，由此，根據(jù)所傳遞的信息來控制制造(參見日本未審查專利公開文本JP-A 2003-114708)。
作為另一個相關(guān)技術(shù)，提出了在數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)中提供多個轉(zhuǎn)換器設(shè)備，并經(jīng)這些轉(zhuǎn)換器設(shè)備，利用2.4GHz帶頻的高速數(shù)據(jù)傳輸速度，在可移動體上的可安裝或可便攜的終端與無線站之間實(shí)現(xiàn)無線通信，并利用400MHz帶頻的低數(shù)據(jù)傳輸速度，在該終端與裝配工地終端之間實(shí)現(xiàn)無線通信，這樣，收集數(shù)據(jù)的速度得到了提高(參見日本未審查專利公開文本JP-A2000-106570)。
但是，雖然在JP-A 2003-114708和JP-A 2000-106570中揭示的技術(shù)可以解決數(shù)據(jù)的有效處理和數(shù)據(jù)收集速度提高這樣的事情，但是不能解決以下所述的問題。
為了實(shí)現(xiàn)在JP-A 2003-114708和JP-A 2000-106570中揭示的技術(shù)，在工廠中要安裝的全部設(shè)施都將必須被提供數(shù)據(jù)發(fā)送功能，從而導(dǎo)致工廠和設(shè)備投資成本的提高。更進(jìn)一步，以包括工廠中要安裝的全部設(shè)施的形式，再建立一個用于傳輸數(shù)據(jù)的LAN，無論有線還是無線，從投資成本來看，實(shí)現(xiàn)起來可能是件非常困難的任務(wù)。
在工廠中對SPC有用的數(shù)據(jù)不僅包括從設(shè)施輸出的數(shù)據(jù)，而且還包括操作者在視覺上獲得的大量數(shù)據(jù)。特別是從通過對設(shè)施進(jìn)行的日常檢測而獲得的數(shù)據(jù)中可以發(fā)現(xiàn)異常。因此，在數(shù)據(jù)控制方面，從設(shè)施自動發(fā)送全部數(shù)據(jù)是不實(shí)際的。相應(yīng)來講，很現(xiàn)實(shí)的問題是，即使在從每個設(shè)施自動發(fā)送數(shù)據(jù)的工廠中，也不可避免存在由操作者以視覺獲得的手寫數(shù)據(jù)。
當(dāng)在工廠中提供的設(shè)施不具有數(shù)據(jù)發(fā)送功能時，操作者從這些設(shè)施輸出的數(shù)據(jù)中準(zhǔn)備手寫數(shù)據(jù)。圖5A和5B是說明利用CVD設(shè)備從膠片厚度測量結(jié)果準(zhǔn)備的手寫數(shù)據(jù)的示圖。參考圖5A和5B，將說明例如從CVD設(shè)備輸出的數(shù)據(jù)。如圖5A所示，在膠片形成之后測量的膠片厚度數(shù)據(jù)是由操作者手寫的，操作者準(zhǔn)備一張表11，利用產(chǎn)品標(biāo)簽表示膠片厚度。表11中所示的數(shù)據(jù)被手工輸入到個人計算機(jī)(簡寫為PC)中，并利用個人計算機(jī)進(jìn)行繪圖，如圖5B中連接實(shí)圓圈的曲線12所示。更進(jìn)一步，可以利用手寫繪圖畫出表11中所示的數(shù)據(jù)。
在JP-A 2003-114708和JP-A 2000-106570中，當(dāng)要控制的數(shù)據(jù)包含了極大數(shù)量的數(shù)據(jù)時，采用這樣的方式來處理這件事，使得通過對LAN分級來限制處理數(shù)據(jù)量和/或通過改變通信頻率來提高數(shù)據(jù)傳輸速率。但是，在JP-A 2003-114708和JP-A 2000-106570揭示的技術(shù)中，基本上是使用各個設(shè)施的數(shù)據(jù)發(fā)送功能，這就會存在問題，即當(dāng)轉(zhuǎn)而依靠/求助于上述手寫數(shù)據(jù)時，就沒有任何可做的事情。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明就是考慮到上述的實(shí)際情況而做出的。本發(fā)明的目的是以較低的成本提供一種工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法和數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，能收集從不具有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施中輸出的數(shù)據(jù)，以及不是自動發(fā)送客體的數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行諸如處理/分析的數(shù)據(jù)控制。
本發(fā)明提供一種用于過程管理的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法，其中，收集從工廠內(nèi)提供的設(shè)施中獲得的數(shù)據(jù)，并加以處理和/或分析，所述方法包括步驟從具有數(shù)據(jù)顯示功能，但沒有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施中獲得數(shù)據(jù)；將獲得的數(shù)據(jù)輸入給便攜式并能發(fā)送數(shù)據(jù)的便攜式輸入設(shè)備；由所述便攜式輸入設(shè)備將數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備；以及由所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備處理和/或分析數(shù)據(jù)。
在本發(fā)明中，最好是，由所述便攜式輸入設(shè)備將數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的步驟是通過無線通信來實(shí)現(xiàn)。
在本發(fā)明中，最好是，由所述便攜式輸入設(shè)備將數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的步驟是通過有線通信來實(shí)現(xiàn)。
在本發(fā)明中，最好是，由所述便攜式輸入設(shè)備將數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的步驟，是通過以有線連接鏈接到所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備的一個設(shè)備來實(shí)現(xiàn)的。
在本發(fā)明中，最好是，所述以有線連接而鏈接的設(shè)備是一個支架。
本發(fā)明提供一種用于過程管理的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，其中，收集從工廠內(nèi)提供的設(shè)施中獲得的數(shù)據(jù)，并加以處理和/或分析，所述工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)包括能顯示數(shù)據(jù)但不能發(fā)送數(shù)據(jù)的設(shè)施；便攜式輸入設(shè)備，向其中輸入將要由所述設(shè)施顯示的數(shù)據(jù)，所述便攜式輸入設(shè)備是便攜式的并能發(fā)送數(shù)據(jù)；以及數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于接收和處理和/或分析由便攜式輸入設(shè)備發(fā)送的數(shù)據(jù)。
更進(jìn)一步，在本發(fā)明中，最好是所述便攜式輸入設(shè)備具有無線發(fā)送部件，數(shù)據(jù)處理設(shè)備具有無線接收部件，而從所述便攜式輸入設(shè)備向所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備的數(shù)據(jù)傳輸是通過無線通信實(shí)現(xiàn)的。
在本發(fā)明中，最好是，從所述便攜式輸入設(shè)備向所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備的數(shù)據(jù)傳輸是通過有線通信實(shí)現(xiàn)的。
在本發(fā)明中，最好是，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備具有一個通過有線連接與其鏈接的設(shè)備。
在本發(fā)明中，最好是，所述通過有線連接鏈接到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的設(shè)備是一個支架。
依據(jù)本發(fā)明，由具有數(shù)據(jù)顯示功能而沒有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施將要顯示的數(shù)據(jù)被輸入到便攜式并且能發(fā)送數(shù)據(jù)的便攜式輸入設(shè)備中，并由便攜式輸入設(shè)備發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備，然后進(jìn)行處理和/或分析。以這種方式，該設(shè)施將要顯示的數(shù)據(jù)不是由該設(shè)施自動發(fā)送的，而是一次輸入到便攜式輸入設(shè)備，然后從便攜式輸入設(shè)備發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備中的。因此，不需要建立LAN等來通過鏈接該設(shè)施與數(shù)據(jù)處理設(shè)備自動傳送數(shù)據(jù)。這就可以節(jié)省投資成本。更進(jìn)一步，還可以收集不是自動發(fā)送客體的數(shù)據(jù)，輸入到便攜式輸入設(shè)備中，并發(fā)送到進(jìn)行數(shù)據(jù)處理/分析的數(shù)據(jù)處理設(shè)備，這樣，所述數(shù)據(jù)可以被用于SPC，由此允許仔細(xì)查看數(shù)據(jù)控制。
更進(jìn)一步，依據(jù)本發(fā)明，由便攜式輸入設(shè)備到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的數(shù)據(jù)發(fā)送是通過無線通信來實(shí)現(xiàn)的。因此，能收集由安排在工廠的廣闊地域中的設(shè)施所顯示的數(shù)據(jù)。
依據(jù)本發(fā)明，由便攜式輸入設(shè)備到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的數(shù)據(jù)發(fā)送是通過有線通信來實(shí)現(xiàn)的，最好是通過有線連接而鏈接到數(shù)據(jù)處理設(shè)備的設(shè)備，更好地是支架。因此，即使在便攜式輸入設(shè)備是不具有連接器來連接數(shù)據(jù)處理設(shè)備的類型的情況下，也能毫無問題地發(fā)送數(shù)據(jù)。
依據(jù)本發(fā)明，以低成本提供能進(jìn)行數(shù)據(jù)管理的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，所述數(shù)據(jù)管理收集和處理/分析由不具備數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施所顯示的數(shù)據(jù)以及不是自動發(fā)送客體的數(shù)據(jù)。


參考附圖，從以下的詳細(xì)說明中，本發(fā)明其它和進(jìn)一步的目的、特性以及優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，其中圖1是示意表示依據(jù)本發(fā)明第一個實(shí)施例的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的方框圖；圖2是說明本發(fā)明的數(shù)據(jù)控制方法的流程圖；圖3是示意表示有依據(jù)本發(fā)明第二個實(shí)施例的數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)中提供的數(shù)據(jù)處理設(shè)備結(jié)構(gòu)的透視圖；圖4是表示在半導(dǎo)體制造廠中數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)的例子的示圖；以及圖5A和5B是說明由CVD設(shè)備從膠片厚度測量結(jié)果所準(zhǔn)備的手寫數(shù)據(jù)的示例。
具體實(shí)施例方式
以下將參考附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說明。
圖1是示意表示依據(jù)本發(fā)明第一個實(shí)施例的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20結(jié)構(gòu)的方框圖。工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20(此后簡稱為數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20)包括具有數(shù)據(jù)顯示功能，但沒有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施21、便攜式終端22和主計算機(jī)23。便攜式終端22是便攜式的便攜式輸入設(shè)備，它能發(fā)送數(shù)據(jù)并被輸入由設(shè)施21輸出的數(shù)據(jù)。主計算機(jī)23是數(shù)據(jù)處理設(shè)備，用于接收從便攜式終端22發(fā)送來的數(shù)據(jù)，并處理和/或分析所述數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20收集從工廠內(nèi)提供設(shè)施21中所獲得的數(shù)據(jù)，并處理和/或分析用于過程控制的數(shù)據(jù)。
在工廠內(nèi)提供的設(shè)施21不局限于特定的設(shè)備。例如，在半導(dǎo)體制造廠，這樣的設(shè)施包括等離子CVD設(shè)備、蝕刻設(shè)備、曝光設(shè)備、膠片厚度和折射率測量設(shè)備。設(shè)施21被提供了用于顯示數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸出部件24。數(shù)據(jù)輸出部件24由液晶顯示器(簡寫為LCD)、打印機(jī)等構(gòu)成。請注意，數(shù)據(jù)輸出部件24可以由LCD和打印機(jī)的組合構(gòu)成。將在數(shù)據(jù)輸出部分24輸出的數(shù)據(jù)依據(jù)設(shè)施21的類型包括各種類型的數(shù)據(jù)。例如，在設(shè)施21是CVD設(shè)備的情況下，這樣的數(shù)據(jù)包括膠片形成溫度和RF輸出。在膠片厚度和折射率測量設(shè)備的情況下，這樣的數(shù)據(jù)包括膠片厚度和膠片折射率。
便攜式終端22具有用于輸入數(shù)據(jù)的輸入部件25和用于通過無線通信將輸入的數(shù)據(jù)發(fā)送到主計算機(jī)23的無線發(fā)送部件26。例如，輸入部件25由鍵盤組成。從輸入部件25向便攜式終端22輸入的數(shù)據(jù)由操作者執(zhí)行。也就是說，操作者確認(rèn)將被顯示在設(shè)施21中數(shù)據(jù)輸出部件24上的數(shù)據(jù)，并將所述數(shù)據(jù)鍵入到輸入部件25。對于無線發(fā)送部件26，熟知的使用射頻波的無線通信單元可以與主計算機(jī)23中提供的無線接收部件27一起使用。作為無線通信單元，也有使用紅外線的無線通信單元。但是，由于紅外線的傳輸距離較短，最好是使用射頻波的無線通信單元。這是因?yàn)榭梢栽诠S的廣闊地域中進(jìn)行通信。
便攜式終端22將從輸入部件25輸入的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，這些數(shù)字信號可以利用無線通信從無線發(fā)送部件26發(fā)送到主計算機(jī)23。
主計算機(jī)23是具有中央處理單元(簡寫為CPU)和存儲部件的處理電路，由例如個人計算機(jī)或具有服務(wù)器功能的計算機(jī)實(shí)現(xiàn)，所述存儲部件可以在其中保存輸入的數(shù)據(jù)，如硬盤驅(qū)動器(簡寫為HDD)。主計算機(jī)23接收將從便攜式終端22中發(fā)送的數(shù)據(jù)，并執(zhí)行數(shù)據(jù)的如算術(shù)處理這樣的處理/分析。
圖2是說明本發(fā)明的數(shù)據(jù)控制方法的流程圖。參考圖2說明數(shù)據(jù)控制方法。例如，在該流程圖中，作為設(shè)施21，示出了膠片厚度測量設(shè)備，用于測量通過CVD設(shè)備在晶片上形成的膠片厚度。
在步驟s0開始時，運(yùn)行作為設(shè)施21的膠片厚度測量設(shè)備以測量膠片厚度。在步驟s1中，膠片厚度測量設(shè)備使數(shù)據(jù)輸出部件24將圖5A中所示的顯示膠片厚度測量結(jié)果顯示為數(shù)據(jù)。在步驟s2中，操作者從輸入部件25中將作為顯示數(shù)據(jù)的膠片厚度測量結(jié)果輸入到便攜式終端22中。
在步驟s3中，便攜式終端22通過無線通信將數(shù)據(jù)從無線發(fā)送部件26發(fā)送到主計算機(jī)23的無線接收部件27中。在步驟s4中，已接收到數(shù)據(jù)的主計算機(jī)23繪出如圖5B中所示的膠片厚度測量結(jié)果。繪出的趨勢數(shù)據(jù)被輸出到主計算機(jī)23中的輸出設(shè)備(未示出)，例如，LCD或打印機(jī)。然后程序進(jìn)行到步驟s5，執(zhí)行一系列的數(shù)據(jù)控制。
圖3是示意表示在依據(jù)本發(fā)明第二個實(shí)施例的數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)中提供的數(shù)據(jù)處理設(shè)備31的結(jié)構(gòu)透視圖。由于除了數(shù)據(jù)處理設(shè)備31外，該實(shí)施例的數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)以與第一個實(shí)施例中數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)20相同方式構(gòu)成，所以將省略總的敘述和對相同部分的說明。
在該實(shí)施例的數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)中，數(shù)據(jù)處理設(shè)備31具有通過有線連接而鏈接到其上的設(shè)備，最好是支架32。該實(shí)施例的數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)31由帶有HDD作為存儲部件的個人計算機(jī)組成。在個人計算機(jī)31中，提供了支架32，作為連接便攜式終端22的支撐物。通過連接便攜式終端22，使得數(shù)據(jù)輸入到該支架中，數(shù)據(jù)就通過有線通信從便攜式終端22發(fā)送到個人計算機(jī)31。在該實(shí)施例中，通過有線連接而鏈接到數(shù)據(jù)處理設(shè)備31的設(shè)備是支架32。但是，與數(shù)據(jù)處理設(shè)備31鏈接的設(shè)備不局限于上述的設(shè)備，該設(shè)備可以是與便攜式終端22鏈接，并具有通過有線通信將數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備31的功能的設(shè)備。
雖然建立LAN涉及到成本和費(fèi)用方面的很大困難，其中在LAN中，在工廠內(nèi)每個設(shè)施中都被提供了數(shù)據(jù)發(fā)送功能，并且數(shù)據(jù)處理設(shè)備相互連接，但是，相對可行的是以有限方式建立連接數(shù)據(jù)處理設(shè)備23、31和高級計算機(jī)的LAN。通過在一個工廠中提供多個數(shù)據(jù)處理設(shè)備，并通過LAN連接多個數(shù)據(jù)處理設(shè)備和高級計算機(jī)，就能更進(jìn)一步地經(jīng)過LAN將輸入到每個數(shù)據(jù)處理設(shè)備中的數(shù)據(jù)發(fā)送到高級計算機(jī)，并因此由高級計算機(jī)集中地控制從大量設(shè)施來的數(shù)據(jù)。
如上所提到的，在這些實(shí)施例中的數(shù)據(jù)實(shí)例表示在設(shè)施運(yùn)行中涉及的輸出數(shù)據(jù)。但是，在本發(fā)明中所談到的數(shù)據(jù)并不局限于上述數(shù)據(jù)。可以獲得日常檢查數(shù)據(jù)，例如設(shè)備冷卻水量或用作原料的氣體剩余量，并且可將所獲得的數(shù)據(jù)輸入到便攜式終端用于數(shù)據(jù)控制。
在不脫離本發(fā)明的精神或本質(zhì)特性的前提下，可以以其它具體形式來具體實(shí)施本發(fā)明。因此，從各個方面講，本發(fā)明的實(shí)施例是示意性而非限制性的，本發(fā)明的范圍由附加的權(quán)利要求書指定，而不是由上述說明書指定，因此，在權(quán)利要求書意義上和等效范圍內(nèi)的所有變化都應(yīng)當(dāng)包含在本發(fā)明范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于過程管理的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法，其中，從工廠內(nèi)提供的設(shè)施中獲得的數(shù)據(jù)被收集起來，并被處理和/或分析，所述方法包括步驟從具有數(shù)據(jù)顯示功能而沒有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施中獲得數(shù)據(jù)；將所獲得的數(shù)據(jù)輸入到便攜式并能發(fā)送數(shù)據(jù)的便攜式輸入設(shè)備(22)中；由所述便攜式輸入設(shè)備(22)將所述數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)處理設(shè)備(23，31)；以及由所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(23，31)處理和/或分析所述數(shù)據(jù)。
2.依據(jù)權(quán)利要求1的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法，其中由所述便攜式輸入設(shè)備(22)將所述數(shù)據(jù)發(fā)送到所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(23)的步驟是通過無線通信來實(shí)現(xiàn)的。
3.依據(jù)權(quán)利要求1的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法，其中由所述便攜式輸入設(shè)備(22)將所述數(shù)據(jù)發(fā)送到所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(31)的步驟是通過有線通信來實(shí)現(xiàn)的。
4.依據(jù)權(quán)利要求1的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法，其中由所述便攜式輸入設(shè)備(22)將數(shù)據(jù)發(fā)送到所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(31)的步驟是通過以有線連接鏈接到所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(31)的一個設(shè)備來實(shí)現(xiàn)的。
5.依據(jù)權(quán)利要求4的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制方法，其中所述通過有線連接而鏈接的設(shè)備是支架(32)。
6.一種用于過程管理的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)，其中收集和處理和/或分析從工廠內(nèi)的設(shè)施中所獲得的數(shù)據(jù)，所述工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)包括能顯示數(shù)據(jù)但不能發(fā)送數(shù)據(jù)的設(shè)施(21)；便攜式輸入設(shè)備(22)，在其中輸入要由所述設(shè)施(21)顯示的數(shù)據(jù)，所述便攜式輸入設(shè)備(22)是便攜式的并能發(fā)送數(shù)據(jù)；以及數(shù)據(jù)處理設(shè)備(23，31)，用于接收、處理和/或分析由所述便攜式輸入設(shè)備(22)發(fā)送的數(shù)據(jù)。
7.依據(jù)權(quán)利要求6的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)，其中所述便攜式輸入設(shè)備(22)具有無線發(fā)送部件(26)，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(23)具有無線接收部件(27)，以及從所述便攜式輸入設(shè)備(22)向所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(23)的數(shù)據(jù)發(fā)送是通過無線通信來實(shí)現(xiàn)的。
8.依據(jù)權(quán)利要求6的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)，其中從所述便攜式輸入設(shè)備(22)向所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(31)的數(shù)據(jù)發(fā)送是通過有線通信來實(shí)現(xiàn)的。
9.依據(jù)權(quán)利要求6的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)，其中，所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(31)具有通過有線連接與其鏈接的一個設(shè)備。
10.依據(jù)權(quán)利要求9的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，其中通過有線連接與所述數(shù)據(jù)處理設(shè)備(31)鏈接的設(shè)備是支架(32)。
全文摘要
公開了一種低成本的工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)能收集從沒有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施中輸出的數(shù)據(jù)，以及不是自動發(fā)送客體的數(shù)據(jù)，并且進(jìn)行數(shù)據(jù)控制，如對所收集數(shù)據(jù)的處理/分析。在工廠內(nèi)數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(20)中，輸出到具有數(shù)據(jù)輸出功能但沒有數(shù)據(jù)發(fā)送功能的設(shè)施(21)的數(shù)據(jù)輸出部件(24)中的數(shù)據(jù)被輸入到便攜式的便攜式終端(22)中，所輸入的數(shù)據(jù)通過無線通信被從便攜式終端(22)發(fā)送到主計算機(jī)(23)，并且對由主計算機(jī)(23)接收到的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和/或分析。
文檔編號G06Q50/00GK1673919SQ20051005913
公開日2005年9月28日 申請日期2005年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月24日
發(fā)明者喜根井聰文 申請人:夏普株式會社