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沉積修復(fù)設(shè)備及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8108902

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沉積i務(wù)復(fù)設(shè)備及方法相關(guān)申請的交叉參考本申請基于美國法典119 ( e)第35條要求于2006年5月12曰 才是交的才示題為 "Line Open Repair Apparatus and Method"的美國臨時 申請No.60/747158的優(yōu)先權(quán),在此引用其全文作為參考。背景技術(shù)本發(fā)明一般涉及一種微電電路的非接觸修復(fù),具體地,涉及平板 顯示器例如有源矩陣液晶顯示面板的修復(fù)。在液晶(LC)顯示器的制造期間,釆用薄的大面積清潔玻璃板作 為用于沉積薄膜晶體管(TFT)陣列的基板。通常,在一個玻璃基板 平板之內(nèi)包含幾...
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