專利名稱：維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)服務(wù)器和存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)及存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于遠(yuǎn)程進(jìn)行各種裝置的維護(hù)、診斷的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)，特別涉及適于提高安全性的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在用于遠(yuǎn)程進(jìn)行裝置的維護(hù)、診斷的系統(tǒng)中，例如有日本專利特開2002-32274號(hào)公報(bào)、日本專利特開2000-207318號(hào)公報(bào)中所公開的系統(tǒng)。在日本專利特開2002-32274號(hào)公報(bào)所公開的內(nèi)容中，在被診斷的一側(cè)設(shè)置有安全級(jí)別判斷控制部件，其中，所述安全級(jí)別判斷控制部件用于根據(jù)與來(lái)自進(jìn)行診斷的一側(cè)的詢問(wèn)相關(guān)的事件的程度來(lái)重新賦予訪問(wèn)權(quán)限。
在日本專利特開2000-207318號(hào)公報(bào)所公開的內(nèi)容中，在遠(yuǎn)程維護(hù)對(duì)象裝置的一側(cè)設(shè)置有可任意地對(duì)向進(jìn)行遠(yuǎn)程維護(hù)的一側(cè)發(fā)送的數(shù)據(jù)進(jìn)行分選的部件。
專利文獻(xiàn)1特開2002-32274號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2000-207318號(hào)公報(bào)上述公知文獻(xiàn)的公開內(nèi)容都是以在遠(yuǎn)程診斷、維護(hù)系統(tǒng)中怎樣維持進(jìn)行維護(hù)、診斷的一側(cè)(遠(yuǎn)程進(jìn)行診斷的一側(cè))和被維護(hù)、診斷的一側(cè)(裝置持有方)之間的安全性為主要宗旨的。這是因?yàn)閷?duì)于制造裝置等裝置的持有方來(lái)說(shuō)，沒(méi)有任何限制地廣泛發(fā)布包含制造技術(shù)信息等的裝置數(shù)據(jù)會(huì)導(dǎo)致?lián)p失。
利用網(wǎng)絡(luò)等通信線路遠(yuǎn)程對(duì)裝置進(jìn)行維護(hù)、診斷的工作，以前不是遠(yuǎn)程進(jìn)行的，即，例如由負(fù)責(zé)人到設(shè)置并運(yùn)行裝置的單位來(lái)進(jìn)行。即使在這種情況下，進(jìn)行維護(hù)、診斷的一側(cè)與被維護(hù)、診斷的一側(cè)之間也具有與上述相同的關(guān)系。因此，對(duì)“安全性維護(hù)”來(lái)說(shuō)，是與是否為遠(yuǎn)程無(wú)關(guān)，在任何情況下都同樣需要維護(hù)安全性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是考慮了上述情況而做出的，其目的是提供一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)，從而在用于遠(yuǎn)程進(jìn)行各種裝置的維護(hù)、診斷的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)中，能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
為解決上述研究課題，本發(fā)明的一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器的特征在于，其包括存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)比第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)向裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第二防火墻來(lái)獲得所述用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；當(dāng)所述獲得的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
即，上述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器可以通過(guò)安全性較低的防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)相連，通過(guò)安全性較高的防火墻與第二網(wǎng)絡(luò)相連。并且，檢測(cè)來(lái)自第一網(wǎng)絡(luò)側(cè)的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，并根據(jù)所檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求向位于第二網(wǎng)絡(luò)側(cè)的裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證。然后，經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)來(lái)獲得該結(jié)果，并且如果用戶認(rèn)證正常，則向第一網(wǎng)絡(luò)側(cè)輸出所存儲(chǔ)的關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。
因此，直接參照裝置所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
另外，在上述說(shuō)明中例如第一網(wǎng)絡(luò)是互聯(lián)網(wǎng)，第二網(wǎng)絡(luò)是企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)。通過(guò)在這些網(wǎng)絡(luò)之間如上述那樣加入安全級(jí)別不同的防火墻，使得所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器位于所謂的DMZ(demilitarized zone非軍事區(qū))中。將來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)的訪問(wèn)限制為到所述服務(wù)器為止，由此可防止向企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)的入侵，從而能夠?qū)崿F(xiàn)一般意義上的安全性維護(hù)。
此外，本發(fā)明的一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)的特征在于，該系統(tǒng)包括可通過(guò)第一防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)連接的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，和可與所述第一網(wǎng)絡(luò)連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)所述發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻并經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)向所述裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；從所述裝置接收所述用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端還具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)接收從所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器輸出的所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
所述系統(tǒng)是由上述的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和可通過(guò)第一網(wǎng)絡(luò)與該服務(wù)器連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端構(gòu)成的系統(tǒng)。用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端發(fā)出數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，并且如果通過(guò)上述服務(wù)器所具有的結(jié)構(gòu)對(duì)該請(qǐng)求進(jìn)行了用戶認(rèn)證進(jìn)而輸出了維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，則接收所輸出的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。
由此，同樣地直接參照裝置所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
此外，本發(fā)明的一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)的特征在于，該系統(tǒng)包括與第一網(wǎng)絡(luò)具有連接并且保存有用戶認(rèn)證信息的被維護(hù)、診斷裝置，和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其中所述服務(wù)器可通過(guò)第一防火墻并經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)所述裝置，并且可通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)與客戶端進(jìn)行訪問(wèn)，所述裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有存儲(chǔ)所述傳輸過(guò)來(lái)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)從所述客戶端發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；以及根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；所述裝置還具有根據(jù)所述保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行所述被請(qǐng)求的用戶認(rèn)證的部件；和將所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果發(fā)送到所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器的部件；所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器還具有接收所述發(fā)送的用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；和當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述客戶端輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
所述系統(tǒng)是由上述的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)器相連的裝置(被維護(hù)、診斷裝置)構(gòu)成的系統(tǒng)。裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。此外，還具有根據(jù)所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行被請(qǐng)求的用戶認(rèn)證的部件和向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送所執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件。
由此，直接參照裝置所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。(其中，這里的“第一”、“第二”是出現(xiàn)順序，因此與上述的“維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器”、“維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)”的情況相反。)此外，本發(fā)明的另一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器的特征在于，其包括經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻來(lái)獲得所述裝置所保存的用戶認(rèn)證信息，并且將其作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存的部件；檢測(cè)經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，使用所述保存的備份用戶認(rèn)證信息進(jìn)行用戶認(rèn)證的部件；當(dāng)所述進(jìn)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻向所述第二網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
此時(shí)，也同樣將所述服務(wù)器置于DMZ中來(lái)使用。不同之處在于對(duì)裝置所固有的用戶認(rèn)證信息進(jìn)行復(fù)制并由所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器保存這一點(diǎn)上。因此，參照裝置所保存的用戶認(rèn)證信息的備份來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下，也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
而且此時(shí)，由于進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(被維護(hù)、診斷裝置)，因此即使在該裝置出現(xiàn)了問(wèn)題的情況下，也能夠在網(wǎng)絡(luò)上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而能夠遠(yuǎn)程可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。此外，例如由于所述服務(wù)器位于DMZ中，有時(shí)會(huì)導(dǎo)致其保存的備份用戶認(rèn)證信息被損壞，但即使在這種情況下，也能夠?qū)⒀b置所保存的用戶認(rèn)證信息作為正本(master)來(lái)進(jìn)行修復(fù)。
此外，本發(fā)明的另一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)的特征在于，該系統(tǒng)包括可通過(guò)第一防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)連接的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，和可與所述第一網(wǎng)絡(luò)連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端；所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第二防火墻來(lái)獲得所述裝置所保存的用戶認(rèn)證信息，并將其作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存的部件；檢測(cè)從所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端發(fā)送的所述數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，使用所述保存的備份用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行用戶認(rèn)證的部件；以及當(dāng)所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)所述檢測(cè)的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端還具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)接收從所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器輸出的所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
所述系統(tǒng)是由上述的另一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和可通過(guò)第一網(wǎng)絡(luò)與該服務(wù)器連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端構(gòu)成的系統(tǒng)。用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端發(fā)出數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，并且如果通過(guò)上述服務(wù)器所具有的結(jié)構(gòu)對(duì)該請(qǐng)求進(jìn)行了用戶認(rèn)證進(jìn)而輸出了維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，則接收所輸出的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。
由此，同樣地參照備份用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
而且此時(shí)，由于進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(被維護(hù)、診斷裝置)，因此即使在該裝置發(fā)生問(wèn)題的情況下，也能夠在網(wǎng)絡(luò)上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而能夠遠(yuǎn)程并可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。此外，例如由于所述服務(wù)器位于DMZ中，有時(shí)會(huì)導(dǎo)致其保存的備份用戶認(rèn)證信息被破壞，但即使在這種情況下，也能夠?qū)⒀b置所保存的用戶認(rèn)證信息作為正本來(lái)進(jìn)行修復(fù)。
此外，本發(fā)明的另一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)的特征在于，該系統(tǒng)包括與第一網(wǎng)絡(luò)具有連接并且保存有用戶認(rèn)證信息的被維護(hù)、診斷裝置，和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其中所述服務(wù)器可通過(guò)第一防火墻并經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)所述裝置，并且可通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)與客戶端進(jìn)行訪問(wèn)；所述裝置具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送所述用戶認(rèn)證信息的部件；所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有存儲(chǔ)所述傳輸?shù)木S護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；將所述發(fā)送的用戶認(rèn)證信息作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存的部件；檢測(cè)經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第二防火墻發(fā)送的來(lái)自所述客戶端的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，使用所述保存的備份用戶認(rèn)證信息執(zhí)行用戶認(rèn)證的部件；當(dāng)所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)所述發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻并經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)向所述客戶端輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
所述系統(tǒng)是由上述的另一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)器連接的裝置(被維護(hù)、診斷裝置)構(gòu)成的系統(tǒng)。裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。此外，還具有向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送用戶認(rèn)證信息的部件。維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器將發(fā)送的用戶認(rèn)證信息作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存。
由此，參照備份用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。(其中，這里的“第一”、“第二”也與上述另一種“維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器”、“維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)”的情況相反。)而且此時(shí)，由于進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(被維護(hù)、診斷裝置)，因此即使在該裝置出現(xiàn)了問(wèn)題的情況下，也能夠可靠地提供維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，以便利用網(wǎng)絡(luò)來(lái)遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷。此外，例如由于所述服務(wù)器位于DMZ中，有時(shí)會(huì)導(dǎo)致其保存的備份用戶認(rèn)證信息被損壞，但即使是在這種情況下，也能夠?qū)⒀b置所保存的用戶認(rèn)證信息作為正本來(lái)進(jìn)行修復(fù)。
此外，本發(fā)明的再一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器的特征在于，其包括存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第二防火墻來(lái)獲得所述用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；當(dāng)所述獲得的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
此時(shí)，也同樣將該服務(wù)器置于DMZ中來(lái)使用。不同之處在于將各個(gè)裝置所保存的用戶認(rèn)證信息保存在用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器中來(lái)統(tǒng)一管理。因此，同樣地直接參照用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
而且此時(shí)，不需要將用戶認(rèn)證信息置于DMZ中，因此，可改善用戶認(rèn)證信息自身的安全性。并且，進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(被維護(hù)、診斷裝置)，因此即使在該裝置出現(xiàn)了問(wèn)題的情況下，也能夠在網(wǎng)絡(luò)上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而能夠遠(yuǎn)程并可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。此外，由于統(tǒng)一管理用戶認(rèn)證信息，所以諸如當(dāng)裝置與多個(gè)網(wǎng)絡(luò)相連時(shí)，可以減少其維持、更新所花的工夫。
此外，本發(fā)明的再一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)的特征在于，該系統(tǒng)包括可通過(guò)第一防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)連接的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，和可與所述第一網(wǎng)絡(luò)連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)所述發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；從所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器接收所述用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；以及當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端還具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)接收從所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器輸出的所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
所述系統(tǒng)是由上述的再一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和可通過(guò)第一網(wǎng)絡(luò)與該服務(wù)器連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端構(gòu)成的系統(tǒng)。用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端發(fā)出數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，并且如果通過(guò)上述服務(wù)器所具有的結(jié)構(gòu)對(duì)該請(qǐng)求進(jìn)行了用戶認(rèn)證進(jìn)而輸出了維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，則接收所輸出的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。
由此，同樣地參照用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器中所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
而且此時(shí)，不需要將用戶認(rèn)證信息置于DMZ中，因此，可改善用戶認(rèn)證信息自身的安全性。并且，進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(被維護(hù)、診斷裝置)，因此即使在該裝置出現(xiàn)了問(wèn)題的情況下，也能夠在網(wǎng)絡(luò)上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而能夠遠(yuǎn)程并可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。此外，由于統(tǒng)一管理用戶認(rèn)證信息，所以諸如當(dāng)裝置與多個(gè)網(wǎng)絡(luò)相連時(shí)，可以減少其維持、更新所花的工夫。
此外，本發(fā)明的再一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)的特征在于，該系統(tǒng)包括與第一網(wǎng)絡(luò)具有連接的被維護(hù)、診斷裝置；與所述第一網(wǎng)絡(luò)具有連接并且保存所述裝置的用戶認(rèn)證信息的用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器；以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其中，所述服務(wù)器可通過(guò)第一防火墻并經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)與所述裝置和所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器進(jìn)行訪問(wèn)，并且可通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)與客戶端進(jìn)行訪問(wèn)；所述裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有存儲(chǔ)所述傳輸?shù)木S護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)從所述客戶端發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；以及根據(jù)所述檢測(cè)的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件，所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器具有根據(jù)所述保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行所述被請(qǐng)求的用戶認(rèn)證的部件；和向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器還具有接收所述發(fā)送的用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；和當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述客戶端輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
所述系統(tǒng)是由上述的再一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與該服務(wù)器相連的裝置(被維護(hù)、診斷裝置)以及通過(guò)同一網(wǎng)絡(luò)與該服務(wù)器連接的用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器構(gòu)成的系統(tǒng)。裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。用戶認(rèn)證信息被統(tǒng)一保存在用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器中。
由此，參照用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器中所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證，從而可獲得與非遠(yuǎn)程地向裝置進(jìn)行用戶認(rèn)證的情況相同的用戶認(rèn)證結(jié)果。由此，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。(其中，這里的“第一”、“第二”與上述再一種的“維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器”、“維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)”的情況相反。)而且此時(shí)，不需要將用戶認(rèn)證信息置于DMZ中，因此，可改善用戶認(rèn)證信息自身的安全性。并且，進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(被維護(hù)、診斷裝置)，因此即使在該裝置出現(xiàn)了問(wèn)題的情況下，也能夠在網(wǎng)絡(luò)上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而能夠遠(yuǎn)程并可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。此外，由于統(tǒng)一管理用戶認(rèn)證信息，所以諸如當(dāng)裝置與多個(gè)網(wǎng)絡(luò)相連時(shí)，可以減少其維持、更新所花的工夫。


圖1是將本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)適用于將半導(dǎo)體制造裝置用作應(yīng)維護(hù)、診斷裝置的情況的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是表示圖1中的客戶端26(27)的動(dòng)作流程的流程圖；圖3是表示圖1中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23的動(dòng)作流程的流程圖；圖4是表示圖1中的各制造裝置5、6、7或者群組控制服務(wù)器4的動(dòng)作流程的流程圖；圖5是將本發(fā)明又一實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)適用于將半導(dǎo)體制造裝置用作應(yīng)維護(hù)、診斷裝置的情況的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是表示圖5中的客戶端26(27)的動(dòng)作流程的流程圖；圖7是表示圖5中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A的動(dòng)作流程的流程圖；圖8是表示圖5中的各制造裝置5、6、7或者群組控制服務(wù)器4的動(dòng)作流程的流程圖；圖9是將本發(fā)明再一實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)適用于將半導(dǎo)體制造裝置用作應(yīng)維護(hù)、診斷裝置的情況的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10是表示圖9中的客戶端26(27)的動(dòng)作流程的流程圖；圖11是表示圖9中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23的動(dòng)作流程的流程圖；圖12是表示圖9中的各制造裝置5A、6A、7A或者群組控制服務(wù)器4A的動(dòng)作流程的流程圖；圖13是表示圖9中的用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28的動(dòng)作流程的流程圖。
具體實(shí)施例方式
綜上所述，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例予以說(shuō)明。圖1是將本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)適用于將半導(dǎo)體制造裝置用作應(yīng)維護(hù)、診斷裝置的情況的結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖1所示，該結(jié)構(gòu)包括A裝置組10，B裝置組11，企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21，防火墻22，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23，防火墻24，互聯(lián)網(wǎng)25，客戶端26、27。
A裝置組10由半導(dǎo)體制造裝置1、2、3和群組控制服務(wù)器4組成。群組控制服務(wù)器4是用來(lái)管理各半導(dǎo)體制造裝置1、2、3的動(dòng)作的。作為管理結(jié)果而產(chǎn)生的各半導(dǎo)體制造裝置1、2、3的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)從群組控制服務(wù)器4被輸出到與其具有連接的企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21中。半導(dǎo)體制造裝置1、2、3的具體種類沒(méi)有特別地提及，例如其可以是擴(kuò)散爐。這些半導(dǎo)體制造裝置1、2、3是由某一個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的制造方提供給半導(dǎo)體制造方的，由與半導(dǎo)體制造裝置的制造方具有某些關(guān)聯(lián)的人來(lái)負(fù)責(zé)其維護(hù)、診斷。
此外，群組控制服務(wù)器4具有用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)4a，當(dāng)從企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21輸入請(qǐng)求用戶認(rèn)證的指令時(shí)，參照用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)4a中保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行用戶認(rèn)證。執(zhí)行的結(jié)果被輸出到企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21一側(cè)。
B裝置組11由半導(dǎo)體制造裝置5、6、7組成。這些裝置不通過(guò)如群組控制服務(wù)器等的集中管理服務(wù)器，而是各自與企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21相連。半導(dǎo)體裝置5、6、7的具體種類沒(méi)有特別地提及，例如其可以是抗蝕劑涂布/顯影裝置。這些半導(dǎo)體制造裝置5、6、7是由另一半導(dǎo)體制造裝置的制造方提供給上述半導(dǎo)體制造方的，并由與該另一半導(dǎo)體制造裝置的制造方具有某些關(guān)聯(lián)的人負(fù)責(zé)其維護(hù)、診斷。
半導(dǎo)體裝置5、6、7分別具有用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)5a、6a、7a，當(dāng)從企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21輸入請(qǐng)求用戶認(rèn)證的指令時(shí)，分別參照用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)5a、6a、7a中保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行用戶認(rèn)證。執(zhí)行的結(jié)果被輸出到企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21中。并且，必要時(shí)將各維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)被輸出到企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21中。
另外，裝置組10、11還可以是其他裝置，此時(shí)也同樣連接在企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21上。構(gòu)成其他裝置組的半導(dǎo)體制造裝置的制造方可以是除上述之外的其他方。并且，對(duì)構(gòu)成裝置組的半導(dǎo)體制造裝置的數(shù)目也沒(méi)有特別的限制。
企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21如上所述與各裝置組10、11具有連接，并且還通過(guò)安全級(jí)別較高的防火墻22還與維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23相連。企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21例如為設(shè)置在半導(dǎo)體制造者的生產(chǎn)車間內(nèi)的LAN(局域網(wǎng))。
防火墻22介于企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23之間。通過(guò)該防火墻22，可以維持高級(jí)別的安全性從而防止從互聯(lián)網(wǎng)25向裝置組10、11的非法訪問(wèn)。由此，可提供對(duì)含有半導(dǎo)體制造裝置1、2、3、5、6、7的數(shù)據(jù)等信息的保護(hù)。
維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21收集與半導(dǎo)體制造裝置1、2、3、5、6、7相關(guān)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，并將收集的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)起來(lái)。并且，當(dāng)從互聯(lián)網(wǎng)25有數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求時(shí)，根據(jù)該請(qǐng)求，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21向群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7請(qǐng)求用戶認(rèn)證，并接收該結(jié)果。當(dāng)獲得的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求向互聯(lián)網(wǎng)25輸出存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。
防火墻24介于維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23與互聯(lián)網(wǎng)25之間。該防火墻24與上述防火墻22相比安全性較低，其結(jié)果是來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的訪問(wèn)比較容易。這是將維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23向客戶端26、27提供其存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)作為主要目的而設(shè)計(jì)的。當(dāng)從互聯(lián)網(wǎng)25的一側(cè)來(lái)看時(shí)，可將防火墻24與防火墻22之間的部分看作所謂的DMZ。
在互聯(lián)網(wǎng)25上通過(guò)防火墻24連接有維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23，并且，還連接有客戶端26、27。眾所周知，互聯(lián)網(wǎng)25是由通用的數(shù)據(jù)通信網(wǎng)構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)。
客戶端26、27作為用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的裝置，通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)25來(lái)進(jìn)行與維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23之間的訪問(wèn)，從而接收維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，并對(duì)接收到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。設(shè)置客戶端26、27是為了對(duì)提供、運(yùn)行后的半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行遠(yuǎn)程維護(hù)、診斷而設(shè)置在與上述半導(dǎo)體制造裝置的制造方具有某些關(guān)聯(lián)的某一方企業(yè)中的。
這里，客戶端26、27分別與A裝置組10、B裝置組11中的一個(gè)相對(duì)應(yīng)。如此，客戶端基本上與裝置組的提供方的數(shù)目對(duì)應(yīng)地存在。與此相反，上述的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23與裝置組的提供方的數(shù)目無(wú)關(guān)，對(duì)于半導(dǎo)體制造方來(lái)說(shuō)共為一個(gè)。從客戶端26、27向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求通過(guò)用戶認(rèn)證來(lái)進(jìn)行區(qū)別。
下面，參照?qǐng)D2至圖4所示的流程圖對(duì)圖1所示結(jié)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖2是表示圖1所示的客戶端26(27)的動(dòng)作流程的流程圖。如圖2所示，客戶端26(27)首先通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)25，經(jīng)過(guò)防火墻24向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求(步驟31)。數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求中包含有用戶認(rèn)證的請(qǐng)求，和對(duì)存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)中的期望數(shù)據(jù)的輸出請(qǐng)求。
對(duì)于此，如果維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23如后所述進(jìn)行響應(yīng)并進(jìn)行了正常的動(dòng)作的話，則維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23輸出并發(fā)送維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。從而，客戶端26(27)通過(guò)防火墻24經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)25接收該數(shù)據(jù)(步驟32)。然后，分析所接收的數(shù)據(jù)并進(jìn)行維護(hù)、診斷的處理(步驟33)。另外，此后，也可以根據(jù)處理的結(jié)果將處方程序等軟件通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)25、防火墻24發(fā)送到維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23中。
圖3是表示圖1中所示的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23的動(dòng)作流程的流程圖。如圖3所示，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23，根據(jù)需要通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21從群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7收集并存儲(chǔ)維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)(步驟41)。這可以定期或者非定期地進(jìn)行。
然后，對(duì)來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求進(jìn)行監(jiān)控、檢測(cè)(步驟42)。若檢測(cè)到數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，則根據(jù)該請(qǐng)求，通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21向半導(dǎo)體制造裝置5、6、7或者群組控制服務(wù)器4請(qǐng)求用戶認(rèn)證(步驟43)。這是因?yàn)橛脩粽J(rèn)證信息的保存是由這些半導(dǎo)體制造裝置5、6、7或者群組控制服務(wù)器4來(lái)進(jìn)行的(如上所述，保存在用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)5a、6a、7a、4a中)。另外，根據(jù)各個(gè)數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，指定作為用戶認(rèn)證對(duì)象的半導(dǎo)體制造裝置或者裝置組。
根據(jù)用戶認(rèn)證的請(qǐng)求，在指定的半導(dǎo)體制造裝置5、6、7或者群組控制服務(wù)器4中，如后述那樣執(zhí)行用戶認(rèn)證，并且如果這些正常，則發(fā)送用戶認(rèn)證的結(jié)果。從而，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22接收該結(jié)果(步驟44)。
然后，當(dāng)該結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)防火墻24向互聯(lián)網(wǎng)25輸出并發(fā)送存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)中期望的部分(步驟45)。所發(fā)送的數(shù)據(jù)如上所述由客戶端26(27)從互聯(lián)網(wǎng)25接收。
圖4是表示圖1所示的群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7的動(dòng)作流程的流程圖。這里，關(guān)于半導(dǎo)體制造裝置5、6、7的動(dòng)作只示出了通過(guò)與企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21的連接而產(chǎn)生的部分。當(dāng)然，用于半導(dǎo)體制造的原有動(dòng)作(抗蝕劑涂布/顯影裝置的動(dòng)作)則另外進(jìn)行。
群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7，根據(jù)需要將關(guān)于其管理下的半導(dǎo)體制造裝置或者關(guān)于其自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22發(fā)送到維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23中(步驟51)。這可以如上述那樣定期或者非定期地進(jìn)行。
然后，以從維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23接收用戶認(rèn)證的請(qǐng)求(步驟52)的狀態(tài)待機(jī)。用戶認(rèn)證的請(qǐng)求指定作為對(duì)象的半導(dǎo)體制造裝置或者裝置組來(lái)進(jìn)行。通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21接收請(qǐng)求的半導(dǎo)體制造裝置5、6、7或者組裝置服務(wù)器4參照用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)5a、6a、7a、4a中所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行(步驟53)。執(zhí)行的結(jié)果通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22被發(fā)送到維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23中(步驟54)。
對(duì)于在上面說(shuō)明的客戶端26(27)、維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23、群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7的結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，當(dāng)遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷時(shí)，以及當(dāng)來(lái)到設(shè)置半導(dǎo)體制造裝置1、2、3、5、6、7的生產(chǎn)車間對(duì)這些裝置進(jìn)行直接維護(hù)、診斷時(shí)，用戶認(rèn)證的結(jié)果是相同的。
這是因?yàn)樵谑褂萌航M控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7內(nèi)(用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)4a、5a、6a、7a)所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行用戶認(rèn)證這點(diǎn)上相同。即，遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證直接參照群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7中所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行，這與不是遠(yuǎn)程而是直接訪問(wèn)各個(gè)群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7時(shí)相比，所使用的用戶認(rèn)證信息相同。由此，在遠(yuǎn)程情況下，也可以與非遠(yuǎn)程的情況同樣地實(shí)現(xiàn)維護(hù)、診斷的一側(cè)(遠(yuǎn)程進(jìn)行診斷側(cè))和被維護(hù)、診斷的一側(cè)(裝置的持有方)之間的安全性維護(hù)。
與此相反，例如，當(dāng)使用單獨(dú)保存在維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23中的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行只在客戶端26(27)與維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23之間有效的用戶認(rèn)證時(shí)，該用戶認(rèn)證的結(jié)果與直接對(duì)半導(dǎo)體制造裝置5、6、7或者群組控制服務(wù)器4進(jìn)行維護(hù)、診斷時(shí)的用戶認(rèn)證結(jié)果一般是不相同的。這是由于無(wú)法保證用戶認(rèn)證信息相同。其結(jié)果是，進(jìn)行維護(hù)、診斷的一側(cè)(在遠(yuǎn)程進(jìn)行診斷的一側(cè))和被維護(hù)、診斷的一側(cè)(裝置的持有方)之間的安全級(jí)別將隨據(jù)情況的不同而發(fā)生變化，從而妨礙了適當(dāng)?shù)陌雽?dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)。
此外，為了防止所述用戶認(rèn)證信息的不一致，需要進(jìn)行與用戶認(rèn)證信息相關(guān)的極細(xì)致的維護(hù)，從而使其作業(yè)變得過(guò)于繁瑣。特別是，由于維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23與半導(dǎo)體制造裝置的制造方的數(shù)目無(wú)關(guān)，基本上被設(shè)為一個(gè)，因而其繁瑣程度變得更大。通過(guò)如圖1所示的結(jié)構(gòu)，可以消除這種繁瑣。
下面，參照?qǐng)D5對(duì)本發(fā)明另一實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。圖5是將本發(fā)明又一實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)適用于將半導(dǎo)體制造裝置用作應(yīng)維護(hù)、診斷裝置的情況的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖5中，對(duì)于已說(shuō)明的結(jié)構(gòu)部件標(biāo)注相同的符號(hào)并省略其說(shuō)明。
本實(shí)施例與上述說(shuō)明的實(shí)施例的不同點(diǎn)在于，在維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A中設(shè)置用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)23a，并在該用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)23a中保存群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體裝置5、6、7所保存的用戶認(rèn)證信息的備份。
由此，當(dāng)從互聯(lián)網(wǎng)25有數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求時(shí)，根據(jù)該請(qǐng)求，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23參照用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)23a中所保存的備份用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行用戶認(rèn)證。當(dāng)該用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，將所存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)發(fā)送到互聯(lián)網(wǎng)25中。另外，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A事先通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21訪問(wèn)群組控制服務(wù)器4以及半導(dǎo)體制造裝置5、6、7并復(fù)制獲得它們所保存的用戶認(rèn)證信息。
此外，當(dāng)從維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21請(qǐng)求了用戶認(rèn)證信息的提出時(shí)，群組控制服務(wù)器4根據(jù)所述請(qǐng)求，將用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)4a中所保存的用戶認(rèn)證信息輸出到企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21中。
同樣，當(dāng)從維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21請(qǐng)求了用戶認(rèn)證信息的提出時(shí)，半導(dǎo)體裝置5、6、7根據(jù)所述請(qǐng)求，將用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)5a、6a、7a中所保存的用戶認(rèn)證信息輸出到企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21中。
下面，參照?qǐng)D6至圖8所示的流程圖對(duì)在圖5中示出的結(jié)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖6是表示圖5中示出的客戶端26(27)的動(dòng)作流程的流程圖。如圖6所示，客戶端26(27)首先經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)25并通過(guò)防火墻24向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求(步驟71)。數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求中包含有用戶認(rèn)證的請(qǐng)求和對(duì)所存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)中期望部分的輸出請(qǐng)求。
對(duì)于此，如果維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A如后述地響應(yīng)并進(jìn)行了正常的動(dòng)作的話，則維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A輸出并發(fā)送維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。因此，客戶端26(27)通過(guò)防火墻24并經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)25接收該數(shù)據(jù)(步驟72)。然后分析所接收的數(shù)據(jù)并進(jìn)行維護(hù)、診斷的處理(步驟73)。另外，此后，也可以根據(jù)處理的結(jié)果將處方程序等軟件通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)25、防火墻24發(fā)送到維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23中。圖6所示的動(dòng)作與已說(shuō)明的圖2所示的動(dòng)作相同。
圖7是表示圖5所示的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A的動(dòng)作流程的流程圖。如圖7所示，首先，由維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A事先通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21訪問(wèn)群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體裝置5、6、7來(lái)獲得用戶認(rèn)證信息并復(fù)制，然后將其作為備份用戶認(rèn)證信息保存在用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)23a中(步驟81)。并且，根據(jù)需要，通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21從群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7收集并存儲(chǔ)維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)(步驟82)。收集、存儲(chǔ)可以定期或者非定期地進(jìn)行。
然后，對(duì)來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求進(jìn)行監(jiān)控、檢測(cè)(步驟83)。若檢測(cè)到數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，則根據(jù)該請(qǐng)求，參照用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)23a中所保存的備份用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行用戶認(rèn)證(步驟84)。另外，由于是根據(jù)各自的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求來(lái)指定作為用戶認(rèn)證對(duì)象的半導(dǎo)體制造或者裝置組的，因而參照所述對(duì)應(yīng)的用戶認(rèn)證信息。
接著，當(dāng)被用戶認(rèn)證為正常時(shí)，根據(jù)數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)防火墻24向互聯(lián)網(wǎng)25輸出并發(fā)送所存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)中期望的數(shù)據(jù)(步驟85)。所發(fā)送的數(shù)據(jù)如上所述由客戶端26(27)從互聯(lián)網(wǎng)25接收。
圖8是表示圖5中所示的群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7的動(dòng)作流程的流程圖。這里，關(guān)于半導(dǎo)體制造裝置5、6、7的動(dòng)作，只示出了通過(guò)與企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21相連而產(chǎn)生的部分。當(dāng)然，用于半導(dǎo)體制造的原有動(dòng)作(抗蝕劑涂布/顯影裝置的動(dòng)作)則另外進(jìn)行。
當(dāng)從維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21有用戶認(rèn)證信息的復(fù)制請(qǐng)求時(shí)，群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7，根據(jù)所述請(qǐng)求，將用戶認(rèn)證信息輸出到企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21中(步驟91)。
此外，群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7，根據(jù)需要將關(guān)于其管理下的半導(dǎo)體制造裝置或者關(guān)于其自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22發(fā)送到維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A中(步驟92)。這可以定期或者非定期地進(jìn)行。
對(duì)于在上面說(shuō)明的客戶端26(27)、維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23、群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7的結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，當(dāng)在遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷時(shí)，以及當(dāng)來(lái)到設(shè)置半導(dǎo)體制造裝置1、2、3、5、6、7的生產(chǎn)車間對(duì)這些裝置進(jìn)行直接維護(hù)、診斷時(shí)，用戶認(rèn)證的結(jié)果是相同的。
這是因?yàn)槿航M控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7內(nèi)(用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)4a、5a、6a、7a)所保存的用戶認(rèn)證信息被作為正本信息用于用戶認(rèn)證。即，遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證參照從群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體制造裝置5、6、7中所保存的用戶認(rèn)證信息而制作的備份用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行。該備份用戶認(rèn)證信息與不是遠(yuǎn)程而是直接訪問(wèn)各個(gè)群組控制服務(wù)器4或者半導(dǎo)體制造裝置5、6、7時(shí)的用戶認(rèn)證信息的信息內(nèi)容相同。
由此，在這種情況下也可以與非遠(yuǎn)程的情況同樣地實(shí)現(xiàn)維護(hù)、診斷的一側(cè)(遠(yuǎn)程進(jìn)行診斷側(cè))和被維護(hù)、診斷的一側(cè)(裝置持有方)之間的安全性維護(hù)。并且，由于維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A與半導(dǎo)體制造裝置的制造方的數(shù)目無(wú)關(guān)而基本上共為一個(gè)，從而需要進(jìn)行與用戶認(rèn)證信息相關(guān)的極細(xì)致的維護(hù)，而在這里，如上所述可以大大減少其必要性。
另外，此時(shí)由于進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體裝置5、6、7)，因而即使在所述裝置發(fā)生了問(wèn)題的情況下，也可以在互聯(lián)網(wǎng)25上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而可遠(yuǎn)程并可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。當(dāng)需要進(jìn)行維護(hù)、診斷時(shí)裝置中大多都有問(wèn)題，因而這是一個(gè)很大的優(yōu)點(diǎn)。
此外，由于該維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23位于DMZ中，因而有時(shí)會(huì)導(dǎo)致其保存的備份用戶認(rèn)證信息被損壞，但即使是在這種情況下，也可以將群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體裝置5、6、7所保存的用戶認(rèn)證信息作為正本來(lái)進(jìn)行修復(fù)。另外，用戶認(rèn)證信息的備份對(duì)于維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23A來(lái)說(shuō)只是一個(gè)方面，當(dāng)從群組控制服務(wù)器4、半導(dǎo)體裝置5、6、7方面來(lái)看時(shí)，還可以維持其作為正本信息的安全性。
下面，參照?qǐng)D9對(duì)本發(fā)明再一實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。圖9是將本發(fā)明再一實(shí)施例中的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)適用于將半導(dǎo)體制造裝置用作應(yīng)維護(hù)、診斷裝置的情況的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖9中，對(duì)于已說(shuō)明的結(jié)構(gòu)部件標(biāo)注相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。
本實(shí)施例與上述說(shuō)明的各實(shí)施例的不同點(diǎn)在于，在企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21上設(shè)置用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28，并在所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28的用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)28a中統(tǒng)一保存群組控制服務(wù)器4A、半導(dǎo)體裝置5A、6A、7A的用戶認(rèn)證信息。因此，群組控制服務(wù)器4A、半導(dǎo)體裝置5A、6A、7A不必分別保存用戶認(rèn)證信息，從而也可以沒(méi)有所述各自的用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)。
當(dāng)從互聯(lián)網(wǎng)25有數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求時(shí)，根據(jù)該請(qǐng)求，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28請(qǐng)求用戶認(rèn)證，并接收該結(jié)果。當(dāng)接收的用戶認(rèn)證結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求將存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)發(fā)送到互聯(lián)網(wǎng)25中。
下面，參照?qǐng)D10至圖13所示的流程圖，對(duì)圖9所示結(jié)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖10是表示圖9中所示客戶端26(27)的動(dòng)作流程的流程圖。如圖10所示，客戶端26(27)首先經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)25并通過(guò)防火墻24向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求(步驟111)。數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求中包含有用戶認(rèn)證的請(qǐng)求和對(duì)所存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)中期望部分的輸出請(qǐng)求。
對(duì)于此，如果維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23如后述那樣響應(yīng)并進(jìn)行了正常的動(dòng)作的話，則維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23輸出并發(fā)送維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)。因此，客戶端26(27)通過(guò)防火墻24并經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)25接收該數(shù)據(jù)(步驟112)。然后分析所接收的數(shù)據(jù)并進(jìn)行維護(hù)、診斷的處理(步驟113)。另外，此后也可以根據(jù)處理的結(jié)果通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)25、防火墻24向維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23發(fā)送處方程序等軟件。圖10所示的動(dòng)作與已說(shuō)明的圖2、圖6所示的動(dòng)作相同。
圖11是表示圖9所示的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23的動(dòng)作流程的流程圖。如圖11所示，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23根據(jù)需要，通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21從群組控制服務(wù)器4A或者半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A收集并存儲(chǔ)維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)(步驟121)。這可以定期或者非定期地進(jìn)行。
然后，對(duì)來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)25的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求進(jìn)行監(jiān)控、檢測(cè)(步驟122)。若檢測(cè)出數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，則根據(jù)該請(qǐng)求，通過(guò)防火墻22、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28請(qǐng)求用戶認(rèn)證(步驟123)。這是由于用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28統(tǒng)一保存有半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A以及群組控制服務(wù)器4A的用戶認(rèn)證信息的緣故(如上所述保存在用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)28a中)。另外，根據(jù)各自的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求指定作為用戶認(rèn)證對(duì)象的半導(dǎo)體制造裝置或者裝置組。
根據(jù)用戶認(rèn)證的請(qǐng)求，在用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28中如后述那樣執(zhí)行與指定的半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A或者群組控制服務(wù)器4A相關(guān)的用戶認(rèn)證，并且如所述認(rèn)證正常，則發(fā)送用戶認(rèn)證的結(jié)果。因此，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22接收該結(jié)果(步驟124)。
然后，當(dāng)該結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)防火墻24向互聯(lián)網(wǎng)25輸出并發(fā)送所存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)中期望的部分(步驟125)。發(fā)送的數(shù)據(jù)如上所述由客戶端26(27)從互聯(lián)網(wǎng)25獲得。
圖12是表示圖9所示的群組控制服務(wù)器4A或者半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A的動(dòng)作流程的流程圖。這里，作為半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A的動(dòng)作只示出了通過(guò)與企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21相連而產(chǎn)生的部分。當(dāng)然，用于半導(dǎo)體制造的原有動(dòng)作(抗蝕劑涂布/顯影裝置的動(dòng)作)另外進(jìn)行。
群組控制服務(wù)器4A、半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A根據(jù)需要將對(duì)于其管理下的半導(dǎo)體制造裝置或者關(guān)于其自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22發(fā)送到維護(hù)、診斷存儲(chǔ)服務(wù)器23中(步驟131)。這可以定期地或者非定期地來(lái)進(jìn)行。
圖13是表示圖9中所示的用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28的動(dòng)作流程的流程圖。用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28以從維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23接收用戶認(rèn)證的請(qǐng)求(步驟141)的狀態(tài)待機(jī)。用戶認(rèn)證的請(qǐng)求指定作為對(duì)象的半導(dǎo)體制造裝置或者裝置組而進(jìn)行。通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21接收了該指定請(qǐng)求后，參照用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)28a中保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行(步驟142)。執(zhí)行的結(jié)果通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21、防火墻22被發(fā)送到維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23中(步驟143)。
對(duì)于如上所述的客戶端26(27)、維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23、群組控制服務(wù)器4A、半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A的結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，當(dāng)遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷時(shí)，以及當(dāng)來(lái)到設(shè)置半導(dǎo)體制造裝置1、2、3、5A、6A、7A的生產(chǎn)車間對(duì)這些裝置直接進(jìn)行維護(hù)、診斷時(shí)，用戶認(rèn)證的結(jié)果是相同的。
這是由于在使用用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28內(nèi)(用戶認(rèn)證信息數(shù)據(jù)庫(kù)28a)保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行用戶認(rèn)證這點(diǎn)上都相同的緣故。即，遠(yuǎn)程情況下的用戶認(rèn)證參照用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28中所保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)進(jìn)行，這與不是遠(yuǎn)程而是直接訪問(wèn)各個(gè)群組控制服務(wù)器4A或者半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A時(shí)(此時(shí)，通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21從群組控制服務(wù)器4A、半導(dǎo)體制造裝置5A、6A、7A向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28請(qǐng)求用戶認(rèn)證)相比，它們所使用的用戶認(rèn)證信息是相同的。
由此，即使在遠(yuǎn)程情況下也可以與非遠(yuǎn)程的情況同樣地實(shí)現(xiàn)維護(hù)、診斷的一側(cè)(遠(yuǎn)程進(jìn)行診斷側(cè))和被維護(hù)、診斷的一側(cè)(裝置持有方)之間的安全性維護(hù)。此外，由于維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器23與半導(dǎo)體制造裝置的制造方的數(shù)目無(wú)關(guān)而基本上被設(shè)置為一個(gè)，從而需要進(jìn)行與用戶認(rèn)證信息相關(guān)的極細(xì)致的維護(hù)，而在這里，如上所述可以大大減少其必要性。
另外，此時(shí)由于進(jìn)行用戶認(rèn)證的本身不需要訪問(wèn)裝置(群組控制服務(wù)器4A、半導(dǎo)體裝置5A、6A、7A)，因而即使在該裝置中發(fā)生了問(wèn)題的情況下，也可以在互聯(lián)網(wǎng)25上傳輸維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而可遠(yuǎn)程并可靠地進(jìn)行維護(hù)、診斷。由于需要維護(hù)、診斷時(shí)裝置中大多都有問(wèn)題，因而這是一個(gè)很大的優(yōu)點(diǎn)。
并且，此時(shí)由于不需要將用戶認(rèn)證信息置于DMZ中，因而可以改善用戶認(rèn)證信息自身的安全性。另外，由于在用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器28中被統(tǒng)一管理用戶認(rèn)證信息，因而當(dāng)裝置連接在多個(gè)網(wǎng)絡(luò)上時(shí)可簡(jiǎn)化其維護(hù)、更新所花的工夫。
另外，在以上各實(shí)施例中，作為被維護(hù)、診斷裝置例舉了半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但是并不局限于此，只要同樣是可與網(wǎng)絡(luò)(企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)21)相連的裝置本發(fā)明都可以適用。
發(fā)明效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在遠(yuǎn)程情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
權(quán)利要求
1.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其特征在于，包括存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)比第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)向裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第二防火墻來(lái)獲得所述用戶認(rèn)證結(jié)果的部件；以及當(dāng)所述獲得的用戶認(rèn)證結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
2.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括可通過(guò)第一防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)連接的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，和可與所述第一網(wǎng)絡(luò)連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)所述發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻并經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)向所述裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；從所述裝置接收所述用戶認(rèn)證結(jié)果的部件；以及當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端還具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)接收從所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器輸出的所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
3.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括與第一網(wǎng)絡(luò)具有連接并且保存有用戶認(rèn)證信息的被維護(hù)、診斷裝置，和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其中所述服務(wù)器可通過(guò)第一防火墻并經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)所述裝置，并且可通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)與客戶端進(jìn)行訪問(wèn)，所述裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有存儲(chǔ)所述傳輸過(guò)來(lái)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)從所述客戶端發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；以及根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件，所述裝置還具有根據(jù)所述保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行所述被請(qǐng)求的用戶認(rèn)證的部件；和向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器還具有接收所述發(fā)送的用戶認(rèn)證結(jié)果的部件；和當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述客戶端輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
4.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其特征在于，包括經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻來(lái)獲得所述裝置所保存的用戶認(rèn)證信息，并且將其作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存的部件；檢測(cè)經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，使用所述保存的備份用戶認(rèn)證信息執(zhí)行用戶認(rèn)證的部件；以及當(dāng)所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻向所述第二網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
5.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括可通過(guò)第一防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)連接的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，和可與所述第一網(wǎng)絡(luò)連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第二防火墻來(lái)獲得所述裝置所保存的用戶認(rèn)證信息，并且將其作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存的部件；檢測(cè)從所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端發(fā)送的所述數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，使用所述保存的備份用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行用戶認(rèn)證的部件；以及當(dāng)所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端還具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)接收從所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器輸出的所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
6.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括與第一網(wǎng)絡(luò)具有連接并保存有用戶認(rèn)證信息的被維護(hù)、診斷裝置，和維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其中所述服務(wù)器可通過(guò)第一防火墻并經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)所述裝置，并且可通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)與客戶端進(jìn)行訪問(wèn)，所述裝置具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；和經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送所述用戶認(rèn)證信息的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有存儲(chǔ)所述傳輸過(guò)來(lái)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；將所述發(fā)送的用戶認(rèn)證信息作為備份用戶認(rèn)證信息來(lái)保存的部件；檢測(cè)經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第二防火墻發(fā)送的來(lái)自所述客戶端的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，使用所述保存的備份用戶認(rèn)證信息執(zhí)行用戶認(rèn)證的部件；以及當(dāng)所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果正常時(shí)，根據(jù)所述發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻并經(jīng)由所述第二網(wǎng)絡(luò)向所述客戶端輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
7.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其特征在于，包括存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第二防火墻來(lái)獲得所述用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；以及當(dāng)所述獲得的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
8.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括可通過(guò)第一防火墻與第一網(wǎng)絡(luò)連接的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，和可與所述第一網(wǎng)絡(luò)連接的用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)所述第一防火墻向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻來(lái)獲得并存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)所述發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第二防火墻向用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件；從所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器接收所述用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；以及當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)所述第一防火墻向所述第一網(wǎng)絡(luò)輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述用于獲得維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的客戶端還具有經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)接收從所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器輸出的所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
9.一種維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括與第一網(wǎng)絡(luò)具有連接的被維護(hù)、診斷裝置；與所述第一網(wǎng)絡(luò)具有連接并且保存有所述裝置的用戶認(rèn)證信息的用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器；以及維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，其中所述服務(wù)器可通過(guò)第一防火墻并經(jīng)由所述第一網(wǎng)絡(luò)與所述裝置及所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器進(jìn)行訪問(wèn)，并且可通過(guò)比所述第一防火墻安全級(jí)別低的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)與客戶端進(jìn)行訪問(wèn)，所述裝置具有向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器傳輸關(guān)于自身的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件，所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器具有存儲(chǔ)所述傳輸過(guò)來(lái)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件；檢測(cè)從所述客戶端發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求的部件；以及根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器請(qǐng)求用戶認(rèn)證的部件，所述用戶認(rèn)證信息保存服務(wù)器具有根據(jù)所述保存的用戶認(rèn)證信息來(lái)執(zhí)行所述被請(qǐng)求的用戶認(rèn)證的部件；和向所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器發(fā)送所述執(zhí)行的用戶認(rèn)證的結(jié)果的部件；所述維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器還具有接收所述發(fā)送的用戶認(rèn)證結(jié)果的部件；和當(dāng)所述接收的用戶認(rèn)證的結(jié)果是被用戶認(rèn)證為正常的時(shí)候，根據(jù)所述檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，向所述客戶端輸出所述存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的部件。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于遠(yuǎn)程進(jìn)行各種裝置的維護(hù)、診斷的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)存儲(chǔ)服務(wù)器，維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、獲得系統(tǒng)以及存儲(chǔ)、提供系統(tǒng)。本發(fā)明通過(guò)存儲(chǔ)關(guān)于裝置的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，檢測(cè)經(jīng)由第一網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第一防火墻發(fā)送的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，根據(jù)檢測(cè)到的數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)比第一防火墻安全級(jí)別高的第二防火墻并經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)向裝置請(qǐng)求用戶認(rèn)證，經(jīng)由第二網(wǎng)絡(luò)并通過(guò)第二防火墻來(lái)獲得用戶認(rèn)證的結(jié)果，并根據(jù)數(shù)據(jù)訪問(wèn)請(qǐng)求，通過(guò)第一防火墻向第一網(wǎng)絡(luò)輸出存儲(chǔ)的維護(hù)、診斷數(shù)據(jù)，從而可實(shí)現(xiàn)與非遠(yuǎn)程進(jìn)行維護(hù)、診斷的情況相同的安全性維護(hù)。
文檔編號(hào)G06F21/00GK1536824SQ20041003085
公開日2004年10月13日 申請(qǐng)日期2004年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月7日
發(fā)明者松田克彥 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社