專利名稱：圖案缺陷檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體、印刷電路板、液晶、PDP等的布線圖案，印刷、蓋章圖案等的圖案檢查中，對(duì)缺陷進(jìn)行分類檢測(cè)的圖案缺陷檢測(cè)方法和檢查裝置以及檢查修復(fù)裝置。
以往，作為檢測(cè)圖案上缺陷的方法，已知的有如

圖16所示的利用圖像處理檢測(cè)圖案的線寬和圖案的間隔，檢測(cè)布線規(guī)則上沒有的圖案的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(DRC)法，和如圖17所示的對(duì)預(yù)先登記的正品的圖像和輸入的對(duì)象的圖像進(jìn)行比較，檢測(cè)其不同的部分作為缺陷圖案的比較法。
但是，在DRC法中，有如圖18所示，不能檢測(cè)布線上允許的缺陷，和如圖19所示，將違反布線規(guī)則的正常圖案作為次品檢測(cè)的問題。
此外，在比較法中，有如圖20所示，因不能與噪聲干擾區(qū)別而不能檢測(cè)微小缺陷的問題。
本發(fā)明鑒于前述以往的問題，其目的在于提供能對(duì)各種圖案缺陷進(jìn)行分類并能確切地進(jìn)行檢測(cè)的圖案缺陷檢測(cè)方法。
本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，是在預(yù)先登記正品圖案，并對(duì)輸入的對(duì)象圖案和正品圖案進(jìn)行比較的圖案缺陷檢測(cè)方法中，比較正品圖案和對(duì)象圖案，檢測(cè)在正品圖案和對(duì)象圖案中有差異的圖案作為缺陷圖案，并利用缺陷圖案的輪廓線特征，分類檢測(cè)缺陷圖案，能確切地分類檢測(cè)各種圖案缺陷，例如短路，斷線，殘留圖案，圖案脫離，突起、粗，缺口、細(xì)，等。
具體地說，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含4個(gè)以上接點(diǎn)的場(chǎng)合，分類檢測(cè)這種缺陷圖案作為“本來應(yīng)該離開的圖案而結(jié)合的缺陷”。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，
以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含4個(gè)以上接點(diǎn)的場(chǎng)合，分類檢測(cè)這種缺陷圖案作為“本來應(yīng)該結(jié)合的圖案而離開的缺陷”。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案1個(gè)接點(diǎn)也不包含的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案不應(yīng)該存在的區(qū)域內(nèi)，圖案孤立存在的缺陷”。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案1個(gè)接點(diǎn)也不包含的場(chǎng)合，分類檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案應(yīng)該存在的區(qū)域內(nèi)，圖案以外的區(qū)域孤立存在的缺陷”。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含2個(gè)接點(diǎn)的場(chǎng)合，分類檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案不存在的區(qū)域內(nèi)，圖案的一部分突出存在的缺陷”。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，
檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含2個(gè)接點(diǎn)的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案存在的區(qū)域內(nèi)，圖案以外的區(qū)域突出存在的缺陷”。
此外，前述的圖案缺陷檢測(cè)方法，能很好地適用于圖案是電路圖案的場(chǎng)合，和圖案是半導(dǎo)體圖案的場(chǎng)合。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)裝置，包括用前述各圖案缺陷檢測(cè)方法，檢測(cè)圖案缺陷的手段，執(zhí)行這些方法能得到相應(yīng)的效果。
此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢查修復(fù)裝置，包括用前述的圖案缺陷檢測(cè)方法，檢測(cè)圖案缺陷的手段，和修復(fù)檢測(cè)出的缺陷的修復(fù)手段，此外，本發(fā)明的圖案缺陷檢查修復(fù)方法，用前述的圖案缺陷檢測(cè)方法，檢測(cè)圖案缺陷，并修復(fù)檢測(cè)出的缺陷，因此，能分類檢測(cè)缺陷，并對(duì)應(yīng)于檢測(cè)出的缺陷，適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行修復(fù)。
圖1表示本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)的圖案缺陷檢測(cè)方法的流程圖。
圖2表示同一實(shí)施形態(tài)的短路缺陷檢測(cè)說明圖。
圖3表示同一實(shí)施形態(tài)的斷路缺陷檢測(cè)說明圖。
圖4表示同一實(shí)施形態(tài)的殘島缺陷檢測(cè)說明圖。
圖5表示同一實(shí)施形態(tài)的圖案脫離缺陷檢測(cè)說明圖。
圖6表示同一實(shí)施形態(tài)的突起、粗缺陷檢測(cè)說明圖。
圖7表示同一實(shí)施形態(tài)的缺口、細(xì)缺陷檢測(cè)說明圖。
圖8表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的正品圖像說明圖。
圖9表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的對(duì)象圖像說明圖。
圖10表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的比較圖像說明圖。
圖11表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的僅對(duì)象的輪廓線說明圖。
圖12表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的接點(diǎn)說明圖。
圖13表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的產(chǎn)生2個(gè)接點(diǎn)的場(chǎng)合的說明圖。
圖14表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的產(chǎn)生4個(gè)接點(diǎn)的場(chǎng)合的說明圖。
圖15表示同一實(shí)施形態(tài)的圖像處理的缺陷分類說明圖。
圖16表示作為以往例的圖案缺陷檢測(cè)方法的DRC法的說明圖。
圖17表示作為其它以往例的圖案缺陷檢測(cè)方法的比較法的說明圖。
圖18表示用以往的DRC法不能檢測(cè)的缺陷的說明圖。
圖19表示用以往的DRC法檢測(cè)的正品圖案的說明圖。
圖20表示以往比較法的問題的說明圖。
下面，參照?qǐng)D1～圖15對(duì)本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法的一實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說明。
實(shí)施形態(tài)如圖1所示，在本實(shí)施形態(tài)的圖案缺陷檢測(cè)中，借助于輸入對(duì)象圖案的工序，與預(yù)先登記的正品圖像進(jìn)行比較的工序，檢測(cè)在正品圖案和對(duì)象圖案的區(qū)域的任何一方的輪廓線上的并且與另一方區(qū)域不重疊的點(diǎn)，并檢測(cè)這種點(diǎn)不與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)連接的點(diǎn)，作為接點(diǎn)的工序，檢測(cè)兩區(qū)域相互不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案的工序，對(duì)包含在缺陷圖案中的接點(diǎn)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)并進(jìn)行檢測(cè)的工序，和基于接點(diǎn)數(shù)，分類檢測(cè)缺陷的工序，對(duì)圖案缺陷進(jìn)行分類檢測(cè)。下面，參照?qǐng)D2～圖7具體地進(jìn)行說明。
圖2示出了短路缺陷檢測(cè)的場(chǎng)合。在圖2中，(a)表示作為檢查的對(duì)象1的輸入圖像(B)，(b)表示預(yù)先登記的對(duì)應(yīng)的正品1的圖像(A)。(c)表示對(duì)(a)和(b)進(jìn)行比較，與檢測(cè)出的A不重疊的B的輪廓線1，(d)表示與A不重疊的B的輪廓線的端點(diǎn)1、即接點(diǎn)。(e)表示作為缺陷圖案檢測(cè)出的A與不重疊的B的區(qū)域和接點(diǎn)1，因在這種缺陷圖案中包含4點(diǎn)接點(diǎn)，所以缺陷檢測(cè)為“本來應(yīng)該離開的圖案而結(jié)合的缺陷”、例如短路。
圖3示出了斷線缺陷檢測(cè)的場(chǎng)合。在圖3中，(a)表示作為檢查的對(duì)象2的輸入圖像(A)，(b)表示預(yù)先登記的對(duì)應(yīng)的正品2的圖像(B)。(c)表示對(duì)(a)和(b)進(jìn)行比較，與檢測(cè)出的A不重疊的B的輪廓線2，(d)表示與A不重疊的B的輪廓線的端點(diǎn)2、即接點(diǎn)。(e)表示作為缺陷圖案檢測(cè)出的A與不重疊的B的區(qū)域和接點(diǎn)2，因在這種缺陷圖案中包含4點(diǎn)接點(diǎn)，所以缺陷檢測(cè)為“本來應(yīng)該結(jié)合的圖案而離開的缺陷”、例如斷路。
圖4示出了圖案殘島缺陷檢測(cè)的場(chǎng)合。在圖4中，(a)表示作為檢查的對(duì)象3的輸入圖像(B)，(b)表示預(yù)先登記的對(duì)應(yīng)的正品3的圖像(A)。(c)表示對(duì)(a)和(b)進(jìn)行比較，與檢測(cè)出的A不重疊的B的輪廓線3，(d)表示與A不重疊的B的輪廓線的端點(diǎn)3(不存在)、即接點(diǎn)。(e)表示作為缺陷圖案檢測(cè)出的A與不重疊的B的區(qū)域和接點(diǎn)3(不存在)，因在這種缺陷圖案中不包含接點(diǎn)，所以缺陷檢測(cè)為“在本來圖案不應(yīng)該存在的區(qū)域內(nèi)，圖案孤立存在的缺陷”、例如圖案殘島。
圖5示出了圖案脫離缺陷檢測(cè)的場(chǎng)合。在圖5中，(a)表示作為檢查的對(duì)象4的輸入圖像(A)，(b)表示預(yù)先登記的對(duì)應(yīng)的正品4的圖像(B)。(c)表示對(duì)(a)和(b)進(jìn)行比較，與檢測(cè)出的A不重疊的B的輪廓線4，(d)表示與A不重疊的B的輪廓線的端點(diǎn)4(不存在)、即接點(diǎn)。(e)表示作為缺陷圖案檢測(cè)出的A與不重疊的B的區(qū)域和接點(diǎn)4(不存在)，因在這種缺陷圖案中不包含接點(diǎn)，所以缺陷檢測(cè)為“在本來圖案應(yīng)該存在的區(qū)域內(nèi)，圖案以外的區(qū)域孤立存在的缺陷”、例如圖案脫離。
圖6表示突起、粗缺陷檢測(cè)的場(chǎng)合。在圖6中，(a)表示作為檢查的對(duì)象5的輸入圖像(B)，(b)表示預(yù)先登記的對(duì)應(yīng)的正品5的圖像(A)。(c)表示對(duì)(a)和(b)進(jìn)行比較，與檢測(cè)出的A不重疊的B的輪廓線5，(d)表示與A不重疊的B的輪廓線的端點(diǎn)5、即接點(diǎn)。(e)表示作為缺陷圖案檢測(cè)出的A與不重疊的B的區(qū)域和接點(diǎn)5，因在這種缺陷圖案中包含2個(gè)接點(diǎn)，所以缺陷檢測(cè)為“在本來圖案不存在的區(qū)域內(nèi)，圖案的一部分突出存在的缺陷”、例如突起、粗。
圖7表示缺口、細(xì)缺陷檢測(cè)的場(chǎng)合。在圖7中，(a)表示作為檢查的對(duì)象6的輸入圖像(A)，(b)表示預(yù)先登記的對(duì)應(yīng)的正品6的圖像(B)。(c)表示對(duì)(a)和(b)進(jìn)行比較，與檢測(cè)出的A不重疊的B的輪廓線6，(d)表示與A不重疊的B的輪廓線的端點(diǎn)6、即接點(diǎn)。(e)表示作為缺陷圖案檢測(cè)出的A與不重疊的B的區(qū)域和接點(diǎn)6，因在這種缺陷圖案中包含2個(gè)接點(diǎn)，所以缺陷檢測(cè)為“在本來圖案存在的區(qū)域內(nèi)，圖案以外的區(qū)域突出存在的缺陷”、例如缺口、細(xì)。
下面，對(duì)基于圖像處理，進(jìn)行前述的缺陷檢測(cè)方法的過程進(jìn)行說明。圖8示出了正品圖像，圖9示出了對(duì)象圖像，圖10示出了對(duì)2個(gè)圖像進(jìn)行比較的圖像。在這些圖中，用值0表示的象素是既不存在正品也不存在對(duì)象的象素，用值1表示的象素是僅正品存在的象素，用值2表示的象素是僅對(duì)象存在的象素，用值3表示的象素是正品和對(duì)象都存在的象素。
在圖11中用圓圍住的象素是僅對(duì)象存在的象素并且在周圍存在對(duì)象的象素，是對(duì)象與正品不重疊的區(qū)域的輪廓線，在圖12中用圓圍住的象素是因是在圖11中用圓圍住的象素并且不連接同樣的象素2點(diǎn)以上，所以是接點(diǎn)。
此外，在注目于象素的輪廓時(shí)，在圖13中用圓圍住的象素，用黑點(diǎn)表示的接點(diǎn)1點(diǎn)接著1點(diǎn)地存在2點(diǎn)，在圖14中用圓圍住的象素，用黑點(diǎn)表示的接點(diǎn)2點(diǎn)接著2點(diǎn)地存在4點(diǎn)。因此，因在圖15所示的區(qū)域S合計(jì)包含2個(gè)接點(diǎn)，所以在圖案檢查中分類為突起狀的缺陷，因區(qū)域T合計(jì)包含4個(gè)接點(diǎn)，所以在圖案檢查中分類為短路缺陷。
此外，在前述實(shí)施形態(tài)中，雖然以電路圖案、半導(dǎo)體圖案等為對(duì)象進(jìn)行了說明，但本發(fā)明方法也適用于文字、記號(hào)等的圖案檢查。
由前述的說明可見，采用本發(fā)明的圖案缺陷檢測(cè)方法，則因在預(yù)先登記正品圖案，對(duì)輸入的對(duì)象圖案和正品圖案進(jìn)行比較的圖案缺陷檢測(cè)方法中，比較正品圖案和對(duì)象圖案，檢測(cè)在正品圖案和對(duì)象圖案中有差異的圖案作為缺陷圖案，并利用缺陷圖案的輪廓線特征，分類檢測(cè)缺陷圖案，所以能確切地分類檢測(cè)各種圖案缺陷，例如短路，斷線，殘留圖案，圖案脫離，突起、粗，缺口、細(xì)，等。
權(quán)利要求
1.一種圖案缺陷檢測(cè)方法，預(yù)先登記正品圖案，并對(duì)輸入的對(duì)象圖案和正品圖案進(jìn)行比較，其特征在于，比較正品圖案和對(duì)象圖案，檢測(cè)在正品圖案和對(duì)象圖案中有差異的圖案作為缺陷圖案，并利用缺陷圖案的輪廓線特征，分類檢測(cè)缺陷圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含4個(gè)以上接點(diǎn)的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“本來應(yīng)該離開的圖案而結(jié)合的缺陷”。
3.如權(quán)利要求1所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含4個(gè)以上接點(diǎn)的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“本來應(yīng)該結(jié)合的圖案而離開的缺陷”。
4.如權(quán)利要求1所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案1個(gè)接點(diǎn)也不包含的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案不應(yīng)該存在的區(qū)域內(nèi)，圖案孤立存在的缺陷”。
5.如權(quán)利要求1所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案1個(gè)接點(diǎn)也不包含的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案應(yīng)該存在的區(qū)域內(nèi)，圖案以外的區(qū)域孤立存在的缺陷”。
6.如權(quán)利要求1所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含2個(gè)接點(diǎn)的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案不存在的區(qū)域內(nèi)，圖案的一部分突出存在的缺陷”。
7.如權(quán)利要求1所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，以正品圖案存在的區(qū)域?yàn)锽，以對(duì)象圖案存在的區(qū)域?yàn)锳，檢測(cè)在B輪廓線上并且與A不重疊的點(diǎn)，在這種點(diǎn)沒有與同樣的點(diǎn)2點(diǎn)以上連接的場(chǎng)合，作為接點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)在B上并且與A不重疊的一連續(xù)區(qū)域作為缺陷圖案，在缺陷圖案包含2個(gè)接點(diǎn)的場(chǎng)合，檢測(cè)這種缺陷圖案作為“在本來圖案存在的區(qū)域內(nèi)，圖案以外的區(qū)域突出存在的缺陷”。
8.如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，圖案是電路圖案。
9.如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，圖案是半導(dǎo)體圖案。
10.一種圖案缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，包括用如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，檢測(cè)圖案缺陷的手段。
11.一種圖案缺陷檢查修復(fù)裝置，其特征在于，包括用如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，檢測(cè)圖案缺陷的手段，和修復(fù)檢測(cè)出的缺陷的修復(fù)手段。
12.一種圖案缺陷檢查修復(fù)方法，其特征在于，包括用如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的圖案缺陷檢測(cè)方法，檢測(cè)圖案缺陷，并修復(fù)檢測(cè)出的缺陷。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種圖案缺陷檢測(cè)方法,是在這種預(yù)先登記正品圖案,并對(duì)輸入的對(duì)象圖案和正品圖案進(jìn)行比較的圖案缺陷檢測(cè)方法中,比較正品圖案和對(duì)象圖案,檢測(cè)在正品圖案和對(duì)象圖案中有差異的圖案作為缺陷圖案,并利用缺陷圖案的輪廓線特征,分類檢測(cè)缺陷圖案。本發(fā)明提供能對(duì)各種圖案缺陷進(jìn)行分類并能確切地進(jìn)行檢測(cè)的圖案缺陷檢測(cè)方法。
文檔編號(hào)G06K9/00GK1276577SQ0010879
公開日2000年12月13日 申請(qǐng)日期2000年6月2日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月2日
發(fā)明者脅谷康一, 湯川典昭 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社