用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法及電子流量控制器的制造方法
【專利摘要】一種用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法及電子流量控制器，該方法的步驟為：（1)計(jì)算一種氣體通過某種材料的電子流量控制器的沾滯系數(shù)n或沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積nR值；（2)重復(fù)上述步驟（1)得到所有氣體通過某種材料的電子流量控制器的沾滯系數(shù)n或者沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積nR值，并存儲(chǔ)成查詢列表；（3)在電子流量控制器正常工作時(shí)，先計(jì)算未知通入氣體的沾滯系數(shù)n或者沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積nR值，并將其與存儲(chǔ)的查詢列表比對(duì)，即可判斷出通入的氣體類型。該電子流量控制器依據(jù)上述方法實(shí)施。本發(fā)明具有原理簡單、操作簡便、易實(shí)現(xiàn)和推廣等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法及電子流量 控制器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明主要涉及到流量控制設(shè)備領(lǐng)域，特指一種用于電子流量控制器的載氣類型 自動(dòng)識(shí)別方法及具有自動(dòng)識(shí)別載氣類型的電子流量控制器。

【背景技術(shù)】
[0002] EPC全稱為Electronic Pressure Controller (電子壓力控制器），由于當(dāng)能保 證氣體壓力控制穩(wěn)定時(shí)，在氣路輸出口接一個(gè)氣阻部件，也就能實(shí)現(xiàn)流量的穩(wěn)定控制，所以 EPC的功能就是實(shí)現(xiàn)氣體壓力的穩(wěn)定控制，同時(shí)達(dá)到流量穩(wěn)定控制的目的。標(biāo)準(zhǔn)的EPC是由 電子壓力閥（比例控制閥)、壓力傳感器和訊號(hào)處理板構(gòu)成的反饋回路。當(dāng)壓力傳感器（或 流量傳感器）測(cè)得氣路實(shí)際壓力（或流量）與設(shè)定值不符時(shí)，向訊號(hào)處理板輸出電壓。訊號(hào) 處理板響應(yīng)出新電壓反饋給比例控制閥，由它調(diào)節(jié)閥孔開啟面積，改變后端壓力（或流量)。
[0003] 現(xiàn)有的EPC中，不支持氣體類型識(shí)別的，其軟件設(shè)置操作簡單，但由于其不區(qū)分不 同類別的氣體，造成其不同種類的氣體流量控制準(zhǔn)確性低；而通過軟件的方法進(jìn)行手動(dòng)設(shè) 置氣體類型的，相應(yīng)流量控制準(zhǔn)確，但操作繁瑣，操作人員需要事先自己知道所使用的載氣 類型，同時(shí)一般的操作人員都需要詳細(xì)閱讀說明書或參加培訓(xùn)后才能進(jìn)行。本提案用于實(shí) 現(xiàn)EPC載氣類型的自動(dòng)識(shí)別，使EPC的軟件設(shè)置操作簡單，同時(shí)也能保證不同種類載氣流量 的準(zhǔn)確控制，提聞儀表的智能化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問題就在于：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一 種原理簡單、操作簡便、易實(shí)現(xiàn)和推廣的用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法及 電子流量控制器。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案： 一種用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法，其步驟為： (1) 計(jì)算一種氣體通過某種材料的電子流量控制器的沾滯系數(shù)η或沾滯系數(shù)與氣阻 值R的乘積nR值； (2) 重復(fù)上述步驟（1)得到所有氣體通過某種材料的電子流量控制器的沾滯系數(shù)n或 者沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積n R值，并存儲(chǔ)成查詢列表； (3) 在電子流量控制器正常工作時(shí)，先計(jì)算未知通入氣體的沾滯系數(shù)η或者沾滯系數(shù) 與氣阻值R的乘積nR值，并將其與存儲(chǔ)的查詢列表比對(duì)，即可判斷出通入的氣體類型。
[0006] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)：所述步驟（1)和步驟（3)中利用下式解算出沾滯系數(shù) n ： Q=[ (P2-Pl)/nR]*(T/T0)*Pl/P0 式中：Q為流過電子流量控制器中比例閥的流量，由流量傳感器測(cè)出；P2為輸入口氣體 壓力，P1輸出口氣體壓力，分別由進(jìn)出口壓力傳感器測(cè)得；T為當(dāng)前氣體開爾文溫度，T0為 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的開爾文溫度，可由溫度傳感器測(cè)出；P0為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)氣壓。
[0007] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)：所述步驟（3)中，進(jìn)一步對(duì)檢測(cè)出來的流量Q利用下式 進(jìn)行修正：

【權(quán)利要求】
1. 一種用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法，其特征在于，步驟為： (1) 計(jì)算一種氣體通過某種材料的電子流量控制器的沾滯系數(shù)η或沾滯系數(shù)與氣阻 值R的乘積nR值； (2) 重復(fù)上述步驟（1)得到所有氣體通過某種材料的電子流量控制器的沾滯系數(shù)n或 者沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積nR值，并存儲(chǔ)成查詢列表； (3) 在電子流量控制器正常工作時(shí)，先計(jì)算未知通入氣體的沾滯系數(shù)n或者沾滯系數(shù) 與氣阻值R的乘積nR值，并將其與存儲(chǔ)的查詢列表比對(duì)，即可判斷出通入的氣體類型。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法，其特征在 于，所述步驟（1)和步驟（3)中利用下式解算出沾滯系數(shù) n : Q=[ (P2-Pl)/nR]*(T/T0)*Pl/P0 式中：Q為流過電子流量控制器中比例閥的流量，由流量傳感器測(cè)出；P2為輸入口氣體 壓力，P1輸出口氣體壓力，分別由進(jìn)出口壓力傳感器測(cè)得；T為當(dāng)前氣體開爾文溫度，TO為 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的開爾文溫度，可由溫度傳感器測(cè)出；P0為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)氣壓。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法，其特征在 于，所述步驟（3)中，進(jìn)一步對(duì)檢測(cè)出來的流量Q利用下式進(jìn)行修正：
式中：k為對(duì)應(yīng)氣體的流量修正系數(shù)4^和&分別為流量傳感器滿量程流量和滿量 程電壓，流量傳感器型號(hào)選定后這兩個(gè)量即為已知，.為流量傳感器當(dāng)前測(cè)量電壓； 將修正系數(shù)求出的沾滯系數(shù)η或沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積HR值分別與步驟（1)中 存儲(chǔ)的值進(jìn)行對(duì)比，求出比較中最接近的，即認(rèn)為是對(duì)應(yīng)的氣體配對(duì)，最終輸出對(duì)應(yīng)的氣體 類型。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電子流量控制器的載氣類型自動(dòng)識(shí)別方法，其特征在 于，在進(jìn)行修正時(shí)，氮?dú)?、氬氣、氦氣和氫氣四種類型氣體區(qū)分時(shí)的修正系數(shù)k為1、0. 5、 0. 7、0. 95〇
5. -種電子流量控制器，其特征在于，包括控制組件（1)、流量傳感器（2)、比例閥（3) 和溫度傳感器（6)，所述比例閥（3)的進(jìn)氣端設(shè)有進(jìn)氣端壓力傳感器（4)，所述比例閥（3)的 出氣端設(shè)有出氣端壓力傳感器（ 5)，所述控制組件（1)內(nèi)存儲(chǔ)有若干種氣體通過比例閥（3) 的沾滯系數(shù)η或者沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積HR值，所述控制組件（1)通過流量傳感器 (2)、溫度傳感器（ 6)、進(jìn)氣端壓力傳感器（4)和出氣端壓力傳感器（5)采集的信號(hào)計(jì)算當(dāng)前 輸入的未知類型的氣體沾滯系數(shù)n或者沾滯系數(shù)與氣阻值R的乘積nR值，與存儲(chǔ)的信息 進(jìn)行對(duì)比判斷氣體類型。
【文檔編號(hào)】G05D7/06GK104216425SQ201410431548
【公開日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月29日
【發(fā)明者】朱先德, 胡亞軍, 方偉, 胡娟 申請(qǐng)人:湖南三德科技股份有限公司