基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈及其制備方法，該微型線圈包括三層結(jié)構(gòu)，從里向外依次為毛細(xì)管內(nèi)層（10）、雙面膠中層（20）和雙面膠外層（30），在毛細(xì)管內(nèi)層（10）上開設(shè)有樣品腔（11），在雙面膠中層（20）上開設(shè)有螺線管微型線圈型腔（21），在雙面膠外層（30）上開設(shè)有第一焊盤型腔（31）和第二焊盤型腔（32）。本發(fā)明提供的鎵螺線管微型線圈，可以在不犧牲高場(chǎng)應(yīng)用和可準(zhǔn)確分辨與PDMS橫向弛豫時(shí)間相近樣品的前提下，能有效地解決現(xiàn)有螺線管微型線圈工藝復(fù)雜度高、制作成本高等問(wèn)題，可廣泛應(yīng)用于微流體核磁共振檢測(cè)領(lǐng)域。
【專利說(shuō)明】基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈及其制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種鎵螺線管微型線圈，特別涉及一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈及其制作方法。

【背景技術(shù)】
[0002]自從 Purcell 等(Resonance Absorpt1n by Nuclear Magnetic Moments in aSolid.Physical Review, 1946.69(1-2): p.37.)用吸收法和 Bloch 等(The NuclearInduct1n Experiment.Physical Review, 1946.70(7-8): p.474.)用感應(yīng)法各自獨(dú)立發(fā)現(xiàn)核磁共振(nuclear magnetic resonance, NMR)現(xiàn)象以來(lái),關(guān)于NMR技術(shù)的研究就不斷涌現(xiàn)。NMR技術(shù)具有兩個(gè)明顯的特征:其一，具備無(wú)損檢測(cè)的優(yōu)勢(shì)；其二，存在檢測(cè)靈敏度低的劣勢(shì)。為了彌補(bǔ)劣勢(shì)，一部分學(xué)者把研究方向投入到超導(dǎo)磁體、低溫探頭和極化轉(zhuǎn)移等技術(shù)之中，另一部分學(xué)者把研究注意力轉(zhuǎn)向微型線圈研制之中，其中，Peck等(Designand analysis of microcoils for NMR microscopy.Journal of Magnetic ResonanceSeries B, 1995.108(2): p.114-124.)通過(guò)手工纏繞制作圓形橫截面的螺線管微型線圈，研究得出縮小線圈的直徑可以提高檢測(cè)靈敏度，但是手工制作方法不利于微型線圈批量生產(chǎn)，也不易于精確制作指定幾何參數(shù)的微型線圈。不同于手工纏繞法制作微型線圈，Rogers 等(Using microcontact printing to fabricate microcoils on capillariesfor high resolut1n proton nuclear magnetic resonance on nanoliter volumes.Applied Physics Letters, 1997.70(18): p.2464-2466.)在毛細(xì)玻璃管上釆用微接觸印刷技術(shù)和電鍍工藝生成螺線管微型線圈，雖然制作方法略優(yōu)于手工制作，但是制作工藝難度大。Ehrmann 等(Microfabricated solenoids and Helmholtz coils for NMRspectroscopy of mammalian cells.Lab on a Chip, 2007.7(3): p.373-380.)基于微機(jī)電系統(tǒng)(micro electro mechanical system, MEMS)技術(shù)，米用光刻和電鍍工藝，制作出MEMS螺線管微型線圈，然而制作工作中也存在工藝難度大，不易制作復(fù)現(xiàn)等問(wèn)題。與此同時(shí)，Sillerud 等(1H NMR Detect1n of superparamagnetic nanoparticles at IT using a microcoil and novel tuning circuit.Journal of Magnetic Resonance,2006.181 (2): p.181-190.)釆用聚焦離子束(focused 1n beam, FIB)技術(shù)，在內(nèi)徑400 μ m、外徑550 μ m的石英管上制作螺線管微型線圈，然而FIB制作成本太高。雖然Lam等(Sub-nanoliter nuclear magnetic resonance coils fabricated with multilayersoft lithography.Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009.19 (9).095001 (6pp))改進(jìn)線圈制作方法，降低了工藝復(fù)雜度和制作成本，但是周圍環(huán)繞著聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)的鎵螺線管微型線圈很難準(zhǔn)確分辨出與PDMS橫向弛豫時(shí)間相近的樣品。另外，雖然中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)枮?01310659209.4的基于印刷電路板(printed circuit board, PCB)技術(shù)的螺線管微型線圈也降低了工藝復(fù)雜度和制作成本，但是由于FR4襯底的影響限制了線圈在高場(chǎng)上的應(yīng)用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供了一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，本發(fā)明另一個(gè)目的是提供該基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈的制作方法。本發(fā)明提供的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈的制作方法，可以在不犧牲高場(chǎng)應(yīng)用或可準(zhǔn)確分辨與PDMS橫向弛豫時(shí)間相近樣品的前提下，有效地解決現(xiàn)有螺線管微型線圈工藝復(fù)雜度高、制作成本高等問(wèn)題。
[0004]技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為:
一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，該線圈包括三層結(jié)構(gòu)，從里向外依次為毛細(xì)管內(nèi)層、雙面膠中層和雙面膠外層，在毛細(xì)管內(nèi)層設(shè)有樣品腔，在雙面膠中層設(shè)有螺線管微型線圈型腔，在雙面膠外層設(shè)有第一焊盤型腔和第二焊盤型腔。
[0005]作為優(yōu)選方案，所述的毛細(xì)管內(nèi)層、雙面膠中層和雙面膠外層三者同軸且均為中空的圓柱體，另外，在裝配組合時(shí)，毛細(xì)管內(nèi)層的外表面貼著雙面膠中層的內(nèi)表面，雙面膠中層的外表面貼著雙面膠外層的內(nèi)表面。
[0006]作為優(yōu)選方案，所述的螺線管微型線圈型腔的左端、右端分別對(duì)應(yīng)與第一焊盤型腔、第二焊盤型腔相連，螺線管微型線圈型腔的其它部分則完全由雙面膠外層包裹覆蓋。
[0007]作為優(yōu)選方案，所述的毛細(xì)管內(nèi)層的材料為玻璃，可避免PCB螺線管微型線圈不能應(yīng)用于高場(chǎng)的局限。
[0008]作為優(yōu)選方案，所述的雙面膠中層和雙面膠外層的材料均為基于聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或基于無(wú)紡布的且兩面粘有膠水的膠帶，可避免周圍環(huán)繞PDMS的鎵螺線管微型線圈不能準(zhǔn)確分辨與PDMS橫向弛豫時(shí)間相近樣品的局限。
[0009]作為優(yōu)選方案，所述的螺線管微型線圈型腔、第一焊盤型腔和第二焊盤型腔均填充液態(tài)金屬鎵。
[0010]作為優(yōu)選方案，所述的螺線管微型線圈型腔全部搭在毛細(xì)管內(nèi)層的外表面上。
[0011]作為優(yōu)選方案，所述的雙面膠中層的厚度依螺線管微型線圈型腔的深度而定。
[0012]作為優(yōu)選方案，所述的雙面膠外層的厚度依第一焊盤型腔或第二焊盤型腔的深度而定。
[0013]作為優(yōu)選方案，所述的毛細(xì)管內(nèi)層的樣品腔主要用于放置被測(cè)液態(tài)樣品，部分用于放置小于毛細(xì)管內(nèi)徑尺寸的固態(tài)樣品。
[0014]本發(fā)明所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈的制作方法，其包括以下步驟:
首先選擇指定尺寸的毛細(xì)管，并對(duì)毛細(xì)管內(nèi)層的內(nèi)表面和外表面進(jìn)行清潔處理，再將毛細(xì)管內(nèi)層安裝至旋轉(zhuǎn)臺(tái)上并固定；
然后，將雙面膠粘合包裹毛細(xì)管內(nèi)層外表面，形成雙面膠中層，再將已粘合毛細(xì)管內(nèi)層的雙面膠中層移入至激光切割機(jī)中，接著將激光束對(duì)準(zhǔn)照射包含雙面膠中層中軸線的豎直面；
然后，一邊勻速轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，一邊從左到右或從右到左勻速移動(dòng)激光束，形成螺線管微型線圈型腔后，同時(shí)停止旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)和激光束照射，其中，旋轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度、激光束的移動(dòng)速度、激光束照射時(shí)間、激光器功率和氣體壓力環(huán)境參數(shù)依螺線管微型線圈型腔線寬、深度、匝數(shù)、匝間間距、直徑和雙面膠中層的材質(zhì)而定；
然后，標(biāo)定螺線管微型線圈型腔左右端位置，將已粘合毛細(xì)管內(nèi)層的雙面膠中層從激光切割機(jī)中移出，再將雙面膠粘合包裹雙面膠中層外表面，密封螺線管微型線圈型腔，并形成雙面膠外層；
然后，將已粘合雙面膠中層的雙面膠外層移入至激光切割機(jī)中，并將激光束照射已標(biāo)定的螺線管微型線圈型腔的左端和右端，分別形成第一焊盤型腔和第二焊盤型腔，其中，激光束的移動(dòng)速度、激光束照射時(shí)間、激光器功率和氣體壓力環(huán)境參數(shù)分別依第一焊盤型腔和第二焊盤型腔的長(zhǎng)、寬、深和雙面膠外層的材質(zhì)而定；
最后，在大于或等于鎵熔點(diǎn)的溫度環(huán)境下，對(duì)第一焊盤型腔、螺線管微型線圈型腔和第二焊盤型腔先進(jìn)行液態(tài)金屬鎵澆鑄處理，再在低于鎵熔點(diǎn)的溫度環(huán)境下進(jìn)行冷卻處理，制得基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈。
[0015]有益效果:本發(fā)明提供的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈及其制備方法和現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn):
一方面，現(xiàn)有手工纏繞法、微接觸印刷技術(shù)、MEMS技術(shù)和FIB技術(shù)制作的螺線管微型線圈存在工藝難度大、成本高等不足；另一方面，現(xiàn)有的鎵螺線管微型線圈和PCB螺線管微型線圈，雖然工藝簡(jiǎn)單和成本低，但是各自對(duì)應(yīng)存在犧牲檢測(cè)分辨準(zhǔn)確度和限制高場(chǎng)應(yīng)用等局限；
本發(fā)明根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供的一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈及其制作方法，該方法可以在不犧牲高場(chǎng)應(yīng)用或可準(zhǔn)確分辨與PDMS橫向弛豫時(shí)間相近樣品的前提下，可有效地解決現(xiàn)有螺線管微型線圈工藝復(fù)雜度高、制作成本高等問(wèn)題，能夠制備得到鎵螺線管微型線圈可應(yīng)用于NMR高場(chǎng)中，能夠分辨出與PDMS橫向弛豫時(shí)間相近的樣品。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本發(fā)明所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈三層結(jié)構(gòu)的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作更進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0018]實(shí)施例1
如圖1所示，一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，該微型線圈包括三層結(jié)構(gòu)，從里向外依次為毛細(xì)管內(nèi)層(10)、雙面膠中層(20)和雙面膠外層
(30)，在毛細(xì)管內(nèi)層(10)上開設(shè)有樣品腔(11)，在雙面膠中層(20)上開設(shè)有螺線管微型線圈型腔(21)，在雙面膠外層(30)上開設(shè)有第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)。
[0019]以上所述的毛細(xì)管內(nèi)層(10)、雙面膠中層(20)和雙面膠外層(30)三者同軸且均為中空的圓柱體，且在裝配組合時(shí)，毛細(xì)管內(nèi)層(10)的外表面貼著雙面膠中層(20)的內(nèi)表面，雙面膠中層(20)的外表面貼著雙面膠外層(30)的內(nèi)表面。
[0020]以上所述的螺線管微型線圈型腔(21)的左右端分別對(duì)應(yīng)連接第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)，螺線管微型線圈型腔(21)剩下的其它部分被雙面膠外層(30)包裹覆蓋。
[0021]以上所述的毛細(xì)管內(nèi)層(10)的材料為玻璃，雙面膠中層(20)和雙面膠外層(30)的材料為基于聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或基于無(wú)紡布的且兩面粘有膠水的膠帶，螺線管微型線圈型腔(21)、第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)填充材料均為液態(tài)金屬鎵。
[0022]以上所述的螺線管微型線圈型腔(21)全部搭在毛細(xì)管內(nèi)層(10)的外表面上。
[0023]以上所述的雙面膠中層(20)的厚度依螺線管微型線圈型腔(21)的深度而定。
[0024]以上所述的雙面膠外層(30 )的厚度依第一焊盤型腔(31)或第二焊盤型腔(32 )的深度而定。
[0025]以上所述的毛細(xì)管內(nèi)層(10)的樣品腔(11)主要用于放置被測(cè)液態(tài)樣品，部分用于放置小于毛細(xì)管內(nèi)徑尺寸的固態(tài)樣品。
[0026]實(shí)施例2
一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈的制造方法，其包括以下步驟:
首先選擇指定尺寸的毛細(xì)管，并對(duì)毛細(xì)管內(nèi)層(10)的內(nèi)外表面進(jìn)行清潔處理，再將毛細(xì)管內(nèi)層安裝至旋轉(zhuǎn)臺(tái)上并固定；
然后，將雙面膠粘合包裹毛細(xì)管內(nèi)層(10)外表面，形成雙面膠中層(20)，然后移入至激光切割機(jī)中，接著將激光束對(duì)準(zhǔn)照射包含雙面膠中層(20)中軸線的豎直面；
然后，一邊勻速轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，一邊從左到右或從右到左勻速移動(dòng)激光束，形成螺線管微型線圈型腔(21)后，同時(shí)停止旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)和激光束照射，其中，旋轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度、激光束的移動(dòng)速度、激光束照射時(shí)間、激光器功率和氣體壓力環(huán)境參數(shù)依螺線管微型線圈型腔
(21)線寬、深度、匝數(shù)、匝間間距、直徑和雙面膠中層(20)的材質(zhì)而定；
然后，標(biāo)定螺線管微型線圈型腔(21)兩端的位置，將已粘合毛細(xì)管內(nèi)層(10)的雙面膠中層(20)從激光切割機(jī)中移出，再將雙面膠粘合包裹雙面膠中層(20)外表面，密封螺線管微型線圈型腔(21)，形成雙面膠外層(30 )后移入至激光切割機(jī)中；
然后，將激光束照射已標(biāo)定的螺線管微型線圈型腔(21)的左右端，分別對(duì)應(yīng)形成第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)，其中，激光束的移動(dòng)速度、激光束照射時(shí)間、激光器功率和氣體壓力環(huán)境參數(shù)分別依第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)的長(zhǎng)、寬、深和雙面膠外層(30)的材質(zhì)而定；
最后，在大于或等于鎵熔點(diǎn)的溫度環(huán)境下，對(duì)第一焊盤型腔(31)、螺線管微型線圈型腔
(21)和第二焊盤型腔(32)先進(jìn)行液態(tài)金屬鎵澆鑄處理，再在低于鎵熔點(diǎn)的溫度環(huán)境下進(jìn)行冷卻處理，制得基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈。
[0027]實(shí)施例3
基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈實(shí)際微流體核磁共振檢測(cè)應(yīng)用時(shí)，首先，在樣品腔(11)左右兩端分別插入進(jìn)出管，接著，在兩端接頭處密封，再將液態(tài)樣品注入樣品腔(11)中；
然后，將調(diào)諧匹配電路中的信號(hào)導(dǎo)線和地導(dǎo)線分別插入含液態(tài)金屬鎵未冷卻的第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)中，待液態(tài)金屬鎵冷卻后，通過(guò)無(wú)磁性同軸電纜線連接至網(wǎng)絡(luò)分析儀中，并用無(wú)磁性平口螺絲刀調(diào)節(jié)無(wú)磁性可變調(diào)諧電容和無(wú)磁性可變匹配電容，將基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈調(diào)諧匹配至50 Ω ；
然后，將調(diào)諧匹配電路連同基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈一起從網(wǎng)絡(luò)分析儀中移出，并一起移入連接核磁共振系統(tǒng)中的控制部分；
然后，將基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈固定在磁體磁場(chǎng)最均勻的中心位置，并將含液態(tài)樣品的樣品腔(11)水平放置；
最后，在含操作軟件的計(jì)算機(jī)上設(shè)置工作參數(shù)，發(fā)射射頻激勵(lì)信號(hào)并接收核磁共振作用后的感應(yīng)信號(hào)，通過(guò)計(jì)算機(jī)處理后就得到直觀的核磁共振時(shí)域信號(hào)或核磁共振頻域信號(hào)。
[0028]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，其特征在于:該微型線圈包括三層結(jié)構(gòu)，從里向外依次為毛細(xì)管內(nèi)層(10)、雙面膠中層(20)和雙面膠外層(30)，在毛細(xì)管內(nèi)層(10)上開設(shè)有樣品腔(11)，在雙面膠中層(20)上開設(shè)有螺線管微型線圈型腔(21)，在雙面膠外層(30)上開設(shè)有第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，其特征在于:毛細(xì)管內(nèi)層(10)、雙面膠中層(20)和雙面膠外層(30)三者同軸且均為中空的圓柱體，毛細(xì)管內(nèi)層(10)的外表面貼著雙面膠中層(20)的內(nèi)表面，雙面膠中層(20)的外表面貼著雙面膠外層(30)的內(nèi)表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，其特征在于:第一焊盤型腔(31)與螺線管微型線圈型腔(21)的左端相連，第二焊盤型腔(32)與螺線管微型線圈型腔(21)的右端相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，其特征在于:毛細(xì)管內(nèi)層(10)的材料為玻璃，雙面膠中層(20)和雙面膠外層(30)的材料為基于聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或基于無(wú)紡布的且兩面粘有膠水的膠帶。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，其特征在于:螺線管微型線圈型腔(21)、第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)內(nèi)均填充有液態(tài)金屬鎵。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈，其特征在于:螺線管微型線圈型腔(21)的兩端分別由第一焊盤型腔(31)和第二焊盤型腔(32)相連，螺線管微型線圈型腔(21)的其它部分由雙面膠外層(30)包裹覆蓋。
7.權(quán)利要求1至6任意一項(xiàng)所述的基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: a、首先對(duì)毛細(xì)管內(nèi)層(10)的內(nèi)外表面進(jìn)行清潔處理，再將毛細(xì)管內(nèi)層(10)安裝在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上、固定； b、將雙面膠粘合包裹毛細(xì)管內(nèi)層(10)外表面，形成雙面膠中層(20)，再將已粘合毛細(xì)管內(nèi)層(10)的雙面膠中層(20)移入到激光切割機(jī)中，將激光束對(duì)準(zhǔn)照射包含雙面膠中層(20)中軸線的豎直面；一邊勻速轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，一邊從左到右或從右到左勻速移動(dòng)激光束，形成螺線管微型線圈型腔(21)后，同時(shí)停止旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)和停止激光束照射； C、標(biāo)定螺線管微型線圈型腔(21)兩端的位置，將已粘合毛細(xì)管內(nèi)層(10)的雙面膠中層(20)從激光切割機(jī)中移出，再將雙面膠粘合包裹雙面膠中層(20)外表面，密封螺線管微型線圈型腔(21)，并形成雙面膠外層(30)； d、然后移入至激光切割機(jī)中，將激光束照射已標(biāo)定的螺線管微型線圈型腔(21)的左端，形成第一焊盤型腔(31)，將激光束照射已標(biāo)定的螺線管微型線圈型腔(21)的右端，形成第二焊盤型腔(32); e、在大于或等于鎵熔點(diǎn)的溫度環(huán)境下，對(duì)第一焊盤型腔(31)、螺線管微型線圈型腔(21)和第二焊盤型腔(32)先進(jìn)行液態(tài)金屬鎵澆鑄處理，再在低于鎵熔點(diǎn)的溫度環(huán)境下進(jìn)行冷卻處理，制得基于毛細(xì)管與雙面膠粘合的圓形橫截面的鎵螺線管微型線圈。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK104199392SQ201410361495
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年7月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月28日
【發(fā)明者】張春偉, 周海, 劉必榮, 曾勇 申請(qǐng)人:鹽城工學(xué)院