專利名稱：保護(hù)氣體自動控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
保護(hù)氣體自動控制裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體器件測試領(lǐng)域，特別是涉及一種保護(hù)氣體自動控制裝置。背景技術(shù)：
在集成電路圓片測試(Wafer Chip Prober,簡稱CP)過程中,某些特殊的產(chǎn)品對測試環(huán)境有要求，需要用氮氣保護(hù)。傳統(tǒng)的做法是將氮氣通過調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)后，通過蛇形管引至測試針卡(Prober Card)上方接近探針的位置，再通過噴嘴噴出，使被測產(chǎn)品處于氮氣氛圍之下。圖I是一種傳統(tǒng)的氮氣控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。但是這種傳統(tǒng)的方案，氮氣一直處于開通的狀態(tài)，在測試換片過程中及測試暫停時，就會造成氮氣浪費。·

實用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種能夠減少保護(hù)氣體的浪費的保護(hù)氣體自動控制裝置。一種保護(hù)氣體自動控制裝置，包括通過氣管順序連接形成氣路的電磁閥、調(diào)節(jié)閥以及噴嘴，還包括電連接所述電磁閥的控制模塊；所述控制模塊用于電連接探針臺以檢測探針臺的工作狀態(tài)，根據(jù)所述工作狀態(tài)控制電磁閥的打開與關(guān)閉。優(yōu)選的,還包括設(shè)于所述氣路上的流量計。優(yōu)選的，所述流量計設(shè)于所述調(diào)節(jié)閥與噴嘴之間。優(yōu)選的，所述流量計與噴嘴之間的一段氣管為蛇形管。優(yōu)選的，所述控制模塊電連接所述流量計和調(diào)節(jié)閥，所述控制模塊獲取流量計采集到的實時流量信息，并根據(jù)所述實時流量信息對調(diào)節(jié)閥進(jìn)行控制，調(diào)節(jié)氣體流量。優(yōu)選的，所述控制模塊包括嵌入式控制器、狀態(tài)傳感器以及流量傳感器；所述狀態(tài)傳感器連接所述嵌入式控制器，用于將所述工作狀態(tài)轉(zhuǎn)化為嵌入式控制器能夠識別的信號；所述流量傳感器連接所述嵌入式控制器，用于將所述實時流量信息轉(zhuǎn)化為嵌入式控制器能夠識別的信號。優(yōu)選的，所述控制模塊包括顯示裝置。上述氣體自動控制裝置，控制模塊根據(jù)探針臺的工作狀態(tài)，自動控制電磁閥的打開與關(guān)閉。即只在探針臺處于測試狀態(tài)時開通保護(hù)氣體，避免了保護(hù)氣體的浪費，能夠降低生產(chǎn)成本、節(jié)能環(huán)保。

圖I是一種傳統(tǒng)的氮氣控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是一實施例中保護(hù)氣體自動控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是另一實施例中保護(hù)氣體自動控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是一實施例中控制模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。圖2是一實施例中保護(hù)氣體自動控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，保護(hù)氣體自動控制裝置100包括通過氣管順序連接形成氣路的 電磁閥110、調(diào)節(jié)閥120、噴嘴130，以及電連接電磁閥110的控制模塊140?？刂颇K140用于電連接探針臺200以檢測探針臺200的工作狀態(tài)，根據(jù)工作狀態(tài)控制電磁閥120的打開與關(guān)閉。保護(hù)氣體自動控制裝置100工作時，保護(hù)氣體(在優(yōu)選的實施例中為氮氣)通過供氣口通入，經(jīng)由氣管先后流經(jīng)電磁閥110、調(diào)節(jié)閥120、噴嘴130，最后由噴嘴130噴向被測產(chǎn)品，為被測產(chǎn)品提供保護(hù)氣體氛圍。控制模塊140在探針臺200處于待機或故障時，自動關(guān)閉電磁閥110，停止保護(hù)氣體的供給。即只在探針臺200處于測試狀態(tài)時開通保護(hù)氣體，避免了保護(hù)氣體的浪費，能夠降低生產(chǎn)成本、節(jié)能環(huán)保。在優(yōu)選的實施例中,還可以在氣路上安裝一個流量計150,如圖3所示。流量計150可以設(shè)于調(diào)節(jié)閥120與噴嘴130之間，即通過氣管連接調(diào)節(jié)閥120與噴嘴130。在優(yōu)選的實施例中，流量計150與噴嘴130之間的一段氣管采用蛇形管。在其它實施例中，流量計150也可以設(shè)于電磁閥110與調(diào)節(jié)閥120之間。通過設(shè)置流量計150，就可以實時掌握氣路中保護(hù)氣體的流量，以便對流量進(jìn)行精確的控制，既保證被測產(chǎn)品能獲得足夠濃度的保護(hù)氣體氛圍，又不至于造成氣體浪費。在圖3所示實施例中，控制模塊140電連接流量計150和調(diào)節(jié)閥120，控制模塊140獲取流量計150采集到的實時流量信息，并根據(jù)實時流量信息對調(diào)節(jié)閥120進(jìn)行控制，調(diào)節(jié)氣路中保護(hù)氣體的氣體流量。在保護(hù)氣體的實時流量大于預(yù)設(shè)的流量上限閾值時關(guān)小調(diào)節(jié)閥120，在保護(hù)氣體的實時流量小于預(yù)設(shè)的流量下限閾值時開大調(diào)節(jié)閥120，實現(xiàn)對氣路中保護(hù)氣體流量的自動檢測和控制。圖4是一實施例中控制模塊140的結(jié)構(gòu)示意圖，控制模塊140包括嵌入式控制器142、狀態(tài)傳感器144以及流量傳感器146。由于嵌入式控制器142可能無法直接識別探針臺200的工作狀態(tài)信號和流量計150的實時流量信息，故設(shè)置連接嵌入式控制器142的狀態(tài)傳感器144，用于將工作狀態(tài)轉(zhuǎn)化為嵌入式控制器142能夠識別的信號；流量傳感器146連接嵌入式控制器142，用于將實時流量信息轉(zhuǎn)化為嵌入式控制器142能夠識別的信號?？刂颇K140還包括用于給控制模塊140提供工作電源的電源供應(yīng)模塊149。在圖4所示的實施例中，控制模塊140還包括連接嵌入式控制器142的顯示裝置148，可以用于顯示當(dāng)前氣路中保護(hù)氣體的氣體流量，流量上、下限閾值，電磁閥狀態(tài)等信肩、O以上所述實施例僅表達(dá)了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。因此，本實用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種保護(hù)氣體自動控制裝置，包括通過氣管順序連接形成氣路的電磁閥、調(diào)節(jié)閥以及噴嘴，其特征在于，還包括電連接所述電磁閥的控制模塊； 所述控制模塊用于電連接探針臺以檢測探針臺的工作狀態(tài)，根據(jù)所述工作狀態(tài)控制電磁閥的打開與關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的保護(hù)氣體自動控制裝置，其特征在于，還包括設(shè)于所述氣路上的流量計。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的保護(hù)氣體自動控制裝置，其特征在于，所述流量計設(shè)于所述調(diào)節(jié)閥與噴嘴之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的保護(hù)氣體自動控制裝置，其特征在于，所述流量計與噴嘴之間的一段氣管為蛇形管。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的保護(hù)氣體自動控制裝置，其特征在于，所述控制模塊電連接所述流量計和調(diào)節(jié)閥，所述控制模塊獲取流量計采集到的實時流量信息，并根據(jù)所述實時流量信息對調(diào)節(jié)閥進(jìn)行控制，調(diào)節(jié)氣體流量。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的保護(hù)氣體自動控制裝置，其特征在于，所述控制模塊包括嵌入式控制器、狀態(tài)傳感器以及流量傳感器；所述狀態(tài)傳感器連接所述嵌入式控制器，用于將所述工作狀態(tài)轉(zhuǎn)化為嵌入式控制器能夠識別的信號；所述流量傳感器連接所述嵌入式控制器，用于將所述實時流量信息轉(zhuǎn)化為嵌入式控制器能夠識別的信號。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項所述的保護(hù)氣體自動控制裝置，其特征在于，所述控制模塊包括顯示裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種保護(hù)氣體自動控制裝置，包括通過氣管順序連接形成氣路的電磁閥、調(diào)節(jié)閥以及噴嘴，還包括電連接所述電磁閥的控制模塊；所述控制模塊用于電連接探針臺以檢測探針臺的工作狀態(tài)，根據(jù)所述工作狀態(tài)控制電磁閥的打開與關(guān)閉。本實用新型的控制模塊在探針臺處于待機或故障時，自動關(guān)閉電磁閥，停止保護(hù)氣體的供給。即只在探針臺處于測試狀態(tài)時開通保護(hù)氣體，避免了保護(hù)氣體的浪費，能夠降低生產(chǎn)成本、節(jié)能環(huán)保。
文檔編號G05D7/06GK202494934SQ20122004045
公開日2012年10月17日 申請日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者顧漢玉 申請人:華潤賽美科微電子(深圳)有限公司