專利名稱：流體機構(gòu)、支承部件及流體控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測量及控制在例如半導體制造工序中使用的材料氣體等的流量的流體機構(gòu)、以及構(gòu)成該流體機構(gòu)的支承部件及供氣系統(tǒng)等中的流體控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
如專利文獻I所示，以往作為流體設備單元的例如質(zhì)量流量控制器，具有作為流體設備的流量傳感器和流量控制閥，通過另外設置的或以一體的方式設置的信息處理電路，將流體的流量控制為設定值。此外，近來為了縮小占有面積等，要求使包括所述質(zhì)量流量控制器的流體機構(gòu)變細。因此，本發(fā)明人例如開發(fā)了從俯視方向看作為與長邊方向垂直的寬度方向尺寸非常小的質(zhì)量流量控制器。該質(zhì)量流量控制器在用于導入流體的輸入口和用于導出流體的輸出口之間設置有一個或多個流體設備，并把從俯視方向看連接所述輸入口和所述輸出口的方向設定為長邊方向。按照所述的結(jié)構(gòu)，即使在設置有并排的多個流體路徑的情況下，通過例如將多個質(zhì)量流量控制器以使它們的長邊方向相互平行的方式進行配置，并且配置成使所述多個質(zhì)量流量控制器的側(cè)面之間相鄰，也可以構(gòu)成非常緊湊的流量控制機構(gòu)?？墒牵谶@樣的流量控制機構(gòu)中，有時要與各質(zhì)量流量控制器對應地附加開關(guān)閥等輔助的外部流體設備，所述開關(guān)閥在完全關(guān)閉流路時或異常情況下的停止時等情況下使用。所述的外部流體設備通常在沿著質(zhì)量流量控制器的長邊方向的前后配置。此外，以往在半導體制造工序中，把各種基本氣體以規(guī)定的比例混合，生成材料氣體，并把該材料氣體向室內(nèi)提供。因此，例如可以使用專利文獻2、3所示的供氣裝置。此外，近來因晶片直徑變大，有時從設在同一室的多個部位的氣體流入口提供材料氣體，因此還開發(fā)了具有把混合后的材料氣體以任意的流量比分流成多個支流的分配器。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻1:日本專利公開公報特開2011 — 154433號專利文獻2:日本專利公開公報特開2010 - 204899號專利文獻3:W02008/023711 號可是，在從俯視方向觀察時的所述外部流體設備的配置尺寸比所述質(zhì)量流量控制器的寬度尺寸大的情況下，如果在沿著質(zhì)量流量控制器的長邊方向的前后以對準中心線的方式配置外部流體設備，則如圖10所示，不得不以使質(zhì)量流量控制器之間分開的方式來進行配置，不僅會產(chǎn)生無效的空間，原來的使質(zhì)量流量控制器變細的意義也會消失。此外，如圖11所示，如果使外部流體設備的中心線和質(zhì)量流量控制器的中心線偏離，則雖然可以使質(zhì)量流量控制器之間相鄰，但是各流路的長度變得不同，從響應偏差等的觀點來看是不理想的。此外，由于外部流體設備配置在質(zhì)量流量控制器長邊方向的前后，所以在要縮小長邊方向尺寸的情況下存在極限。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于所述的問題，本發(fā)明所要解決的主要問題是將多個流體設備單元和與該多個流體設備單元以成套的方式安裝的外部流體設備有效地配置成很緊湊，并且能夠以緊湊且簡單的結(jié)構(gòu)按規(guī)定比例對流體的流量進行分流，而且可以實現(xiàn)使與各個流體設備單元對應的流體流路的長度盡可能地相等，從而在提供流體等時不容易廣生響應偏差等。此外，對于分配器而言，由于在分配的各個流路中設置有流體阻力元件，所以如果分配數(shù)量增加，則會產(chǎn)生體積增大的問題。此外，分配器雖然可以控制材料氣體通向各個氣體流入口的流量比，但是不能控制各個濃度。為了控制各個濃度，雖然只要相互獨立地設置向各個氣體導入口提供材料氣體的材料氣體供給系統(tǒng)即可，但是如果采用這樣的結(jié)構(gòu)，則會導致規(guī)模和費用增大，是不現(xiàn)實的。鑒于所述的問題，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在保持緊湊性和簡單性的同時，進行流體的混
入
口 οS卩，本發(fā)明提供一種流體機構(gòu)，其包括:流體設備單元，在流體流入的輸入口和流體流出的輸出口之間設置有一個或多個流體設備，把從俯視方向看的連接所述輸入口和所述輸出口的方向設定為長邊方向；以及支承部件，支承多個所述流體設備單元，并將多個所述流體設備單元支承成以使多個所述流體設備單元的長邊方向大體相互平行的方式使多個所述流體設備單元相鄰，所述支承部件包括:流入流路，與所述輸入口連接，把流體導入所述輸入口 ；以及流出流路，與所述輸出口連接，把流體從所述輸出口導出，形成于所述流入流路的始端的導入口，在從俯視方向看作為與所述長邊方向垂直的方向的寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的一個所述流體設備單元的外側(cè)，形成于所述流出流路的終端的導出口，在所述寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的另一個所述流體設備單元的外側(cè)。按照所述的流體機構(gòu)，導出口和導入口不是設置在側(cè)面之間相鄰貼緊配置的多個流體設備單元的長邊方向的前后，而是設置在多個流體設備單元的側(cè)方，所以即使與所述導出口和導入口連接的外部流體設備的尺寸比流體設備單元的寬度尺寸大，也不會產(chǎn)生無效的空間，可以實現(xiàn)能使占有面積成為最小的、面積利用率高的緊湊的結(jié)構(gòu)。此外，也可以把長邊方向尺寸抑制成僅是流體設備單元的長邊方向尺寸。此外，在所述流體機構(gòu)中，優(yōu)選的是，所述流體設備單元配置成各個所述輸入口和各個所述輸出口分別沿所述寬度方向大體排列成一條直線，所述流入流路，按照從靠近所述輸入口的一端的所述導入口起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導入口與大體在所述寬度方向上排列的所述輸入口，按照從靠近所述導入口的一端的所述輸入口起的順序，分別依次連接，所述流出流路，按照從靠近所述輸出口的一端的所述導出口起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導出口與大體在所述寬度方向上排列的所述輸出口，按照從靠近所述導出口的一端的所述輸出口起的順序，分別依次連接。按照該方案，在比較從導入口到導出口的各個流路長度的情況下，短的流入流路與長的流出流路連接，所以可以抑制各個流路長度的波動，可以解決在響應性等方面的問題。此外，在此所說的口雖然是指在流路的始端和終端形成的口，但是不限于采用了例如能夠安裝某種部件的特別的物理結(jié)構(gòu)的口。例如在兩個流路連接的情況下，口則成為形成在所述的流路之間的、一種概念上的口。作為本發(fā)明的可以顯著發(fā)揮節(jié)省空間的效果的具體方案的例子，可以舉出:在所述的流體機構(gòu)中，所述流體機構(gòu)還包括:上游外部流體設備，在所述一個所述流體設備單元的寬度方向的外側(cè)，大體沿所述長邊方向配置，并且分別與各個所述導入口連接，該上游外部流體設備的數(shù)量與所述流體設備單元的數(shù)量相同；和/或下游外部流體設備，在所述另一個所述流體設備單元的寬度方向的外側(cè)，大體沿所述長邊方向配置，并且分別與各個所述導出口連接，該下游外部流體設備的數(shù)量與所述流體設備單元的數(shù)量相同，從俯視方向看的配置所述上游外部流體設備或所述下游外部流體設備所需要的最短尺寸比所述流體設備單元的寬度方向的尺寸大。為了使系統(tǒng)整體的長邊方向尺寸在流體設備單元的長邊方向尺寸內(nèi)，優(yōu)選的是，以使所述上游外部流體設備在配置狀態(tài)下的整體的長邊方向的尺寸和所述下游外部流體設備在配置狀態(tài)下的整體的長邊方向的尺寸，與所述流體設備單元的長邊方向的尺寸大體一致或比所述流體設備單元的長邊方向的尺寸小的方式，來決定所述流體設備單元的個數(shù)。為了能夠以更簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)節(jié)省空間，優(yōu)選的是，所述支承部件為平板形，在該支承部件的內(nèi)部形成有所述流入流路和所述流出流路，并且在該支承部件的上側(cè)的面上安裝有所述流體設備單元。所述流體設備單元還包括信息處理電路，所述信息處理電路控制所述流體設備或計算從流體設備的輸出，并且所述信息處理電路被各個流體設備單元共有，按照該方案，不僅可以節(jié)省空間，而且也可以實現(xiàn)降低成本。作為不無用地擴大占有面積的具體方案的例子，可以舉出:所述流體設備單元還包括覆蓋所述流體設備的第一殼體，收容所述信息處理電路的第二殼體設置在所述第一殼體的上側(cè)，并且從俯視方向看的所述第二殼體的輪廓大體在從俯視方向看的相互鄰接的所述第一殼體整體的輪廓內(nèi)。此外，本發(fā)明還提供一種支承部件，支承多個流體設備單元，并且將所述多個流體設備單元支承成以使所述多個流體設備單元的長邊方向相互平行的方式使所述多個流體設備單元相鄰，所述流體設備單元在流體流入的輸入口和流體流出的輸出口之間設有一個或多個流體設備，把從俯視方向看的連接所述輸入口和所述輸出口的方向設定為所述流體設備單元的長邊方向，所述支承部件包括:流入流路，與所述輸入口連接，把流體導入所述輸入口 ；以及流出流路，與所述輸出口連接，把流體從所述輸出口導出，形成于所述流入流路的始端的導入口，在從俯視方向看的作為與所述長邊方向垂直的方向的寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的一個所述流體設備單元的外側(cè)，形成于所述流出流路的終端的導出口，在所述寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的另一個所述流體設備單元的外側(cè)。此外，本發(fā)明還提供一種流體控制系統(tǒng)，其包括:一次流路，與假想平面平行地延伸；多個二次流路，從所述假想平面的俯視方向看，與所述一次流路交叉，并且在所述二次流路與所述一次流路的交叉點處與所述一次流路連接，使得流經(jīng)所述一次流路的部分流體流入所述二次流路；以及流體阻力元件，配置在設于所述交叉點的設置區(qū)域，決定從所述一次流路流入所述二次流路的流體的流量的比例。
按照所述的流體控制系統(tǒng)，流體阻力元件配置于一次流路和二次流路的交叉點，與在流路的中途設置流體阻力元件的方案相比，可以省略流路，并且可以使所述流體控制系統(tǒng)成為從假想平面的俯視方向看的面積小的系統(tǒng)。即，可以通過簡單且占有面積小的緊湊的結(jié)構(gòu)，構(gòu)建能夠向二次流路分配流體的流量的流量控制系統(tǒng)。為了可以混合多個流體，并且可以控制混合比和濃度，優(yōu)選的是，所述流體控制系統(tǒng)還包括流體供給裝置，該流體供給裝置分別與所述一次流路的兩端連接，流體分別從所述一次流路的兩端流入所述一次流路。為了能夠自如地控制多個流體的分配和混合，可以同時生成成分、混合比、濃度等不同的多個混合流體，并且可以保持緊湊且簡單的結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的是，所述流體控制系統(tǒng)包括多個所述一次流路，從所述假想平面的俯視方向看，多個所述一次流路和多個所述二次流路構(gòu)成格子形。具體地說，可以舉出所述設置區(qū)域設于一次流路的方案。更具體地說，所述流體阻力元件在內(nèi)部形成有:大直徑通道，實際上不產(chǎn)生阻力；以及一對小直徑通道，從所述大直徑通道分支并產(chǎn)生阻力，配置于所述設置區(qū)域的所述流體阻力元件的所述大直徑通道與所述二次流路連通，并且各個所述小直徑通道分別與所述一次流路上的所述設置區(qū)域的上游和下游連通。如上所述，按照本發(fā)明，可以有效地將多個流體設備單元和與該多個流體設備單元以成套的方式安裝的外部流體設備設置成很緊湊。此外，通過對流入流路和流出流路的路徑想辦法，可以使從導入口到導出口的各流體的響應特性一致。此外，按照本發(fā)明，能夠以簡單、且占有面積小的緊湊的結(jié)構(gòu)，構(gòu)建能夠?qū)α黧w流量進行分配的流量控制系統(tǒng)。此外，通過以使流體分別從一次流路的兩端流入一次流路的方式進行構(gòu)成，也可以進行混合，此外通過設置多個一次流路，可以同時生成成分、混合比、濃度不同的多個混合流體。


圖1是本發(fā)明一個實施方式中的流體機構(gòu)的流體回路圖。圖2是與圖1為相同實施方式中的流體機構(gòu)的整體立體圖。圖3是與圖1為相同實施方式中的質(zhì)量流量控制器的流體回路圖。圖4是與圖1為相同實施方式中的質(zhì)量流量控制器的整體立體圖。圖5是表示與圖1為相同實施方式中的質(zhì)量流量控制器內(nèi)部結(jié)構(gòu)的縱剖視圖。圖6是表示與圖1為相同實施方式中的質(zhì)量流量控制器內(nèi)部結(jié)構(gòu)的橫剖視圖。圖7是與圖1為相同實施方式中的流體阻力部件的分解立體圖。圖8是與圖1為相同實施方式中的支承部件的仰視圖和局部剖視圖。圖9是表示與圖1為相同實施方式中的流體流的流體流圖。圖10是表示以往的流體機構(gòu)的配置例子的示意圖。圖11是表示以往的流體機構(gòu)的配置例子的示意圖。圖12是本發(fā)明其他實施方式中的支承部件的仰視圖。圖13是本發(fā)明第二實施方式中的流體控制系統(tǒng)的示意俯視圖。圖14是與圖13為相同實施方式中的一次流路形成部件的縱剖視圖。
圖15是與圖13為相同實施方式中的一次流路形成部件的俯視圖。圖16是表示與圖13為相同實施方式中安裝在一次流路形成部件上的流體阻力元件的縱剖視圖。圖17是與圖13為相同實施方式中的流體阻力元件的分解立體圖。圖18表示在與圖13為相同實施方式中安裝在一次流路形成部件上的連接部件的縱首1J視圖。圖19是表示與圖13為相同實施方式中的流體控制系統(tǒng)的作用說明圖。附圖標記說明100…流體機構(gòu)10…質(zhì)量流量控制器(流體設備單元)21…上游壓力傳感器( 流體設備)22…下游壓力傳感器(流體設備)3…流體阻力部件(流體設備)6…信息處理電路7…第一殼體8…第二殼體9a…導入口9b…導出口Id…輸入口Ie…輸出口9c…流入流路9d…流出流路X100...流體控制系統(tǒng)Xl----次流路X2…二次流路X3…流體阻力元件X4…設置區(qū)域
具體實施例方式下面參照附圖對本發(fā)明的一個實施方式進行說明。本實施方式的流體機構(gòu)100例如用于半導體制造裝置，如圖1中表示的整個流體回路圖所示，流體機構(gòu)100形成有多個(在此為四個)并排的供氣管道。在各個材料氣體供氣管道上，從上游依次分別排列有作為上游外部流體設備的上游開關(guān)閥V1、作為流體設備單元的質(zhì)量流量控制器10和作為下游外部流體設備的下游開關(guān)閥V2，上游開關(guān)閥V1、質(zhì)量流量控制器10和下游開關(guān)閥V2在各個材料氣體供氣管道上可以相互獨立地控制材料氣體的流量。此外，如圖2表示的整體立體圖所示，在物理結(jié)構(gòu)上，除了所述上游開關(guān)閥V1、質(zhì)量流量控制器10和下游開關(guān)閥V2以外，所述流體機構(gòu)還包括支承部件9，該支承部件9支承上游開關(guān)閥V1、質(zhì)量流量控制器10和下游開關(guān)閥V2。下面對各部分進行說明。
如圖3的流體回路圖和圖4的立體圖所示,質(zhì)量流量控制器10包括:主體I,具有流體流經(jīng)的內(nèi)部流路Ia ;流量調(diào)節(jié)閥4，是設置在所述內(nèi)部流路Ia上的流體設備；壓力傳感器21、22和流體阻力元件3，設置在比所述流量調(diào)節(jié)閥4更靠下游，是用于測量流經(jīng)所述內(nèi)部流路Ia的流體的質(zhì)量流量的測量用的流體設備；信息處理電路6，根據(jù)壓力傳感器21、22的測量壓力，計算出流經(jīng)內(nèi)部流路Ia的流量，并且控制所述流量調(diào)節(jié)閥4，使得測量流量成為預先確定的目標流量；第一殼體7，安裝于所述主體I，覆蓋流量調(diào)節(jié)閥4和壓力傳感器21、22。如圖4 圖6等所示，主體I例如是金屬制的部件，形狀為細長的長方體形。將該主體I的與長邊方向平行的一個面設定為部件安裝面lc，僅在該部件安裝面Ic上安裝所述流量調(diào)節(jié)閥4和壓力傳感器21、22等部件。此外，把該安裝面Ic的相反一側(cè)的面作為固定面lb，該固定面Ib用于把該主體I固定在面板等上。此外，在該實施方式中，內(nèi)部流路Ia的輸入口 Id開口于所述固定面Ib的長邊方向上的一個端部，并且內(nèi)部流路Ia的輸出口 Ie開口于另一個端部。此外，在與長邊方向平行的另外兩個面(在下面稱為側(cè)面)上什么都不安裝，使得可以將多個質(zhì)量流量控制器10配置成其主體I的側(cè)面之間貼緊或靠近。內(nèi)部流路Ia從主體I的長邊方向的一個端部向另一個端部延伸，當從作為與所述部件安裝面Ic垂直的方向的俯視方向看時(下面也稱為俯視)，流體與長邊方向大體平行地流動。此外，下面把從俯視方向看與長邊方向垂直的方向稱為寬度方向。如圖5等所示，流量調(diào)節(jié)閥4為柱狀，垂直地安裝在所述部件安裝面Ic上。該流量調(diào)節(jié)閥4的最大寬度尺寸被設定為比所述部件安裝面Ic的寬度尺寸(與長邊方向垂直的方向上的尺寸)小或與其相同，如圖4所示，在把該流量調(diào)節(jié)閥4安裝在主體I上的狀態(tài)下，流量調(diào)節(jié)閥4在寬度方向上不從主體I伸出。在構(gòu)成所述流量調(diào)節(jié)閥4的部件中，閥座部件42為圓柱形，在中央形成有作為沿軸向延伸的貫通孔的流體導入通道42b，并且在周圍形成有作為沿軸向延伸的貫通孔的流體導出通道42c，在閥座部件42的頂面上以包圍所述中央貫通孔的方式突出形成有圓環(huán)形的閥座面。通過使后述的閥體部件41與閥座面貼緊，而成為切斷流體導入通道42b和流體導出通道42c的關(guān)閉狀態(tài)，通過使閥體部件41與閥座面分開，而成為流體導入通道42b和流體導出通道42c連通的打開狀態(tài)。所述閥座部件42嵌入在有底凹部If中，該有底凹部If開口于所述部件安裝面Ic的一個端部。所述有底凹部If設置于把所述內(nèi)部流路Ia切斷的位置，在有底凹部If中嵌入有閥座部件42的狀態(tài)下，所述內(nèi)部流路Ia中的上游內(nèi)部流路Ia (I)的終端與閥座部件42的流體導入通道42b連接，并且所述內(nèi)部流路Ia中的下游內(nèi)部流路Ia (2)的始端與閥座部件42的流體導出通道42c連接。另一方面，在構(gòu)成流量調(diào)節(jié)閥4的部件中，閥體部件41是設置于與所述閥座面相對的位置的隔膜狀部件。該閥體部件41通過設置于與閥座面相反一側(cè)的作為驅(qū)動器的層疊壓電元件43能夠進行移動，從而能夠與閥座面接觸或分開。所述層疊壓電元件43收容在柱狀的箱體44內(nèi)，所述箱體44從所述部件安裝面Ic立起。按照所述的結(jié)構(gòu)，通過在層疊壓電元件43上施加規(guī)定電壓，控制閥座面和閥體部件41之間的距離，從而可以控制流體的流量。如前所述，作為流量測量用設備，使用設在內(nèi)部流路Ia上的流體阻力部件3、以及用于分別測量所述流體阻力部件3的上游和下游的流體壓力的一對壓力傳感器21、22。下面對各部分進行詳細敘述。如圖5、圖7等所示，所述流體阻力部件3是通過把多個矩形薄板3a層疊成長方體形而構(gòu)成的部件，所述流體阻力部件3構(gòu)成為使流經(jīng)其內(nèi)部的流體成為層流，因此也將所述流體阻力部件3稱為層流阻力元件。在所述流體阻力部件3中設置有:連接通道3c，貫通流體阻力部件3的中央；以及小直徑流路3d，其內(nèi)側(cè)一端與所述連接通道3c連通，并且其外側(cè)一端開口于側(cè)面，所述小直徑流路3d構(gòu)成阻力流路。通過在所述薄板3a上設置狹縫3b而形成小直徑流路3d，通過使在薄板3a上形成的狹縫3b的形狀、數(shù)量不同，可以調(diào)節(jié)流路阻力。另一方面，在主體I的部件安裝面Ic的長邊方向的中央部，設置有矩形的凹部lh，該凹部Ih切斷內(nèi)部流路la。所述凹部Ih被設計成能夠使所述流體阻力部件3以在寬度方向上沒有間隙、且在主體I的長邊方向上有間隙的方式嵌入該凹部lh。于是，在所述流體阻力部件3嵌入凹部Ih的狀態(tài)下，所述連接通道3c與上游內(nèi)部流路Ia (2)的終端連接，并且小直徑流路3d的外側(cè)一端與下游內(nèi)部流路Ia (3)的始端連通。即，上游內(nèi)部流路Ia (2)通過連接通道3c和小直徑流路3d，與下游內(nèi)部流路Ia (3)連接。如圖4 圖6等所示，壓力傳感器21、22包括:扁平形狀的主體部件2A ;以及壓力檢測用元件2B，內(nèi)置于所述主體部件2A內(nèi)。把所述扁平的主體部件2A安裝在所述部件安裝面Ic上，并且使主體部件2的面板部分(扁平面)與部件安裝面Ic垂直、且使主體部件2的面板部分與主體I的長邊方向大體平行，亦即從俯視方向看使主體部件2的面板部分與流體的流動方向大體平行。此外，如圖6等所示，壓力傳感器21、22的厚度尺寸被設定成比部件安裝面Ic的寬度方向尺寸小或與其相同，并且在安裝狀態(tài)下，壓力傳感器21、22在寬度方向上不從主體I伸出。如圖6所示，在所述主體部件2A內(nèi)形成有:薄圓板形的流體填充室2b，是通過用能彈性變形的隔膜壁2A1形成作為與所述面板部平行的一個面的感壓面2bl而構(gòu)成的；以及流體導入通道2c，連通所述流體填充室2b和壓力導入口 2al。所述壓力導入口 2al開口于用于向主體I安裝的安裝面2a。在此，所述壓力檢測用元件2B使用通過把貼在所述隔膜壁2A1背面上的四個等價的電阻元件連接成電橋而成的元件。此外，壓力檢測用元件2B不限于此，壓力檢測用元件2B也可以是壓電元件或電容式的電極等，只要是可以測量因流體壓力而變形的隔膜壁2A1的變形量即可。所述一對壓力傳感器21、22中的上游壓力傳感器21，安裝在主體I的部件安裝面Ic的長邊方向的中央部，下游壓力傳感器22安裝在比所述上游壓力傳感器21更靠下游的所述部件安裝面Ic上。特別是，通過把所述上游壓力傳感器21安裝在主體I上，由此安裝面2a通過環(huán)形密封部件氣密地密封所述凹部Ih的開口，并且把凹部Ih內(nèi)的流體阻力部件3按壓夾持在該安裝面2a與凹部Ih的底面之間。由此，無需使用專用的蓋等對流體阻力部件3進行密封，由此可以減少零部件的個數(shù)、促進組裝的簡單化，并可以實現(xiàn)降低成本。此外，在該狀態(tài)下，流體阻力部件3中的連接通道3c與上游壓力傳感器21的壓力導入口 2al連接，比阻力流路3d更靠上游的內(nèi)部流路Ia (2)通過所述連接通道3c與上游壓力傳感器21連通。另一方面，比阻力流路3d更靠下游的內(nèi)部流路Ia (3)沿主體I的長邊方向延伸到輸出口 le，并且在其中途與下游壓力傳感器22的壓力導入口 2al連接。信息處理電路6在物理上包括CPU、存儲器，I/O通道、A/D轉(zhuǎn)換器、D/A轉(zhuǎn)換器、其他的模擬電路、數(shù)字電路，按照存儲在存儲器中的程序，CPU和其它外圍設備協(xié)同動作，由此如圖3所示，該信息處理電路6承擔作為流量計算電路61和控制電路62的功能。具體地說，流量計算電路61接收來自所述壓力傳感器21、22的壓力測量信號，根據(jù)所述的信號值和預先存儲的所述流體阻力部件3的流體阻力特性，計算并輸出流經(jīng)內(nèi)部流路Ia的流體的質(zhì)量流量、體積流量。另一方面，控制電路62向所述流量調(diào)節(jié)閥4輸出控制信號并在層疊壓電元件43上施加電壓來進行控制，從而使由所述流量計算電路61計算出的內(nèi)部流路Ia的流體流量成為從外部指示的設定流量。下面對上游開關(guān)閥Vl和下游開關(guān)閥V2進行說明。所述的開關(guān)閥V1、V2例如是電磁驅(qū)動方式的閥，僅可以成為全開、全關(guān)這兩種狀態(tài)，如圖2所示，開關(guān)閥V1、V2包括:安裝基板部Va，為正方形板狀；以及大體圓柱形的主體部Vb，直立于所述安裝基板部Va的面板部。配置所述開關(guān)閥V1、V2所需要的尺寸由從俯視方向看的所述安裝基板部Va的大小決定，所述安裝基板部Va的一邊的長度比所述質(zhì)量流量控制器10的寬度尺寸(主體I的寬度尺寸)大。 下面對支承部件9進行說明。所述支承部件9為厚度均勻的矩形平板形，在其一個面板部(下面也稱為上側(cè)的面)上，支承有所述的多個質(zhì)量流量控制器10、上游開關(guān)閥Vl和下游開關(guān)閥V2。以使主體I的側(cè)面之間貼緊且使多個質(zhì)量流量控制器10作為整體成為俯視為矩形的形狀的方式，支承多個質(zhì)量流量控制器10。即，各個質(zhì)量流量控制器10以下述方式配置在支承部件9上:各個質(zhì)量流量控制器10的長邊方向相互平行，并且它們的各個輸入口Id和各個輸出口 Ie在從俯視方向看作為與所述長邊方向垂直的寬度方向上，以等間隔的方式分別排列在一條直線上。在端部的質(zhì)量流量控制器10的寬度方向的外側(cè)，所述上游開關(guān)閥Vl以沿所述長邊方向排列成一條直線的方式配置在支承部件9的上側(cè)的面上。另一方面，在與上游開關(guān)閥Vl相反的一側(cè)亦即在另一個端部的質(zhì)量流量控制器10的寬度方向的外側(cè)，下游開關(guān)閥V2以沿所述長邊方向排列成一條直線的方式配置在支承部件9的上側(cè)的面上。此外，在所述支承部件9上設置有:多個導入口 9a，沿著位于最外側(cè)的一個質(zhì)量流量控制器10的長邊方向等間隔地排列在一條直線上；導出口 ％，沿著位于最外側(cè)的另一個質(zhì)量流量控制器單元10的長邊方向等間隔地排列在一條直線上。導入口 9a與所述輸入口Id連接，用于把流體導入該輸入口 Id。導出口 9b與所述輸出口 Ie連接，用于把流體從該輸出口導出。具體地說，形成有流入流路9c和流出流路9d。按照從靠近所述輸入口 Id—端的導入口 9a起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的多個導入口 9a與大體在所述寬度方向上排列的所述輸入口 ld，按照從靠近所述導入口 9a的一端的輸入口 Id起的順序分別依次連接，由此形成俯視為直線形的流入流路9c。按照從靠近所述輸出口 Ie—端的導出口9b起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導出口 9b與大體在所述寬度方向上排列的所述輸出口 le，按照從靠近所述導出口 9b的一端的輸出口 Ie起的順序分別依次連接，由此形成俯視為直線形的流出流路9d。在該實施方式中，所述導入口 9a形成于在支承部件9的厚度方向上貫通的孔91的上側(cè)的開口。以使上游開關(guān)閥Vl的出口位于所述導入口 9a上的方式配置有該上游開關(guān)閥VI。所述流入流路9c包括:所述孔91 ;貫通孔92,在支承部件9中形成在質(zhì)量流量控制器10的輸入口 Id的正下方，且與該輸入口 Id連通；有底槽93，為直線形，連接所述孔91的下側(cè)的下側(cè)開口部和所述貫通孔92的下側(cè)的下側(cè)開口部。所述導出口 9b和流出流路9d也與此相同。S卩，導出口 9b形成于在支承部件9的厚度方向上貫通的孔94的上側(cè)的開口，以使下游開關(guān)閥V2的入口位于所述導出口 9b上的方式配置有該下游開關(guān)閥V2。此外，所述流出流路9d包括:所述孔94 ;貫通孔95,在支承部件9中形成在質(zhì)量流量控制器10的輸出口 Ie的正下方，且與該輸出口 Ie連通；有底槽96，為直線形，連接所述孔94的下側(cè)的下側(cè)開口部和所述貫通孔95的下側(cè)的下側(cè)開口部。此外，雖然在圖中沒有表示，但是在所述支承部件9的下側(cè)的面上安裝有沒有另外進行圖示的密封板，該密封板密封有底槽93、96 ;孔91、94 ;或貫通孔92、95的下側(cè)的開□。此外，在該實施方式中，所述信息處理電路6的一部分被設置成各個質(zhì)量流量控制器10共用，如圖2所示，其共用的部分收容在第二殼體8中，該第二殼體8設于相鄰配置的第一殼體7的上側(cè)的面上。此外，信息處理電路6中沒有被共用的部分，分別收容在各個第一殼體7中。從俯視方向看的所述第二殼體的輪廓大體在從俯視方向看的相鄰的所述第一殼體的整體輪廓內(nèi)。按照所述的結(jié)構(gòu)，開關(guān)閥V1、V2不是設置在質(zhì)量流量控制器10的長邊方向的前后，而是設置在質(zhì)量流量控制器10的側(cè)方，因此如該實施方式所示，即使開關(guān)閥V1、V2的配置尺寸比質(zhì)量流量控制器10的寬度尺寸大，也可以把多個質(zhì)量流量控制器10以使它們的側(cè)面之間鄰接的方式貼緊配置。因此不會產(chǎn)生無效的空間，可以實現(xiàn)能使占有面積成為最小的、面積利用率高的、緊湊的結(jié)構(gòu)。此外，在比較從導入口 9a到導出口 9b的各個流路長度的情況下，如圖9中用箭頭表示的流體流所示，短的流入流路9c與長的流出流路9d連接，從而可以抑制各個流路的長度的波動。因此也不會在響應性偏差等方面產(chǎn)生大的問題。此外，也可以把長邊方向尺寸抑制為實際上僅是質(zhì)量流量控制器10的長邊方向尺寸。此外,收容信息處理電路6的第二殼體8設于所述第一殼體7的上側(cè),從俯視方向看的所述第二殼體8的輪廓大體在從俯視方向看的相互鄰接的所述第一殼體7的整體輪廓內(nèi)，所以從俯視方向看無需另外設置用于收容信息處理電路6的空間。此外，本發(fā)明不限于所述實施方式。例如在所述實施方式中，作為流體設備單元例舉了質(zhì)量流量控制器(流量控制器)，但是流體設備單元也可以是沒有流量調(diào)節(jié)閥的質(zhì)量流量計(流量測量器)等其他設備單元。
此外，支承部件不僅可以是板狀的，也可以是通過多個配管形成的部件。流入通道、流出通道也可以不是直線形，而是可以在中途彎曲。外部流體設備也不限于開關(guān)閥，外部流體設備例如也可以是三通閥、壓力傳感器、流體阻力元件、流量調(diào)節(jié)閥等。此外，外部流體設備也無需一定要設置在流體設備單元組的兩側(cè)，也可以僅設置在單側(cè)(例如僅有開關(guān)閥VI)。外部流體設備無需排列成嚴格的直線形，從配置的觀點出發(fā)，也可以稍稍配置成之字形。如圖12所示，在支承部件中，也可以設置輸入共用流路9e以及輸出共用流路9f，輸入共用流路9e連通各輸入口 Id從而能夠共用各輸入口 ld，輸出共用流路9f連通各輸出口 Ie從而能夠共用各輸出口 le。按照該結(jié)構(gòu)，可以進行流體的混合和分配，共用的部分可以僅僅是輸入口，也可以僅僅是輸出口。例如在共用輸入口時可以進行分配。在該情況下，如果是同種的氣體，則可以僅使用一個導入口，而關(guān)閉其他的導入口。此外，在所述實施方式中，根據(jù)從俯視方向看的流體設備單元和外部流體設備的相互尺寸關(guān)系，把流體設備單元的數(shù)量設定為最合適的四個，但是如果改變尺寸關(guān)系則有時也可以改變流體設備單元的數(shù)量。此外，也可以把相鄰的流體設備單元中的任意一個流體設備單元或多個流體設備單元的輸入口和輸出口，設定成與其他的流體設備單元相反。此外，流體設備單元之間只要是長邊方向的側(cè)面之間相鄰即可，在長邊方向上可以稍稍偏離，即，相鄰流體設備單元之間的輸入口、輸出口無需在寬度方向上嚴格地并排。但是，不包括在長邊方向上排列成一條直線的情況。除此以外，本發(fā)明不限于所述圖示的例子，在不脫離本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，可以進行各種變形。下面對本發(fā)明的第二實施方式進行說明。第二實施方式的流體控制系統(tǒng)XlOO通過把基本氣體混合，從而生成并提供例如在半導體制造工序中所使用的材料氣體，如圖13的示意圖所示，流體控制系統(tǒng)XlOO包括多個(在此例如為四個)一次流路Xl和多個(分別例如為四個)二次流路X2，所述多個一次流路Xl和多個二次流路X2在假想平面(在此為圖13的紙面)上分別平行地配置。各個一次流路Xl以直線形的方式延伸，以等間隔的方式相互平行配置。此外，各個二次流路X2沿與所述一次流路Xl垂直的方向以直線形的方式延伸，且以等間隔的方式配置，從假想平面的俯視方向看，所述的一次流路Xl和二次流路X2形成格子形。供氣裝置(在此為流量控制裝置)X5分別與一次流路Xl的兩端連接，不同種類(或相同種類)的基本氣體從所述的流量控制裝置X5，以相互朝向相反的方向的方式流入所述一次流路Xl中。在從假想平面的俯視方向看的所述一次流路Xl與二次流路X2的交叉點，所述一次流路Xl與所述二次流路X2連接。但是，所述一次流路Xl與所述二次流路X2不是在所有的交叉點連接，而是僅在所需要的一部分交叉點連接。此外，在所述各交叉點分別設有設置區(qū)域X4，流體阻力元件X3能夠以可裝拆的方式設置于設置區(qū)域X4。此外，無需在全部的設置區(qū)域X4 (或交叉點)設置流體阻力元件X3，在該實施方式中，僅在所需要的一部分設置區(qū)域X4設置有流體阻力元件X3。
更詳細地說，如圖14、圖15所示，以貫通矩形桿狀的一次流路形成部件X6的長邊方向的方式形成一次流路XI。此外，與一次流路Xi相同，以貫通矩形桿狀的二次流路形成部件X9的長邊方向的方式形成二次流路X2。所述二次流路形成部件X9被配置成與所述一次流路形成部件X6垂直并且與一次流路形成部件X6的底面接觸，二次流路形成部件X9與一次流路形成部件X6在交叉點層疊。因此，一次流路Xl和二次流路X2具有異面的位置關(guān)系，通過后述的連通孔X7連接一次流路Xl和二次流路X2。在一次流路形成部件X6中設置有多個向上面開口的凹形的所述設置區(qū)域X4，該設置區(qū)域X4切斷一次流路XI。通過把流體阻力元件X3嵌入所述設置區(qū)域X4，從而把流體阻力元件X3配置在一次流路Xl上。此外，通過在一次流路形成部件X6上側(cè)的面上配置圖中沒有表示的蓋體來密封所述設置區(qū)域X4的上側(cè)的開口。此外，從各設置區(qū)域X4的底面起設置有連通孔X7，該連通孔X7在該所述一次流路形成部件X6底面上開口，并且與二次流路X2連接。如圖16、圖17所示，流體阻力元件X3是把多個矩形薄板X3a層疊而成的長方體形部件，流體阻力元件X3使流體以層流狀態(tài)在其內(nèi)部流動，所以也可以將流體阻力元件X3稱為層流阻力元件。在該流體阻力元件X3中設置有大直徑通道X3c以及一對小直徑通道X3d。所述大直徑通道X3c在流體阻力元件X3的中央貫通。所述一對小直徑通道X3d的內(nèi)側(cè)一端與所述大直徑通道X3c連通，并且外側(cè)一端開口于與其相對的各側(cè)面，所述小直徑通道X3d構(gòu)成實際上的阻力流路。此外，作為流體阻力元件不僅可以使用層流阻力元件，也可以使用節(jié)流孔這樣的紊流阻力元件等。在該實施方式中，大直徑通道X3c具有不會成為實際上的阻力流路的直徑，大直徑通道X3c的底面與所述連通孔X7連接。此外，小直徑通道X3d是通過在所述薄板X3a上設置狹縫X3b而形成的。通過使在薄板X3a上形成的狹縫X3b的形狀、數(shù)量不同，可以調(diào)節(jié)流路阻力。在把所述流體阻力元件X3配置于設置區(qū)域X4的狀態(tài)下，所述流體阻力元件X3的大直徑通道X3c與所述二次流路X2連通，并且各個小直徑通道X3d分別與一次流路Xl上的所述設置區(qū)域X4的上游和下游連通。此外，在所述設置區(qū)域X4中不僅可以配置流體阻力元件X3，也可以配置其他的部件，還可以不配置任何部件。例如，如圖18所示，通過在所述設置區(qū)域X4配置連接部件X8，可以在該交叉點切斷一次流路Xl和二次流路X2的連接，所述連接部件X8具有沿與一次流路Xl相同的方向貫通的聯(lián)絡通道X8a，并且在其底面上設有密封所述連通孔X7上側(cè)的密封面。此外，如果在所述設置區(qū)域X4不配置任何部件，則在該交叉點，一次流路Xl和二次流路X2之間沒有流體阻力地連接。接著，參照圖19對所述結(jié)構(gòu)的流體控制系統(tǒng)XlOO的作用例子進行說明。在此，將在半導體制造中使用的氣體作為流體的例子。在所述圖19中，設置區(qū)域X4 (I)表示沒有設置任何部件的設置區(qū)域X4，設置區(qū)域X4 (2)表示設置有所述流體阻力元件X3的設置區(qū)域X4，設置區(qū)域X4 (3)表示設置有所述連接部件X8的設置區(qū)域X4。此外，二次流路X2分別與圖中沒有表示的設置在半導體制造室中的多個氣體導入口連接。按照所述的例子，在最初一級的一次流路Xl中，將基本氣體XA和基本氣體XB混合，以與配置在該一次流路Xl上的各流體阻力元件X3的阻力特性對應的比例，分配混合后的混合氣體XAB。接著，在下一級的一次流路Xl中，將基本氣體XC和基本氣體XD混合，把混合后的混合氣體X⑶以規(guī)定的比例分配給第一列的二次流路X2和第二列的二次流路X2，與流經(jīng)第一列的二次流路X2和第二列的二次流路X2的混合氣體XAB混合。即，混合氣體XAB⑶在第一列的二次流路X2和第二列的二次流路X2中流動，混合氣體XAB在第三列的二次流路X2和第四列的二次流路X2中流動。接著，在第三極的一次流路Xl中，將基本氣體XE和基本氣體XF混合，混合后的混合氣體XEF全部流入第三列的二次流路X2中。由此，混合氣體XABEF在第三列的二次流路X2中流動。最后，在最后一級的一次流路Xl中，將基本氣體XG和基本氣體XH混合，混合后的混合氣體XGH全部流入第四列的二次流路X2。由此，混合氣體XABGH在第四列的二次流路X2中流動。這樣，按照第二實施方式，可以自如地混合多種基本氣體并進行分配，并且可以使各個混合氣體在二次流路X2中流動。而且，由于可以通過流量控制裝置X5控制各種基本氣體的流量，所以也可以自如地控制濃度。此外，本實施方式的結(jié)構(gòu)不僅能夠以極高的自由度分別控制在各個二次流路X2中流動的氣體的流量、成分和濃度，而且僅僅通過把一次流路Xl和二次流路X2配置成矩陣狀，并且根據(jù)所要求的規(guī)格在一次流路Xl和二次流路X2交叉點設置流體阻力元件X3或連接部件X8，就使本實施方式的結(jié)構(gòu)變得緊湊且簡單。此外，由于流體阻力元件X3或連接部件X8可以裝拆，并且也可以對流體阻力元件X3的阻力特性進行各種變更，因此可以靈活地應對系統(tǒng)的規(guī)格變更等。此外，本發(fā)明不限于所述的實施方式。例如，如果把壓力傳感器安裝于配置有流體阻力元件X3的設置區(qū)域X4的上側(cè)的開口，則可以密封設置區(qū)域X4，并且通過利用另外設在二次流路X2上的壓力傳感器的測量壓力，可以測量流經(jīng)二次流路X2的流體流量。此外，流體阻力元件X3和連接部件X8只要設置在從假想平面的俯視方向看的交叉點處即可，例如也可以把設置區(qū)域設置在所述實施方式中的連通孔X7的中途。此外，在所述實施方式中，一次流路Xl和二次流路X2具有異面的位置關(guān)系，但是也可以把它們設在同一平面上。例如把所述實施方式中的一次流路形成部件X6層疊，即，只要使一個一次流路形成部件X6的上側(cè)的面和另一個一次流路形成部件X6的底面貼緊，就可以實現(xiàn)所述的把一次流路Xl和二次流路X2設在同一平面上的方式。在該情況下，通過所述連通孔X7和大直徑通道X3c來形成二次流路。除此以外，本發(fā)明不限于所述圖示的例子，在不脫離本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)可以進行各種變形。
權(quán)利要求
1.一種流體機構(gòu)，其特征在于，所述流體機構(gòu)包括: 流體設備單元，在流體流入的輸入口和流體流出的輸出口之間設置有一個或多個流體設備，把從俯視方向看的連接所述輸入口和所述輸出口的方向設定為長邊方向；以及 支承部件，支承多個所述流體設備單元，并將多個所述流體設備單元支承成以使多個所述流體設備單元的長邊方向大體相互平行的方式使多個所述流體設備單元相鄰， 所述支承部件包括:流入流路，與所述輸入口連接，把流體導入所述輸入口 ；以及流出流路，與所述輸出口連接，把流體從所述輸出口導出， 形成于所述流入流路的始端的導入口，在從俯視方向看作為與所述長邊方向垂直的方向的寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的一個所述流體設備單元的外側(cè)， 形成于所述流出流路的終端的導出口，在所述寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的另一個所述流體設備單元的外側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體機構(gòu)，其特征在于， 所述流體設備單元配置成各個所述輸入口和各個所述輸出口分別沿所述寬度方向大體排列成一條直線， 所述流入流路，按照從靠近所述輸入口的一端的所述導入口起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導入口與大體在所述寬度方向上排列的所述輸入口，按照從靠近所述導入口的一端的所述輸入口起的順序，分別依次連接， 所述流出流路，按照從靠近所述輸出口的一端的所述導出口起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導出口與大體在所述寬度方向上排列的所述輸出口，按照從靠近所述導出口的一端的所述輸出口起的順序，分別依次連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體機 構(gòu)，其特征在于，所述流體機構(gòu)還包括: 上游外部流體設備，在所述一個所述流體設備單元的寬度方向的外側(cè)，大體沿所述長邊方向配置，并且分別與各個所述導入口連接，該上游外部流體設備的數(shù)量與所述流體設備單元的數(shù)量相同；和/或 下游外部流體設備，在所述另一個所述流體設備單元的寬度方向的外側(cè)，大體沿所述長邊方向配置，并且分別與各個所述導出口連接，該下游外部流體設備的數(shù)量與所述流體設備單元的數(shù)量相同， 從俯視方向看的配置所述上游外部流體設備或所述下游外部流體設備所需要的最短尺寸比所述流體設備單元的寬度方向的尺寸大。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體機構(gòu)，其特征在于，以使所述上游外部流體設備在配置狀態(tài)下的整體的長邊方向的尺寸和所述下游外部流體設備在配置狀態(tài)下的整體的長邊方向的尺寸，與所述流體設備單元的長邊方向的尺寸大體一致或比所述流體設備單元的長邊方向的尺寸小的方式，來決定所述流體設備單元的個數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體機構(gòu)，其特征在于，所述支承部件為平板形，在該支承部件的內(nèi)部形成有所述流入流路和所述流出流路，并且在該支承部件的上側(cè)的面上安裝有所述流體設備單元。
6.一種支承部件，其特征在于，支承多個流體設備單元，并且將所述多個流體設備單元支承成以使所述多個流體設備單元的長邊方向相互平行的方式使所述多個流體設備單元相鄰，所述流體設備單元在流體流入的輸入口和流體流出的輸出口之間設有一個或多個流體設備，把從俯視方向看的連接所述輸入口和所述輸出口的方向設定為所述流體設備單元的長邊方向， 所述支承部件包括: 流入流路，與所述輸入口連接，把流體導入所述輸入口 ；以及 流出流路，與所述輸出口連接，把流體從所述輸出口導出， 形成于所述流入流路的始端的導入口，在從俯視方向看的作為與所述長邊方向垂直的方向的寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的一個所述流體設備單元的外側(cè)， 形成于所述流出流路的終端的導出口，在所述寬度方向上，配置在位于最外側(cè)的另一個所述流體設備單元的外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的支承部件，其特征在于， 以使各個所述輸入口和各個所述輸出口分別大體沿所述寬度方向排列成一條直線的方式來配置所述流體設備單元， 所述流入流路，按照從靠近所述輸入口的一端的所述導入口起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導入口與大體在所述寬度方向上排列的所述輸入口，按照從靠近所述導入口的一端的所述輸入口起的順序，分別依次連接， 所述流出流路，按照從靠近所述輸出口的一端的所述導出口起的順序，把大體在所述長邊方向上排列的所述導出口與大體在所述寬度方向上排列的所述輸出口，按照從靠近所述導出口的一端的所述輸出口起的順序，分別依次連接。
8.一種流體控制系統(tǒng)，其特征在于包括: 一次流路，與假想平面平行地延伸； 多個二次流路，從所述假想平面的俯視方向看，與所述一次流路交叉，并且在所述二次流路與所述一次流路的交叉點處與所述一次流路連接，使得流經(jīng)所述一次流路的部分流體流入所述二次流路；以及 流體阻力元件，配置在設于所述交叉點的設置區(qū)域，決定從所述一次流路流入所述二次流路的流體的流量的比例。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述流體控制系統(tǒng)還包括流體供給裝置，該流體供給裝置分別與所述一次流路的兩端連接，流體分別從所述一次流路的兩端流入所述一次流路。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述流體控制系統(tǒng)包括多個所述一次流路，從所述假想平面的俯視方向看，多個所述一次流路和多個所述二次流路構(gòu)成格子形。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述設置區(qū)域設于所述一次流路。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述流體阻力元件在內(nèi)部形成有:大直徑通道，實際上不產(chǎn)生阻力；以及一對小直徑通道，從所述大直徑通道分支并產(chǎn)生阻力， 配置于所述設置區(qū)域的所述流體阻力元件的所述大直徑通道與所述二次流路連通，并且各個所述小直徑通道分別與所述一次流路上的所述設置區(qū)域的上游和下游連通。
全文摘要
本發(fā)明提供流體機構(gòu)、支承部件及流體控制系統(tǒng)。流體機構(gòu)(100)能使多個流體設備單元(10)和與其成套安裝的外部流體設備(V1、V2)有效地配置成很緊湊，將各流體設備單元(10)的長邊方向的側(cè)面之間貼緊配置，并且把外部流體設備(V1、V2)排列配置在流體設備單元(10)的寬度方向的外側(cè)。此外，在連接外部流體設備(V1、V2)和流體設備單元(10)的流入流路(9c)和流出流路(9d)中，使短的流入流路(9c)與長的流出流路(9d)連接。
文檔編號G05D11/02GK103116369SQ20121037784
公開日2013年5月22日 申請日期2012年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月5日
發(fā)明者安田忠弘 申請人:株式會社堀場Stec