專利名稱：多電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置及方法、程序和存儲介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及按照向?qū)Π雽?dǎo)體晶片實(shí)施所希望的處理的那種處理裝置等的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置、動作控制方法、其程序和存儲介質(zhì)。
背景技術(shù)：
一般地說，由于要想制造半導(dǎo)體集成電路或液晶的顯示裝置等就要對于半導(dǎo)體晶片或LCD基板等的被處理體反復(fù)實(shí)施氧化處理、成膜處理、擴(kuò)散處理、退火處理、改性處理等的各種處理，所以要使用各種的處理裝置。
在該情況下，為了對晶片或LCD基板依次實(shí)施所希望的處理完成產(chǎn)品，一般要準(zhǔn)備多個(gè)同種或異種的處理裝置，而且，為了提高生產(chǎn)率，要使這些各個(gè)處理裝置并列地動作。由于對于晶片或LCD基板來說主要進(jìn)行熱處理或等離子體處理，故各個(gè)處理裝置比較消耗電力，此外，由于向這些供給電力的電力供給設(shè)備是比較昂貴的，故在從一臺的電力供給設(shè)備向多臺的處理裝置供給電力的情況下，為了盡可能地使電力供給設(shè)備變成為小型的設(shè)備，一般要準(zhǔn)備‘處理裝置的額定電力(最大電力)×裝置臺數(shù)’的量的電力容量的電力供給設(shè)備。
但是，并不限于所有的處理裝置總是以額定電力進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，毋寧說實(shí)際情況是以額定電力運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間比較少。例如，在進(jìn)行熱處理工序的處理裝置中，具有使晶片溫度上升的升溫工序和使該溫度維持恒定的工序等，在兩工序間電力消耗量大不相同。例如，在升溫工序中，電力消耗量將大到接近額定電力，相對于此，在使溫度維持恒定的工序中，雖然也取決于加工的種類而不同，但是，卻將變成為額定電力的幾十～60％那種程度的比較小的電力消耗量。因此，上邊所說的現(xiàn)有的電力供給設(shè)備，就變成了具有過多的電力容量的余裕的設(shè)備，招致電力供給設(shè)備的設(shè)備費(fèi)用的上漲或與電力公司之間的電力合同費(fèi)的上漲。
于是，在專利文獻(xiàn)1、2等中公開了用來抑制上述電力供給設(shè)備的上漲等的方法。例如，該專利文獻(xiàn)1的方法規(guī)定為在檢測和監(jiān)視正在從電力供給設(shè)備輸出的同時(shí)在每一個(gè)電力使用系統(tǒng)開始新的步驟時(shí)，對該檢測電力和基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，并根據(jù)該比較結(jié)果判斷是否開始步驟。
專利文獻(xiàn)1特開平9-56068號公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開平8-181110號公報(bào)然而，在上述那樣的現(xiàn)有的方法中，規(guī)定為在步驟開始時(shí)，對實(shí)際的檢測電力和參照需要最大消耗電力的步驟的消耗電力量求得的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較來決定步驟開始的可否。但是，由于對于各個(gè)處理裝置的時(shí)間軸方向的消耗電力量的變化根本未進(jìn)行任何考慮，故存在著處理一旦開始后對于伴隨著各個(gè)處理裝置的處理進(jìn)行的消耗電力量的變化來說不能充分地進(jìn)行管理的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是著眼于以上那樣的問題，為了有效地解決這些問題而發(fā)明的。本發(fā)明的目的在于提供可以在抑制了設(shè)備造價(jià)的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)高的運(yùn)轉(zhuǎn)率的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置、動作控制方法、其程序和存儲介質(zhì)。
本發(fā)明，在按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置中，其特征在于，具備控制裝置全體的動作的主控制部；對于上述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的電力消耗圖形存儲部；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)加上動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形求預(yù)定綜合電力消耗圖形，將對于進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)而以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到上述預(yù)定綜合電力消耗圖形，求得假定綜合電力消耗圖形，將該假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與上述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過上述設(shè)定容許電力為止，把上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值成為比上述設(shè)定容許電力更小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部；和在變成為用上述動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部所決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)向主控制部輸出動作許可的許可信號輸出部。
如上所述，由于已按照預(yù)先求得表示各個(gè)電力使用系統(tǒng)的消耗電力的變化的電力消耗圖形，在電力使用系統(tǒng)要求動作開始時(shí)，在該時(shí)刻調(diào)整時(shí)間軸對運(yùn)轉(zhuǎn)中的各個(gè)電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行合計(jì)，然后再對有了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算，邊進(jìn)行在該加法運(yùn)算中所得到的圖形與設(shè)定容許電力之間的比較，邊使有了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形向時(shí)間軸方向移動，來求動作開始預(yù)定時(shí)刻，故可以在抑制了設(shè)備造價(jià)的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)高運(yùn)轉(zhuǎn)率，可以最大限度地提高相對設(shè)備費(fèi)的生產(chǎn)性。
在該情況下，上述電力消耗圖形就變成為可以更新。
此外例如，上述電力消耗圖形的更新，要根據(jù)上述電力使用系統(tǒng)過去的動作時(shí)的實(shí)際的電力消耗量進(jìn)行。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量，可根據(jù)過去的最近的規(guī)定的次數(shù)的動作時(shí)的電力消耗量決定。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量可根據(jù)設(shè)置在上述電力使用系統(tǒng)內(nèi)的功率計(jì)進(jìn)行。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量，可根據(jù)設(shè)置在上述電力使用系統(tǒng)的電力控制部內(nèi)的晶閘管的柵極開閉控制量求得。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量，可根據(jù)設(shè)置在上述電力使用系統(tǒng)的電力控制部內(nèi)的晶閘管的柵極/斷開控制時(shí)間求得。
此外例如，上述電力使用系統(tǒng)，是用來對于被處理體實(shí)施規(guī)定的處理這樣的處理裝置。
本發(fā)明，在按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法中，其特征在于，包括對于上述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的工序；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形的工序；把對于已進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到上述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對該綜合電力消耗圖形所表示的電力值與上述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過上述設(shè)定容許電力為止，把上述假定的綜合電力消耗圖形所表示的電力值成為比上述設(shè)定容許電力更小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的工序；在變成為用上述所決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)輸出動作許可的工序。
在該情況下，例如上述電力消耗圖形就變成為可以更新。
此外例如，上述電力消耗圖形的更新，要根據(jù)上述電力使用系統(tǒng)過去的動作時(shí)的實(shí)際的電力消耗量進(jìn)行。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量，可根據(jù)過去的最近的規(guī)定次數(shù)的動作時(shí)的電力消耗量決定。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量可根據(jù)設(shè)置在上述電力使用系統(tǒng)內(nèi)的功率計(jì)進(jìn)行。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量，可根據(jù)設(shè)置在上述電力使用系統(tǒng)的電力控制部內(nèi)的晶閘管的柵極開閉控制量求得。
此外例如，上述實(shí)際的電力消耗量，可根據(jù)設(shè)置在上述電力使用系統(tǒng)的電力控制部內(nèi)的晶閘管的柵極/斷開控制時(shí)間求得。
此外例如，上述電力使用系統(tǒng)，是用來對于被處理體實(shí)施規(guī)定的處理這樣的處理裝置。
本發(fā)明是一種把多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置控制為使之執(zhí)行如下工序的程序，這些工序是在控制按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作時(shí)，對于上述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的工序；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形的工序；把對于已進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到上述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與上述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過上述設(shè)定容許電力為止，把上述假定的綜合電力消耗圖形所表示的電力值成為比上述設(shè)定容許電力更小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的工序；在變成為上述所決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)輸出動作許可的工序。
本發(fā)明是一種存儲把多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置控制為使之執(zhí)行如下工序的程序的存儲介質(zhì)，這些工序是在控制按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作時(shí)，對于上述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的工序；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形的工序；把對于已進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到上述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與上述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過上述設(shè)定容許電力為止，把上述假定的綜合電力消耗圖形所表示的電力值成為比上述設(shè)定容許電力更小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的工序；在變成為上述決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)輸出動作許可的工序。
倘采用本發(fā)明的電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置、動作控制方法和存儲介質(zhì)，則可以發(fā)揮以下那樣優(yōu)良的作用效果。
由于已按照預(yù)先求得表示各個(gè)電力使用系統(tǒng)的消耗電力的變化的電力消耗圖形，在電力使用系統(tǒng)要求動作開始時(shí)，在該時(shí)刻對運(yùn)轉(zhuǎn)中的各個(gè)電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行時(shí)間軸調(diào)整并合計(jì)，然后再對有了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算，邊進(jìn)行在該加法運(yùn)算中所得到的圖形與設(shè)定容許電力之間的比較，邊使有了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形向時(shí)間軸方向移動，來求動作開始預(yù)定時(shí)刻，故可以在抑制了設(shè)備造價(jià)的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)高運(yùn)轉(zhuǎn)率，可以最大限度地提高對設(shè)備費(fèi)的生產(chǎn)性。


圖1示出了本發(fā)明的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置與電力供給系統(tǒng)的關(guān)系。
圖2示出了各個(gè)電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形。
圖3示出了以動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)把運(yùn)轉(zhuǎn)中的電力消耗圖形排列起來進(jìn)行加法運(yùn)算的狀態(tài)。
圖4的流程圖示出了使用動作控制裝置進(jìn)行的動作控制方法的一個(gè)例子。
具體實(shí)施例方式
以下，根據(jù)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置、動作控制方法和存儲介質(zhì)的一個(gè)實(shí)施例。
圖1示出了本發(fā)明的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置與電力供給系統(tǒng)的關(guān)系，圖2示出了各個(gè)電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形，圖3示出了以動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)把運(yùn)轉(zhuǎn)中的電力消耗圖形排列起來進(jìn)行加法運(yùn)算的狀態(tài)。
如圖1所示，電力供給系統(tǒng)2，具有1臺電力供給設(shè)備4，變成為使得可通過電力線6從該電力供給設(shè)備4分別向多臺、在圖示例中為6臺的作為電力使用系統(tǒng)的處理裝置8A、8B、8C、8D、8E、8F供給必要的電力。
在這里，作為本身為電力使用系統(tǒng)的上述處理裝置8A～8F，雖然可以使用用來對本身為被處理體的例如半導(dǎo)體晶片實(shí)施規(guī)定處理的處理裝置，但是，卻與該處理(加工)的種類無關(guān)。例如，可以把同種或異種的處理裝置適宜組合起來使用。作為該處理的種類，例如，有成膜處理、氧化擴(kuò)散處理、改性處理、蝕刻處理等。
上述各個(gè)處理裝置8A～8F，除去對于晶片實(shí)際上使之加熱·冷卻等的升降溫的處理部10A～10F之外，還分別設(shè)置有由根據(jù)預(yù)先決定了應(yīng)當(dāng)遍及該處理的全部工序而進(jìn)行的動作的處理處方(process recipe)控制處理部10A～10F等的例如微型計(jì)算機(jī)等構(gòu)成的控制部12A～12F，控制處理裝置8A～8F的電力消耗量的電力控制部14A～14F和測量求解實(shí)際的電力值的功率計(jì)16A～16F等。此外，作為上述各個(gè)電力控制部14A～14F，例如可以使用晶閘管。在這里，雖然上述處理處方已預(yù)先程序化，并根據(jù)該程序自律地進(jìn)執(zhí)行處理，但是，該處理動作開始的可否的判斷，卻要借助于作為本發(fā)明的特征的動作控制裝置20進(jìn)行。該動作控制裝置20和上述各個(gè)控制部12A～12F具有通信功能，使得可以在相互間進(jìn)行信息的發(fā)送接收。
具體地說，上述動作控制裝置20，除去包括CPU等的主控制部22之外，還具有電力消耗圖形存儲部24、動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部26、許可信號輸出部28、存儲用來控制該動作控制裝置20的全體的動作的程序的軟盤或硬盤驅(qū)動器或由閃速存儲器等構(gòu)成的存儲介質(zhì)30和由暫時(shí)存儲種種的處理所必須的各種數(shù)據(jù)的RAM等構(gòu)成的存儲部32。此外，還可以在與上述各個(gè)控制部12A～12F之間通過接口34借助于通信進(jìn)行信息的發(fā)送接收。
首先，在上述電力消耗圖形存儲部24，預(yù)先存儲有表示消耗電力相對上述各個(gè)電力使用系統(tǒng)8A～8F的動作開始后(加工開始后)的時(shí)間的變化的電力消耗圖形。圖2示出了上述各個(gè)電力使用系統(tǒng)8A～8F的電力消耗圖形的一例，例如，圖2(A)示出了處理裝置8A的電力消耗圖形，圖2(B)示出了處理裝置8B的電力消耗圖形，圖2(C)示出了處理裝置8C的電力消耗圖形，圖2(D)示出了處理裝置8D的電力消耗圖形，圖2(E)示出了處理裝置8E的電力消耗圖形，圖2(F)示出了處理裝置8F的電力消耗圖形。
這些個(gè)電力消耗圖形，可以采用或者預(yù)先以功率計(jì)測量實(shí)際上使處理裝置動作進(jìn)行處理時(shí)的電力消耗量的時(shí)間性變化，或者根據(jù)這時(shí)的電力控制部的晶閘管的柵極的開閉控制量或柵極的通斷(ON·OFF)控制時(shí)間通過預(yù)先計(jì)算求解的辦法計(jì)算。實(shí)際上，上述電力消耗圖形可采用求每一個(gè)規(guī)定的時(shí)間例如每一秒的電力消耗量的辦法制作。
在這里，對上述電力消耗圖形的一個(gè)例子進(jìn)行說明。在這里，作為處理裝置，使用的是例如可以一次對多塊的晶片進(jìn)行成膜處理或氧化處理等的立式的批量式處理裝置，在尚未進(jìn)行加工的動作的等待時(shí)則因作為等待電力消耗很少的電力而把處理部8A～8F的處理容器保持在比處理溫度相當(dāng)?shù)偷囊欢囟?。此外，一般地說消耗最大的電力的時(shí)候，是把常溫的晶片裝入(導(dǎo)入)處理部8A～8F的處理容器內(nèi)之后，對之進(jìn)行加熱升溫直到規(guī)定的加工溫度為止時(shí)，其次，消耗大的電力的時(shí)候，是在對要卸載(搬出)的晶片溫度加以降低而卸載了處理結(jié)束過的晶片后，將處理容器再次加熱升溫到待機(jī)時(shí)的溫度時(shí)。
參看例如圖2(A)所示的電力消耗圖形，在把已裝載上晶片的晶片保持器(晶舟)裝入(搬入)到處理容器內(nèi)后，在點(diǎn)P1處開始急速的升溫，把晶片溫度加熱到加工溫度。這時(shí)，就會因電力消耗量變成為峰值而短時(shí)間消耗最大的電力。然后，由于可以恒定地維持晶片溫度并進(jìn)行成膜等的處理，故所要消耗的電力就將變成為相當(dāng)?shù)?，雖然會因例如處理的方式而不同，但是，將以峰值時(shí)的電力消耗量的25～60％左右的范圍內(nèi)的大體上恒定值不斷地進(jìn)行推移。此外，當(dāng)加工處理結(jié)束后，由于要使晶片溫度充分地降低到可搬出的溫度為止，故電力消耗量將急劇地減少，在卸下(搬出)了晶片后，在點(diǎn)P2處再次開始急劇的升溫把處理容器的溫度加熱升溫到待機(jī)中的溫度。在這時(shí)，也要短時(shí)間消耗相當(dāng)大的電力，雖然不像先前的峰值時(shí)那么大。然后，結(jié)果就變成為以很小的電力消耗把處理容器的溫度維持于待機(jī)溫度。
上述圖2(A)、圖2(B)和圖2(F)的電力消耗圖形雖然示出的是同樣的圖形，但是，取決于加工處理，有時(shí)候也要進(jìn)行使得例如連續(xù)地進(jìn)行氮化處理和氧化處理那樣的多種的處理。在這樣的情況下，例如，如圖2(C)、圖2(D)和圖2(E)所示，也有在途中電力消耗量反復(fù)變動得大那樣的圖形。不論是哪一種情況，這樣的電力消耗圖形，如上所述，都可以采用通過使用功率計(jì)等的辦法預(yù)先求得。
返回圖1，上述動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部26，是在從未動作中，就是說從待機(jī)中的處理裝置(電力使用系統(tǒng))進(jìn)行了動作開始要求時(shí)，對于該要求決定動作開始預(yù)定時(shí)刻的部分。就是說，按照根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算，求預(yù)定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對于上述預(yù)定綜合電力消耗圖形加上已進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形求假定綜合電力消耗圖形，對該假定綜合電力消耗圖形所表示的各電力值與上述電力供給設(shè)備4的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了上述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻偏移直到上述假定綜合電力消耗圖形所表示的所有的電力值不超過上述設(shè)定容許電力為止，把成為上述假定的綜合電力消耗圖形所表示的電力值的全部比上述設(shè)定容許電力更小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻。
具體地說，首先，當(dāng)從待機(jī)中的處理裝置發(fā)出了動作開始要求后，就要以該動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對這時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)中(加工處理中)的所有的處理裝置的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形40(參看圖3)。另外，在圖3中，示出的是在處理裝置8A～8E都已動作的狀態(tài)下，處理裝置8F發(fā)出了動作開始要求時(shí)的狀態(tài)。
然后，要按照給該預(yù)定綜合電力消耗圖形40加上已進(jìn)行了動作開始要求的處理裝置的電力消耗圖形求假定綜合電力消耗圖形，對該假定綜合電力消耗圖形所表示的各個(gè)電力值與預(yù)先決定好的上述電力供給設(shè)備4的設(shè)定容許電力42(參看圖3)進(jìn)行比較，使進(jìn)行了上述動作開始要求的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻沿著時(shí)間軸在圖3中向右進(jìn)行偏移直到上述假定綜合電力消耗圖形所表示的所有的電力值不超過上述設(shè)定容許電力為止。
然后，把上述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值的全體變成為比上述設(shè)定容許電力更小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻當(dāng)作動作開始預(yù)定時(shí)刻。換句話說，未動作中的處理裝置以發(fā)出了動作開始要求的時(shí)刻為基準(zhǔn)，邊使在該時(shí)刻處已經(jīng)確定了的預(yù)定綜合電力消耗圖形40，對于時(shí)間軸向左右方向移動邊加上該處理裝置的電力消耗圖形，比較研討全體的電力消耗圖形(假定綜合電力消耗圖形)是否不比作為基準(zhǔn)的設(shè)定容許電力42更大，如果不大，則就把這時(shí)的開始時(shí)刻定為動作開始預(yù)定時(shí)刻。借助于此，就可以調(diào)整上述處理裝置的動作開始定時(shí)。在這里，上述設(shè)定容許電力42，一般地說，雖然要設(shè)定為上述電力供給設(shè)備4的額定電力(最大容許電力)，但是，優(yōu)選的是按照在不超過該值的范圍內(nèi)可以任意地進(jìn)行設(shè)定。
返回到圖1，上述許可信號輸出部28，規(guī)定為在實(shí)際的時(shí)刻已經(jīng)到了在用上述動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部26所決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對于已進(jìn)行了上述動作要求的處理裝置(電力使用系統(tǒng))輸出動作許可信號。因此，結(jié)果就變成為上述處理裝置，在接受到該動作許可信號后，實(shí)際上開始加工處理(動作開始)。
其次，也參看圖3和圖4對像上述那樣地形成的動作控制裝置的動作進(jìn)行說明。
圖4的流程圖示出了使用動作控制裝置進(jìn)行的動作控制方法的一個(gè)例子。首先，對圖3進(jìn)行說明。圖3所示的那樣的狀態(tài)，示出的是處理裝置8A～8E全都已經(jīng)開始動作而在進(jìn)行加工處理(運(yùn)轉(zhuǎn)中)，在該狀態(tài)下待機(jī)中的處理裝置8F在時(shí)刻T0處進(jìn)行了動作開始要求的狀態(tài)。就是說，處理裝置8A已在動作開始時(shí)刻T1處開始動作，處理裝置8B在動作開始時(shí)刻T2處開始動作，處理裝置8C在動作開始時(shí)刻T3處開始動作，處理裝置8D在動作開始時(shí)刻T4處開始動作，處理裝置8E在動作開始時(shí)刻T5處開始動作，處理裝置8E在動作開始時(shí)刻T5處開始動作。在這里為了使發(fā)明的理解變得容易起見，分別把各個(gè)處理裝置8A～8E的最大電力消耗量假定為100kVA，而把電力供給設(shè)備4的設(shè)定容許電力42假定為400kVA。
首先，在動作控制裝置20(參看圖1)的電力消耗圖形存儲部24內(nèi)，預(yù)先存儲有(S1)各個(gè)處理裝置8A～8F的電力消耗圖形(參看圖2)。然后，動作控制裝置20的主控制部22，在循環(huán)時(shí)以高速監(jiān)視(S2)是否已從處理裝置8A～8F一側(cè)發(fā)出了動作開始的要求(動作開始要求信號)。
在這里，如果未動作中(空閑中)的處理裝置發(fā)出了動作開始要求(S2的是YES)，則就要對現(xiàn)在動作中的所有的電力使用系統(tǒng)(處理裝置)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算，求預(yù)定綜合電力消耗圖形40(參看圖3)，在圖3中，在時(shí)刻T0處處理裝置8F發(fā)出了動作開始的要求。另外，在圖3中在比時(shí)刻T0更往前(過去)的預(yù)定綜合電力消耗圖形40雖然為了進(jìn)行參考也記載著，但是在實(shí)際的處理中則不需要求該過去的部分的圖形。
其次，設(shè)定上述處理裝置8F的假定的動作開始時(shí)刻T(S4)。在這里，首先已發(fā)出了動作開始要求的時(shí)刻T0將變成為假定的動作開始時(shí)刻T。
其次，以上述假定的動作開始時(shí)刻T為基準(zhǔn)對上述所求得的預(yù)定綜合電力消耗圖形40和有了動作開始要求的處理裝置(電力使用系統(tǒng))8F的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算，求假定綜合電力消耗圖形(S5)。這時(shí)的各個(gè)電力消耗圖形如上所述已經(jīng)存儲在電力消耗圖形存儲部24內(nèi)。另外，該假定綜合電力消耗圖形，在圖3中將變成為以上述的假定的動作開始時(shí)刻T為基準(zhǔn)單純地進(jìn)行加法運(yùn)算疊加到上述預(yù)定綜合電力消耗圖形40的上方上時(shí)形成的圖形。
其次，對該假定綜合電力消耗圖形所表示的所有的電力值和設(shè)定容許電力42進(jìn)行比較，確認(rèn)上述各個(gè)電力值是否超過了設(shè)定容許電力42(S6)。另外，在步驟S6中雖然也包括兩者相等的情況‘＝’。但是，也可以除去該‘＝’。
在這里，在步驟S6中為是‘YES’的情況下，即便是假定從上述假定的動作開始時(shí)刻T開始處理裝置的動作，由于假定綜合電力消耗圖形遍及時(shí)刻T以后的整個(gè)區(qū)域也不會變大為超過設(shè)定容許電力42，換句話說，由于電力供給設(shè)備4正在以在電力上具有余裕的狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，故現(xiàn)在即便是按照使已發(fā)出了動作開始要求的處理裝置的動作開始而進(jìn)行加工處理，也意味著電力消耗量不會超過設(shè)定容許電力42。因此，就把該假定的動作開始時(shí)刻T設(shè)定為動作開始預(yù)定時(shí)刻(S7)。像這樣的上述的一連串的動作，可在動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部26中進(jìn)行。
其次，在許可信號輸出部28中，總是監(jiān)視現(xiàn)在的時(shí)刻，如果現(xiàn)在的時(shí)刻到達(dá)了上述所決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻(S8的是YES)，則就要通過主控制部22對于已發(fā)出了上述動作開始要求的處理裝置(電力使用系統(tǒng))輸出(S9)動作許可(動作許可信號)。然后，結(jié)果就變成為接受到該動作許可的處理裝置，立即開始動作。
其次，判斷是否所有的處理裝置(電力使用系統(tǒng))的動作都已結(jié)束，在尚未結(jié)束的情況下(S10的否NO)，就要返回步驟S2反復(fù)進(jìn)行上述操作。而在所有的處理裝置的動作都已結(jié)束了的情況下(S10的是YES)，結(jié)果就變成為該動作控制裝置的動作也將結(jié)束。另外，上述的一連串的運(yùn)算處理，可借助于計(jì)算機(jī)瞬時(shí)而且短時(shí)間地進(jìn)行。
如上所述，在電力供給設(shè)備4的供給電力具有余裕的狀態(tài)下，結(jié)果就變成為在步驟S2中進(jìn)行了動作開始要求后，就要立即向步驟S3～步驟S9前進(jìn)，在步驟S9中輸出動作許可信號。
在步驟S6中，在否(NO)的情況下，就是說，在假定綜合電力消耗圖形所表示的各個(gè)電力值即使是一部分超過設(shè)定容許電力而變大的情況下，為了使上述假定的動作開始時(shí)刻T延遲規(guī)定的時(shí)間Δt，作為‘T+Δt’要設(shè)置新的‘T’(S11)。然后，返回步驟S4，再次設(shè)定假定的動作開始時(shí)刻T并向步驟S5轉(zhuǎn)移。反復(fù)進(jìn)行步驟S5和S6的操作。這樣的步驟S3～S6和S11的操作，要反復(fù)進(jìn)行到在步驟S6中變成為是(‘YES’)為止。
因此，每進(jìn)行一次步驟S11，假定的動作開始時(shí)刻T，就以時(shí)刻T0為起點(diǎn)每次各變慢一個(gè)時(shí)間Δt。換句話說，在圖3中處理裝置8F的電力消耗圖形，以時(shí)刻T0為起點(diǎn)邊每次向時(shí)間軸方向(向右)漂移一個(gè)時(shí)間Δt，邊對預(yù)定綜合電力消耗圖形4進(jìn)行加法運(yùn)算。每當(dāng)此時(shí)，都要與設(shè)定容許電力42進(jìn)行比較。從結(jié)果上看，加法運(yùn)算后假定綜合電力消耗圖形不再超過該設(shè)定容許電力42時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻就將變成為動作開始預(yù)定時(shí)刻(S7)。在圖3中，示出的是假定的動作開始時(shí)刻漂移到了時(shí)刻TS時(shí)，在上述步驟S6處變成為是(YES)的時(shí)候。在這里上述時(shí)間Δt，雖然可以以秒單位例如設(shè)定為1秒左右，但是并不特別限定于此。一直到包括這樣的步驟S11的步驟S7為止的一連串的處理，如上所述由于可借助于計(jì)算機(jī)瞬時(shí)地進(jìn)行運(yùn)算，故不會產(chǎn)生時(shí)間上的損失。
如上所述，已經(jīng)預(yù)先求得表示各個(gè)電力使用系統(tǒng)的消耗電力的變化的電力消耗圖形，在電力使用系統(tǒng)發(fā)出了動作開始要求時(shí)，就要調(diào)整時(shí)間軸對在該時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)中的各個(gè)電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行合計(jì)，對有了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算，邊進(jìn)行由該加法運(yùn)算得到的圖形和設(shè)定容許電力之間的比較，邊使有了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形向時(shí)間軸方向移動，按照如上所述來求動作開始預(yù)定時(shí)刻，故可以在已抑制了設(shè)備造價(jià)的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)高的運(yùn)轉(zhuǎn)率，可以最大限度地提高對設(shè)備費(fèi)的生產(chǎn)性。
另外，在上述設(shè)定容許電力被設(shè)定得比圖3所示的情況更小的情況下，有時(shí)候從1臺的處理裝置發(fā)出動作開始要求后在待機(jī)中又從別的處理裝置發(fā)出了動作開始要求，在該情況下，理所當(dāng)然地要使先發(fā)出了動作開始要求的處理裝置優(yōu)先進(jìn)行處理。
此外，在這里，在步驟S8中，雖然按照在現(xiàn)在的時(shí)刻變成了動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，就要立即輸出動作許可信號(S9)，但是，這時(shí)也可以按照在輸出動作開始許可信號之前立即求各個(gè)處理裝置8A～8F的電力系統(tǒng)的測定值，對該時(shí)的電力消耗量進(jìn)行確認(rèn)的作業(yè)。此外，對于該電力也可以使用有效電力和視在電力中的任何一者。
此外在這里，雖然已存儲到電力消耗圖形存儲部24內(nèi)的電力消耗圖形是預(yù)先求得并存儲，但是，也可以按照該電力消耗圖形變成為可以更新并根據(jù)需要進(jìn)行更新。為了更新該電力消耗圖形，在進(jìn)行各個(gè)加工處理時(shí)，要預(yù)先把該時(shí)的實(shí)際的電力消耗量的數(shù)據(jù)例如存儲到存儲部32內(nèi)，并根據(jù)該數(shù)據(jù)更新電力消耗圖形。
在該情況下，作為更新的方法，或者用取過去的所有的加工處理時(shí)的平均值的電力消耗圖形進(jìn)行更新，或者用取過去的最近的規(guī)定的次數(shù)例如最近的5次的加工處理時(shí)的平均值的電力消耗圖形進(jìn)行更新。特別是由于可以反映加熱器等的時(shí)間性變化，故優(yōu)選的是用取過去的最近的規(guī)定的次數(shù)的加工處理時(shí)的平均值的電力消耗圖形進(jìn)行更新。此外，上述處理裝置的電力消耗量的測定，如上所述，可以根據(jù)功率計(jì)16A～16F的測定值或在電力控制部14A～14F中使用的晶閘管的柵極開閉控制量或柵極通斷(ON·OFF)控制時(shí)間用計(jì)算求解。求這時(shí)的電力消耗量的采樣時(shí)間，雖然沒有什么特別限定，但是例如可以設(shè)定為1秒、10秒或1分等，使之適合于處理裝置的加工方式。
此外，對于像導(dǎo)入新裝置那樣不存在電力消耗圖形之類的情況來說，可采用預(yù)先制作出遍及該裝置的全部的動作時(shí)間而使用裝置的最大額定容量的那樣的假定電力消耗圖形并存儲的辦法使用該裝置。作為理所當(dāng)然的做法，在此后的電力消耗圖形的更新時(shí)，規(guī)定為不使用該假定的電力消耗圖形。
此外，在上述實(shí)施例中所說明的各個(gè)數(shù)值例，不過是僅僅示出了一個(gè)例子，理所當(dāng)然地并不受限于此。此外，在這里雖然是以批量式的處理裝置為例進(jìn)行的說明，但是并不限于此，對于每次各處理1塊晶片的所謂的單片式的處理裝置也可以應(yīng)用，此外，作為被處理體并不限于晶片，對于處理玻璃基板或LCD基板的處理裝置或其它的電力使用系統(tǒng)也可以應(yīng)用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，是按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于，包括控制裝置全體的動作的主控制部；對于所述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的電力消耗圖形存儲部；動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部，根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形，將對于已進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到所述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，對該假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與所述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過所述設(shè)定容許電力為止，把所述假定的綜合電力消耗圖形所表示的電力值變?yōu)楸人鲈O(shè)定容許電力小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻；和在變成為用所述動作開始預(yù)定時(shí)刻決定部所決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)向主控制部輸出動作許可的許可信號輸出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述電力消耗圖形可以進(jìn)行更新。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述電力消耗圖形的更新，根據(jù)所述電力使用系統(tǒng)過去的動作時(shí)的實(shí)際的電力消耗量進(jìn)行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)過去的最近的規(guī)定的次數(shù)的動作時(shí)的電力消耗量決定。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)設(shè)置在所述電力使用系統(tǒng)內(nèi)的功率計(jì)進(jìn)行。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)設(shè)置在所述電力使用系統(tǒng)的電力控制部的晶閘管的柵極開閉控制量求得。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)設(shè)置在所述電力使用系統(tǒng)的電力控制部的晶閘管的柵極/斷開控制時(shí)間求得。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，其特征在于所述電力使用系統(tǒng)，是用來對于被處理體實(shí)施規(guī)定的處理的處理裝置。
9.一種多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，是按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于，包括對于所述各個(gè)電力使用系統(tǒng)，預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的工序；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形的工序；把對于已進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到所述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與所述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過所述設(shè)定容許電力為止，把所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值變成為比所述設(shè)定容許電力小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的工序；和在變成為所述決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)輸出動作許可的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述電力消耗圖形可以進(jìn)行更新。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述電力消耗圖形的更新，根據(jù)所述電力使用系統(tǒng)的過去的動作時(shí)的實(shí)際的電力消耗量進(jìn)行。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)過去的最近的規(guī)定的次數(shù)的動作時(shí)的電力消耗量決定。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)設(shè)置在所述電力使用系統(tǒng)的功率計(jì)進(jìn)行。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)設(shè)置在所述電力使用系統(tǒng)的電力控制部的晶閘管的柵極開閉控制量求得。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述實(shí)際的電力消耗量，根據(jù)設(shè)置在所述電力使用系統(tǒng)的電力控制部的晶閘管的柵極/斷開控制時(shí)間求得。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制方法，其特征在于所述電力使用系統(tǒng)，是用來對于被處理體實(shí)施規(guī)定的處理的處理裝置。
17.一種控制多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置的程序，在對按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作進(jìn)行控制時(shí)，按照執(zhí)行如下工序進(jìn)行，這些工序是對于所述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的工序；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形的工序；把對于已進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到所述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與所述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過所述設(shè)定容許電力為止，把所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值變?yōu)楸人鲈O(shè)定容許電力小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的工序；和在變成為所述決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)輸出動作許可的工序。
18.一種存儲控制多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置的程序的存儲介質(zhì)，其中，在對按照從1個(gè)電力供給設(shè)備向依賴于外部信號決定動作的開始的可否的多個(gè)電力使用系統(tǒng)供給電力的電力供給系統(tǒng)中的多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作進(jìn)行控制時(shí)，按照執(zhí)行如下工序進(jìn)行，這些工序是對于所述各個(gè)電力使用系統(tǒng)預(yù)先存儲表示消耗電力相對動作開始后的時(shí)間的變化的電力消耗圖形的工序；根據(jù)來自未動作中的電力使用系統(tǒng)的動作開始要求，以各自的動作開始時(shí)刻為基準(zhǔn)對動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形的工序；把對于已進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到所述預(yù)定綜合電力消耗圖形上求假定綜合電力消耗圖形，同時(shí)，對所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值與所述電力供給設(shè)備的預(yù)先決定好的設(shè)定容許電力進(jìn)行比較，沿著時(shí)間軸使進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻延遲直到所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值不超過所述設(shè)定容許電力為止，把所述假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值變成為比所述設(shè)定容許電力小時(shí)的假定的動作開始時(shí)刻決定為動作開始預(yù)定時(shí)刻的工序；和在變成為所述決定的動作開始預(yù)定時(shí)刻時(shí)，對進(jìn)行了所述動作開始要求的電力使用系統(tǒng)輸出動作許可的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種多個(gè)電力使用系統(tǒng)的動作控制裝置，從電力供給設(shè)備向電力使用系統(tǒng)供給電力，對各個(gè)電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形和動作中的電力使用系統(tǒng)的電力消耗圖形進(jìn)行加法運(yùn)算求預(yù)定綜合電力消耗圖形。其次把對于已進(jìn)行了動作開始要求的電力使用系統(tǒng)以假定的動作開始時(shí)間為基準(zhǔn)所求得的電力消耗圖形加到預(yù)定綜合電力消耗圖形求假定綜合電力消耗圖形。比較假定綜合電力消耗圖形和電力供給設(shè)備的設(shè)定容許電力進(jìn)行，使電力消耗圖形的假定的動作開始時(shí)刻沿著時(shí)間軸延遲直到不超過設(shè)定容許電力，把假定綜合電力消耗圖形所表示的電力值的全體小于設(shè)定容許電力時(shí)的假定動作開始時(shí)刻定為動作開始預(yù)定時(shí)刻，在變?yōu)樵搫幼鏖_始預(yù)定時(shí)刻時(shí)輸出動作許可。
文檔編號G05F1/66GK1825731SQ20061000822
公開日2006年8月30日 申請日期2006年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月18日
發(fā)明者上野勝紀(jì), 高橋智也, 梅木誠 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社