一種晶片測(cè)量裝置的制造方法
【專利摘要】為解決現(xiàn)有技術(shù)中不同尺寸晶片難以通過固定的高精度測(cè)量千分表進(jìn)行厚度測(cè)量的問題，本實(shí)用新型研發(fā)了一種晶片測(cè)量裝置，屬于藍(lán)寶石襯底加工技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域，包括高精度測(cè)量千分表，其特征在于：還包括載臺(tái)基板，所述載臺(tái)基板上固定設(shè)置有可移動(dòng)滑軌，所述高精度測(cè)量千分表活動(dòng)設(shè)置于可移動(dòng)滑軌上。本實(shí)用新型通過設(shè)置載臺(tái)基板和可移動(dòng)滑軌，使高精度測(cè)量千分表能夠沿可移動(dòng)滑軌自由移動(dòng)，針對(duì)不同尺寸的晶片，通過移動(dòng)高精度測(cè)量千分表進(jìn)行定位和厚度測(cè)量，徹底改變了現(xiàn)有技術(shù)中使用固定高精度測(cè)量千分表對(duì)固定尺寸的晶片進(jìn)行測(cè)量的局限。本實(shí)用新型操作簡(jiǎn)單、測(cè)量更加高效快捷，精度穩(wěn)定性得到很大提升。
【專利說明】
一種晶片測(cè)量裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于藍(lán)寶石襯底加工技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種利用高精度測(cè)量千分表準(zhǔn)確測(cè)量晶片厚度的晶片測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石襯底加工過程中，晶片尺寸常規(guī)，都是通過固定的高精度測(cè)量千分表進(jìn)行晶片厚度測(cè)量。但隨著行業(yè)發(fā)展和市場(chǎng)需求，客戶對(duì)非常規(guī)尺寸晶片的要求越來(lái)越多，由于非常規(guī)尺寸晶片大小、形狀不一，固定的高精度測(cè)量千分表很難對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量，不停的拆裝移動(dòng)高精度測(cè)量千分表又會(huì)大大影響測(cè)量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。所以，現(xiàn)有技術(shù)中急需要一種能夠快捷準(zhǔn)確測(cè)量不同尺寸晶片的測(cè)量裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能夠多方位準(zhǔn)確測(cè)量非常規(guī)尺寸晶片厚度的測(cè)量裝置。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種晶片測(cè)量裝置，包括高精度測(cè)量千分表，其特征在于:還包括載臺(tái)基板，所述載臺(tái)基板上設(shè)置有可移動(dòng)滑軌，所述高精度測(cè)量千分表活動(dòng)設(shè)置于可移動(dòng)滑軌上。
[0005]優(yōu)選的，所述可移動(dòng)滑軌至少I道。
[0006]優(yōu)選的，所述可移動(dòng)滑軌為4道。
[0007]優(yōu)選的，所述可移動(dòng)滑軌一端設(shè)置于一中心圓上，相鄰兩道可移動(dòng)滑軌之間成90
度夾角。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過設(shè)置載臺(tái)基板和可移動(dòng)滑軌，使高精度測(cè)量千分表能夠沿可移動(dòng)滑軌自由移動(dòng)，針對(duì)不同尺寸的晶片，通過移動(dòng)高精度測(cè)量千分表進(jìn)行厚度測(cè)量，徹底改變了現(xiàn)有技術(shù)中使用固定高精度測(cè)量千分表對(duì)固定尺寸的晶片進(jìn)行測(cè)量的局限。本實(shí)用新型操作簡(jiǎn)單、測(cè)量更加高效快捷.，精度穩(wěn)定性得到很大提升。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[00?0]圖2是本實(shí)用新型主視結(jié)構(gòu)不意圖；
[0011]圖中標(biāo)記為:1、高精度測(cè)量千分表;2、載臺(tái)基板;3、可移動(dòng)滑軌;4、晶片。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述:
[0013]如圖1、2所示，本實(shí)用新型工作原理和工作過程如下:一種晶片測(cè)量裝置，包括載臺(tái)基板2，載臺(tái)基板2上固定設(shè)置有4道可移動(dòng)滑軌3，可移動(dòng)滑軌3—端設(shè)置于一中心圓上，另一端遠(yuǎn)離中心圓向外延伸設(shè)置，相鄰兩道可移動(dòng)滑軌3之間成90度夾角。所述每道可移動(dòng)滑軌3上都分別設(shè)置一高精度測(cè)量千分表I，高精度測(cè)量千分表I能夠沿可移動(dòng)滑軌3來(lái)回移動(dòng)。
[0014]使用過程中，將晶片4放置于載臺(tái)基板2中心圓位置下方，然后根據(jù)晶片4的大小沿可移動(dòng)滑軌3來(lái)回調(diào)整高精度測(cè)量千分表I的位置，直至確定準(zhǔn)確位置，最后調(diào)節(jié)高精度測(cè)量千分表I對(duì)晶片4的厚度進(jìn)行不同位置的測(cè)量。
[0015]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非是對(duì)本實(shí)用新型作其它形式的限制，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員可能利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容加以變更或改型為等同變化的等效實(shí)施例。但是凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與改型，仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶片測(cè)量裝置，包括高精度測(cè)量千分表(I)，其特征在于:還包括載臺(tái)基板(2)，所述載臺(tái)基板(2)上固定設(shè)置有可移動(dòng)滑軌(3)，所述高精度測(cè)量千分表(I)活動(dòng)設(shè)置于可移動(dòng)滑軌(3)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片測(cè)量裝置，其特征在于:所述可移動(dòng)滑軌(3)至少I道。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片測(cè)量裝置，其特征在于:所述可移動(dòng)滑軌(3)為4道。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶片測(cè)量裝置，其特征在于:所述可移動(dòng)滑軌(3)—端設(shè)置于一中心圓上，相鄰兩道可移動(dòng)滑軌(3)之間成90度夾角。
【文檔編號(hào)】G01B5/06GK205537427SQ201620084057
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年1月28日
【發(fā)明人】楚玉環(huán)
【申請(qǐng)人】青島鑫嘉星電子科技股份有限公司