石英坩堝氣泡檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種石英坩禍分析過程中使用到的石英坩禍氣泡檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石英坩禍可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩禍是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)器具，隨著光伏行業(yè)迅速發(fā)展，對石英坩禍要求也越來越高，從原來的每只坩禍只拉晶一次，逐步轉(zhuǎn)變成拉晶過程中進行二次投料，增加坩禍使用時間，因而對坩禍真空層內(nèi)氣泡數(shù)量及氣泡表層與內(nèi)表面距離要求越來越嚴格?，F(xiàn)有的檢測裝置在對坩禍真空層氣泡進行時，只能先對坩禍進行切片，然后通過顯微鏡對坩禍切片進行分析。這對切片工人技術(shù)水平要求較高，同時工序比較繁瑣，工作效率低，檢測成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是為了提供一種解決上述問題的工作效率高、檢驗成本低、無需破壞坩禍的石英坩禍氣泡檢測裝置。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案是:
[0005]—種石英坩禍氣泡檢測裝置，包括機架，其特征在于:所述機架上表面固定有軌道且軌道上設(shè)有可移動坩禍夾具，所述機架對應(yīng)軌道一端的位置設(shè)有支柱，所述支柱上部組裝有可沿其微量移動的水平支架，所述水平支架上設(shè)有蝸輪絲桿升降機構(gòu)及驅(qū)動手輪，所述蝸輪絲桿升降機構(gòu)的絲桿下端固定有無損檢測鏡頭，所述可移動坩禍夾具由帶有行走輪組的夾具支撐架、轉(zhuǎn)動連接于夾具支撐架上的過半圓弧形固定架、均勻分布于過半圓弧形固定架上的多個夾緊機構(gòu)、連接于過半圓弧形固定架與夾具支撐架間的鎖緊機構(gòu)組成，所述夾緊機構(gòu)由固定于過半圓弧形固定架上的螺母、與螺母連接的螺桿、與螺桿端部焊接固定的夾緊片組成，所述夾緊片由與坩禍直壁平行的直片段和與坩禍底部圓弧過渡段弧度相符的弧形段組成。
[0006]上述的石英坩禍氣泡檢測裝置，所述水平支架與支柱之間設(shè)有微量傳動機構(gòu)，所述微量傳動機構(gòu)的輸入端連接有微調(diào)手輪，所述支柱頂部設(shè)有對應(yīng)微調(diào)手輪的微調(diào)表。
[0007]本實用新型的有益效果是:1、可移動坩禍夾具不僅可以移動還可以翻轉(zhuǎn)坩禍，滿足了對坩禍全方位檢測的要求;2、利用無損檢測鏡頭檢測坩禍，并通過蝸輪絲桿升降機構(gòu)和水平支架的微量移動調(diào)節(jié)無損檢測鏡頭與坩禍的距離，以滿足檢測條件。使用方便，檢測準確，同時降低了工人勞動強度和檢驗成本。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0009]圖2是圖1的俯視圖。
[0010]圖中:1.機架、2.夾具支撐架、3.行走輪組、4.坩禍、5.螺桿、6.螺母、7.夾緊片、8.過半圓弧形固定架、9.無損檢測鏡頭、10.蝸輪絲桿升降機構(gòu)、11.水平支架、12.微調(diào)表、13.微調(diào)手輪、14.支柱、15.軌道、16.控制電腦、17.鎖緊機構(gòu)、18.驅(qū)動手輪。
【具體實施方式】
[0011]如圖所示，該石英坩禍氣泡檢測裝置，包括機架1，所述機架1上表面固定有軌道15且軌道15上設(shè)有可移動坩禍夾具，所述機架1對應(yīng)軌道15—端的位置設(shè)有支柱14，所述支柱14上部組裝有可沿其微量移動的水平支架11，所述水平支架11上設(shè)有蝸輪絲桿升降機構(gòu)10及驅(qū)動手輪18。所述蝸輪絲桿升降機構(gòu)10的絲桿下端固定有無損檢測鏡頭9，無損檢測鏡頭9另與控制電腦16相連接。所述可移動坩禍夾具由帶有行走輪組3的夾具支撐架2、轉(zhuǎn)動連接于夾具支撐架2上的過半圓弧形固定架8、均勻分布于過半圓弧形固定架8上的多個夾緊機構(gòu)、連接于過半圓弧形固定架8與夾具支撐架2間的鎖緊機構(gòu)17組成。所述夾緊機構(gòu)由固定于過半圓弧形固定架8上的螺母6、與螺母6連接的螺桿5、與螺桿5端部焊接固定的夾緊片7組成。所述夾緊片7由與坩禍直壁平行的直片段和與坩禍底部圓弧過渡段弧度相符的弧形段組成。所述水平支架11與支柱14之間設(shè)有微量傳動機構(gòu)，所述微量傳動機構(gòu)的輸入端連接有微調(diào)手輪13，所述支柱14頂部設(shè)有對應(yīng)微調(diào)手輪13的微調(diào)表12。
[0012]工作時，坩禍4放在可移動坩禍夾具上，通過夾緊機構(gòu)將其夾緊，通過蝸輪絲桿升降機構(gòu)10快速調(diào)整無損檢測鏡頭9與坩禍內(nèi)表面之間的距離，接近后通過微調(diào)手輪13進行微調(diào)直到可以看清坩禍某一層氣泡后停止，通過控制電腦16算出單位面積內(nèi)氣泡數(shù)量，當(dāng)測量坩禍直壁時，需要將坩禍的夾緊機構(gòu)旋轉(zhuǎn)到某一位置，利用鎖緊機構(gòu)17將其鎖緊，然后通過調(diào)整無損檢測鏡頭9和控制電腦16算出單位面積內(nèi)氣泡數(shù)量和距離坩禍內(nèi)表面的距離。
【主權(quán)項】
1.一種石英坩禍氣泡檢測裝置，包括機架，其特征在于:所述機架上表面固定有軌道且軌道上設(shè)有可移動坩禍夾具，所述機架對應(yīng)軌道一端的位置設(shè)有支柱，所述支柱上部組裝有可沿其微量移動的水平支架，所述水平支架上設(shè)有蝸輪絲桿升降機構(gòu)及驅(qū)動電機，所述蝸輪絲桿升降機構(gòu)的絲桿下端固定有無損檢測鏡頭，所述可移動坩禍夾具由帶有行走輪組的夾具支撐架、轉(zhuǎn)動連接于夾具支撐架上的過半圓弧形固定架、均勻分布于過半圓弧形固定架上的多個夾緊機構(gòu)、連接于過半圓弧形固定架與夾具支撐架間的鎖緊機構(gòu)組成，所述夾緊機構(gòu)由固定于過半圓弧形固定架上的螺母、與螺母連接的螺桿、與螺桿端部焊接固定的夾緊片組成，所述夾緊片由與坩禍直壁平行的直片段和與坩禍底部圓弧過渡段弧度相符的弧形段組成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩禍氣泡檢測裝置，其特征在于:所述水平支架與支柱之間設(shè)有微量傳動機構(gòu)，所述微量傳動機構(gòu)的輸入端連接有微調(diào)手輪，所述支柱頂部設(shè)有對應(yīng)微調(diào)手輪的微調(diào)表。
【專利摘要】本實用新型涉及一種石英坩堝氣泡檢測裝置，包括機架，其特征在于：機架上表面固定有軌道且軌道上設(shè)有可移動坩堝夾具，機架對應(yīng)軌道一端的位置設(shè)有支柱，支柱上部組裝有水平支架，水平支架上設(shè)有蝸輪絲桿升降機構(gòu)及驅(qū)動手輪，蝸輪絲桿升降機構(gòu)的絲桿下端固定有無損檢測鏡頭，可移動坩堝夾具由夾具支撐架、轉(zhuǎn)動連接于夾具支撐架上的過半圓弧形固定架、分布于過半圓弧形固定架上的夾緊機構(gòu)、連接于過半圓弧形固定架與夾具支撐架間的鎖緊機構(gòu)組成，夾緊機構(gòu)由固定于過半圓弧形固定架上的螺母、與螺母連接的螺桿、與螺桿端部焊接固定的夾緊片組成。其工作效率高、檢驗成本低、無需破壞坩堝。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號】CN205103179
【申請?zhí)枴緾N201520954971
【發(fā)明人】王震, 侯建
【申請人】錦州佑鑫石英科技有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年11月25日