Led芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及LED芯片的設(shè)計(jì)制作技術(shù)領(lǐng)域，特別地，涉及一種LED芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具。
【背景技術(shù)】
[0002]LED芯片批量生產(chǎn)之前都要經(jīng)過(guò)研發(fā)實(shí)驗(yàn)階段，研發(fā)實(shí)驗(yàn)階段存在很多需要選擇的問題。比如根據(jù)客戶需求，公司開發(fā)哪種尺寸的芯片產(chǎn)品比較合適；若芯片尺寸過(guò)小，光電參數(shù)達(dá)不到客戶要求，尺寸過(guò)大，雖然能滿足客戶需求，但會(huì)減少公司的利潤(rùn)。并且，同一種尺寸、不種形狀的芯片的光電參數(shù)有何差異，結(jié)合公司的實(shí)際情況，哪一款芯片適合批量生產(chǎn)等。為了得到準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，確定一款尺寸、形狀都合適的芯片，往往需要進(jìn)行反復(fù)的批量驗(yàn)證。而批量驗(yàn)證需要的實(shí)驗(yàn)片較多，每一種情況至少需要三片以上的外延片最后取平均數(shù)據(jù)。最后確定了一種芯片尺寸和圖形后，其它不合適的尺寸和圖形的實(shí)驗(yàn)片只能降價(jià)處理。另外，每一種尺寸或圖形設(shè)計(jì)都需要一套光刻板，每套光刻版的價(jià)格在2000-5000元不等，實(shí)驗(yàn)完成后，只有待生產(chǎn)產(chǎn)品的光刻版能繼續(xù)使用，其余光刻板只能報(bào)廢。例如，待選的有4種尺寸和4種形狀的芯片，則尺寸和形狀的組合共有16種，每種選取3片進(jìn)行試驗(yàn)，則需要48塊芯片、48塊外延片、48塊光刻板進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。最后選定了一種組合的芯片后，其余47塊芯片、47塊外延片、47塊光刻板只能作為研發(fā)損耗，非常浪費(fèi)。
[0003]而且，為了減小誤差，用來(lái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的外延片必須具備很接近的光電參數(shù)，在芯片制造過(guò)程要確保所有實(shí)驗(yàn)芯片都同時(shí)流轉(zhuǎn)，點(diǎn)測(cè)數(shù)據(jù)也要確保所有芯片用同一臺(tái)點(diǎn)測(cè)機(jī)。芯片設(shè)計(jì)的尺寸和圖形越多，配套使用的外延片數(shù)量也越多，芯片流轉(zhuǎn)過(guò)程中也越難管控，測(cè)試的結(jié)果也就難以保證準(zhǔn)確性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型目的在于提供一種LED芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具，以解決LED芯片研發(fā)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，耗費(fèi)過(guò)多外延片和光刻板，并且測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確的技術(shù)問題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種LED芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具，包括一塊集成式光刻板和一塊外延片:
[0006]所述集成式光刻板的每行或每列內(nèi)重復(fù)刻印有與待檢測(cè)的若干LED芯片相匹配的圖形；每行或每列內(nèi)的圖形為同一圖案和/或同一尺寸；
[0007]所述外延片上放置的若干LED芯片的排列順序，與所述集成式光刻板刻印圖形的排列順序相同。
[0008]優(yōu)選的，每行或每列排布的芯片圖形的圖案相同、尺寸不同。
[0009]優(yōu)選的，每行或每列排布的芯片圖形的尺寸相同、圖案不同。
[0010]優(yōu)選的，每行或每列排布的芯片圖形的間距相等。
[0011]優(yōu)選的，行與行、列與列之間的間距相等。
[0012]優(yōu)選的，圖形排布規(guī)律相同的行或列循環(huán)出現(xiàn)。
[0013]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0014]本實(shí)用新型將待選擇的所有尺寸和各種圖形都包含在同一塊集成式光刻板內(nèi)，每行或每列為同一種尺寸或圖形，循環(huán)往復(fù)地排列(參見圖1);實(shí)驗(yàn)時(shí)只需一片外延片即可。芯片流轉(zhuǎn)和點(diǎn)測(cè)數(shù)據(jù)時(shí)，只有一片外延片，所以每一步都無(wú)需考慮是否要同步作業(yè)或者同機(jī)臺(tái)測(cè)試，加快了芯片流轉(zhuǎn)的速度，提高了研發(fā)效率。
[0015]由于所有尺寸或圖形都在同一片外延片上，不用考慮不同外延片之間的差異，不需要刻意挑選外延片，也沒有制程和流轉(zhuǎn)的差異。點(diǎn)測(cè)數(shù)據(jù)后將每種尺寸或圖形的光電參數(shù)繪成曲線圖即可準(zhǔn)確地知道各種芯片設(shè)計(jì)之間的差異。
[0016]另外，由于生產(chǎn)過(guò)程中本身難以避免的誤差，在現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的多片外延片同時(shí)流轉(zhuǎn)時(shí)，不同尺寸或圖形所帶來(lái)的一些較大的差異可以驗(yàn)證出來(lái)，但一些較小的差異可能驗(yàn)證不出，甚至得出相反的結(jié)論，如果選擇了錯(cuò)誤的尺寸或圖形，等到批量生產(chǎn)時(shí)發(fā)現(xiàn)為時(shí)已晚，給公司造成損失。例如:用本實(shí)用新型所提供的工具進(jìn)行試驗(yàn)，從圖2和圖3來(lái)看，圖形三的電壓比圖形二低0.02V，亮度高2mW ;用原來(lái)的方法，兩種圖形各投產(chǎn)4片外延片，共8片同時(shí)在產(chǎn)線流轉(zhuǎn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果是圖形三的電壓比圖形二低0.01V，亮度只高0.04mW，幾乎沒有差異。這些在生產(chǎn)過(guò)程中不可避免的數(shù)據(jù)波動(dòng)，給實(shí)驗(yàn)帶來(lái)了較大誤差。本實(shí)用新型由于把不同尺寸或圖形的芯片集中在同一片外延片中，能將微小的差異及時(shí)驗(yàn)證出來(lái)，準(zhǔn)確地知道要選擇哪種尺寸或圖形進(jìn)行生產(chǎn)，這是本實(shí)用新型的另一個(gè)優(yōu)勢(shì)。
[0017]除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本實(shí)用新型還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照?qǐng)D，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0018]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0019]圖1是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的集成板上的圖形排布示意圖；
[0020]圖2是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的四種圖形芯片亮度示意圖；
[0021]圖3是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的四種圖形芯片電壓示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型可以根據(jù)權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實(shí)施。
[0023]本實(shí)用新型提供的LED芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具包括一塊集成式光刻板和一塊外延片；所述集成式光刻板的每行或每列內(nèi)重復(fù)刻印有與待檢測(cè)的若干LED芯片相匹配的圖形；每行或每列內(nèi)的圖形為同一圖案和/或同一尺寸；也就是說(shuō)，集成式光刻板上的圖形排布可能有以下幾種情況:
[0024]1、每行為同一尺寸、同一圖案的待測(cè)LED芯片圖形；若每行之間的尺寸一致，則每列為同一尺寸、不同圖案的LED芯片圖形；例如，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一，第一行為1號(hào)尺寸的圖形二，第一行為1號(hào)尺寸的圖形三，則第一列為1號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形—*.---，
[0025]若每行之間的尺寸不一致，則每列為不同尺寸、不同圖案的LED芯片圖形；例如，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一，第一行為2號(hào)尺寸的圖形二，第一行為3號(hào)尺寸的圖形三，則第一列為1、2、3號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三；
[0026]2、每行為同一尺寸、不同圖案的待測(cè)LED芯片圖形；若每行之間的尺寸一致、圖案變化規(guī)律一致，則每列為同一尺寸、同一圖案的LED芯片圖形；例如，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，則第一列均為1號(hào)尺寸的圖形一；
[0027]若每行之間的尺寸不一致、圖案變化規(guī)律一致，則每列為不同尺寸、同一圖案的LED芯片圖形；例如，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，第一行為2號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，第一行為3號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，則第一列為1、2、3號(hào)尺寸的圖形一，第二列為1、2、3號(hào)尺寸的圖形二 ；
[0028]若每行之間的尺寸不一致、圖案變化規(guī)律也不一致，則每列為不同尺寸、不同圖案的LED芯片圖形。例如，第一行為1號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，第一行為2號(hào)尺寸的圖形二、圖形一、圖形三，第一行為3號(hào)尺寸的圖形三、圖形二、圖形一，則第一列為1、2、3號(hào)尺寸的圖形一、圖形二、圖形三，第二列為1、2、3號(hào)尺寸的圖形二、圖形一、圖形二。
[0029]3、若以每列的情況進(jìn)行考慮，則每行的排列規(guī)律則可參照上述每列的規(guī)律。
[0030]相應(yīng)地，該套測(cè)量工具中的外延片上放置的若干LED芯片的排列順序，與所述集成式光刻板刻印圖形的排列順序相同，以便配合使用。
[0031]其中，為方便測(cè)量，每行或每列排布的芯片圖形的間距可相等，行與行、列與列之間的間距也可相等。并且，圖形排布規(guī)律相同的行或列循環(huán)出現(xiàn)，可以多次對(duì)同樣排列規(guī)律的芯片組合進(jìn)行測(cè)量，相互驗(yàn)證，減少誤差，提高可靠性。例如圖一中的圖形一就出現(xiàn)在了第一行和第五行。
[0032]實(shí)施例1、
[0033]參見圖1、圖2和圖3，以11.2X21尺寸芯片的設(shè)計(jì)為例，如圖1所示四種圖形依次循環(huán)排列，每行芯片的圖形和尺寸均一致。只投產(chǎn)一片外延片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，測(cè)試數(shù)據(jù)后，對(duì)四個(gè)圖形的亮度和電壓數(shù)進(jìn)行作圖對(duì)比。由圖2和圖3可知，四種圖形的電壓從大到小依次為:圖形一 > 圖形二 >圖形三 > 圖形四，四種圖形的亮度從大到小依次為:圖形一 > 圖形三〉圖形二〉圖形四。圖形一電壓太高，不符合客戶要求，圖形四亮度太低，也不符合客戶要求。圖形三亮度比圖形二高，電壓比圖形二低，即圖形三的光效高于圖形二。
[0034]為防止外延片本身不同區(qū)域光電參數(shù)的差異，驗(yàn)證各圖形之間光電參數(shù)差異是否準(zhǔn)確，將距離最近的兩行圖形四的光電參數(shù)進(jìn)行比較，由圖2圖3可知，圖形四第一行和圖形四第二行的電壓和亮度曲線幾乎可以重復(fù)，說(shuō)明四種圖形之間光電參數(shù)的差異是準(zhǔn)確的。圖形二和圖形三之間的差異比較小，但本實(shí)用新型能準(zhǔn)確地驗(yàn)證出來(lái)。
[0035]綜上所述，選擇圖形三進(jìn)行生產(chǎn)。另外，本實(shí)用新型實(shí)驗(yàn)過(guò)程只使用了一片外延片，一套光刻版，驗(yàn)證了四種芯片圖形，提高了研發(fā)效率，節(jié)約了研發(fā)成本。
[0036]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.LED芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具，其特征在于，包括一塊集成式光刻板和一塊外延片: 所述集成式光刻板的每行或每列內(nèi)重復(fù)刻印有與待檢測(cè)的若干LED芯片相匹配的圖形；每行或每列內(nèi)的圖形為同一圖案和/或同一尺寸； 所述外延片上放置的若干LED芯片的排列順序，與所述集成式光刻板刻印圖形的排列順序相同。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量工具，其特征在于，每行或每列排布的芯片圖形的圖案相同、尺寸不同。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量工具，其特征在于，每行或每列排布的芯片圖形的尺寸相同、圖案不同。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量工具，其特征在于，每行或每列排布的芯片圖形的間距相等。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量工具，其特征在于，行與行、列與列之間的間距相等。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量工具，其特征在于，圖形排布規(guī)律相同的行或列循環(huán)出現(xiàn)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了LED芯片光電參數(shù)差異的測(cè)量工具，包括一塊集成式光刻板和一塊外延片：所述集成式光刻板的每行或每列內(nèi)重復(fù)刻印有與待檢測(cè)的若干LED芯片相匹配的圖形；每行或每列內(nèi)的圖形為同一圖案和/或同一尺寸；所述外延片上放置的若干LED芯片的排列順序，與所述集成式光刻板刻印圖形的排列順序相同。本實(shí)用新型將待選擇的所有尺寸和各種圖形都包含在同一塊集成式光刻板和同一塊外延片內(nèi)，不僅避免了不同光刻板和外延片帶來(lái)的測(cè)量誤差，也加快了芯片流轉(zhuǎn)的速度，提高了研發(fā)效率；并且，能將微小的差異及時(shí)驗(yàn)證出來(lái)，提高了測(cè)量的準(zhǔn)確性。
【IPC分類】G01R31/26, G01M11/02
【公開號(hào)】CN205049697
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520811595
【發(fā)明人】胡棄疾, 付宏威
【申請(qǐng)人】湘能華磊光電股份有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請(qǐng)日】2015年10月19日