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一種水晶晶體檢測儀的制作方法

文檔序號:8846915閱讀:971來源:國知局
一種水晶晶體檢測儀的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及檢測儀器領域,特別涉及一種水晶晶體檢測儀。
【背景技術】
[0002]水晶晶體檢測儀應用X射線衍射原理,采用射線接收器接收X射線信號的方式,利用測量到的水晶晶體的峰形、峰位、半高寬、X射線強度等各項數(shù)據(jù),應用于水晶晶體加工的各道工序,達到切割后的水晶晶體方面的準確性及晶體缺陷檢測的水晶晶體檢測儀。
[0003]生長出來的人工水晶晶錠在加工成晶棒、晶片前,需要先精確地測定晶體角度后在切割機加工成晶棒、晶棒在料板上粘結(jié)后加工晶棒端面及參考邊;再通過切割機將晶棒加工成晶片;每道工序都要有與加工機機械相配套的水晶晶體檢測儀,用來進行水晶材料的定向及檢測,并提供產(chǎn)品加工晶體要求的原子面角度。傳統(tǒng)的水晶晶體檢測儀,其檢測儀的樣品測量臺臺面狹小、承載能力不足、測量精度低,局限了水晶晶錠材料的應用規(guī)格范圍,使之無法粘結(jié)定向體積較大的水晶晶砣,無法滿足各種規(guī)格水晶晶錠材料多角度粘結(jié)定向,測量范圍小,測試及定向精度差,滿足不了各種規(guī)格水晶生產(chǎn)的需要。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是,提供一種水晶晶體檢測儀,其優(yōu)點是:結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、測量精度高等優(yōu)點。
[0005]采用的技術方案是:
[0006]一種水晶晶體檢測儀,包括機架、蓋板、減速機、工作臺、X射線發(fā)生器、光閘、X射線接收器、轉(zhuǎn)接板、調(diào)整手輪、從動帶輪、主動帶輪和工作臺減速機,所述的減速機外設主動帶輪和調(diào)整手輪,調(diào)整手輪與主動帶輪裝配在同一回轉(zhuǎn)軸上且固定連接,使調(diào)整手輪能夠帶動主動帶輪旋轉(zhuǎn),減速機的輸入軸裝有從動帶輪,主動帶輪通過齒形帶連接從動帶輪,轉(zhuǎn)動調(diào)整手輪,主動帶輪帶動從動帶輪使減速機輸入軸旋轉(zhuǎn),輸入軸旋轉(zhuǎn)使減速機輸出軸減速旋轉(zhuǎn),所述轉(zhuǎn)接板與減速機輸出軸固定連接,X射線發(fā)生器及光閘固裝在轉(zhuǎn)接板上,光閘設置在X射線發(fā)生器的X射線發(fā)射口處,位置可通過調(diào)整手輪改變,所述X射線接收器裝通過軸承配在減速機輸出軸上,X射線接收器不隨減速機輸出軸轉(zhuǎn)動,X射線接收器可繞減速機輸出軸手動調(diào)整位置,所述工作臺減速機安裝在機架的蓋板的上端面上,工作臺固定在工作臺減速機的輸出軸上,手輪固定裝配在工作臺減速機的輸入輪軸上,水晶晶錠放置在工作臺上,工作臺上設有夾具能夠固定水晶晶錠,可通過旋轉(zhuǎn)手輪、工作臺減速機帶動進行360 °旋轉(zhuǎn),工作臺的下方設置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器供電,X射線由X射線發(fā)生器的X射線發(fā)射口發(fā)出,經(jīng)水晶晶錠折射后,被X射線接收器接收,進而測量到的水晶晶體的峰形、峰位、半高寬、X射線強度等各項數(shù)據(jù),其檢測方法和數(shù)據(jù)處理方法均為已知技術。
[0007]上述的減速機的輸出軸后端安裝有編碼器,工作臺上裝設有數(shù)顯裝置,工作臺上裝設外接數(shù)顯裝置接口,檢測數(shù)據(jù)可傳輸?shù)杰囬g集控室,由集控室進行數(shù)據(jù)分析、控制。
[0008]本實用新型的優(yōu)點在于:
[0009]1、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、加工精度高等優(yōu)點,解決了水晶晶錠只能定向一個角度的難題。
[0010]2、編碼器與主軸(減速機輸出軸)直聯(lián),消除了其它傳動系統(tǒng)傳動角度間隙誤差,定向、測量精度高。
[0011]3、可增加二維球面及C端面夾具體裝置,進一步提高檢測范圍及檢測精度。
[0012]4、工作臺是將放在夾具體的待測水晶晶錠用夾具體在X光下進行四方位反復定向測量,工作臺360°旋轉(zhuǎn),晶體的峰值都能達到測量精度,提高了水晶晶錠的測量定向精度。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是圖1的俯視圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步詳述。
[0016]一種水晶晶體檢測儀,包括機架1、蓋板2、減速機3、工作臺4、X射線發(fā)生器5、光閘6、X射線接收器8、轉(zhuǎn)接板9、調(diào)整手輪10、從動帶輪11、主動帶輪12和工作臺減速機17,所述的減速機3外設主動帶輪12和調(diào)整手輪10,調(diào)整手輪10與主動帶輪12裝配在同一回轉(zhuǎn)軸上,減速機3的輸入軸13裝有從動帶輪11,主動帶輪12通過齒形帶14連接從動帶輪11,轉(zhuǎn)動調(diào)整手輪10,主動帶輪12帶動從動帶輪11使減速機輸入軸13旋轉(zhuǎn),輸入軸13旋轉(zhuǎn)使減速機輸出軸15減速旋轉(zhuǎn),所述轉(zhuǎn)接板9與減速機輸出軸15固定連接,X射線發(fā)生器5及光閘6固裝在轉(zhuǎn)接板9上,位置可通過調(diào)整手輪10改變,所述X射線接收器8裝配在減速機輸出軸15上,X射線接收器8可繞減速機輸出軸15手動調(diào)整位置,所述工作臺減速機17安裝在機架I的蓋板2的上端面上,工作臺4固定在工作臺減速機17的輸出軸上,手輪18固定裝配在工作臺減速機17的輸入輪軸上,水晶晶錠16放置在工作臺3上,可通過旋轉(zhuǎn)手輪18、工作臺減速機17帶動進行360°旋轉(zhuǎn),工作臺的下方設置有變壓器和穩(wěn)壓器向X射線發(fā)生器5供電。
[0017]所述的工作臺4上裝設有數(shù)顯裝置,工作臺4上裝設外接數(shù)顯裝置接口,檢測數(shù)據(jù)可傳輸?shù)杰囬g集控室,由集控室進行數(shù)據(jù)分析、控制。
【主權(quán)項】
1.一種水晶晶體檢測儀,包括機架(I)、蓋板(2 )、減速機(3 )、工作臺(4)、X射線發(fā)生器(5)、光閘(6)、X射線接收器(8)、轉(zhuǎn)接板(9)、調(diào)整手輪(10)、從動帶輪(11)、主動帶輪(12)和工作臺減速機(17);所述的減速機(3)外設有主動帶輪(12)和調(diào)整手輪(10),調(diào)整手輪(10)與主動帶輪(12)裝配在同一回轉(zhuǎn)軸上且固定連接,減速機(3)的輸入軸(13)裝有從動帶輪(11 ),主動帶輪(12)通過齒形帶(14)連接從動帶輪(11 ),所述轉(zhuǎn)接板(9)與減速機輸出軸(15)固定連接,X射線發(fā)生器(5)及光閘(6)固裝在轉(zhuǎn)接板(9)上,所述X射線接收器(8 )裝配在減速機輸出軸(15 )上,所述工作臺減速機(17)安裝在機架(I)的蓋板(2 )的上端面上,工作臺(4)固定在工作臺減速機(17)的輸出軸上,手輪(18)固定裝配在工作臺減速機(17)的輸入輪軸上,水晶晶錠(16)放置在工作臺(3)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水晶晶體檢測儀,其特征在于所述的工作臺(4)上裝設有數(shù)顯裝置,工作臺(4)上裝設外接數(shù)顯裝置接口。
【專利摘要】一種水晶晶體檢測儀,包括機架、減速機、工作臺、X射線發(fā)生器、光閘、X射線、X射線接收器、轉(zhuǎn)接板;所述的減速機外設主動帶輪和調(diào)整手輪,轉(zhuǎn)接板與減速機輸出軸固定連接,X射線發(fā)生器及光閘固裝在轉(zhuǎn)接板上,X射線接收器裝配在減速機輸出軸上,工作臺減速機安裝在機架的蓋板的上端面上,工作臺固定在工作臺減速機的輸出軸上,手輪固定裝配在工作臺減速機的輸入輪軸上,水晶晶錠放置在工作臺上,其優(yōu)點是:結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、測量精度高等優(yōu)點。
【IPC分類】G01N23-207
【公開號】CN204556537
【申請?zhí)枴緾N201520241954
【發(fā)明人】甄偉, 趙松彬, 陳遠帆
【申請人】丹東新東方晶體儀器有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年4月20日
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