一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的制造方法
【專利摘要】一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其中，屏蔽電極(3)位于襯底(1)之外的平面上，且屏蔽電極(3)其中相對(duì)的兩端分別與轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)各自通過(guò)固定描點(diǎn)(6)固定在襯底(1)上，該設(shè)置使屏蔽電極(3)能沿著轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)進(jìn)行扭轉(zhuǎn)振動(dòng)；感應(yīng)電極(4)也在襯底(1)之外的平面上，且其與未扭轉(zhuǎn)振動(dòng)的屏蔽電極(3)的側(cè)壁位置正對(duì)，并通過(guò)固定錨點(diǎn)(6)與襯底(1)固定連接；以及驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(2)用于驅(qū)動(dòng)屏蔽電極(3)進(jìn)行所述扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。所述傳感器能實(shí)現(xiàn)往復(fù)屏蔽感應(yīng)電極，具有體積小、感應(yīng)效率高、制造簡(jiǎn)單、成本低的優(yōu)勢(shì)，有利于批量化生產(chǎn)、封裝和集成。
【專利說(shuō)明】
一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域和微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System，簡(jiǎn)稱MEMS)領(lǐng)域，尤其涉及一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]電場(chǎng)傳感器是一種用來(lái)測(cè)量電場(chǎng)強(qiáng)度的器件，在氣象探測(cè)、航空航天、工業(yè)生產(chǎn)、智能電網(wǎng)、國(guó)防軍事和科學(xué)研究方面具有十分重要的作用。
[0003]依據(jù)工作原理的不同，電場(chǎng)傳感器可以分為光學(xué)式與電荷感應(yīng)式兩大類。早期的基于電荷感應(yīng)原理的傳統(tǒng)電場(chǎng)傳感器，比如雙球式、火箭式、旋片式等，最突出的問(wèn)題在于體積較大、成本較高；隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，基于MEMS技術(shù)的電場(chǎng)傳感器紛紛被提出，以其中性能出色的基于SOI (SiIicon-On-1nsulator)工藝靜電梳齒激勵(lì)式電場(chǎng)傳感器為例，相對(duì)傳統(tǒng)電場(chǎng)傳感器體積減小、更易制造和集成，但受限于芯片面積和工作方式，也帶來(lái)靈敏度不夠高的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提出一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，包括襯底(I)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，屏蔽電極，感應(yīng)電極，多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁和多個(gè)固定錨點(diǎn)，其中:
[0006]所述的屏蔽電極位于襯底之外的平面上，且屏蔽電極其中相對(duì)的兩端分別與轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁連接，轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁各自通過(guò)固定描點(diǎn)固定在襯底上，該設(shè)置使屏蔽電極能沿著轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁進(jìn)行扭轉(zhuǎn)振動(dòng)；
[0007]所述的感應(yīng)電極也在襯底之外的平面上，且其與未扭轉(zhuǎn)振動(dòng)的屏蔽電極的側(cè)壁位置正對(duì)，并通過(guò)固定錨點(diǎn)與襯底固定連接;以及
[0008]所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)屏蔽電極進(jìn)行所述扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。
[0009]優(yōu)選的，所述襯底與所述屏蔽電極、感應(yīng)電極之間絕緣。
[0010]優(yōu)選的，所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)為靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、壓電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、熱驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和/或磁力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。
[0011]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括可動(dòng)部分和不可動(dòng)部分，不可動(dòng)部分固定于所述襯底上，可動(dòng)部分與所述屏蔽電極和轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁連接;所述可動(dòng)部分和不可動(dòng)部分之間通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)、熱驅(qū)動(dòng)和/或磁力驅(qū)動(dòng)，經(jīng)驅(qū)動(dòng)后的可動(dòng)部分帶動(dòng)所述屏蔽電極運(yùn)動(dòng)。
[0012]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括一對(duì)或者多對(duì)可動(dòng)和不可動(dòng)部分。
[0013]優(yōu)選的，固定錨點(diǎn)設(shè)置為多組，在屏蔽電極、感應(yīng)電極與襯底之間起支撐和連接作用。
[0014]優(yōu)選的，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁為直梁、折梁、雙折梁、蟹狀梁和/或蛇形梁的彈性梁結(jié)構(gòu)。
[0015]優(yōu)選的，所述的屏蔽電極與感應(yīng)電極組成的感應(yīng)電極對(duì)布置一組或者多組。
[0016]通過(guò)上述技術(shù)方案，本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的有益效果在于:
[0017](I)通過(guò)屏蔽電極扭轉(zhuǎn)式設(shè)計(jì)，能夠提高單根感應(yīng)電極上電荷變化量的幅值，從而提高傳感器測(cè)量的靈敏度。
[0018](2)由于扭轉(zhuǎn)式振動(dòng)屬于上下離面振動(dòng)，因而感應(yīng)電極和屏蔽電極可以在平面上實(shí)現(xiàn)小寬度、小間距、高密度的布置，從而提高平面利用率，可以實(shí)現(xiàn)傳感器面積和體積的縮小。
[0019](3)通過(guò)使用MEMS技術(shù)進(jìn)行制造，有益于實(shí)現(xiàn)批量化制造和系統(tǒng)集成，同時(shí)降低成本。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的一個(gè)具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2是圖1所示具體實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)帶動(dòng)屏蔽電極發(fā)生整體扭轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)原理圖；
[0022]圖3a和3b是圖1所示具體實(shí)施例中，感應(yīng)電極在電場(chǎng)中感應(yīng)電荷的原理圖，其中圖3a為屏蔽電極發(fā)生偏轉(zhuǎn)的實(shí)體圖，圖3b為對(duì)應(yīng)剖面圖下感應(yīng)電極在電場(chǎng)中感應(yīng)電荷的示意圖；
[0023]圖4是本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的另一個(gè)具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖5是本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的另一個(gè)具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]本發(fā)明中提出的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器是一種基于電荷感應(yīng)原理的電場(chǎng)傳感器，其工作原理是:
[0026]由于驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可對(duì)屏蔽電極進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，所以當(dāng)對(duì)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)施加激勵(lì)時(shí)，會(huì)帶動(dòng)屏蔽電極發(fā)生整體扭轉(zhuǎn)，從而導(dǎo)致屏蔽電極與感應(yīng)電極之間位置的改變，進(jìn)而導(dǎo)致感應(yīng)電極上的感應(yīng)電荷發(fā)生改變。
[0027]本發(fā)明中提出的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，包括襯底，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，屏蔽電極，感應(yīng)電極，轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁和固定錨點(diǎn)，其中:
[0028]所述的屏蔽電極位于襯底之外的平面上，且屏蔽電極其中相對(duì)的兩端分別與轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁相連(兩者連接方式可以是直接連接也可以是通過(guò)其它部件間接連接)，轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁各自通過(guò)固定描點(diǎn)固定在襯底上，該設(shè)置使屏蔽電極能沿著轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁進(jìn)行扭轉(zhuǎn)振動(dòng)；
[0029]所述的感應(yīng)電極也在襯底之外的平面上，且其與未扭轉(zhuǎn)振動(dòng)的屏蔽電極的側(cè)壁位置正對(duì)，并通過(guò)固定錨點(diǎn)與襯底固定連接;以及
[0030]所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)屏蔽電極進(jìn)行所述扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。
[0031 ]優(yōu)選的，所述的襯底與所述的屏蔽電極、感應(yīng)電極之間絕緣。
[0032]所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可以為現(xiàn)有技術(shù)中所采用的各種驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的為靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、壓電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、熱驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和/或磁力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。
[0033]所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括彼此分離的可動(dòng)部分和不可動(dòng)部分，不可動(dòng)部分固定于所述襯底上，可動(dòng)部分固定于所述屏蔽電極上。
[0034]優(yōu)選的，所述可動(dòng)部分和不可動(dòng)部分之間可以通過(guò)現(xiàn)有技術(shù)中所采用的各種驅(qū)動(dòng)方式，優(yōu)選的通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)、熱驅(qū)動(dòng)和/或磁力驅(qū)動(dòng)，經(jīng)驅(qū)動(dòng)后的可動(dòng)部分帶動(dòng)所述屏蔽電極運(yùn)動(dòng)。
[0035]所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)布置一對(duì)或者多對(duì)可動(dòng)和不可動(dòng)部分。
[0036]固定錨點(diǎn)設(shè)置為多組，在屏蔽電極、感應(yīng)電極與襯底之間起支撐和連接作用。
[0037]所述的轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁為直梁、折梁、雙折梁、蟹狀梁和/或蛇形梁，并且具有形變能力的彈性梁結(jié)構(gòu)。
[0038]所述的屏蔽電極與感應(yīng)電極組成的感應(yīng)電極對(duì)布置一組或者多組。
[0039]下面通過(guò)實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說(shuō)明。在說(shuō)明書中，相同或相似的附圖標(biāo)號(hào)指示相同或相似的部件。下述參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的說(shuō)明旨在對(duì)本發(fā)明的總體發(fā)明構(gòu)思進(jìn)行解釋，而不應(yīng)當(dāng)理解為對(duì)本發(fā)明的一種限制。
[0040]圖1是本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的一個(gè)具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，其中包括四組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、兩組感應(yīng)電極對(duì)。
[0041 ]如圖所示，實(shí)施例中包括襯底I，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)2，屏蔽電極3，感應(yīng)電極4，轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁5，固定錨點(diǎn)6，其中驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)2采用靜電驅(qū)動(dòng)，由上驅(qū)動(dòng)電極與下驅(qū)動(dòng)電極組成，且上驅(qū)動(dòng)電極為可動(dòng)部分、下驅(qū)動(dòng)電極為不可動(dòng)部分。
[0042]本實(shí)施例中，屏蔽電極3、上驅(qū)動(dòng)電極、轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁5相連，且通過(guò)固定錨點(diǎn)6與襯底I連接;感應(yīng)電極4與屏蔽電極3側(cè)壁正對(duì)，且與襯底I之間通過(guò)固定錨點(diǎn)6連接。
[0043]本實(shí)施例中，屏蔽電極3及感應(yīng)電極4為條狀結(jié)構(gòu);轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁5為直梁;驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中的上驅(qū)動(dòng)電極和下驅(qū)動(dòng)電極為平板結(jié)構(gòu)。
[0044]圖2為在圖1的實(shí)施例中，上驅(qū)動(dòng)電極帶動(dòng)屏蔽電極3發(fā)生整體扭轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)原理圖，圖中對(duì)上驅(qū)動(dòng)電極兩側(cè)的受力情況進(jìn)行了示意性標(biāo)注。
[0045]其中，左右兩側(cè)獨(dú)立的下驅(qū)動(dòng)電極分別施加不同的交變電壓Val、Va2，因而對(duì)上驅(qū)動(dòng)電極的左右兩部分分別產(chǎn)生對(duì)應(yīng)大小的靜電力Fel、Fe2，如圖所示為Fel>Fe2的情況下，上驅(qū)動(dòng)電極左側(cè)靠近下驅(qū)動(dòng)電極、右側(cè)遠(yuǎn)離下驅(qū)動(dòng)電極而逆時(shí)針扭轉(zhuǎn);扭轉(zhuǎn)發(fā)生的同時(shí)，由轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁5的扭矩作用而施加在上驅(qū)動(dòng)電極兩側(cè)上的彈性力Fm產(chǎn)生，且大小相同、方向相反，隨著扭轉(zhuǎn)角度的變化，彈性力也增大，最終與靜電力的合力平衡，達(dá)到最大扭轉(zhuǎn)角度;隨后，由于電壓Val、Va2的變化，靜電力Fel、Fe2的強(qiáng)弱關(guān)系隨之改變，從而使得上驅(qū)動(dòng)電極往初始位置恢復(fù)，然后進(jìn)行順時(shí)針相反的扭轉(zhuǎn);這樣周而復(fù)始的扭轉(zhuǎn)振動(dòng)帶來(lái)屏蔽電極3與感應(yīng)電極4之間相對(duì)位置的不斷變化。
[0046]圖3a和圖3b是感應(yīng)電極4在電場(chǎng)中感應(yīng)電荷的原理圖。
[0047]圖3a為屏蔽電極3發(fā)生偏轉(zhuǎn)的實(shí)體圖。因在下驅(qū)動(dòng)電極上施加不同的交變電壓，使得上驅(qū)動(dòng)電極平面扭轉(zhuǎn)，導(dǎo)致屏蔽電極3與感應(yīng)電極4之間相對(duì)位置發(fā)生改變，從而引起感應(yīng)電極4所產(chǎn)生感應(yīng)電荷量的變化。
[0048I圖3b為對(duì)應(yīng)剖面圖下感應(yīng)電極4在電場(chǎng)中感應(yīng)電荷的示意圖。如圖所示，因屏蔽電極3始終接地，在逆時(shí)針扭轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，左側(cè)的感應(yīng)電極4因更多的外電場(chǎng)到達(dá)且集中，將產(chǎn)生較多的感應(yīng)電荷；右側(cè)的感應(yīng)電極4因屏蔽電極的遮擋屏蔽作用，到達(dá)的外電場(chǎng)大量減弱，所以感應(yīng)的電荷較少。當(dāng)屏蔽電極3做周期性扭轉(zhuǎn)振動(dòng)時(shí)，左、右兩側(cè)的感應(yīng)電極4所感應(yīng)的電荷量也將產(chǎn)生周期性變化，從而形成與待測(cè)電場(chǎng)E強(qiáng)度成正比的感應(yīng)電流。
[0049]圖4是本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的另一個(gè)具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括四組靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、兩組感應(yīng)電極對(duì)，與圖1實(shí)施例的工作原理相同，但區(qū)別在于，其驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中的上驅(qū)動(dòng)電極設(shè)計(jì)為帶方形孔的平板結(jié)構(gòu)，意在減小實(shí)際工作狀態(tài)下的空氣阻尼，能降低非真空狀態(tài)下傳感器的驅(qū)動(dòng)電壓。
[0050]圖5是本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器的另一個(gè)具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，包括兩組靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、兩組感應(yīng)電極對(duì)，該實(shí)施例中的傳感器由于采用的依然是靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，因而動(dòng)力學(xué)原理與圖1、圖4中的實(shí)施例一致，但區(qū)別在于以下兩點(diǎn):
[0051](I)該實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)位于感應(yīng)電極對(duì)中間而靠近扭轉(zhuǎn)軸，欲使其屏蔽電極發(fā)生與前兩個(gè)實(shí)施例同等的離面位移，其驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中可動(dòng)結(jié)構(gòu)需要發(fā)生的離面位移更小，因而可以降低驅(qū)動(dòng)電壓；
[0052](2)該實(shí)施例中的轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁采用的是折梁，相對(duì)于前兩個(gè)實(shí)施例中的直梁結(jié)構(gòu)，其更易發(fā)生扭轉(zhuǎn)且扭轉(zhuǎn)角度可以更大。
[0053]綜上所述，考慮電場(chǎng)傳感器實(shí)際應(yīng)用的情況，本發(fā)明中提出的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器具有體積小、感應(yīng)效率高、制造簡(jiǎn)單、成本低的優(yōu)勢(shì)，有利于批量化生產(chǎn)、封裝和集成，有利于電場(chǎng)傳感器在氣象探測(cè)、航空航天、工業(yè)生產(chǎn)、智能電網(wǎng)、國(guó)防軍事和科學(xué)研究等方面的廣泛應(yīng)用。
[0054]另外需要說(shuō)明的是，本專利中權(quán)利要求書、附圖、說(shuō)明書中相似、相同部分使用相同標(biāo)號(hào)，附圖中未標(biāo)示或描述的部分，亦應(yīng)為所屬技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)普通技術(shù)人員所知的形式。且以上所述的實(shí)施例并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，包括襯底(I)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(2)，屏蔽電極(3)，感應(yīng)電極(4)，多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)和多個(gè)固定錨點(diǎn)(6)，其中: 所述的屏蔽電極(3)位于襯底(I)之外的平面上，且屏蔽電極(3)其中相對(duì)的兩端分別與轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)各自通過(guò)固定描點(diǎn)(6)固定在襯底(I)上，該設(shè)置使屏蔽電極(3)能沿著轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)進(jìn)行扭轉(zhuǎn)振動(dòng)； 所述的感應(yīng)電極(4)也在襯底(I)之外的平面上，且其與未扭轉(zhuǎn)振動(dòng)的屏蔽電極(3)的側(cè)壁位置正對(duì)，并通過(guò)固定錨點(diǎn)(6)與襯底(I)固定連接;以及 所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(2)用于驅(qū)動(dòng)屏蔽電極(3)進(jìn)行所述扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，所述的襯底(I)與所述的屏蔽電極(3)、感應(yīng)電極(4)之間絕緣。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(2)為靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、壓電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、熱驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和/或磁力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(2)包括可動(dòng)部分和不可動(dòng)部分，不可動(dòng)部分固定于所述襯底上，可動(dòng)部分與所述屏蔽電極(3)和轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)連接;所述可動(dòng)部分和不可動(dòng)部分之間通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)、熱驅(qū)動(dòng)和/或磁力驅(qū)動(dòng)，經(jīng)驅(qū)動(dòng)后的可動(dòng)部分帶動(dòng)所述屏蔽電極(3)運(yùn)動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，所述的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(2)包括一對(duì)或者多對(duì)可動(dòng)和不可動(dòng)部分。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，固定錨點(diǎn)(6)設(shè)置為多組，在屏蔽電極(3)、感應(yīng)電極(4)與襯底(I)之間起支撐和連接作用。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)彈性梁(5)為直梁、折梁、雙折梁、蟹狀梁和/或蛇形梁的彈性梁結(jié)構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的扭轉(zhuǎn)式電場(chǎng)傳感器，其特征在于，所述的屏蔽電極(3)與感應(yīng)電極(4)組成的感應(yīng)電極對(duì)布置一組或者多組。
【文檔編號(hào)】G01R29/12GK106093605SQ201610404210
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年6月8日
【發(fā)明人】夏善紅, 儲(chǔ)昭志, 彭春榮
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所