一種基于f?p光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔及傳感裝置，包括樣品池，樣品池上設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口；樣品池的左右兩端分別設(shè)有第一反射鏡和第二反射鏡；其中第一反射鏡和第二反射鏡均包括球面，球面的中部為圓平面；第一反射鏡上設(shè)有用于入射激光的激光入口；樣品池的側(cè)向設(shè)有與拉曼信號(hào)收集單元連接透光的窗口玻片。光學(xué)增強(qiáng)腔采用特制的反射鏡組成，構(gòu)成了球面和圓平面的雙F?P腔結(jié)構(gòu)，大大增強(qiáng)了激發(fā)光功率，這是其他裝置所達(dá)不到的，實(shí)現(xiàn)了拉曼信號(hào)光幾個(gè)數(shù)量級(jí)的增強(qiáng)，從而具有很高的靈敏度和精確度，同時(shí)在石化管道上實(shí)現(xiàn)了全光型測(cè)量作業(yè)，本質(zhì)安全，并且可以實(shí)現(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)量。
【專利說(shuō)明】
一種基于F-P光學(xué)信號(hào)増強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及石化氣體含量測(cè)量領(lǐng)域，具體涉及一種基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]載氫工藝在石化行業(yè)應(yīng)用廣泛，在適當(dāng)?shù)臏囟?、氫氣濃度與氣壓等條件下，生成一定分子量的烴類或者醇類等化工產(chǎn)品。乙烯氫氣被用于加氫裂化裝置和蠟油加氫等裝置中，如果乙烯氫氣純度降低，將降低上述加氫裝置的系統(tǒng)氫氣分壓，不利于加氫反應(yīng)，會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量。為了保持足夠的氫氣分壓，加氫裝置還需要排放低氫氣濃度的氣體，增加了氫氣的消耗。許多企業(yè)所使用的乙烯氫氣為外購(gòu)，含有雜質(zhì)成分的乙烯氫氣會(huì)增加原料成本。如果乙烯氫氣純度降低(甲烷、C0、C02雜質(zhì)含量上升)，將造成以下不利:
[0003](I)雜質(zhì)含量上升，則氫氣含量相對(duì)下降，會(huì)造成氣體成本增加。
[0004](2)乙烯氫氣和煉廠制氫裝置生產(chǎn)的氫大部分用于加氫裂化裝置和蠟油加氫裝置，剩余的氫氣供煉廠老加氫裝置使用。如果乙烯氫氣純度降低，將降低上述加氫裝置的系統(tǒng)氫氣分壓，對(duì)加氫反應(yīng)不利，影響產(chǎn)品質(zhì)量。
[0005](3)C0和CO2在氫氣條件下，會(huì)發(fā)生甲烷化反應(yīng)，在催化劑床層放出大量熱，導(dǎo)致床層超溫，影響產(chǎn)品質(zhì)量。
[0006]因此，石化工業(yè)迫切需要一個(gè)安全的乙烯氫氣純度監(jiān)測(cè)技術(shù)。
[0007]目前，測(cè)量氣體純度的方法主要有三種:電化學(xué)型、電學(xué)型和光學(xué)型；但由于氫氣等屬于易燃易爆氣體，使用電類傳感器危險(xiǎn)很大，因此現(xiàn)用于石化工業(yè)的傳感器主要是光學(xué)傳感器。氣相色譜分析是一種分離測(cè)定多組分混合物的氣體光學(xué)檢測(cè)方法，基于不同物質(zhì)在相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩相中具有不同的分配系數(shù)，當(dāng)這些物質(zhì)隨流動(dòng)相移動(dòng)時(shí)，就在兩相之間進(jìn)行反復(fù)多次分配，使原來(lái)分配系數(shù)只有微小差異的各組分分離，依次送入檢測(cè)器測(cè)定，進(jìn)而達(dá)到分離分析各氣體組分的目的。分離后的各種氣體再分別隨著載氣再先后流入不同特征的氣體探測(cè)器進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和綜合分析。該方法需要特定的氣體或液體作為流動(dòng)載體，攜帶樣品進(jìn)入色譜柱進(jìn)行分析，增加了系統(tǒng)的復(fù)雜性，提高了運(yùn)行成本，只能采用間斷分析方式。
[0008]紅外探測(cè)技術(shù)是應(yīng)用較廣泛的另外一種氣體監(jiān)測(cè)手段，紅外吸收光譜是利用物質(zhì)對(duì)某一波長(zhǎng)的吸收強(qiáng)度，來(lái)反應(yīng)出物質(zhì)的濃度，基于紅外吸收光譜方法的甲烷氣體檢測(cè)技術(shù)發(fā)展成熟，但該技術(shù)對(duì)混合氣體的檢測(cè)存在較大困難。
[0009]與上述光學(xué)探測(cè)技術(shù)相比，拉曼光譜技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確地對(duì)物質(zhì)成分進(jìn)行探測(cè)。拉曼散射光譜系統(tǒng)裝置簡(jiǎn)單，對(duì)樣品不要求預(yù)處理，且無(wú)損、分析速度快，可以滿足現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)實(shí)地的探測(cè)。氣體探測(cè)分析中，利用拉曼光譜技術(shù)可以使用單一頻率的激光同時(shí)激發(fā)出多種氣體成分的拉曼散射光譜，在氣體的拉曼探測(cè)系統(tǒng)中，由于氣體分子對(duì)激發(fā)光的波長(zhǎng)沒(méi)有選擇性，拉曼光譜技術(shù)可應(yīng)用在多氣體組分探測(cè)，而紅外光譜在這一點(diǎn)上就無(wú)法實(shí)現(xiàn)。它能夠同時(shí)分析8種組分，比如常見(jiàn)H2、CO、CO2、O2、N2、CH4、CxHy、H20。檢測(cè)量程從十幾個(gè)PPM到100%，響應(yīng)時(shí)間極短。因此，拉曼光譜是一種乙烯氫氣的純度及雜質(zhì)含量的在線監(jiān)測(cè)有力手段。
[0010]拉曼技術(shù)檢測(cè)的原理是利用某一頻率的激光照射到物體表面會(huì)使氣體分子發(fā)生拉曼散射，每種氣體分子會(huì)產(chǎn)生特定的拉曼位移。這樣，當(dāng)某一頻率激光照射到混合氣體上時(shí)，每種氣體分子就會(huì)產(chǎn)生特定的拉曼位移譜線，我們對(duì)拉曼光譜譜線進(jìn)行分析就可以知道混合氣體的成分，同時(shí)，由于光譜譜線強(qiáng)度和氣體濃度成正比，因此只需要分析所要檢測(cè)的氣體分子對(duì)應(yīng)的譜線，就能得到待測(cè)氣體的濃度含量。而目前用拉曼技術(shù)測(cè)氣體含量的主要問(wèn)題是氣體分子的拉曼散射截面積要比它的吸收截面少幾個(gè)數(shù)量級(jí)，相對(duì)而言，氣體分子的吸收光譜更容易獲得，而拉曼光譜的檢測(cè)要困難得多?？紤]到拉曼光強(qiáng)是和激發(fā)的激光功率成正比的，因此提高激發(fā)的激光功率是解決這一問(wèn)題的有效手段，對(duì)于氣體來(lái)說(shuō)，表面增強(qiáng)和共振增強(qiáng)的方法都不適用，目前國(guó)內(nèi)外一般都采用腔增強(qiáng)的方法。
[0011]CN1584555A公開(kāi)了一種基于低分辨率拉曼光譜的石油產(chǎn)品質(zhì)量快速測(cè)定儀，該裝置主要用于檢測(cè)石油油品質(zhì)量，其特點(diǎn)在于成本低，體積小，便于攜帶，但其分辨率不高，沒(méi)有設(shè)計(jì)拉曼散射增強(qiáng)系統(tǒng)，不適用于石化行業(yè)氣體檢測(cè)。
[0012]CN1645106A公開(kāi)了一種基于拉曼技術(shù)的電力變壓器油中溶解氣體分析裝置，該裝置采用近共心腔光學(xué)系統(tǒng)作為拉曼散射增強(qiáng)裝置，相對(duì)于其他裝置提高了靈敏度，但是該裝置將激光器、樣品池和光學(xué)系統(tǒng)固定在一個(gè)安裝板上，不可避免地會(huì)用到電源，不利于安裝在石化工業(yè)乙烯氫氣等易燃易爆的氣體管道現(xiàn)場(chǎng)，且這種光學(xué)系統(tǒng)的增強(qiáng)作用有限。
[0013]目前，應(yīng)用于石化行業(yè)乙烯氫氣等易燃易爆氣體的拉曼在線監(jiān)測(cè)的測(cè)量系統(tǒng)在國(guó)內(nèi)還比較少見(jiàn)，不僅要克服氣體分子拉曼光譜檢測(cè)困難的問(wèn)題，還要保證安裝在現(xiàn)場(chǎng)的系統(tǒng)裝置不用到電等可能導(dǎo)致安全隱患的設(shè)備，同時(shí)還要考慮樣品池的密封性問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供一種基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置，實(shí)現(xiàn)了拉曼信號(hào)光幾個(gè)數(shù)量級(jí)的增強(qiáng)，從而具有很高的靈敏度和精確度，同時(shí)在石化管道上實(shí)現(xiàn)了全光型測(cè)量作業(yè)，本質(zhì)安全，并且可以實(shí)現(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)量。
[0015]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采取的技術(shù)方案為:一種用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，其特征在于:它包括樣品池，樣品池上設(shè)有用于與通有待測(cè)氣體的工業(yè)管道連接的進(jìn)氣口和出氣口；
[0016]樣品池的左右兩端分別設(shè)有第一反射鏡和第二反射鏡;其中第一反射鏡和第二反射鏡均包括焦距為f的球面，球面的中部為直徑為I的圓平面，使得兩個(gè)球面構(gòu)成第一 F-P振蕩腔，兩個(gè)圓平面構(gòu)成第二 F-P振蕩腔;第一反射鏡上設(shè)有用于入射激光的激光入口；
[0017]樣品池的側(cè)向設(shè)有與拉曼信號(hào)收集單元連接透光的窗口玻片。
[0018]按上述方案，所述的第一反射鏡和第二反射鏡之間的間距d= 4f_ Ad，Ad的范圍為0.2mm-0.4mm0
[0019 ] 按上述方案，所述的圓平面的直徑I的范圍為。
[0020]按上述方案，所述的第一反射鏡和第二反射鏡鍍有反射率在99.5%以上的高反介質(zhì)膜。
[0021 ] 按上述方案，所述的進(jìn)氣口和出氣口與工業(yè)管道之間設(shè)有法蘭盤和密封圈。
[0022]—種基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置，其特征在于:它包括光學(xué)增強(qiáng)腔，還包括激光器、激光入射單元、拉曼信號(hào)收集單元、信號(hào)解調(diào)單元和信號(hào)處理單元;其中，
[0023]所述的激光器發(fā)出的激光經(jīng)激光入射單元從第一反射鏡上的激光入口進(jìn)入樣品池；
[0024]所述的拉曼信號(hào)收集單元包括設(shè)置在樣品池一側(cè)的寬帶反射鏡，和設(shè)置在樣品池另一側(cè)的拉曼探頭;拉曼光透過(guò)窗口玻片由拉曼探頭接收，傳輸至信號(hào)解調(diào)單元解調(diào)為電信號(hào)，再傳輸給信號(hào)處理單元。
[0025]按上述裝置，所述的激光入射單元包括沿激光傳播方向依次設(shè)置的光隔離器、準(zhǔn)直透鏡組和反射率在99.5%以上平面高反鏡，還包括用于調(diào)整平面高反鏡角度的角度調(diào)整架。
[0026]按上述裝置，所述的拉曼探頭包括沿拉曼光的傳播方向依次設(shè)置的第一聚焦透鏡、濾光片、陷波濾光片和第二聚焦透鏡。
[0027]按上述裝置，所述的寬帶反射鏡鍍有反射率為95%以上的高反射率寬帶介質(zhì)膜。
[0028]本發(fā)明的有益效果為:
[0029]1、光學(xué)增強(qiáng)腔采用特制的反射鏡組成，構(gòu)成了球面和圓平面的雙F-P腔結(jié)構(gòu)，大大增強(qiáng)了激發(fā)光功率，這是其他裝置所達(dá)不到的，實(shí)現(xiàn)了拉曼信號(hào)光幾個(gè)數(shù)量級(jí)的增強(qiáng)，從而具有很高的靈敏度和精確度，同時(shí)在石化管道上實(shí)現(xiàn)了全光型測(cè)量作業(yè)，本質(zhì)安全，并且可以實(shí)現(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)量。
[0030]2、激光入射單元可實(shí)現(xiàn)對(duì)激光入射角度及光束質(zhì)量的調(diào)整。
[0031]3、拉曼收集單元采用大口徑的球面反射鏡，鍍高反介質(zhì)膜，保證了拉曼信號(hào)光的大范圍收集，同時(shí)采用近心設(shè)計(jì)，提高了收集角度，實(shí)現(xiàn)了拉曼信號(hào)光最大限度地收集。
[0032]4、進(jìn)氣口和出氣口采用法蘭和密封墊圈與工業(yè)管道進(jìn)行連接，保證了測(cè)量氣體與工業(yè)氣體的真正一致性，實(shí)現(xiàn)了真正意義上的在線監(jiān)測(cè)。整個(gè)裝置采用激光遠(yuǎn)程輸入和拉曼信號(hào)遠(yuǎn)程輸出方式可以避免電器件靠近易燃易爆等氣體管道，檢測(cè)安全可靠，可用于易燃易爆等氣體的在線監(jiān)測(cè)。
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0034]圖2為激光入射單元結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例的局部結(jié)構(gòu)不意圖。
[0036]圖中:1、激光入射單元，2、樣品池，2-1、進(jìn)氣口，2-2、出氣口，3、拉曼信號(hào)收集單元，4、激光器，5、信號(hào)解調(diào)模塊，6、信號(hào)處理單元，7、光隔離器，8、準(zhǔn)直透鏡組，9、平面高反鏡，10、角度調(diào)整架，11、第一反射鏡，11-1、激光入口，12、第二反射鏡，13、寬帶反射鏡，14、第一聚焦透鏡，15、濾光片，16、陷波濾光片，17、第二聚焦透鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面結(jié)合具體實(shí)例和附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。
[0038]本發(fā)明提供一種用于石化載氫管道氫氣和雜質(zhì)含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，如圖1和圖3所示，它包括樣品池2，樣品池2上設(shè)有用于與通有待測(cè)氣體的工業(yè)管道連接的進(jìn)氣口 2-1和出氣口 2-2;樣品池2的左右兩端分別設(shè)有第一反射鏡11和第二反射鏡12;其中第一反射鏡11和第二反射鏡12均包括焦距為f的球面，球面的中部為長(zhǎng)度為I的圓平面，使得兩個(gè)球面構(gòu)成第一 F-P振蕩腔，兩個(gè)圓平面構(gòu)成第二 F-P振蕩腔;第一反射鏡上設(shè)有用于入射激光的激光入口 11-1;樣品池2的側(cè)向設(shè)有與拉曼信號(hào)收集單元3連接透光的窗口玻片。
[0039]本實(shí)施例中，所述的第一反射鏡11和第二反射鏡12之間的間距d= 4f_ Δ d，Δ d的范圍為0.25mm。所述的圓平面的直徑I的范圍為3.5mm左右。第一反射鏡11和第二反射鏡12鍍有反射率99.5%以上的高反介質(zhì)膜。
[0040]優(yōu)選的，所述的進(jìn)氣口 2-1和出氣口 2-2與工業(yè)管道之間設(shè)有法蘭盤和密封圈。本實(shí)施例中，進(jìn)氣口 2-1通過(guò)法蘭、密封墊片與測(cè)量旁管相連，出氣口 2-2通過(guò)法蘭、密封墊片與放空旁管相連，保證測(cè)量氣體與石化管道氣體的一致性及裝置的密封性。
[0041]一種用于石化載氫管道氫氣和雜質(zhì)含量在線測(cè)量的傳感裝置，如圖1和圖3所示，它包括光學(xué)增強(qiáng)腔，還包括激光器4、激光入射單元1、拉曼信號(hào)收集單元3、信號(hào)解調(diào)單元5和信號(hào)處理單元6;其中，所述的激光器4發(fā)出的激光經(jīng)激光入射單元I從第一反射鏡11上的激光入口 11-1進(jìn)入樣品池2;所述的拉曼信號(hào)收集單元3包括設(shè)置在樣品池2—側(cè)的寬帶反射鏡13，和設(shè)置在樣品池2另一側(cè)的拉曼探頭;拉曼光透過(guò)窗口玻片由拉曼探頭接收，傳輸至信號(hào)解調(diào)單元5解調(diào)為電信號(hào)，再傳輸給信號(hào)處理單元6。
[0042]如圖2所示，所述的激光入射單元I包括沿激光傳播方向依次設(shè)置的光隔離器7、準(zhǔn)直透鏡組8和反射率99.5%以上平面高反鏡9，還包括用于調(diào)整平面高反鏡9角度的角度調(diào)整架10。其安裝方式如下:光隔離器7和準(zhǔn)直透鏡組8合成探頭，與平面高反鏡9 一起安裝在角度調(diào)整架10上，角度調(diào)整架10可以繞固定點(diǎn)旋轉(zhuǎn)調(diào)整平面高反鏡9的角度，激光經(jīng)過(guò)光隔離器7和準(zhǔn)直透鏡組8后入射到平面高反鏡9的固定點(diǎn)上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)平面高反鏡9可以調(diào)節(jié)反射激光的出射角度來(lái)實(shí)現(xiàn)光入射角調(diào)節(jié)。
[0043]優(yōu)選的，所述的拉曼探頭包括沿拉曼光的傳播方向依次設(shè)置的第一聚焦透鏡14、濾光片15、陷波濾光片16和第二聚焦透鏡17。
[0044]本實(shí)施例中，寬帶反射鏡13為直徑達(dá)70mm大口徑球面鏡，鏡面鍍高反射率寬帶介質(zhì)膜，對(duì)激光的拉曼光反射率達(dá)到95%以上，同時(shí)拉曼探頭采用近心設(shè)計(jì)，即第一聚焦透鏡14的焦距采用小焦距約為7.5mm，保證收集透鏡足夠大的收集角，這樣可以保證最大限度地收集到激發(fā)出的拉曼信號(hào)光;濾光片15和陷波濾光片16用于濾除激光和瑞利散射光等背景光，保證接受信號(hào)的信噪比。
[0045]本實(shí)施例中，激光入射單元I和光學(xué)增強(qiáng)腔及拉曼信號(hào)收集單元3安裝在一個(gè)水平支架上，激光器出射的激光通過(guò)光纜傳輸?shù)郊す馊肷鋯卧狪，經(jīng)過(guò)光束處理后射入光學(xué)增強(qiáng)腔激發(fā)拉曼光，拉曼光由拉曼信號(hào)收集單元3收集后進(jìn)入光纜傳輸?shù)叫盘?hào)解調(diào)模塊5，信號(hào)解調(diào)模塊通過(guò)通信線連接信號(hào)處理單元6進(jìn)行信號(hào)處理。進(jìn)氣口2-1和出氣口 2-2通過(guò)法蘭和密封墊與工業(yè)管道相連。
[0046]本實(shí)施例采用長(zhǎng)距離光纜進(jìn)行激光和拉曼信號(hào)光的傳輸，實(shí)現(xiàn)探測(cè)部件的全光結(jié)構(gòu)，本質(zhì)安全可靠。
[0047]以上實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明的設(shè)計(jì)思想和特點(diǎn)，其目的在于使本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于上述實(shí)施例。所以，凡依據(jù)本發(fā)明所揭示的原理、設(shè)計(jì)思路所作的等同變化或修飾，均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，其特征在于:它包括樣品池，樣品池上設(shè)有用于與通有待測(cè)氣體的工業(yè)管道連接的進(jìn)氣口和出氣口； 樣品池的左右兩端分別設(shè)有第一反射鏡和第二反射鏡;其中第一反射鏡和第二反射鏡均包括焦距為/的球面，球面的中部為直徑為2的圓平面，使得兩個(gè)球面構(gòu)成第一F-P振蕩腔，兩個(gè)圓平面構(gòu)成第二 F-P振蕩腔;第一反射鏡上設(shè)有用于入射激光的激光入口； 樣品池的側(cè)向設(shè)有與拉曼信號(hào)收集單元連接透光的窗口玻片。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，其特征在于:所述的第一反射鏡和第二反射鏡之間的間距c/ =4/ -Ac/ ,Ad的范圍為0.2mm-0.4mmo3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，其特征在于:所述的圓平面的直徑2的范圍為3mm-4mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，其特征在于:所述的第一反射鏡和第二反射鏡鍍有反射率在99.5%以上的高反介質(zhì)膜。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的光學(xué)增強(qiáng)腔，其特征在于:所述的進(jìn)氣口和出氣口與工業(yè)管道之間設(shè)有法蘭盤和密封圈。6.—種基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置，其特征在于:它包括權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的光學(xué)增強(qiáng)腔，還包括激光器、激光入射單元、拉曼信號(hào)收集單元、信號(hào)解調(diào)單元和信號(hào)處理單元;其中， 所述的激光器發(fā)出的激光經(jīng)激光入射單元從第一反射鏡上的激光入口進(jìn)入樣品池； 所述的拉曼信號(hào)收集單元包括設(shè)置在樣品池一側(cè)的寬帶反射鏡，和設(shè)置在樣品池另一側(cè)的拉曼探頭;拉曼光透過(guò)窗口玻片由拉曼探頭接收，傳輸至信號(hào)解調(diào)單元解調(diào)為電信號(hào)，再傳輸給信號(hào)處理單元。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置，其特征在于:所述的激光入射單元包括沿激光傳播方向依次設(shè)置的光隔離器、準(zhǔn)直透鏡組和反射率在99.5%以上的平面高反鏡，還包括用于調(diào)整平面高反鏡角度的角度調(diào)整架。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置，其特征在于:所述的拉曼探頭包括沿拉曼光的傳播方向依次設(shè)置的第一聚焦透鏡、濾光片、陷波濾波片和第二聚焦透鏡。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于F-P光學(xué)信號(hào)增強(qiáng)的石化載氫管道氣體含量在線測(cè)量的傳感裝置，其特征在于:所述的寬帶反射鏡鍍有反射率在95%以上的高反射率寬帶介質(zhì)膜。
【文檔編號(hào)】G01N21/65GK106053428SQ201610353564
【公開(kāi)日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年5月25日
【發(fā)明人】童杏林, 楊華東, 母坤, 鄧承偉, 張寶林, 胡畔, 陳亮, 黃迪
【申請(qǐng)人】武漢理工大學(xué)