半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，用于連接一測試頭及一針測機(jī)，包括有一支撐部、一主體部及一套環(huán)部。支撐部固設(shè)于測試頭，包括有一連結(jié)板及多個(gè)滑柱，每一滑柱是分別固設(shè)于連結(jié)板。主體部包括一具有多個(gè)滑槽的結(jié)構(gòu)主體、多個(gè)緩沖件及多個(gè)卡扣件，每一緩沖件是連接連結(jié)板及結(jié)構(gòu)主體?？奂桥浜瞎淘O(shè)于針測機(jī)上的套環(huán)部，其具有可分別與每一卡扣件卡接的多個(gè)卡扣槽，以及可分別滑設(shè)每一導(dǎo)引柱的多個(gè)斜向槽。由此，增進(jìn)使用者安裝、維修及取放探針卡的便利性，同時(shí)可使結(jié)構(gòu)主體水平搭接針測機(jī)，提高連接定位的精準(zhǔn)度。
【專利說明】
半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明是關(guān)于一種半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，尤指一種適用于連結(jié)測試頭與針測機(jī)的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]關(guān)于已知半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)存在了幾項(xiàng)缺點(diǎn)，首先光源供應(yīng)裝置阻擋了探針卡的取放路徑，使得操作人員每次都必須將光源供應(yīng)裝置移開后，才能進(jìn)行更換作業(yè)，便利性有待加強(qiáng)。其次，此種連接對位方式，缺乏緩沖及調(diào)整機(jī)制，在連接定位過程中易產(chǎn)生偏差，精準(zhǔn)度不高。再者，電路板上須利用各種扁平電纜與測試頭作連接，在維修過程中，易拉扯或彎折而導(dǎo)致傳輸?shù)臏y試訊號異常，降低測試的穩(wěn)定性。
[0003]發(fā)明人緣因于此，本于積極發(fā)明的精神，亟思一種可以解決上述問題的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成本發(fā)明。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的是在提供一種半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，該連接機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)主體是設(shè)置于測試頭上，故二者可依一樞轉(zhuǎn)軸進(jìn)行同軸翻轉(zhuǎn)，有別于傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)主體與針測機(jī)相連的設(shè)計(jì)模式，由此便于使用者安裝、維修及取放探針卡，同時(shí)通過連接時(shí)的微調(diào)機(jī)構(gòu)，使得結(jié)構(gòu)主體能水平搭接針測機(jī)，提高連接定位的精準(zhǔn)度。
[0005]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，用于連接一測試頭及一針測機(jī)，包括有一支撐部、一主體部及一套環(huán)部。支撐部固設(shè)于測試頭，包括有一連結(jié)板及多個(gè)滑柱，每一滑柱是分別固設(shè)于連結(jié)板，以作為主體部滑動(dòng)時(shí)的滑移軌道。主體部包括一具有多個(gè)滑槽的結(jié)構(gòu)主體、多個(gè)緩沖件及多個(gè)卡扣件，每一緩沖件是連接連結(jié)板及結(jié)構(gòu)主體，可作為結(jié)構(gòu)主體與針測機(jī)連結(jié)及卸除時(shí)的微調(diào)緩沖機(jī)制，而每一卡扣件是設(shè)置于結(jié)構(gòu)主體上，提供一卡扣單元部件，在本發(fā)明中可為一插銷，使得結(jié)構(gòu)主體與套環(huán)部可相連結(jié)。上述卡扣件是配合固設(shè)于針測機(jī)上的套環(huán)部，其具有可分別與每一卡扣件卡接的多個(gè)卡扣槽，以及分別滑設(shè)每一導(dǎo)引柱的多個(gè)斜向槽。由此，利用旋轉(zhuǎn)卡合的方式將二者固定結(jié)合。
[0006]此外，上述主體部可還包括一光源供應(yīng)裝置，其設(shè)置于結(jié)構(gòu)主體的一容置空間中，并電連接測試頭。該光源供應(yīng)裝置可為LED光源，是作為影像測試的光源供應(yīng)裝置。由此，將光源供應(yīng)裝置設(shè)置于主體部可提升更換或檢測探針卡的便利性，同時(shí)妥善利用結(jié)構(gòu)裝置內(nèi)的容置空間。
[0007]上述主體部可更固設(shè)有多個(gè)電路板，其環(huán)繞設(shè)置于結(jié)構(gòu)主體的側(cè)表面上，并電連接測試頭。其中，電路板是用來進(jìn)行影像測試，其裸露固定于結(jié)構(gòu)主體的側(cè)表面上，可增加散熱效果及便于檢查電路板的外觀狀況。
[0008]其中，上述光源供應(yīng)裝置可還包括多個(gè)定位孔，其對應(yīng)連接針測機(jī)的多個(gè)定位銷。該每一電路板還包括多個(gè)插槽，其可對應(yīng)連接該針測機(jī)的多個(gè)定位接點(diǎn)。由此，可將結(jié)構(gòu)主體的各部件更精準(zhǔn)的卡接于針測機(jī)上，提供最完善的檢測環(huán)境，同時(shí)也可避免光源供應(yīng)裝置發(fā)生漏光的情形產(chǎn)生。
[0009]再者，上述每一緩沖件可為一彈簧，利用彈簧伸縮形變的特性，可改善結(jié)構(gòu)主體對位接合針測機(jī)時(shí)的不均勻施力或不平整狀態(tài)。更進(jìn)一步，上述每一緩沖件可為一氣壓缸，通過氣壓活塞桿與氣墊氣體的交互作用，提供縱向上的緩沖調(diào)整，可同樣改善結(jié)構(gòu)主體對位接合針測機(jī)時(shí)的不均勻施力或不平整狀態(tài)。
[0010]上述每一滑槽內(nèi)可分別設(shè)置一包覆于滑柱的彈性元件。由此，提供結(jié)構(gòu)主體對位接合針測機(jī)時(shí)在水平方向上的緩沖位移，增進(jìn)接合的精準(zhǔn)度。
【附圖說明】
[0011]以上概述與接下來的詳細(xì)說明皆為示范性質(zhì)是為了進(jìn)一步說明本發(fā)明的申請專利范圍。而有關(guān)本發(fā)明的其他目的與優(yōu)點(diǎn)，將在后續(xù)的說明與附圖加以闡述，其中:
[0012]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的接合狀態(tài)立體圖。
[0013]圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的分離狀態(tài)立體圖。
[0014]圖3是圖2的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的分離狀態(tài)的局部放大圖。
[0015]圖4是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的鎖定狀態(tài)的A-A剖視圖。
[0016]圖5是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的卸除狀態(tài)的A-A剖視圖。
[0017]圖6是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的鎖定狀態(tài)的A-A局部剖視圖。
[0018]圖7是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的卸除狀態(tài)的A-A局部剖視圖。
[0019]圖8是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]請參閱圖1至圖3，是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的接合狀態(tài)立體圖、分離狀態(tài)立體圖及分離狀態(tài)的局部放大圖。圖1-圖3中出示一種半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)1，是設(shè)置于一半導(dǎo)體元件測試裝置10中，主要用于連接該裝置的一測試頭20及一針測機(jī)40，其中，測試頭20是以一支撐臂101樞設(shè)于針測機(jī)40的一樞轉(zhuǎn)軸102上，然而，因半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)I的一結(jié)構(gòu)主體31是設(shè)置于測試頭20上，故二者可依所述的樞轉(zhuǎn)軸102進(jìn)行同軸翻轉(zhuǎn)，有別于傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)主體與針測機(jī)相連的設(shè)計(jì)模式，其翻轉(zhuǎn)的情形可對照圖1及圖2所示。
[0021]接著，請參閱圖2及圖3，本發(fā)明的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)I主要包括三大部分，包括有固設(shè)于測試頭20的一支撐部2、在外表面裝設(shè)有電路版6的主體部3以及固設(shè)于針測機(jī)40的一套環(huán)部4。前述的電路板6，是以裸露結(jié)構(gòu)的配置方式設(shè)置于主體部3上，可增加散熱效果及便于檢查電路板的外觀狀況。
[0022]測試頭20的支撐部2，是以一連結(jié)板21將下方連接機(jī)構(gòu)的主體部3支撐固定于測試頭20上，同時(shí)在連結(jié)板21上另固設(shè)有四支滑柱22，以作為主體部3滑動(dòng)時(shí)的滑移軌道。
[0023]再著，主體部3包括一具有多個(gè)滑槽311 (如圖4所示)的結(jié)構(gòu)主體31、多個(gè)緩沖件32及多個(gè)卡扣件33，在本實(shí)施例中，上述緩沖件32是為一彈簧，但不以此為限，凡是可提供結(jié)構(gòu)主體31 —緩沖作用力的構(gòu)件，例如:氣壓缸等元件，皆在本發(fā)明保護(hù)的專利范圍內(nèi)。而所述每一緩沖件32是以掛勾連接連結(jié)板21及結(jié)構(gòu)主體31。另外，每一卡扣件33是設(shè)置于該結(jié)構(gòu)主體31上，提供一卡扣單元部件，在本發(fā)明中可為一插銷，使得結(jié)構(gòu)主體31與套環(huán)部4可相連結(jié)。主體部3的結(jié)構(gòu)主體31是為一中空架體，其具有一容置空間312，可供存放不同的測試套件，在本實(shí)施例中，上述容置空間312設(shè)有一光源供應(yīng)裝置5，其為一 LED光源，并電連接測試頭20，作為影像測試的光源供應(yīng)。
[0024]以上為與測試頭20相連接的各部構(gòu)件，再次強(qiáng)調(diào)上述結(jié)構(gòu)是以樞轉(zhuǎn)軸102為樞轉(zhuǎn)軸線，具備可同軸翻轉(zhuǎn)的特性，且至少可翻轉(zhuǎn)90度以上。接著，請?jiān)俅螀㈤唸D2及圖3，設(shè)置于針測機(jī)上的套環(huán)部4包括有多個(gè)卡扣槽41及多個(gè)斜向槽42，其中，多個(gè)卡扣槽41在結(jié)構(gòu)主體31與套環(huán)部4上下接合的過程中，會(huì)先與卡扣件33先行卡合，使得套環(huán)部4與結(jié)構(gòu)主體31成為一體的結(jié)構(gòu)后，再利用旋轉(zhuǎn)卡合的方式，使得上述結(jié)構(gòu)得以通過多個(gè)導(dǎo)引柱43分別沿著每一斜向槽42的軌跡向下滑移，而完成整體性的接合作業(yè)。
[0025]請參閱圖4及圖5，是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的鎖定狀態(tài)的A-A剖視圖及卸除狀態(tài)的A-A剖視圖。如前所述，在本發(fā)明中，當(dāng)多個(gè)卡扣槽41與卡扣件33先行卡合完畢后，為了達(dá)成水平接合的步驟，在過程中會(huì)包括有以下兩種情況，其一為鎖定狀態(tài)、其二為卸除狀態(tài)。
[0026]在鎖定狀態(tài)下，如圖4所示，整個(gè)結(jié)構(gòu)主體31及套環(huán)部4已接合下方針測機(jī)40，該每一斜向槽42對應(yīng)一旁的導(dǎo)引柱43進(jìn)行相對滑移而達(dá)到鎖定狀態(tài)，此時(shí)在縱向上，連結(jié)支撐部2與結(jié)構(gòu)主體31的緩沖件32將隨著整體位置向下移動(dòng)而跟著被拉長，使得連結(jié)板21及結(jié)構(gòu)主體31之間間隔一距離D，在本實(shí)施例中可達(dá)30毫米。在橫向上，因本發(fā)明的連接機(jī)構(gòu)是通過多個(gè)滑柱22在多個(gè)滑槽311滑移，且二者之間填充有彈性元件23，在本實(shí)施例中，在滑柱22外包覆有一彈簧，是可有效防止不必要的橫向偏移，增進(jìn)對位的精確性。
[0027]在卸除狀態(tài)下，如圖5所示，整個(gè)結(jié)構(gòu)主體31及套環(huán)部4已脫離下方針測機(jī)40，該每一斜向槽42對應(yīng)一旁的導(dǎo)引柱43進(jìn)行相對滑移而回到卸除狀態(tài)，此時(shí)在縱向上，連結(jié)支撐部2與結(jié)構(gòu)主體31的緩沖件32隨著整體位置向上移動(dòng)而恢復(fù)原長，使得套環(huán)部4及針測機(jī)40表面之間間隔一距離D，在本實(shí)施例中可達(dá)30毫米。由此，通過上述微調(diào)緩沖機(jī)構(gòu)，使得結(jié)構(gòu)主體在一穩(wěn)定狀態(tài)中能夠水平搭接針測機(jī)，提高連接定位的精準(zhǔn)度。
[0028]更進(jìn)一步，請參閱圖6及圖7，是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的鎖定狀態(tài)的A-A局部剖視圖及卸除狀態(tài)的A-A局部剖視圖，亦可同時(shí)參閱圖3，其包含內(nèi)部的結(jié)構(gòu)特征。如圖6所示，光源供應(yīng)裝置5是位于結(jié)構(gòu)主體31的一容置空間312中。在鎖定狀態(tài)下，為了避免測試中發(fā)生光源漏光的現(xiàn)象產(chǎn)生，必須確保所述光源供應(yīng)裝置5能緊貼針測機(jī)40中的一探針卡7。因此，除了在光源供應(yīng)裝置5的外殼上設(shè)置多個(gè)定位孔51藉以對位針測機(jī)40的多個(gè)定位銷401的外，本發(fā)明在結(jié)構(gòu)主體31與光源供應(yīng)裝置5另設(shè)有多個(gè)抵推件52，在本實(shí)施例中同樣為多個(gè)彈簧，通過彈簧的壓縮推力將上述二者彼此密合，可有效避免光源漏光的現(xiàn)象。此外，在探針卡7上包括多個(gè)定位接點(diǎn)402，在鎖定狀態(tài)下可對應(yīng)連接每一電路板6的插槽61，使得電路板6是以垂直方向插入水平置放的探針卡7的插槽61中，俾能提供影像偵測訊號進(jìn)入連接于探針卡的晶圓中，藉以篩選出不良品以利進(jìn)行后續(xù)的封裝工程。
[0029]同理，如圖7所示，在卸除狀態(tài)下，當(dāng)結(jié)構(gòu)主體31與套環(huán)部4向上移動(dòng)前述的距離D后，不論在光源供應(yīng)裝置5的定位孔51或在電路板6上的插槽61，皆會(huì)與對應(yīng)的定位銷401及定位接點(diǎn)402脫離，此外，多個(gè)抵推件52可恢復(fù)至原長度，懸吊該光源供應(yīng)裝置5。通過上述設(shè)計(jì)，本發(fā)明的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)可將結(jié)構(gòu)主體的各部件更精準(zhǔn)的卡接于針測機(jī)上，提供最完善的檢測環(huán)境，同時(shí)也可避免光源供應(yīng)裝置發(fā)生漏光的情形產(chǎn)生。
[0030]如圖8所示，是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)的立體圖。半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)9設(shè)置于一針測機(jī)94 (Prober)上，主要包括有一結(jié)構(gòu)主體931、多個(gè)電路板96以及相對應(yīng)的定位銷941與插槽942。其中，該結(jié)構(gòu)主體931是樞設(shè)于一樞轉(zhuǎn)軸承902上，使得結(jié)構(gòu)主體931是為一種單邊固定的上掀式蓋體，并于其四周固設(shè)有多個(gè)電路板96，該電路板電連接測試頭，以提供影像測試訊號控制。此外，當(dāng)結(jié)構(gòu)主體931蓋回針測機(jī)94時(shí)，將上述結(jié)構(gòu)主體931及電路板96對應(yīng)卡合至定位銷941及插槽942，完成后即可進(jìn)行測試作業(yè)；反之當(dāng)結(jié)構(gòu)主體931處于上掀狀態(tài)且將光源供應(yīng)裝置95移開后，即可進(jìn)行探針卡的更換作業(yè)，或針對內(nèi)部構(gòu)件進(jìn)行維修或更新。
[0031]上述實(shí)施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，用于連接一測試頭及一針測機(jī)，包括有: 一支撐部，固設(shè)于該測試頭，包括一連結(jié)板及多個(gè)滑柱，該每一滑柱分別固設(shè)于該連結(jié)板； 一主體部，包括一具有多個(gè)滑槽的結(jié)構(gòu)主體、多個(gè)緩沖件及多個(gè)卡扣件，該每一緩沖件連接該連結(jié)板及該結(jié)構(gòu)主體，該每一卡扣件設(shè)置于該結(jié)構(gòu)主體上；以及 一套環(huán)部，固設(shè)于該針測機(jī)，具有可分別與該每一卡扣件卡接的多個(gè)卡扣槽，以及分別滑設(shè)每一導(dǎo)引柱的多個(gè)斜向槽。2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該主體部還包括一光源供應(yīng)裝置，其設(shè)置于該結(jié)構(gòu)主體的一容置空間中，并電連接該測試頭。3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該主體部固設(shè)有多個(gè)電路板，其環(huán)繞設(shè)置于該結(jié)構(gòu)主體的側(cè)表面上，并電連接該測試頭。4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該光源供應(yīng)裝置還包括多個(gè)定位孔，其可對應(yīng)連接該針測機(jī)的多個(gè)定位銷。5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該每一電路板還包括多個(gè)插槽，其可對應(yīng)連接該針測機(jī)的多個(gè)定位接點(diǎn)。6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該每一緩沖件為一彈簧。7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該每一緩沖件為一氣壓缸。8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，每一滑槽內(nèi)分別設(shè)置一包覆于該滑柱的彈性元件。9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試連接機(jī)構(gòu)，其中，該卡扣件為一插銷。
【文檔編號】G01R1/04GK105842486SQ201510017306
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年1月14日
【發(fā)明人】吳國榮
【申請人】京元電子股份有限公司