透明板檢查裝置及透明板清掃檢查系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供透明板檢查裝置及透明板清掃檢查系統(tǒng)，能夠在異物難以附著于透明板的狀態(tài)下檢查透明板并能夠進行正確地檢查。透明板檢查裝置，用于檢查透明板，其特征在于包括：殼體，具有所述透明板的輸入口和輸出口；輸送機構，將所述透明板從所述輸入口輸送到所述輸出口；檢查部，檢查被所述輸送機構輸送的所述透明板；以及異物附著阻止機構，在所述殼體的內部阻止異物附著于所述透明板。所述異物附著阻止機構具有使所述殼體的內壓高于外部氣壓的加壓機構。所述加壓機構具有：將所述殼體的外部空氣向所述殼體的內部送入的送入機構、和屏蔽被所述送入機構輸送的空氣中含有的異物向所述殼體的內部侵入的過濾器。所述加壓機構設于所述殼體的上部。
【專利說明】
透明板檢查裝置及透明板清掃檢查系統(tǒng)
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及透明板檢查裝置及透明板清掃檢查系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]在移動電話或智能手機等方面使用玻璃基板。玻璃基板通過玻璃基板的制造裝置制造。當制造玻璃基板時，有時在玻璃基板的表面附著由于切削而產生的玻璃粉等。此外，在玻璃基板的輸送中也擔憂有塵埃附著。為了除去這些玻璃粉或塵埃等，需要清掃玻璃基板的表面。作為清掃這樣的玻璃基板表面的裝置，提出了在已敷于傳送帶上的干凈的布上承載透明板，并通過含有乙醇的布拂拭透明板的整個上表面的污漬的清掃裝置(中國專利申請公開第102698988號)。這樣清掃的玻璃基板有時通過檢查裝置檢查表面有無損傷或破損且是否附著有異物。
[0003]在先技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:中國專利申請公開第102698988號公報

【發(fā)明內容】

[0006]發(fā)明要解決的技術問題
[0007]然而，當清掃玻璃基板后向檢查裝置輸送時，玻璃基板上異物有可能附著。此外，在檢查裝置內部，為了使玻璃基板的輸送機構或檢查機構等進行動作，則那些機構所使用的構件會互相摩擦，因此導致有可能在檢查裝置內部非常微小的異物附著于玻璃基板。在這樣的情況下，存在僅由于在玻璃基板附著有這樣的異物而導致玻璃基板被判定為殘次品、并使殘次品率上升的擔憂。
[0008]在此，本發(fā)明要解決的技術問題是提供能夠在異物難以附著于透明板的狀態(tài)下檢查透明板并能夠進行正確地檢查的透明板檢查裝置及透明板清掃檢查系統(tǒng)。
[0009]用于解決技術問題的技術方案
[0010]用于解決所述技術問題而完成的發(fā)明是一種檢查透明板的透明板檢查裝置，其特征在于，包括:
[0011]殼體，具有所述透明板的輸入口和輸出口；
[0012]輸送機構，將所述透明板從所述輸入口輸送到所述輸出口；
[0013]檢查部，檢查被所述輸送機構輸送的所述透明板;以及
[0014]異物附著阻止機構，在所述殼體的內部阻止異物附著于所述透明板。
[0015]該透明板檢查裝置通過檢查部檢查由所述輸送機構在殼體的內部被輸送的透明板。當進行該檢查時，殼體的內部通過異物附著阻止機構準確地阻止異物附著于透明板，因此能夠進行正確地檢查。
[0016]所述異物附著阻止機構可以具有提高所述殼體的內壓的加壓機構。由此，由于加壓機構提高了殼體的內壓，因此，空氣難以從殼體的外部流入內部，并且能夠準確地阻止從殼體的外部向內部的異物侵入，并準確地防止在殼體內異物附著于透明板。
[0017]所述加壓機構可以具有:將所述殼體的外部空氣向所述殼體的內部送入的送入機構、和屏蔽被所述送入機構輸送的空氣中含有的異物向所述殼體的內部侵入的過濾器。由此，能夠通過由送入機構送入的空氣來提高殼體的內壓，此外，由于該送入的空氣中的異物能夠通過過濾器來阻止向殼體內部的侵入，因此，能夠阻止通過送入機構向殼體內部的異物的侵入。
[0018]所述加壓機構的所述送入機構可以向所述透明板上供給空氣，使被所述輸送機構輸送的所述透明板上附著的異物流動。通過由送入機構向透明板表面供給空氣，則能夠阻止異物向透明板的附著。
[0019]所述加壓機構可以設置在所述殼體的上部。由此，通過由設置在殼體上部的加壓機構向殼體的內部即下方加壓，從而能夠提高殼體的內壓。
[0020]所述異物附著阻止機構可以具有設置在所述殼體的內部、且從所述輸入口及/或所述輸出口向所述殼體的外部排出空氣的送出機構。由此，通過送出機構在輸入口附近從殼體的內部朝向外部排風，從而能夠準確地阻止異物從輸入口侵入。
[0021]所述輸送機構可以以不接觸所述透明板的表面和背面的方式來輸送所述透明板。通過如此的輸送機構在不接觸透明板的表面的狀態(tài)下輸送透明板，通過輸送機構能夠準確地阻止污漬或異物向透明板的表面和背面附著，從而可以進行正確地檢查。該輸送機構可以通過與所述透明板的端緣接觸來保持透明板。由于，輸送機構在不接觸透明板的表面和背面的狀態(tài)下輸送透明板，并能夠準確地阻止由輸送機構導致污漬或異物向透明板的表面和背面附著。
[0022]所述輸送機構優(yōu)選包括:第一輸送構件，在接觸所述透明板的端緣的同時進行輸送;上升構件，與所述透明板的端緣接觸的同時承接被所述第一輸送構件輸送來的所述透明板，并使該透明板上升；以及第二輸送構件，與所述透明板的端緣接觸的同時承接被所述上升構件上升的所述透明板，并向所述檢查部的檢查區(qū)域輸送該透明板。
[0023]由此，通過第一輸送構件輸送透明板，并將由該第一輸送構件輸送的透明板傳遞到上升構件，使被上升構件保持的透明板上升，將該被上升的透明板從上升構件通過第二輸送構件而傳遞，能夠通過檢查部檢查被該第二輸送構件輸送的透明板。第一輸送構件、上升構件及第二輸送構件如上所述與透明板的端緣接觸，由于能夠在不接觸透明板的表面和背面的狀態(tài)下保持透明板，因此能夠準確地阻止通過第一輸送構件、上升構件以及第二輸送構件而向透明板的表面和背面附著污漬或異物。此外，在檢查部的檢查區(qū)域中，由于輸送通過由第二輸送構件和端緣接觸而被保持的透明板，因此透明板的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)鹊钠渌鼧嫾环恋K檢查部的檢查，可以進行各種檢查，從而能夠實現(xiàn)檢查精度的提高。
[0024]所述上升構件可以包括:吸引從所述第一輸送構件輸送來的所述透明板的上表面的吸引部、和通過接觸吸引于所述吸引部的所述透明板的上端緣來定位所述透明板的高度位置的多個定位部，所述多個定位部具有與所述透明板的端緣接觸的錐面，以阻止所述吸引部與所述透明板的上表面接觸。由此，從第一輸送構件被輸送的透明板通過吸引部吸引上表面，則端緣和多個保持部的錐形面接觸，并通過該多個保持部的錐形面和端緣的接觸而被準確地保持。
[0025]所述輸送機構可以具有與所述透明板的端緣接觸的一對傳送帶，該一對所述傳送帶的與所述透明板的接觸面向彼此相對側傾斜。由此，在使透明板的端緣接觸的狀態(tài)下，可以將透明板承載于向彼此相對側傾斜的一對傳送帶的接觸面，從而能夠不接觸透明板的表面和背面來輸送透明板。
[0026]所述輸送機構包括與所述透明板的端緣接觸并從兩側夾著所述透明板的至少一對把持部。由此，使一對把持部和透明板的端緣接觸，通過由一對把持部從兩側夾入透明板，則能夠不與透明板的表面和背面接觸來輸送透明板。
[0027]用于解決所述技術問題而完成的另一個發(fā)明是透明板清掃檢查系統(tǒng)，包括:
[0028]異物除去機構，除去附著于透明板的異物；以及
[0029]由所述機構構成的所述透明板檢查裝置，檢查已被所述異物除去機構除去異物的所述透明板。
[0030]該透明板清掃檢查系統(tǒng)由于能夠通過該透明板檢查裝置檢查被異物除去機構除去異物的透明板，因此能夠進行正確地檢查。
[0031]如此所述透明板清掃檢查系統(tǒng)還包括清掃所述透明板的表面和/或背面的清掃裝置。由此，能夠通過該透明板檢查裝置檢查由清掃裝置清掃表面和/或背面的透明板，因此能夠進行正確地檢查。
[0032]用于解決所述技術問題而完成的另一個發(fā)明是透明板清掃檢查系統(tǒng)，包括:
[0033]清掃裝置，清掃透明板的表面和/或背面;以及
[0034]由所述機構構成的所述透明板檢查裝置，檢查已被所述清掃裝置清掃的所述透明板。
[0035]這樣的該透明板清掃檢查系統(tǒng)能夠通過該透明板檢查裝置檢查由所述清掃裝置清掃表面和/或背面的透明板，因此能夠進行正確地檢查。
[0036]用于解決所述技術問題而完成的另一個發(fā)明是透明板清掃檢查系統(tǒng)，包括:
[0037]第一清掃裝置，清掃透明板的第一面；
[0038]翻轉裝置，使從該第一清掃裝置輸出的所述透明板翻轉；
[0039]第二清掃裝置，邊輸送已被所述翻轉裝置翻轉的所述透明板的同時，邊清掃所述透明板的第二面；以及
[0040]由所述機構構成的所述的透明板檢查裝置，檢查已被所述第一清掃裝置和所述第二清掃裝置清掃過兩面的所述透明板。
[0041]該透明板清掃檢查系統(tǒng)通過翻轉由第一清掃裝置清掃第一面的透明板的同時，并輸送到第二清掃裝置，則能夠高效地清掃透明板的兩面，并能夠通過該透明板檢查裝置檢查這種兩面已被清掃的透明板。
[0042]需要說明的是，透明板的“表面”和“背面”是指透明板的平面部且彼此相對的面。透明板的“端緣”是指透明板的周緣，“端緣”包括透明板的平面部與周緣的邊界部分。透明板的“上表面”是指在輸送狀態(tài)下表面和背面中朝向上方的表面?！暗谝幻妗笔侵副砻婧捅趁嬷械囊粋€面，“第二面”是指表面和背面中的另一個面，并且是第一面的相反一側的面。
[0043]發(fā)明的效果
[0044]本發(fā)明的透明板檢查裝置及透明板清掃檢查系統(tǒng)能夠在異物難以附著于透明板的狀態(tài)下檢查透明板，并能夠進行正確地檢查。
【附圖說明】
[0045]圖1是示出本發(fā)明的一個實施方式的透明板清掃檢查系統(tǒng)的示意性側視圖。
[0046]圖2是圖1的透明板清掃檢查系統(tǒng)的第一清掃裝置的示意性側視圖。
[0047]圖3是圖2的第一清掃裝置的按壓頭的示意性側視圖。
[0048]圖4是示出圖1的透明板清掃檢查系統(tǒng)的翻轉裝置的示意性俯視圖。
[0049]圖5是圖4的翻轉裝置的示意性側視圖。
[0050]圖6是圖1的透明板清掃檢查系統(tǒng)的透明板檢查裝置的示意性側視圖。
[0051]圖7的(A)和(B)是圖6的透明板檢查裝置的輸送機構的第一輸送構件的說明圖，圖7的(A)是示意性正面圖，圖7的(B)是示意性俯視圖。
[0052]圖8的(A)至(C)是圖6的透明板檢查裝置的輸送機構的上升構件的說明圖，圖8的(A)是示意性后視圖，圖8的⑶是示意性仰視圖，圖8的(C)是示意性側視圖。
[0053]圖9的(A)和(B)是圖6的透明板檢查裝置的輸送機構的第二輸送構件的說明圖，圖9的(A)是示意性仰視圖，圖9的(B)是示意性主視圖。
【具體實施方式】
[0054]下面，參照適當附圖，并對本發(fā)明的實施方式進行詳細說明。首先，參照圖1至圖9，并對包括本發(fā)明的第一實施方式的透明板檢查裝置的透明板清掃檢查系統(tǒng)I進行說明。
[0055][第一實施方式]
[0056]圖1的透明板清掃檢查系統(tǒng)I是用于對在例如智能手機所使用的玻璃蓋或觸摸屏等的透明板P進行清掃并檢查的系統(tǒng)。更具體而言，本實施方式的透明板清掃檢查系統(tǒng)I是自動地清掃透明板P的兩面(第一面Pl和第二面p2(清掃面))的同時，并除去附著于透明板P的異物，并進一步檢查損傷或破損等的透明板P的缺陷的系統(tǒng)。在本實施方式中是如所述透明板那樣的薄板狀物，清掃面是該薄板狀物的兩面。
[0057]該透明板清掃檢查系統(tǒng)I包括:輸送透明板P并清掃該透明板P的第一面pi的第一清掃裝置10A、使從該第一清掃裝置1A輸出的透明板P翻轉的翻轉裝置30、輸送被該翻轉裝置30翻轉的透明板P并清掃該透明板P的第二面p2(第一面pi的相反面)的第二清掃裝置10B、能夠除去附著于從該第二清掃裝置1B輸出的透明板P的第一面pi和第二面p2的異物的異物除去裝置50、和檢查從所述異物除去裝置50排出的透明板P的透明板檢查裝置70。需要說明的是，如圖1所示，第一清掃裝置1A的透明板P的輸送方向X和第二清掃裝置1B的透明板P的輸送方向X在同一方向上。在此，輸送方向X是從第一清掃裝置1A朝向第二清掃裝置1B的方向。此外，本實施方式的透明板清掃檢查系統(tǒng)I具有向第一清掃裝置1A供給透明板P的裝載裝置90。
[0058]本實施方式的透明板清掃檢查系統(tǒng)I還包括控制各種裝置的動作的控制裝置(未圖示)。
[0059]〈清掃裝置〉
[0060]所述第一清掃裝置1A和所述第二清掃裝置1B包括一個方向(輸送方向X)輸送透明板P的輸送機構11、以及使被該輸送機構11輸送的透明板P的清掃面與長條狀的清掃布C的一部分接觸而輸送應清掃清掃面的清掃布的送給機構25。具體而言，如圖2及圖3所示，第一清掃裝置1A和第二清掃裝置10B(參照圖1)具有輸送透明板P的輸送機構11、接觸透明板P的長條狀的清掃布C、用于將清掃布C向透明板P按壓的兩個按壓頭13、輸送清掃布C的送給機構25(參照圖1)、以及向清掃布C供給洗凈液的洗凈液供給機構28。該輸送機構11、按壓頭13、送給機構25以及洗凈液供給機構28被所述控制裝置控制動作。需要說明的是，第一清掃裝置1A和第二清掃裝置1B是如后所述的一部分的機構(例如承載用長條薄片)不同，其它部分具有相同機構。此外，第一清掃裝置1A以及第二清掃裝置1B具有內置輸送機構11、清掃布C、按壓頭13、送給機構25以及洗凈液供給機構28的殼體I Oh。該殼體1h (參照圖1)具有透明板P的輸入口以及輸出口(未圖示)，該輸入口以及輸出口之外設置為密閉狀態(tài)，因此第一清掃裝置1A及第二清掃裝置1B的透明板P的清掃在大致密閉狀態(tài)下進行，防止包含于外部空氣的塵埃等附著于透明板P。需要說明的是，該殼體1h設置有用于維護等的開閉門(未圖示)。
[0061 ](輸送機構)
[0062]輸送機構11是將作為清掃對象物的透明板P向輸送方向X輸送的機構。輸送機構11是向透明板P的平面方向輸送作為薄板狀物的透明板P，具體而言，在本實施方式中，輸送機構11以清掃面(第一面Pl以及第二面P2)朝向上方的狀態(tài)承載透明板P，向沿著水平面的方向中的一個方向輸送的機構。需要說明的是，“向平面方向輸送”是指沿著透明板P的清掃面(所述第一面Pl以及第二面P2)的方向中的一個方向輸送。
[0063]第一清掃裝置1A的輸送機構11以承載透明板P，即與位于透明板P的下側的面(第二面p2(為清掃對象的第一面pi的相反側的面))的整個面接觸的狀態(tài)輸送透明板P。通過這樣的透明板P在第二面整個面接觸的狀態(tài)下被輸送，透明板P整體地夾持在輸送機構11和清掃布C之間，位于向上方的面(第一面pi)被清掃。作為該第一清掃裝置1A的輸送機構11能夠例如由傳送帶構成。
[0064]第二清掃裝置1B的輸送機構11以承載透明板P，即與位于透明板P的下側的面(第一面pl(為清掃對象的第二面P2的相反側的面))的整個面接觸的狀態(tài)輸送透明板P。通過這樣的透明板P在第一面Pl接觸的狀態(tài)下輸送，整體地夾入輸送機構11和清掃布C之間，并清掃第二面P2。作為該第二清掃裝置1B的輸送機構11，可采用例如具有如圖1所示的傳送帶、以及向該傳送帶上供給的、以與傳送帶相同的速度移動的干凈的承載用長條薄片12。如上所述的第二清掃裝置1B的輸送機構11通過具有承載用長條薄片12，能夠防止第一面pi在第二清掃裝置1B內弄臟。
[0065]進一步詳細敘述所述傳送帶。傳送帶包括輸送帶11a、輸送從動輥Ilb以及輸送驅動棍11c。輸送帶I Ia由環(huán)狀的帶構件構成，該輸送帶I Ia架設于輸送從動棍I Ib以及輸送驅動輥I Ic，隨著輸送驅動輥I Ic的旋轉，與輸送帶I Ia循環(huán)的同時輸送從動輥I Ib也旋轉。需要說明的是，也能夠相反設置輸送驅動輥I Ic和輸送從動輥I Ib的配設位置。
[0066]此外，第一清掃裝置1A的輸送機構11從所述裝載裝置90承接透明板P，清掃后輸送透明板P抑制向翻轉裝置30傳遞的第一傳遞區(qū)域Al(參照圖5)為止。此外，第二清掃裝置1B的輸送機構11從翻轉裝置30在第二傳遞區(qū)域A2(參照圖5)承接透明板P，將透明板P輸送至透明板P的排出區(qū)域并排出。
[0067](清掃布)
[0068 ]清掃布C通過在清掃處接觸透明板P并動作來清掃透明板P的清掃面(位于上側的面)。清掃布C以使在清掃處一端的面與透明板P的清掃面相對的方式而被供給，通過被所述按壓頭13按壓到透明板P的清掃面并擦拭清掃面來清掃清掃面。
[0069]作為該清掃布C使用了纖維制造的布，例如使用織物。作為該纖維，能夠采用天然纖維、合成纖維等各種纖維。在此，作為清掃布C也可使用無紡布。在使用無紡布的情況下，作為無紡布能夠使用通過干式法、濕式法、熔噴法而形成抓絨的無紡布。
[0070](按壓頭)
[0071]兩個所述按壓頭13沿輸送方向X并列配置。如圖2所示，各按壓頭13分別包括將清掃布C的一部分朝向透明板P按壓的第一清掃構件14、和將比清掃布C的第一清掃構件14在輸送方向X上的更靠下游側的部分朝向透明板P按壓的第二清掃構件15。換言之，在本實施方式中，第一清掃裝置1A和第二清掃裝置1B在透明板P的輸送方向X上并列地設置有四處清掃布C與透明板P分別接觸的清掃處。需要說明的是，在本實施方式中，兩個按壓頭13具有相同的構成。該第一清掃構件14和第二清掃構件15例如由硅等彈性構件形成的墊而構成。
[0072]各按壓頭13分別具有使第一清掃構件14以及第二清掃構件15在為清掃面的平面上、且在與輸送方向X正交的方向上往復移動的清掃構件驅動機構(未圖示)。需要說明的是，“為清掃面的平面上、且在與輸送方向X正交的方向”是指在第一清掃構件14以及第二清掃構件15能夠使清掃布C接觸透明板P的清掃面的平面內為輸送方向X的正交方向，具體而言，是和清掃面平行的面上且與輸送方向X正交的方向。
[0073](送給機構)
[0074]參照圖1并說明清掃布C的送給機構25。所述清掃布C如上所述由送給機構25來輸送。在此，送給機構25具有主動輥25a和從動輥25b。清掃布C架設于該主動輥25a和從動輥25b，并通過主動輥25a的旋轉而將清掃透明板P后的清掃布C的部分卷繞在主動輥25a上。此時，由從動輥25b陸續(xù)放出未使用的清掃布C。
[0075]送給機構25設置為向與透明板P的輸送方向X的相反方向輸送清掃布C(參照圖2)。即，清掃布C通過送給機構25，在清掃處(與透明板P接觸的地方)清掃布C向輸送方向X的相反方向(圖2的Y方向)輸送。
[0076]此外，送給機構25引導使得位于兩個所述按壓頭13之間的清掃布C的一部分從透明板P分離。具體而言，送給機構25具有配置在兩個按壓頭13之間的傳送帶上方的張力輥26。在該送給機構25中，通過該張力輥26架設兩個按壓頭13之間的清掃布C，使得兩個按壓頭13之間的清掃布C從透明板P分離。
[0077](洗凈液供給機構)
[0078]通過如所述的洗凈液供給機構28向所述清掃布C供給洗凈液。因此，通過滲入洗凈液的清掃布C來清掃透明板P ο在本實施方式中，洗凈液供給機構28分別向在輸送方向X上位于第一清掃構件14和第二清掃構件15之間的清掃布C的一部分供給洗凈液的同時，并也向位于比后述的按壓頭13在輸送方向X的更靠下游側的清掃布C的一部分供給洗凈液。
[0079]如圖3所示，洗凈液供給機構28具有設置于第一清掃構件14與第二清掃構件15之間的供給噴嘴28b。供給噴嘴28b連接于未圖示的洗凈液儲藏罐。供給噴嘴28b朝向上方供給洗凈液。由供給噴嘴28b供給的洗凈液滲入清掃布C到達透明板P的清掃面。由供給噴嘴28b供給的洗凈液的量調整為可分解附著于透明板P的污漬、且即使由按壓墊15按壓清掃布C的一部分而進行擦拭動作也不會殘留條紋。供給噴嘴28b為錐形形狀。在本實施方式中，為如上所述的構成，但是也可采用由清掃布C的上方朝向下方供給洗凈液的機構。
[0080]作為所述洗凈液，未特別的限定，但是優(yōu)選使用酒精，其中尤其以乙醇適合使用。[0081 ]此外，該透明板清掃檢查系統(tǒng)I還包括洗凈液供給部28a，作為洗凈液供給機構28，向在輸送方向X下的下游側的按壓頭13的清掃布C的供給方向的上游側的清掃布C的一部分供給洗凈液(參照圖1)。
[0082]〈翻轉裝置〉
[0083]參照圖1、圖4及圖5并說明翻轉裝置30。翻轉裝置30是如所述使由第一清掃裝置1A輸出的透明板P翻轉，向第二清掃裝置1B供給的裝置。具體而言，將由第一清掃裝置1A(參照圖1)依次向第一傳遞區(qū)域Al供給的透明板P傳遞到第二傳遞區(qū)域A2中第二清掃裝置10B(參照圖1)。
[0084]該翻轉裝置30包括第一傳遞區(qū)域Al中吸附透明板P的第二面p2的、并第二傳遞區(qū)±或八2中釋放所述透明板P的保持部(吸附部32)，該保持部(吸附部32)附設于一端側的臂33、和支承該臂33的另一端側的旋轉部35。需要說明的是，翻轉裝置30具有內置所述吸附部32、臂33和旋轉部35等的殼體30h(參照圖1)。
[0085]進而，翻轉裝置30包括配設于第一傳遞區(qū)域Al的暫收構件31、和相對于旋轉部35將所述臂33向所述吸附部32的吸引方向突出或后退的突出機構34。翻轉裝置30包括第一傳遞區(qū)域Al中從下方支承一個透明板P的暫收構件31。具體而言，暫收構件31暫時地支承第一傳遞區(qū)域Al中從第一清掃裝置10A(參照圖1)排出的透明板P的第二面p2。吸附部32吸附被暫收構件31支承的透明板P的第二面p2。臂33可伸縮。具體而言，臂33的一端側附設有吸附部32，可被旋轉部35支承的所述另一端朝向附設有吸附部32的所述一端的方向伸縮。突出機構34設置在旋轉部35與臂33之間，是如所述相對于旋轉部35將臂33向吸附部32的吸引方向突出或后退的機構。具體而言，突出機構34由支承臂33的所述另一端的氣缸構成。旋轉部35固定突出機構34，由此如所述支承臂33。旋轉部35可以位于與吸附部32吸附的透明板P平行的平面上的旋轉軸為中心進行旋轉。具體而言，該旋轉軸為水平方向(與輸送透明板P的方向垂直的方向)，或設置為與吸附部32的吸引方向垂直的方向。翻轉裝置30包括多個所述吸附部32、所述臂33以及所述突出機構34，這些多個所述吸附部32、所述臂33以及所述突出機構34分別成對，一對所述吸附部32、所述臂33以及所述突出機構34分別以旋轉部35的旋轉軸為中心配設為大致旋轉對稱。需要說明的是，“大致旋轉對稱”不僅指完全旋轉對稱的情況，還包括配置為第一傳遞區(qū)域Al的一個透明板P的吸附和第二傳遞區(qū)域A2的另一個透明板P的釋放能夠同時進行的情況。
[0086]〈異物除去裝置〉
[0087]參照圖1并說明異物除去裝置50。異物除去裝置50是用于除去附著于如所述由第二清掃裝置1B輸出的透明板P的第一面pi以及第二面p2的異物的裝置。在該透明板清掃檢查系統(tǒng)I中，即使在由于纖維制的清掃布C等而導致的異物附著于透明板P的情況和附著在裝置內產生的異物的情況下，也能夠通過所述異物除去裝置50來除去。
[0088]該異物除去裝置50包括:具有接觸于透明板P的第一面pi和第二面p2的粘著面51a的粘著輥51 (粘著構件)、和可除去附著于該粘著輥51的粘著面51a的異物的粘著力恢復機構52。在本實施方式中，異物除去裝置50包括夾著透明板P且彼此相對的兩個粘著輥51。具體而言，異物除去裝置50包括夾著透明板P上下相對的一對粘著輥51，該粘著輥51的外周面具有可除去附著于透明板P的異物的粘著力。
[0089]此外，異物除去裝置50具有承載如圖1所示的第二清掃裝置1B排出的透明板P的自由棍50a，上下一對的所述粘著棍51彼此通過驅動電動機(未圖示)而旋轉，透明板P通過粘著輥51的旋轉而向下游側輸送。
[0090]所述粘著力恢復機構52具有可接觸于粘著輥51的粘著面51a的長條狀的粘著帶53。該粘著帶53分別相對于上下一對的粘著輥51而設置。
[0091]所述粘著帶53具有比所述粘著輥51的粘著面51a(外周面)更強的粘著力的粘著面53a，該粘著帶53的粘著面53a能夠通過粘貼并剝離于粘著輥51的粘著面51a來除去附著于粘著輥51的異物。
[0092]異物除去裝置50具有供給未使用的粘著帶53的供給部55和排出使用過的粘著帶53的排出部56。未使用的粘著帶53卷狀地卷繞在供給部55。供給部55配置比粘著輥51更靠輸送方向的下游側。使用過的粘著帶53卷狀地卷繞于排出部56。即，用于粘著輥51的異物除去的粘著帶53卷繞于排出部56。排出部56配置于比粘著輥51更靠輸送方向X的上游側。
[0093]異物除去裝置50具有輸送所述粘著帶53的粘著帶送給機構54。在此，粘著帶送給機構54設置為間歇性地使粘著帶53接觸粘著輥51。例如，每當粘著輥51除去5張透明板P的異物時，粘著帶送給機構54使粘著帶53接觸粘著輥51。具體而言，粘著帶送給機構54設置為可架設粘著帶53、并與粘著輥51相對的粘著帶用輥54(粘著帶送給機構)可接近/分離粘著輥51。粘著帶送給機構54通過使粘著輥51和粘著帶53接觸，則隨著粘著輥51的旋轉而供給粘著帶。在本實施方式中，采用了如上所述由粘著輥51的旋轉來供給粘著帶的構成，但是不限于此，也可采用通過在排出部56卷繞來供給粘著帶53的機構。
[0094]需要說明的是，異物除去裝置50具有內置所述粘著輥51以及粘著力恢復機構52等的殼體50h。該殼體50h具有透明板P的輸入口以及輸出口，該輸入口以及輸出口之外設置為密閉狀態(tài)。因此，在異物除去裝置50中，如所述異物除去在大致密閉的狀態(tài)下而完成，防止包含在外部空氣中的塵埃等附著于透明板P。此外，異物除去裝置50的殼體50h的輸入口與第二清掃裝置1B的殼體1h的輸出口密封地連結。需要說明的是，該異物除去裝置50的殼體50h設置有用于維護等的開閉門(未圖示)。
[0095]〈透明板檢查裝置〉
[0096]所述透明板檢查裝置70是檢查在如所述被清掃后的透明板P的清掃面(第一面pi和第二面p2)的損傷、破損以及有無異物的裝置。如圖1、圖6?圖9所示，透明板檢查裝置70，如圖6所示，包括:具有透明板P的輸入口 76以及輸出口 77的殼體70h、從輸入口 76到輸出口77輸送透明板P的輸送機構80、對被該輸送機構80輸送的殼體70h內的透明板P的圖像進行拍攝的檢查部72、和阻止異物向殼體70h內部的侵入、并阻止異物附著于透明板P的異物附著阻止機構75。
[0097]此外，該透明板檢查裝置70具有向被檢查部72拍攝的透明板P照射光線的照明部71。該透明板檢查裝置70具有多對所述照明部71和所述檢查部72，通過該多對照明部71以及檢查部72，對根據(jù)輸送的透明板P在第一面pi的反射、在第二面p2的反射、從第一面pi向第二面P2的透過、以及從第二面p2向第一面pi的透過的各光線而拍攝各種圖像。該透明板清掃檢查系統(tǒng)I將所述圖像發(fā)送到所述控制裝置，通過控制裝置進行透明板P的好壞的判斷。需要說明的是，所述檢查部72可通過例如CCD照相機等的照相機構成。
[0098]所述殼體70h內置所述照明部71、所述檢查部72、以及所述輸送機構80等。該殼體70h的輸入口 76以及輸出口 77之外設置為密閉狀態(tài)。需要說明的是，該透明板檢查裝置70的殼體70h設置有用于維護等的開閉門(未圖示)。
[0099]在所述殼體70h的上部設置所述異物附著阻止機構75。更加具體地，如圖6所示，在殼體70h的上部設置有并列于在輸送方向X的兩個異物附著阻止機構75。該異物附著阻止機構75是提高所述殼體70h的內壓的機構。該異物附著阻止機構75具有向殼體70h的內部送入所述殼體70h的外部空氣的送入機構(未圖示)、和屏蔽包含于由該送入機構輸送的空氣中的異物侵入所述殼體內部的過濾器(未圖示)。異物附著阻止機構75向被輸送機構80輸送的透明板P上輸送空氣，異物附著于透明板P的表面時使該異物落到下方。異物附著阻止機構75從上方朝向下方輸送空氣。作為所述送入機構，雖然能夠使用各種物品，但例如使用多葉片風扇口5/=7 r V)等的送風器。作為所述過濾器，雖然能夠使用各種物品，但能夠使用粗塵用過濾器、中高性能過濾器、HEPA過濾器等的空氣過濾器。
[0100]該透明板檢查裝置70的輸送機構80包括:接觸透明板P的端緣并輸送由輸入口76輸入的透明板P的第一輸送構件81、接觸透明板P的端緣并承接由該第一輸送構件81輸送的透明板P的同時并使其上升的上升構件83、和接觸透明板P的端緣并承接由該上升構件83上升的透明板P的同時并輸送到所述檢查部72的拍攝區(qū)域的第二輸送構件88。詳細來說，該透明板檢查裝置70通過第一輸送構件81向輸送方向X輸送來自輸入口 76的透明板P(參照圖6的箭頭SI)，由上升構件83承接通過該第一輸送構件81輸送的透明板P。上升構件83使上升構件83承接的透明板P上升(參照圖6的箭頭S2)，第二輸送構件88承接該上升的透明板P。第二輸送構件88在水平方向上輸送第二輸送構件88承接的透明板P(參照圖6的S3的箭頭)，所述檢查部72拍攝該第二輸送構件88輸送的透明板P。然后，透明板P從輸出口 77輸出。需要說明的是，在本實施方式中，由于通過第一輸送構件81和第二輸送構件88的透明板P的輸送方向與第一清掃裝置的輸送方向為相同的方向，因此，作為第一輸送構件81和第二輸送構件88的輸送方向使用與圖6?圖9中第一清掃裝置10A(參照圖1)的輸送方向相同符號X來圖示。但是通過透明板檢查裝置70的輸送機構80的輸送方向并不限于此，也可為例如與第一清掃裝置1A的輸送方向相反方向或正交方向等。此外，拍攝后的透明板P到輸出口 77的輸送可采用各種輸送單元，例如能夠通過與第一輸送構件81相同的輸送單元輸送。
[0101]所述輸送機構80具有作為所述第一輸送構件81接觸于透明板P的端緣的一對傳送帶81c(參照圖7的(A)及圖7的(B))。需要說明的是，為了區(qū)別該透明板檢查裝置70的傳送帶81c與所述第一清掃裝置1A的傳送帶，下面記載為檢查用傳送帶81c。此外，該輸送機構80的各種動作由所述控制裝置控制。
[0102]所述一對檢查用傳送帶81c的與透明板P的接觸面(上表面)向彼此相對的一側傾斜。各檢查用傳送帶81c包括輸送帶81a、輸送從動輥81b以及輸送驅動輥(未圖示)。輸送帶81a由環(huán)狀的帶構件構成，并架設于輸送從動輥81b和輸送驅動輥。在檢查用傳送帶81c中，隨著輸送驅動輥的旋轉輸送帶81a進行循環(huán)并且輸送從動輥81b也旋轉。一對檢查用傳送帶81c配設為輸送從動輥81b的軸相對于水平分別傾斜，具體而言，如圖7的(A)所示，一對檢查用傳送帶的輸送從動輥81b彼此配設為以使接近側位于下方且分離側位于上方的方式而傾斜。此外，輸送驅動輥也與輸送從動輥81b相同，配設為以使接近側位于下方且分離側位于上方的方式而傾斜。因此，透明板P在如圖7的(A)所示兩側的端緣的下部接觸于輸送帶81a的上表面，在位于下方的表面不接觸輸送帶81a狀態(tài)下，通過檢查用傳送帶81c來輸送。
[0103]如圖8的(A)所示，所述上升構件83包括吸引從所述第一輸送構件81輸送的透明板P的上表面的吸引部84、和通過與被所述吸引部84吸引的所述透明板P的上端緣接觸而確定透明板P的高度位置的定位部85。多個定位部85具有以使阻止吸引部84與透明板P的上表面接觸的方式接觸于透明板P的錐形面85a。進而，上升構件83還包括接觸于透明板P的輸送方向X的前端緣的接觸部86。詳細來說，若接觸部86與被所述檢查用傳送帶81c輸送的透明板P的前端緣接觸(參照圖8的(B)和圖8的(C))，所述上升構件83通過吸引部84吸引透明板P的上表面而向上吸引透明板P直到透明板P的端緣(與所述前端緣正交的端緣)的上端接觸于定位部85的錐形面85a。由此，透明板P通過與多個定位部85的錐形面85a接觸而完成高度方向的位置確定的同時，并保持于上升構件83(參照圖8的(A))。也就是說，透明板P在下端緣與第一輸送構件81接觸的狀態(tài)下輸送后，通過吸引部84的吸引，上端緣與多個定位部85的錐形面85a接觸，并由此從第一輸送構件81傳遞到上升構件83。
[0104]所述定位部85由向下方突出的多個銷構成。該定位部85(參照圖8的(B))以使在透明板P的兩側相對的方式而配設多對(在圖示例子中兩對)。定位部85為前端(下端)尖的圓錐形狀。定位部85的圓錐形狀的周面構成與透明板P的端緣接觸的所述錐形面85a。此外，所述接觸部86由向下方突出的圓柱形狀的銷構成。接觸部86配設在比構成所述定位部85的銷更靠輸送方向X的下游側。在本實施方式中，設置有構成接觸部86的多根(在圖中示例為兩根)銷。所述吸引部84的吸引口 84a以使與透明板P的上表面相對的方式向下方開口。該吸引口84a設置在比所述定位部85以及接觸部86(的錐形面85a)更靠上方。在本實施方式中，設置有多個(在圖中示例為四個)吸引部84。
[0105]所述上升構件83設置為相對于透明板檢查裝置70的殼體70h可上下移動，具體而言具有安裝有定位部85、吸引部84和接觸部86的、并相對于所述殼體70h可上下移動而設置的上升構件83本體(未圖示)。因此，上升構件83如上所述從第一輸送構件81承接透明板P后，通過相對于殼體70h上升構件83的本體上升而使透明板P上升，將該透明板P傳遞到第二輸送構件88，然后，下降并以使從第一輸送構件81承接下一個透明板P的方式進行動作。
[0106]所述第二輸送構件88承接如上所述由上升構件83使上升的透明板P，并將透明板P輸送到檢查部72的拍攝區(qū)域。該第二輸送構件88具有通過接觸如圖9的(B)所示的上升構件83使上升的透明板P的端緣的上部而支承透明板P、承接透明板P的支承部89。需要說明的是，當?shù)诙斔蜆嫾?8從上升構件83傳遞透明板P時，通過吸引部84吸引透明板P。該支承部89由從與輸送方向X正交的方向的外側向內側突出，即從側面向透明板P側突出的多個銷構成。該支承部89在透明板P的兩側相對地配設多對(在圖中示例為兩對)，設置為相對的銷之間可以彼此接近以及分離。該支承部89為前端尖的圓錐形狀，該圓錐形狀的周面89a接觸透明板P的端緣的下部。
[0107]該第二輸送構件88包括如圖9的(A)及圖9的(B)所示接觸于透明板P的端緣并從兩側夾著所述透明板P的多對(在圖中示例為兩對)把持部90。該把持部90設置為對上升的透明板P的端緣可分離及接觸地進行動作、并可沿輸送方向X移動。該把持部90把持被上升構件83上升的透明板P，且然后沿輸送方向X輸送。具體而言，當如上所述上升構件83上升時，把持部90從透明板P分離，通過上升構件83上升后，在以第二輸送構件88的支承部89和吸引部84保持透明板P后，通過接近并夾著透明板P的端緣來把持透明板P。然后，之后把持部90將其把持的透明板P移向輸送方向應該輸送的輸送方向。需要說明的是，把持部90優(yōu)選至少表面由彈性構件構成，例如可由橡膠或硅構成。
[0108]需要說明的是，所述支承部89也設置為和把持部90相同地可沿輸送方向X移動，換言之，支承部89以使能夠從上升構件83的透明板P的傳遞位置向輸送方向X逃避的方式而設置。然后，所述支承部89在通過把持部90把持透明板P后，并把持部90以使上升構件83的透明板P的交接位置逃避的方式沿著輸送方向X移動，此后，上升構件83下降，承接由第一輸送構件81輸送的下一個透明板P。
[0109]需要說明的是，在圖示例子中，雖然對第二輸送構件88具有一組支承部89和把持部90進行了說明，但是可設置多組(例如二組)支承部89以及把持部90。也就是說，可設置為通過一組支承部89及把持部90進行如上所述從上升構件83的透明板P的承接動作時，另一組的把持部90進行其它動作(例如向檢查部72的拍攝區(qū)域的輸送動作)。如此設置多組支承部89以及把持部90時，優(yōu)選通過所述把持部90的透明板P的把持的上下高度一定，由此能夠在固定的上下高度進行從上升構件83的傳遞動作以及通過檢查部72的拍攝。需要說明的是，多組把持部90的上下高度設為一定可通過例如將各組用于使把持部90向輸送方向移動的軌道配設在不同高度上，由于運轉該軌道的運轉體的各把持部90的配設高度不同，各組把持部90的上下高度能夠為一定。此外，通過設置該運轉體的形狀在輸送方向上不重合，在各把持部90的輸送方向的運轉時彼此不妨礙。
[0110]〈優(yōu)點〉
[0111]根據(jù)該透明板清掃檢查系統(tǒng)I，由第一清掃裝置10A、第二清掃裝置1B以及異物除去裝置50清掃的透明板P能夠通過該透明板檢查裝置70檢查。此外，即使該透明板清掃檢查系統(tǒng)I根據(jù)第一清掃裝置1A及第二清掃裝置1B的纖維制造的清掃布而在透明板P附著有纖維等的異物，也能夠通過異物除去裝置50準確地除去所述異物，在所述透明板檢查裝置70中，由于所述異物而判斷透明板P缺陷的擔憂變少。
[0112]進而，在通過該透明板檢查裝置70檢查中，透明板檢查裝置70的殼體70h的內部由于通過加壓機構提高內壓，空氣難以從殼體70h的外部流入內部。因此，能夠準確地阻止從殼體70h的外部向內部侵入異物，因此準確地阻止在殼體70h的內部異物附著于透明板P，并可以進行正確地檢查。
[0113]此外，該加壓機構由于具有將所述殼體70h的外部的空氣送入殼體70h的內部的送入機構、和屏蔽由該送入機構輸送的空氣中包含的異物向所述殼體70h的內部的侵入的過濾器，能夠通過由送入機構送入的空氣來提高殼體70h的內壓，此外該送入空氣的異物由于通過過濾器能夠阻止向殼體70h的內部的侵入，能夠阻止由送入機構向殼體70h的內部送入的異物的侵入，因此可以進行正確地檢查。
[0114]進而，加壓機構設置在殼體70h的上部，通過向下方送入空氣，能夠提高殼體70h的內壓的同時，并假設即使異物侵入殼體70h的內部該異物也向下方流去，易于從輸入口 76或輸出口 77排出，從而容易進行正確地檢查。
[0115]此外，該透明板檢查裝置70的輸送機構80接觸透明板P的端緣，由于能夠在不接觸透明板P的清掃面(第一面以及第二面)的狀態(tài)下輸送透明板P，能夠準確地阻止由于輸送機構80在透明板P的清掃面附著污漬或異物，并可以進行正確地檢查。
[0116]特別地，所述輸送機構80由于將透明板P輸送到檢查部72的拍攝區(qū)域的第二輸送構件88具有從兩側把持透明板P的端緣的把持部90，在檢查部72的拍攝區(qū)域內透明板P的上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)鹊钠渌鼧嫾环恋K檢查部72的拍攝，可以進行各種拍攝，能夠實現(xiàn)檢查精度的提高。
[0117]此外，所述輸送機構80由于具有在第二輸送構件88的上游側輸送透明板P的第一輸送構件81，也就是說，能夠獨立進行拍攝區(qū)域的輸送和輸入側的輸送，因此，第一輸送構件81以及第二輸送構件88的設計的自由度高，能夠抑制該透明板檢查裝置70的成本增大且提高處理速度。
[0118]進而，作為第一輸送機構80，由于使用向與透明板P的接觸面彼此相對側傾斜的一對檢查用傳送帶81c，各傳送帶81c的接觸面和透明板P的端緣的下部接觸，在不接觸透明板P的清掃面的狀態(tài)下能夠順暢地輸送透明板P。
[0119]此外，所述輸送機構80由于具有用于從第一輸送構件81向第二輸送構件88移送透明板P的上升構件83，因此，能夠適當且迅速地進行從第一輸送構件81向第二輸送構件88的透明板P的移送。
[0120]特別地，該上升構件83包括吸引在第一輸送構件81和端緣的下部接觸的狀態(tài)下輸送的透明板P的上表面的吸引部84、和通過錐形面85a接觸該吸引部84吸引的透明板P的端緣的上部而支承透明板P的多個定位部85，因此，通過由吸引部84吸引上表面能夠容易并且準確地從第一輸送構件81承接透明板P。
[0121]進而，該透明板清掃檢查系統(tǒng)I通過第一清掃裝置1A清掃透明板P的第一面，第一面被清掃后的透明板P被翻轉裝置30翻轉，由于該被翻轉的透明板P的第二面由第二清掃裝置1B清掃，因此人不介入而能夠清掃透明板P的兩面。
[0122]此外，第一清掃裝置1A和第二清掃裝置1B分別通過輸送機構11輸送透明板P，同時通過一塊長條狀的清掃布C的一個面可多次清掃該透明板P的清掃面，因此，能夠在多個清掃處進行所希望的清掃，并能夠準確地清掃透明板P的兩面。此外，由于在多個清掃處不翻轉清掃布C而通過清掃布C的一個面清掃清掃面，由于不需要像以往的端子部的清掃裝置那樣設置翻轉單元，因此能夠抑制高成本以及維持的復雜性。
[0123]此外，由于清掃布C如上所述以一塊清掃布C的一個面多次清掃清掃面，且清掃布C向與輸送方向X的相反方向輸送，在輸送方向X的下游側(清掃布送給方向的上游側)通過未使用(未接觸)的清掃布C清掃透明板P，可在輸送方向X的上游側(清掃布送給方向的下游側)通過使用后(接觸后)的清掃布C清掃透明板P。因此，清掃布C的各部分能夠用于多次清掃的同時，還能夠以在輸送方向X上污漬較少的狀態(tài)的清掃布C清掃透明板P。
[0124]此外，由于第一清掃裝置1A和第二清掃裝置1B包括向清掃布C供給洗凈液的洗凈液供給機構，能夠通過含有洗凈液的清掃布C適合地清掃透明板P的清掃面。
[0125]進而，由于第一清掃裝置1A和第二清掃裝置1B包括調整兩個按壓頭13間的清掃布C的張力的張力輥，在各按壓頭13可給予清掃布C充分的張力，能夠進行更準確地清掃。
[0126]所述洗凈液供給機構28也向按壓頭13的清掃布供給方向上游側的清掃布C供給不殘留條紋程度的微量洗凈液，相比于通過完全干燥的清掃布C，通過由滲入少許洗凈液的清掃布C清掃，能夠更徹底地清掃清掃面，可以更準確地清掃。
[0127]此外，由于第一按壓墊14和第二按壓墊15當清掃時在所述透明板P的輸送方向X的正交方向并且所述清掃面的平面方向上往復移動，清掃布C被第一按壓墊14和第二按壓墊15按壓在透明板P的清掃面，由于接觸透明板P的清掃面的清掃布C沿輸送方向X的正交方向移動，因此，能夠通過清掃布C更準確地清掃清掃面。
[0128]此外，由于該透明板清掃檢查系統(tǒng)I包括能夠除去如上所述從第二清掃裝置1B輸出的透明板P的第一面Pl和第二面P2附著的異物的異物除去裝置50，假設在所述清掃階段由于纖維制造的清掃布C等而導致異物附著在透明板P或附著在裝置內產生微小的異物，通過異物除去裝置50也能夠準確地除去異物。
[0129]由于所述異物除去裝置50包括可除去附著于粘著輥51的粘著面的粘著帶53，能夠通過粘著帶53從粘著輥51的粘著面除去附著的異物，因此粘著輥51的粘著面的粘著力恢復，該異物除去裝置50能夠以長時間適宜的狀態(tài)運轉。
[0130]此外，異物除去裝置50具有輸送粘著帶53的粘著帶送給機構54，由于該粘著帶送給機構54設置為間歇性地使粘著帶53接觸粘著輥51，能夠減少粘著帶的使用量。
[0131][其它實施方式]
[0132]本次公開的實施方式的全部的點均為示例，并不限定于本發(fā)明。本發(fā)明的范圍不限定所述實施方式的構成，包含由權利要求書示出的、與權利要求書均等的意圖以及范圍內的全部變更(構成的置換、增加以及刪除)。
[0133]也就是說，在所述實施方式中，說明了使用該透明板檢查裝置包括第一清掃裝置、翻轉裝置、第二清掃裝置以及異物除去裝置的透明板清掃檢查系統(tǒng)，但本發(fā)明不限定于此，單獨使用該透明板檢查裝置的物品也在本發(fā)明的保護范圍之內。此外，本發(fā)明也可以是僅有透明板檢查裝置和異物除去裝置的系統(tǒng)，或包括清掃裝置和透明板檢查裝置的系統(tǒng)。
[0134]此外，在所述實施方式中，說明了密封連接第二清掃裝置的殼體的輸出口和異物除去裝置的殼體的輸入口的裝置，但也可在第二清掃裝置和異物除去裝置之間需要說明的是設置裝載器，進一步也可在該透明板檢查裝置的上游設置裝載器。進而，也可在透明板檢查裝置的下游側配置疊片裝置，在檢查結束后的透明板的兩面貼附保護膜。
[0135]在所述實施方式中，說明了在殼體的上部設置兩個異物附著阻止機構的透明板檢查裝置，但不限于此，也可以是在殼體的上部設置一個或不少于三個異物附著阻止機構的透明板檢查裝置。
[0136]進而，在所述實施方式中，作為異物附著阻止機構說明了設置提高殼體的內壓的加壓機構，但本發(fā)明并不一定限定于此。例如作為異物附著阻止機構，也可采用設置在殼體內部、從輸入口向所述殼體的外部排出空氣的送出機構。具體而言，送出機構可設置為具有設置在輸入口附近的內部的送風機，通過該送風機，殼體內部的空氣經(jīng)由輸入口向外部排出。進而，也可在輸出口側也設置如上所述的送出機構。此外，在設置所述送出機構時，也可設置為在殼體設置空氣取入口，在空氣取入口附設空氣過濾器，經(jīng)由空氣過濾器向殼體內部裝入空氣。進而，作為異物附著阻止機構，也可和所述加壓機構同時設置所述送出機構。
[0137]進而，該透明板檢查裝置的輸送機構不限定于所述實施方式的機構。但是，該輸送機構優(yōu)選通過不接觸透明板的清掃面而接觸端緣支承透明板，因此能夠抑制異物由輸送機構附著于透明板的清掃面。
[0138]在所述實施方式中，在透明板檢查裝置中，僅在從異物除去機構承接向檢查部輸送時使用了傳送帶，但在檢查結束后向透明板檢查裝置之外排出時也可以使用相同的機構排出。
[0139]在所述實施方式中，在透明板檢查裝置中，使用照相機等檢查透明板P的表面，但本發(fā)明不限于此，也可以是其它檢查方法。
[0140]在所述實施方式中，透明板檢查裝置使用四個照相機等檢查透明板P的表面，但本發(fā)明不限于此，也可使用三個以下或五個以上的照相機檢查。
[0141]在所述實施方式的異物除去裝置中，間歇性地以粘著帶除去粘著輥表面的異物，但不限于此，也可以是連續(xù)地除去粘著輥表面的異物的機構。
[0142]在所述實施方式中，在清掃裝置中采用了使用清掃布清掃的機構，但不限于此，也可以是采用刷子等其它清掃方法的機構。
[0143]在所述實施方式中，采用了包括兩個清掃裝置和翻轉裝置的機構，但不限于此，也可以采用能夠同時清掃兩面的機構。
[0144]工業(yè)上的可利用性
[0145]本發(fā)明的清掃裝置以及透明板清掃檢查系統(tǒng)可適宜地利用于在便攜設備的顯示裝置中使用的玻璃基板等的透明板的清掃。
[0146]符號說明
[0147]1A第一清掃裝置
[0148]1B第二清掃裝置
[0149]30翻轉裝置
[0150]50異物除去裝置
[0151]70透明板檢查裝置
[0152]70h 殼體
[0153]72檢查部
[0154]75異物附著阻止機構
[0155]80輸送機構
[0156]81第一輸送構件
[0157]83上升構件
[0158]84吸引部
[0159]85保持部
[0160]85a錐形面
[0161]88第二輸送構件
[0162]89支承部
[0163]90把持部
[0164]P透明板
[0165]X透明板的輸送方向
【主權項】
1.一種透明板檢查裝置，用于檢查透明板，其特征在于， 所述透明板檢查裝置包括: 殼體，具有所述透明板的輸入口和輸出口 ； 輸送機構，將所述透明板從所述輸入口輸送到所述輸出口 ； 檢查部，檢查被所述輸送機構輸送的所述透明板；以及 異物附著阻止機構，在所述殼體的內部阻止異物附著于所述透明板。2.根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，其中， 所述異物附著阻止機構具有使所述殼體的內壓高于外部氣壓的加壓機構。3.根據(jù)權利要求2所述的透明板檢查裝置，其中， 所述加壓機構具有:將所述殼體的外部空氣向所述殼體的內部送入的送入機構、和屏蔽被所述送入機構輸送的空氣中含有的異物向所述殼體的內部侵入的過濾器。4.根據(jù)權利要求3所述的透明板檢查裝置，其中， 所述加壓機構的所述送入機構向所述透明板上供給空氣，使被所述輸送機構輸送的所述透明板上附著的異物流動。5.根據(jù)權利要求2所述的透明板檢查裝置，其中， 所述加壓機構設于所述殼體的上部。6.根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，其中， 所述異物附著阻止機構具有設于所述殼體的內部、且從所述輸入口和/或所述輸出口向所述殼體的外部排出空氣的送出機構。7.根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，其中， 所述輸送機構以不接觸所述透明板的表面和背面的方式來輸送所述透明板。8.根據(jù)權利要求7所述的透明板檢查裝置，其中， 所述輸送機構通過接觸所述透明板的端緣來保持所述透明板。9.根據(jù)權利要求8所述的透明板檢查裝置，其中， 所述輸送機構包括: 第一輸送構件，在接觸所述透明板的端緣的同時進行輸送； 上升構件，與所述透明板的端緣接觸的同時承接被所述第一輸送構件輸送來的所述透明板，并使該透明板上升；以及 第二輸送構件，與所述透明板的端緣接觸的同時承接被所述上升構件上升的所述透明板，并向所述檢查部的檢查區(qū)域輸送該透明板。10.根據(jù)權利要求9所述的透明板檢查裝置，其中， 所述上升構件包括:吸引從所述第一輸送構件輸送來的所述透明板的上表面的吸引部、和通過接觸吸引于所述吸引部的所述透明板的上端緣來定位所述透明板的高度位置的多個定位部， 所述多個定位部具有與所述透明板的端緣接觸的錐面，以阻止所述吸引部與所述透明板的上表面接觸。11.根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，其中， 所述輸送機構具有與所述透明板的端緣接觸的一對傳送帶，該一對所述傳送帶的與所述透明板的接觸面向彼此相對側傾斜。12.根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，其中， 所述輸送機構包括與所述透明板的端緣接觸并從兩側夾著所述透明板的至少一對把持部。13.—種透明板清掃檢查系統(tǒng)，包括: 異物除去機構，除去附著于透明板的異物；以及 根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，檢查已被所述異物除去機構除去異物的所述透明板。14.根據(jù)權利要求13所述的透明板清掃檢查系統(tǒng)，其中， 所述透明板清掃檢查系統(tǒng)還包括清掃所述透明板的表面和/或背面的清掃裝置。15.—種透明板清掃檢查系統(tǒng)，包括: 清掃裝置，清掃透明板的表面和/或背面；以及 根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，檢查已被所述清掃裝置清掃的所述透明板。16.一種透明板清掃檢查系統(tǒng)，包括: 第一清掃裝置，清掃透明板的第一面； 翻轉裝置，使從該第一清掃裝置輸出的所述透明板翻轉； 第二清掃裝置，邊輸送已被所述翻轉裝置翻轉的所述透明板的同時，邊清掃所述透明板的第二面；以及 根據(jù)權利要求1所述的透明板檢查裝置，檢查已被所述第一清掃裝置和所述第二清掃裝置清掃過兩面的所述透明板。
【文檔編號】B08B11/04GK105842256SQ201610060249
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年1月28日
【發(fā)明人】蛭子勝也, 笹倉伸悟, 林田徹, 青山博司, 佐田博, 今福憐生, 古城健三
【申請人】哈里斯股份有限公司