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一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶的制作方法

文檔序號:9595733閱讀:721來源:國知局
一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光刻膠桶,具體地說涉及一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)光刻膠是一種頻繁使用的原材料,由于其成分特殊,工廠內(nèi)均將其保存在5攝氏度左右的冰箱里,儲存在冰箱內(nèi)的光刻膠需要提前解凍至室溫23攝氏度才能使用。目前對于光刻膠是否充分解凍都是依據(jù)經(jīng)驗時間來判定(室溫放置24小時以上),或者通過大量的實驗數(shù)據(jù)后通過測量光刻膠桶外壁的溫度進(jìn)行推算。這種判段方法不夠精確,尤其是對于新研發(fā)的光刻膠材料,需要通過大量的實驗后才得到相對準(zhǔn)確的解凍時間,在實驗階段會造成大量的浪費。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶,實時顯示其內(nèi)部的溫度,精確的判斷光刻膠是否解凍充分。
[0004]為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明解決問題的技術(shù)方案如下:
一種實現(xiàn)溫度監(jiān)控的光刻膠桶,包括桶蓋、桶口、桶壁、桶底、以及設(shè)置在桶口處的引流管,所述桶蓋的外側(cè)設(shè)置有LED顯示屏和蜂鳴器,桶蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一連接器,所述LED顯示屏和蜂鳴器均通過線路與第一連接器連接,所述引流管的頂部設(shè)置有與第一連接器匹配連接的第二連接器,引流管的外壁還設(shè)置有溫度傳感器,所述溫度傳感器通過線路與第二連接器相連。所述LED顯示屏和蜂鳴器均設(shè)置有相應(yīng)的開關(guān),以便于根據(jù)實際情況啟用其相應(yīng)的功能。
[0005]進(jìn)一步地,所述第二連接器環(huán)繞設(shè)置在引流管頂部的外側(cè),所述引流管的頂部高于桶口表面,第二連接器在桶口上部。
[0006]再進(jìn)一步地,所述桶蓋為插拔式結(jié)構(gòu),當(dāng)桶蓋插緊后,第一連接器與第二連接器接通,此時溫度傳感器探測的溫度即可顯示在LED顯示屏上,當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定的使用溫度時,蜂鳴器發(fā)出警報,提醒工作人員,該桶光刻膠已經(jīng)充分解凍。
[0007]為了能夠監(jiān)控到內(nèi)部光刻膠的溫度,所述溫度傳感器安裝在引流管外壁1/3~2/3處,一般設(shè)置在整個引流管的中間部位。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:
(1)本發(fā)明在光刻膠桶內(nèi)設(shè)置溫度傳感器,能夠?qū)崟r監(jiān)控解凍過程中光刻膠內(nèi)的溫度,便于生產(chǎn)人員精確判斷地光刻膠解凍是否充分。
[0009](2)本發(fā)明設(shè)置有蜂鳴器,解凍過程中當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度時通過警報第一時間通知工作人員。
[0010](3)本發(fā)明插拔式結(jié)構(gòu)的桶蓋設(shè)計能夠達(dá)到更好的密封效果。
[0011](4)本發(fā)明的溫度傳感器設(shè)置在引流管外壁中部,能夠更精準(zhǔn)的監(jiān)控光刻膠內(nèi)部溫度。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明的光刻膠桶的整體示意圖。
[0013]圖2為本發(fā)明的光刻膠桶蓋的示意圖。
[0014]其中,附圖中的零部件名稱為:
1-桶蓋,2-桶口,3-桶壁,4-桶底,5-引流管,6-LED顯示屏,7-蜂鳴器,8-第一連接器,
9-第二連接器,10-溫度傳感器,11-開關(guān),12-調(diào)節(jié)按鈕。
【具體實施方式】
[0015]如圖1所示,本實施例的一種具有監(jiān)控功能的光刻膠桶包括,包括桶蓋1、桶口 2、桶壁3、桶底4、引流管5 ;桶蓋1的外側(cè)設(shè)置有LED顯示屏6和蜂鳴器7,桶蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一連接器8,LED顯示屏6和蜂鳴器7通過隱藏在桶蓋內(nèi)的線路與第一連接器8連接,引流管5的頂部套有第二連接器9 ;如圖2所示,本實施例的第一連接器為探針式插拔件,第二連接器為與第一連接器的探針匹配的插孔槽,并且第二連接器在桶口的外部;引流管5的中部設(shè)置有溫度傳感器10,溫度傳感器10通過排布在引流管5外壁的線路與第二連接器9連接;所述桶蓋1上還設(shè)置有控制LED顯示屏6和蜂鳴器7的開關(guān)11和調(diào)節(jié)按鈕12。桶蓋1為插拔式結(jié)構(gòu),當(dāng)桶蓋1在桶口 2上,并向下壓緊后,第一連接器與第二連接器接通。當(dāng)光刻膠從冰箱里拿出來后,啟動桶蓋1上的LED顯示屏6和蜂鳴器7的開關(guān),如此就啟動了光刻膠解凍時的溫度監(jiān)控功能。工作人員可以通過LED顯示屏上顯示的數(shù)字掌控光刻膠桶內(nèi)的溫度。光刻膠一般在23攝氏度能夠投入使用,如果對蜂鳴器的報警溫度設(shè)置在23攝氏度,當(dāng)溫度傳感器檢測到的溫度到達(dá)23攝氏度時,蜂鳴器就發(fā)出警報,工作人員無需時刻關(guān)注也能及時知道光刻膠已經(jīng)解凍充分可以投入使用。
【主權(quán)項】
1.種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶,包括桶蓋、桶□、桶壁、桶底、以及設(shè)置在桶口處的引流管,其特征是,所述桶蓋的外側(cè)設(shè)置有LED顯示屏和蜂鳴器,桶蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一連接器,所述LED顯示屏和蜂鳴器均通過線路與第一連接器連接,所述引流管的頂部設(shè)置有與第一連接器匹配連接的第二連接器,引流管的外壁還設(shè)置有溫度傳感器,所述溫度傳感器通過線路與第二連接器相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶,其特征是,所述第二連接器環(huán)繞設(shè)置在引流管頂部的外側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶,其特征是,所述桶蓋為插拔式結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶,其特征是,所述溫度傳感器安裝在引流管外壁1/3~2/3處。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種具有溫度監(jiān)控功能的光刻膠桶,包括桶蓋、桶口、桶壁、桶底、以及設(shè)置在桶口處的引流管,其特征是,所述桶蓋的外側(cè)設(shè)置有LED顯示屏和蜂鳴器,桶蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一連接器,所述LED顯示屏和蜂鳴器均通過線路與第一連接器連接,所述引流管的頂部設(shè)置有與第一連接器匹配連接的第二連接器,引流管的外壁還設(shè)置有溫度傳感器,所述溫度傳感器通過線路與第二連接器相連。本發(fā)明通過對個、桶內(nèi)光刻膠溫度的實時監(jiān)控,可精確判斷解凍的光刻膠能否用于生產(chǎn)。
【IPC分類】G01K13/00
【公開號】CN105352629
【申請?zhí)枴緾N201510734690
【發(fā)明人】劉幸
【申請人】劉幸
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年11月3日
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