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以高速傳送、檢查、測量對象及表面細節(jié)的方法和裝置的制作方法

文檔序號:6142044閱讀:185來源:國知局
專利名稱:以高速傳送、檢查、測量對象及表面細節(jié)的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領域
本發(fā)明涉及一種裝置,具有至少一個檢查臺,用于檢查在軌道上運動的對象或者帶有引線的對象,和使這些對象單獨地被檢查。所述裝置使用至少一個圖像檢查系統(tǒng),其具有一個或多個用于表面細節(jié)檢查,以及用于計算對象尺寸和/或測量來自所述待檢查對象的突出部分的成像傳感器,所述裝置包括至少一個用于從正面和/或背面照明的光源。
與本發(fā)明相關(guān)的背景技術(shù)應當理解圖像檢查系統(tǒng)是已知的,例如,用于檢查半導體裝置?,F(xiàn)在使用的這種圖像檢查系統(tǒng)采用具有三個成像傳感器的三個分開的工作臺。一個工作臺和傳感器用于上表面細節(jié)檢查,一個工作臺和傳感器用于俯視圖尺寸測量,一個工作臺和傳感器用于側(cè)視圖尺寸測量。
用于上表面檢查的第一個工作臺包括用于從前面照明的光源,從對象的前面照明;和成像傳感器,用于從與檢查位置相同的透視位置檢查對象。該檢查用于包括表面細節(jié)的特征的提取和表面細節(jié)的圖案識別。用于從頂部檢查的第二個工作臺,用于包括對象長度和寬度的俯視圖尺寸測量,或者用于帶有引線的對象的測量,該測量包括這些引線的尺寸和它們與其他特征或?qū)ο蟮年P(guān)系。該工作臺包括用于從背面照明或者來自下面的帶有黑色輪廓的照明光源,也就是相對于觀察的位置,從對象的背面照明,使得對象位于陰影中或黑色輪廓中。在這些情況下,可以以很高的清晰度檢查到對象的輪廓。這些對于具有來自側(cè)面的背面照明和從相對的一側(cè)觀察的側(cè)視圖尺寸測量同樣是正確的。
雖然利用了前面提到的圖像檢查系統(tǒng)并且為了防止不精確的結(jié)果,被檢查的對象必須是單獨處理的并且彼此不相互依靠的。對于重力給料傾斜的機器,通常的解決辦法是使用一對止動器。但是,單獨化受到止動器需要上下運動的速度的限制。如果在檢查臺中使用止動器,需要安放時間或停止時間,使得單獨的單元在檢查之前變成完全靜止。該停止時間是必需的,因為否則對象的慣性將使得對象沖出止動器。
利用從正面照明,通過將上表面檢查和俯視圖尺寸測量合并在一個工作臺中,進行這種嘗試來減少檢查臺的數(shù)量。利用這種安排,俯視圖將看到全部表面細節(jié)和對象的平面尺寸。
為了觀看兩個側(cè)面,利用從正面或背面照明,可以將兩個成像傳感器分別放在待檢查對象的每一側(cè)?;蛘?,利用具有更復雜特性的適當?shù)貜恼婊虮趁嬲彰鞯姆瓷溏R或棱鏡,還可以將用于側(cè)面尺寸測量的全部側(cè)視圖合并為一個視圖。
還已知的是,在同一個工作臺使用三個獨立的和不干涉的光源,將表面細節(jié)檢查與從背面照明的上面和側(cè)面的尺寸測量合并。通過使用三個在不同時間閃光的頻閃燈(閃光燈)可以實現(xiàn)這一點,在同一個工作臺中,一個照亮表面,第二個提供帶黑色輪廓的頂部圖像而第三個提供帶黑色輪廓的側(cè)面圖像。
從照相的角度出發(fā),使用頻閃燈具有使運動中的對象固定的優(yōu)點。該技術(shù)還已知用于“在飛行中”的檢查。雖然還可以使用帶有電子快門的成像傳感器例如漸次的掃描錄像機,實現(xiàn)固定對象的效果,在不同時間閃光的頻閃燈彼此不互相干涉,反之使用漸次的掃描攝像機的連續(xù)的照明裝置彼此干涉。
雖然可以實現(xiàn)“在飛行中”的檢查,這種檢查本身是不穩(wěn)定的,如果必須將對象以已知的和一致的方式呈現(xiàn)給成像裝置。例如,當檢查時裝置相對于一個數(shù)據(jù)是平面的情況下才能實現(xiàn)精確的測量。在運動過程中如果對象是飄浮的,將出現(xiàn)不精確的或無效的測量結(jié)果。
發(fā)明簡述為了克服前面提到的缺點,本發(fā)明的一個目的在于,通過將不同的視圖與以顯著增大的處理速度檢查運動中的對象這種可能性相組合,降低工作臺的數(shù)量和成像傳感器的數(shù)量,使得在檢查過程中不需要對象片刻地靜止。因此,在運動過程中運動的對象是穩(wěn)定的,使得檢查結(jié)果是可重復的和精確的。
本發(fā)明的另一個目的是提供裝置,防止在受到引導穿過檢查臺和單獨化的過程中對象的飄浮,特別是,如果對象是光并且快速地運動。
這些目的通過根據(jù)獨立權(quán)利要求1所述的裝置和根據(jù)獨立權(quán)利要求16所述的方法實現(xiàn)。
本發(fā)明的其他改進從屬于從屬權(quán)利要求。
本發(fā)明披露了提供減少成像臺和成像傳感器的數(shù)量,和這些檢查可以“在飛行中”進行的優(yōu)點。在檢查過程中不需要對象片刻地靜止。雖然用于“在飛行中”檢查的已知系統(tǒng)固有地是不穩(wěn)定的,本發(fā)明具有在高速運動的過程中對象非常穩(wěn)定和可靠地受到引導的優(yōu)點,使得檢查結(jié)果是可重復的和精確的。
本發(fā)明還提供一個優(yōu)點在于,利用用于俯視圖檢查的正面照明和用于計算對象尺寸的背面照明和/或測量來自待檢查對象的突出部分,可以從頂部和從側(cè)面同時檢查和有尺寸地測量帶有引線的對象。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的用于對象檢查的裝置的示意性剖面圖;圖2是根據(jù)圖1的裝置的簡要側(cè)視圖;圖3是根據(jù)本發(fā)明的三角形軌道和帶唇邊的導軌的示意圖;圖4是根據(jù)本發(fā)明的具有用于使對象單獨化的滾筒的裝置的側(cè)視圖;圖5是根據(jù)本發(fā)明的具有用于使對象單獨化的傳送帶的裝置的側(cè)視圖;圖6A和圖6B表示如在計算機單元的顯示屏上所顯示的頂部成像傳感器的圖像和底部成像傳感器的圖像;圖7A至圖7D表示三角形軌道的變形;圖8示意性地表示具有向內(nèi)和向外以及向上和向下調(diào)整的直角三角形的配置。
優(yōu)選實施例的詳細描述現(xiàn)在參見附圖,圖1表示用于檢查帶有引線的對象10(在該實施例中是半導體裝置)的裝置的示意性剖視圖,而在圖2中以示意性的側(cè)視圖表示同一個裝置。
該裝置包括一個延長的軌道11,如圖2中所示,由于重力反饋和對象的運動該軌道是傾斜的。該軌道包括形成直角三角形的軌,其具有在支撐對象10的底部的兩個45度角和位于倒置的角錐位置中的三角形的90度頂角之間的一個基座。導軌在尺寸上小于對象,使得對象的側(cè)面和它們的引線或管腳(20)沿著軌道的兩個側(cè)面突出。
對三角形在90度角處的兩個相鄰表面進行鏡面磨光,從而反射帶有引線的對象的突出的引線的圖像??梢允褂媚軌蜻M行鏡面磨光或涂層或附著的任何材料。金屬是用于鏡面磨光的材料的一個好的示例。
為了在檢查的過程中引導對象,在基座上面的軌道的兩側(cè)上安置兩個帶唇邊的導軌12。兩個導軌的底部內(nèi)表面以與水平面成45度角的方式形成唇邊,導軌的頂部外表面是斜切的。盡管斜切的角度將防止任何陰影投射到上表面上,但斜切的角度不是關(guān)鍵性的。在所示的實施例中,斜切的角度與水平面成60度。
每個導軌12的底部內(nèi)唇邊是鏡面磨光的。唇邊的長度應當足夠長,從而反射對象的帶有引線的部分。為了使得帶唇邊的導軌將投射在對象上表面上的任何陰影最小化,這些陰影是由于進行表面細節(jié)檢查而位于對象上面的一個或多個光源14引起的,導軌12應相對于其高度盡可能地小。
為了使對象10單獨化,使用一個或多個止動器、高速滾筒、或傳送帶。圖2中所示的實施例中,使用三個止動器40、41、和42,它們位于軌道11的上面,并且以定序的上下的方式工作,從而允許對象一個接一個地單獨進入成像傳感器16和25的視野中。
在該實施例中,本發(fā)明僅需要一個工作臺用于所有的成像傳感器16和25,來執(zhí)行所需要的全部測量和檢查。由于受到帶唇邊的軌道12的遮蔽,使得頂部照明的燈14和側(cè)面照明的燈18不互相干涉。頻閃燈的使用不是必不可少的,并且本發(fā)明可以使用用于連續(xù)發(fā)光的光源。止動器40即刻地使得對象10靜止,使得每個對象完全停止在軌道11上并且穩(wěn)定地進行用于檢查的定位而非漂浮地。兩個帶唇邊的導軌12和軌道11在本發(fā)明中是新穎的,因為它們同時用來作為對象10的支撐體以及成像傳感器的背面照明反射鏡。
帶唇邊的導軌12和直角三角形的軌道11的長度可以是任何長度和尺寸,只要適合于檢查待測對象和在運動過程中支撐對象。
關(guān)于三角形軌道的不同實施例,下面對圖7A至圖7D的說明將給出更詳細的說明。
在如圖4所示的另一個實施例中,本發(fā)明使用單獨滾筒43代替止動器。滾筒的外圓周由柔韌的橡膠類材料制成,使得隨著滾筒的進入,滾筒確實地抓住對象10。彈性材料還將以很小的高度變化迎合對象。滾筒固定到電動機或任何旋轉(zhuǎn)的機器上。
本發(fā)明還提供一個特征,使得滾筒43是彈簧負載的,因此滾筒作用在對象上的全部壓力是可調(diào)整的和受控制的。該特征是加在滾筒的橡膠圓周上的,加強本發(fā)明迎合高度稍微變化的對象的能力。
滾筒43向前轉(zhuǎn)動對象直到滾筒不再與對象接觸。當該情況發(fā)生時,對象將由于重力而落下。因為對象基于重力下落的速度比由滾筒傳送的下一個對象的速度快,落下的對象將與剩余的對象分離。通過這種方式,使對象單獨化并且一次落下一個。
根據(jù)本發(fā)明通過調(diào)整轉(zhuǎn)動的滾筒的速度,可以控制落下的對象之間的間隔和每個對象落下的頻率。滾筒的速度越快、間隔越小、和對象落下的頻率越快。
在使用滾筒的該實施例中,位于軌道下面的成像傳感器25放置在滾筒43的下面。該特征使得當對象擠壓在軌道11上并且仍然處于運動的過程中時,成像傳感器25能夠檢查對象10。將對象擠壓在軌道上為對象提供了穩(wěn)定性,否則會是飄浮的并且當從側(cè)面檢查對象時,將提供錯誤的測量結(jié)果。盡管當由頂部成像傳感器16進行檢查時,對輕微浮動的對象是可以接受的,但對于底部成像傳感器25是不能接受的。
在如圖5中所示的本發(fā)明的另一個實施例中,使用傳送帶44代替滾筒用于傳送對象10。在該圖中沒有顯示位于檢查者一側(cè)的帶唇邊的導軌。傳送帶44將與對象的更大的表面積接觸,并且甚至每次與一個以上的對象接觸。通過在對象和傳送帶之間留一個小的間隔,還可以使得進入傳送帶的入口更大,因此入口更寬。這將能夠降低對象在入口處擁擠的可能性。傳送帶可以具有任何合適的長度,并且傳送帶可以是具有兩個或多個滾筒的不同的設計和尺寸。
為了檢查或檢驗對象的上表面,如圖2、圖4、或圖5中所示,成像傳感器16以一個高得足以檢測對象的上表面的全部尺寸大小的距離位于軌道11的上面。上表面細節(jié)的一個示例的代表35(通過頂部成像傳感器16可以看到)如圖6A中所示。該圖表示頂部成像傳感器在計算機單元30的顯示屏32上所顯示的圖像,參見圖1,它是通過導線33由頂部成像傳感器16供給的。所顯示的示例表示不僅可以識別上表面上的打印的數(shù)據(jù),而且可以識別污點36和/或抓痕37,以及對象的輪廓長度和寬度。
關(guān)于對象輪廓尺寸的檢查和突出部分特別是引線或管腳20的測量,漫射光源18位于軌道11和帶唇邊的導軌12的每一側(cè)上,用來照亮帶有引線的對象10的側(cè)面。既可以使用連續(xù)發(fā)光的光源也可以使用頻閃(閃光)燈。這些光源設置成,為對象和引線提供從背面照明或黑色輪廓的圖像。采用同樣的光為帶有引線的對象的底部輪廓和側(cè)面輪廓提供帶有黑色輪廓的圖像。
光源18的光在軌道11的底面和帶唇邊的導軌12的底部內(nèi)表面的45度角的鏡面磨光的表面上發(fā)生反射。引線或管腳20的從背面照明的水平部分的陰影21,和從背面照明的引線或管腳20的垂直部分的陰影22,如圖1中所示,位于由光源18從前面照明的這些部分23的兩側(cè)上。這些圖像可以受到成像傳感器25的探測。
成像傳感器25的輸出信號通過導線31提供給計算機單元30,后者處理這些信號從而顯示在屏幕32上。底部成像傳感器的圖像如圖6B中所示。
由于通過兩個坐標軸形成的一組數(shù)據(jù)可以描述由成像傳感器看到的圖像,所有對象點是嚴格地成線性比例的。這明顯地簡化了由計算機單元進行的處理,使得可以使用標準的個人計算機而不需要具有高計算處理功率的計算機。
因此,引線或管腳20的垂直部分的陰影22可以簡單地轉(zhuǎn)換,與對象10的沿著軌道11兩側(cè)突出部分的陰影23一同,作為引線或管腳的水平部分的陰影21的延長,從而顯示在屏幕上。
圖6B還表示引線或管腳的水平部分27和垂直部分28比額定的長度更短,該額定的長度在屏幕上是由虛線表示的。
本發(fā)明還提供一些變形,用于如圖7B至圖7D中所示的帶有長管腳或長引線45的對象。為了對比的目的,在圖7A中以簡單的方式示出根據(jù)圖1中所示的直角三角形的軌道。在根據(jù)圖7B的另一個實施例中,該直角三角形軌道延伸成不規(guī)則的五邊形46,使得五邊形軌道的直角三角形側(cè)邊可以看到引線45的頂端。
本發(fā)明還提供能夠手動地或自動地上下調(diào)整的直角三角形,通過使用一個固定的平臺47與可以上下調(diào)整的直角三角形48一同來支撐對象10,來適應如圖7C中所示的引線長度的變化。
根據(jù)本發(fā)明的三角形的頂角不需要嚴格地保持在90度角,盡管直角的使用對于直接的和線性比例的反射是有優(yōu)勢的。如圖7D中所示,對于三角形49可以使用更大或更小的頂角50,來為對象的所有特征提供成角度的圖像。在該實施例中,處理信號的計算機單元30必須考慮到該成角度的反射。
本發(fā)明進一步包括特征,從而允許適合于各種不同大小的對象。為了達到該目的,帶唇邊的導軌52固定到可以移動的平臺53上或者它們本身可以向內(nèi)和向外運動,從而適應對象寬度的變化。在該實施例中,如圖8中所示,帶唇邊的導軌52在外表面上都是雙斜切的,從而允許更多的光以銳角照射到上表面上。曲線的外表面也可以實現(xiàn)減少陰影的同樣效果。
另外在允許上下運動的可以移動的平臺上放置一個延長的直角軌道55。在所示的實施例中,直角軌道55劃分成兩個部分,可以向內(nèi)和向外地移動從而適應對象寬度的變化。還可以上下地調(diào)整軌道55的兩個部分,從而適應對象厚度的變化。在這些可能性下,為了調(diào)整側(cè)視圖光源18應當相應地調(diào)整所述軌道。
平臺可以手動地或自動地移動,來適應從一批同樣大小的對象的尺寸變化到單獨的尺寸變化。
平臺或運動機械的實際設計是非實質(zhì)的,只要帶唇邊的軌道導軌和直角軌道可以移動來適應對象,并且通過成像傳感器觀察待檢查的對象不會受到阻礙。
盡管已經(jīng)詳細描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例,應當理解在不脫離由所附的權(quán)利要求限定的本發(fā)明的構(gòu)思和范圍的情況下,可以做出不同變化、代替、和替換。
權(quán)利要求
1.一種裝置,具有至少一個用于檢查在軌道上運動的對象或者帶有引線的對象,并且單獨地進行檢查的檢查臺,所述裝置使用至少一個圖像檢查系統(tǒng),其具有一個或多個用于表面細節(jié)檢查,以及用于計算對象尺寸和/或測量來自所述待檢查對象的突出部分的成像傳感器,所述裝置包括至少一個用于從正面和/或背面照明的光源,其特征在于所述軌道(11;46;48;49;55)的形狀為三角形,其中基座位于兩個相鄰的拐角之間用于支撐所述對象(10),頂角位于倒置的角錐的位置處,所述三角形位于頂角的兩個相鄰的表面是鏡面磨光的,位于所述兩個相鄰的拐角之間的所述基座在尺寸上小于所述對象(10),從而所述對象的相對的側(cè)面,以及在帶有引線的對象的情況下,它的引線或管腳(20;45)沿著所述軌道的所述相鄰的拐角突出;兩個帶唇邊的導軌(12;52)從相對的兩個側(cè)邊引導所述對象(10),所述導軌的底部內(nèi)表面,都以與水平面成銳角的角度形成唇邊,并且是鏡面磨光的,所述唇邊具有足夠長的長度來反射所述帶有引線的對象的所述引線或管腳(20);所述光源最好由在所述軌道(11;46;48;49;55)的每一側(cè)上形成的側(cè)面圖像漫射光源(18)構(gòu)成,所述漫射光源用于提供所述引線或管腳(20;45)的有黑色輪廓的圖像和/或所述對象(10)的底部和側(cè)面尺寸的主視圖;以及所述成像傳感器(25)位于所述軌道的下面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述軌道(11;46;48;49;55)是直角三角形,具有兩個相鄰的45度底角和一個90度的頂角,并且,其中,所述帶唇邊的導軌(12;52)的所述底部內(nèi)表面以與水平面成45度形成唇邊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置,其中,至少一個用于上表面細節(jié)檢查的俯視圖光源(14)和一個頂部成像的傳感器(16)位于所述對象(10)的上面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任何一項所述的裝置,其中計算機單元(30)接收所述成像傳感器(25)和/或所述頂部成像傳感器(16)的輸出信號,用于在處理之后,在顯示屏(32)上顯示所述對象的尺寸以及所述引線或管腳(20;27;28;45)和/或所述上表面的細節(jié)(35;36;37)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、3、和4或權(quán)利要求2至4中的任何一項所述的裝置,其中,所述帶唇邊的導軌(12;52)的頂部外表面是斜面的或曲面的,從而防止任何陰影投射在所述對象的上表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任何一項所述的裝置,其中,所述對象或帶有引線的對象(10)通過使用滾筒(43)或傳送帶類型的裝置(44)單獨地移動到所述檢查臺中,而滾筒(43)或傳送帶類型的裝置(44)作為傳送機械,以及將待檢查的對象穩(wěn)定在軌道上的機械。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置,其中,所述滾筒(43)或所述傳送帶類型的裝置(44)具有柔韌的橡膠類表面材料,從而迎合對象的高度變化。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任何一項所述的裝置,其中,所述檢查以“在飛行中”檢查的方式進行。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任何一項所述的裝置,其中,在兩個不同的工作臺上,一方面進行所述表面細節(jié)檢查,和另一方面進行所述計算對象尺寸和/或所述突出部分測量檢查。
10.根據(jù)權(quán)利要求1和6中的任何一項所述的裝置,其中,底部檢查臺被放置在所述滾筒(40)或所述傳送帶類型的裝置(44)的下面,并且其中,頂部檢查臺被放置在底部檢查臺前面附近處。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中的任何一項所述的裝置,其中,所述直角三角形軌道的橫截面被伸展成不規(guī)則五邊形(46)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至10中的任何一項所述的裝置,其中,所述軌道包括一固定的平臺(47)以及一個三角形(48),其可手動地或自動地上下調(diào)整以適應對象的引線長度的變化。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中的任何一項所述的裝置,其中,所述兩個固定在所述平臺上的帶唇邊的導軌(52)或者所述平臺(53)可以向內(nèi)和向外運動,從而適應對象寬度的變化。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任何一項所述的裝置,其中,所述三角形軌道(55)包括兩個部分,其可向內(nèi)和向外,和/或向上和向下移動調(diào)整。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中的任何一項所述的裝置,其中,延長的三角形軌道(55)安置在一允許向上和向下調(diào)整的平臺上。
16.一種用于高速傳送、檢查、測量對象或帶有引線的對象以及表面細節(jié)的方法,所述方法包括步驟提供一用于將所述對象或帶有引線的對象(10),以“單數(shù)”裝置的方式饋給到檢查臺的軌道(11;46;48;49;55),所述軌道的形狀為三角形,其中位于兩個相鄰的拐角之間的基座用于支撐所述對象,頂角位于倒置的角錐的位置處,所述三角形位于頂角的兩個相鄰的表面是鏡面磨光的;以帶唇邊的導軌(12;52)的方式,將所述對象(10)在所述軌道(11;46;48;49;55)的兩邊上導向,其所述對象沿著所述相鄰的拐角突出,所述帶唇邊的導軌具有足夠的長度,將所述對象的引線(20;45)反射到其鏡面磨光的底部內(nèi)表面上;提供了在所述導軌(11;46;48;49;55)的兩邊上的側(cè)視圖光源(18),用于在相對于成像傳感器的觀察位置在前的所述對象的后部和側(cè)部,照亮所述引線(20;52);提供在所述軌道(11;46;48;49;55)下方的所述成像傳感器(25),用于所述對象的后部照亮的引線(20;27;28;45),以及所述對象沿著所述軌道的拐角突出的前部照亮的部分的成像;以及接收所述成像傳感器的輸出信號并且應用于計算機單元(30),用于在處理之后,在顯示屏(32)上顯示對象的尺寸以及引線。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,還包括用于頂部表面細節(jié)檢查的步驟在所述被檢查對象(10)的上方安置一頂部成像傳感器(16)以及光源(14);以及將所述頂部成像傳感器(16)的輸出信號應用于所述計算機單元(30),用于在處理后,在所述顯示屏(32)上顯示被檢查對象的頂部表面細節(jié)。
全文摘要
一種用于例如集成電路組件(10)等對象或帶有引線的對象的檢查的裝置,包括用于俯視圖檢查和側(cè)面檢查的俯視圖成像傳感器(25);三角形的軌道(11),其基座用于支撐組件,其中所述三角形的頂角位于倒置的角錐的位置處。三角形的位于頂角的兩個相鄰表面是鏡面磨光的。通過兩個帶唇邊的導軌(12),從檢查臺的相對的側(cè)面引導組件,唇邊的底部內(nèi)表面與水平面成銳角。組件受到位于軌道每一側(cè)的側(cè)面成像漫射光源(18)和/或俯視圖光源(14)的照明。通過成像傳感器看到沿著軌道的拐角突出的組件(20)的引線部分,并且通過頂部成像傳感器(16)看到上表面(35)。輸出信號在用于在顯示屏(32)上顯示圖像的計算機(30)中被處理。
文檔編號G01B11/02GK1367872SQ99815888
公開日2002年9月4日 申請日期1999年11月30日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月30日
發(fā)明者莊斌德, 何春龍, 沈偉利, 李俊業(yè), 黃文龍, 梁啟政, 謝志賢 申請人:瑞豐影像科技(私人)有限公司
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