專利名稱：用于檢測柔性材料連續(xù)基片上分離布線圖形的檢測系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測柔性材料連續(xù)基片上形成的分離布線圖形的檢測系統(tǒng)，更具體地說，是涉及這樣一種檢測系統(tǒng)，即可以通過使用基片作為進料輸送器或運輸機輸送用于檢測的布線圖形。
在制造印刷電路板時，通常在相對柔性材料連續(xù)基片上形成很多相同的布線圖形，然后把該基片切割成分離的電路板，每個電路板具有最終使用的布線圖形。為了檢測電路板的布線圖形，需要把分離分電路板一個接一個地放在合適的輸送機上，來把電路板輸送到檢測區(qū)中，在該檢測區(qū)中，連續(xù)地掃描檢測布線圖形。但是，這種檢測系統(tǒng)有一個問題，即電路板必須精確地定位在輸送機上，以便與檢測區(qū)中的攝像機正確地對準，而且該系統(tǒng)還需要輸送機。
本發(fā)明針對上述的問題，提供了一種較好的系統(tǒng)，通過使用基片作為進料輸送器，來檢測柔性材料連續(xù)基片上的分離的布線圖形。因此，本發(fā)明的一個主要的目的是提供一種檢測系統(tǒng)，其可以使用基片作為進料輸送器，并且即使在使用柔性基片材料作為進料輸送器時也可以確保布線圖形的精確定位，以便進行可靠地檢測。根據(jù)本發(fā)明的檢測系統(tǒng)包括一個設置有攝像裝置的檢測區(qū)，用于檢測各個布線圖形，并且探測基片上的所述布線圖形的位置。設置一個引入輥，把基片引入檢測區(qū)中。與該引入輥相連的是引出輥，該引出輥把基片從檢測區(qū)中拉出并進行定位，以便把檢測區(qū)限定在引入輥和引出輥之間，并且向基片施加一個張力，用于把基片拉直通過該檢測區(qū)。設置一個控制裝置，基于攝像裝置探測的位置信號控制通過檢測區(qū)的基片的位置，該位置信號指示在檢測區(qū)中基片上的各個布線圖形的位置。因此，該布線圖形可在檢測區(qū)中相對于攝像裝置精確地定位，從而可靠地檢測。
由于該布線圖形能以規(guī)則的精確間隔形成在基片上，布線圖形在檢測區(qū)中的精確定位可補償輸送基片的可能的橫向偏移及該基片與預定輸送方向的可能的角度方向偏差。為了補償基片在輸送時的這種有害的誤差運動，本發(fā)明考慮使用一個把基片輸送到檢測區(qū)的進料器和一個收集基片的收集器構成一個精確定位機構。該機構允許引入輥和引出輥在相對于輸送方向的橫向方向上偏移。該控制裝置響應位置信號，至少偏移引入輥和引出輥之一，用于布線圖形在檢測區(qū)中的正確定位。
本發(fā)明公開了各種輸送基片可靠檢測布線圖形的模式以及與各個模式相關的具體特征。對于所有的模式，該攝像裝置包括檢測攝像裝置和位置攝像裝置。該檢測攝像裝置把掃描的布線圖形的圖像提供給圖像檢測器，在該圖像檢測器中，把掃描的圖像與參考圖像進行比較，以確定該布線圖形的缺陷。該位置攝像裝置探測基片上的標記，以確認正好在由檢測攝像裝置檢測之前的布線圖形的預檢測位置，并且提供指示預檢測位置的位置信號。
在第一個模式中，以均勻的速度輸送基片，檢測攝像裝置包括一個矩陣檢測攝像裝置，其設置在相對于基片的輸送方向的橫向方向上，覆蓋布線圖形的整個寬度。設置一個速度傳感器以提供指示輸送速度的速度信號。該控制裝置響應該速度信號以便以均勻的速度輸送基片。此外，基于該位置信號和速度信號，該控制裝置啟動檢測攝像裝置，用于掃描與該布線圖形的位置同步的布線圖形的圖像。
在第二個模式中，檢測攝像裝置包括一個矩陣檢測攝像裝置，其設置在相對于基片的輸送方向的橫向矩陣方向上，以便在該矩陣在矩陣方向的第一位置和第二位置之間偏移時覆蓋布線圖形的整個寬度。該控制裝置啟動，通過一個正向步驟沿輸送方向向前輸送基片，在該正向步驟中，該檢測攝像裝置在第一位置完成一部分布線圖形的掃描，并且接著通過一個反向步驟反向輸送基片，在該反向步驟中，該檢測攝像裝置在第二位置完成其余部分的布線圖形的掃描。
在第三個模式中，該控制裝置啟動，間歇地輸送基片，使得該布線圖形在檢測區(qū)中保持靜止預定的時間，在該預定的時間內(nèi)，控制檢測攝像裝置相對于布線圖形移動，以檢測布線圖形。
在第四個模式中，檢測攝像裝置包括一個矩陣檢測攝像裝置，其設置在平行于基片的輸送方向的方向上，以便在該矩陣沿垂直于輸送方向的橫向方向上往復一個循環(huán)時覆蓋布線圖形的整個寬度。該控制裝置啟動，使基片保持在第一位置，在此處，該檢測攝像裝置在橫向方向上移動半個循環(huán)，以便掃描一部分布線圖形，并且接著通過一個步驟輸送基片到第二檢測位置，在此處，該檢測攝像裝置在橫向方向上移動余下的半個循環(huán)，以便掃描其余部分的布線圖形。以此方式，該控制裝置啟動，使得該布線圖形保持靜止在第一和第二檢測位置，在此處，控制檢測攝像裝置相對于布線圖形移動，以檢測布線圖形。
對于第二、第三和第四個模式，在由檢測攝像裝置進行布線圖形的檢測期間，使基片保持靜止或逐步輸送，最好在基片后面設置一個吸臺，以便使基片平展地保持在吸臺上，有利于檢測。該吸臺可在檢測時與逐步輸送的基片同步移動。此外，該吸臺可被用來基于來自位置攝像裝置的位置信號進行布線圖形相對于檢測攝像裝置的正確定位。為此，該吸臺被設置成可使其輸送軸沿基片的輸送方向延伸，并且可以圍繞垂直于基片平面的豎直軸擺動，以便調(diào)整輸送軸與輸送方向的角度，從而補償基片與預定輸送方向的偏差。
本發(fā)明的這些和其它目的和特征在下面結合附圖對最佳實施例的描述中將變得更加清楚。


圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實施例的檢測系統(tǒng)的透視圖；圖2是上述檢測系統(tǒng)的方框圖；圖3是其上形成有多個布線圖形的基片的截面圖；圖4是具有將被檢測的布線圖形的基片的平面圖；圖5是上述系統(tǒng)的俯視圖；圖6是用于說明修正布線圖形位置的操作的基片的局部視圖；圖7A-7E是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的檢測系統(tǒng)的操作的視圖；圖8A和8B是用于說明應用在上述實施例中的吸臺的操作的示意圖；圖9A和9B是用于說明應用在上述實施例中的另一個吸臺的操作的示意圖10是根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的檢測系統(tǒng)的示意圖；圖11A-11E是用于說明根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的檢測系統(tǒng)的操作的視圖；圖12是第四實施例的變型的示意圖；圖13是根據(jù)本發(fā)明的第五實施例的檢測系統(tǒng)的示意圖。
第一實施例(圖1-圖6)參照圖1，示出了一個根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的檢測系統(tǒng)。該系統(tǒng)用于檢測柔性材料連續(xù)基片上形成的分離布線圖形。例如，如圖3中所示，基片10是一種包括0.04-0.2毫米厚的注入樹脂玻璃片11和兩外層35微米厚的銅層12。該布線圖形14通過蝕刻形成在上部銅層12的上面。將被本系統(tǒng)檢測的布線圖形可以是其它的淀積在該銅層上的保護性材料的圖形。該基片10在鄰近各個布線圖形14處形成有多套位置標記16，每套位置標記16具有兩個橫過該基片10的長度方向的圓點標記，如圖4中所示。該標記16與布線圖形14一起以精確的位置印制在基片10上，從而可用來校準基片。
該系統(tǒng)包括一個進料器20、一個收集器40和一個設置在它們之間的檢測區(qū)30。該進料器20包括一個把一卷基片10拆卷的開卷機21，進料輥22、23、24，以及一個跳動卷取機25。鄰近開卷機21設置一個回收輥26，以便回收基片10下側的保護膜18。通過由傳動輥31和壓緊輥32組成的引入輥，把來自進料器20的基片10引入檢測區(qū)30，并且通過由傳動輥33和壓緊輥34組成的引出輥把它導入收集器40中。該收集器40包括一個卷取基片的卷取機41，進料輥42、43、44，以及一個跳動卷取機45。鄰近卷取機41設置一個供料輥46，以便提供將卷繞在卷取機41上的基片的下側的相同的保護膜。該引入輥和引出輥被這樣定位，以在其間限定檢測區(qū)30，并且向基片10施加一個張力，以便在檢測區(qū)30中水平延伸基片10。一個導向臺36并列設置在檢測區(qū)中的基片10的下面，用于把基片平展地引導在臺35上。進料器20和收集器40都可在橫過基片的輸送方向的方向上移動，以便對基片的橫向位置及輸送方向進行微細的調(diào)整。為此，該進料器20可由框架28承載，該框架28可移動地支撐在一個固定底座29上，以允許進料器20的橫向移動。同樣，該收集器40可由框架48承載，該框架48可移動地支撐在一個固定底座49上，以允許收集器40的橫向移動。
該檢測區(qū)30上設置有一對用于監(jiān)視位置標記16的位置攝像機51和一個用于掃描布線圖形14的檢測攝像機54。該檢測攝像機54包括一個矩陣攝像裝置55，其以這樣的方式緊緊地設置在垂直于基片10的輸送方向的橫向陣列上，當該攝像裝置保持靜止，基片10在正向方向上輸送時，可以掃描整個布線圖形。該攝像機51和54與控制器60相連，用于控制探測該布線圖形的位置及掃描該布線圖形的操作。除了包括橫向移動的進料器20和收集器40的操作外，該控制器60也控制基片10的輸送速度，即傳動輥31和33的轉速。在該實施例中，控制器60用于以均勻的速度輸送基片10通過檢測區(qū)30。一個轉動編碼器35設置在壓緊輥32的軸上，以便探測由控制器60確認的速度，用于保持輸送速度恒定的反饋控制。為此，如圖2中所示，控制器60包括與位置攝像機51相連以接收其監(jiān)視的數(shù)據(jù)的位置探測器61、與檢測攝像機54相連以接收其掃描的布線圖形14的圖像的圖形檢測器64、用于探測輸送速度的速度探測器62。速度探測器62的輸出饋送到處理器63，該處理器63依次啟動用于控制開卷機21、傳動輥31和33及卷取機41的速度，以便保持速度恒定。該圖形檢測器64把掃描的布線圖形的圖像與代表正確的布線圖形的參考圖像進行比較，以確定該掃描的布線圖形是否具有缺陷。如果確定該布線圖形具有缺陷，則該圖形檢測器64把分配給該特定的布線圖形的識別碼存儲進存儲器66中，以便其后參考該識別碼進行重新審查或確定為不合格品。該識別碼可印制在基片上，以便由圖像檢測器確認或通過計數(shù)各個被檢測的布線圖形確認。
該位置攝像機51探測正好在由檢測攝像機檢測之前的布線圖形14的預檢測位置，并且把指示預檢測位置的位置信號提供給位置探測器61，在此處進行分析以給出相對于一個正確的輸送軸的誤差。該誤差包括該布線圖形的預檢測位置相對于正確的輸送軸的橫向位移誤差和角度偏差誤差。這種誤差在處理器63中受到評估，以便把一個補償信號提供給位置控制器67，該位置控制器67響應使進料器20和/或收集器40以消除誤差的方式橫向運動，從而把布線圖形放在由矩陣檢測攝像機54檢測的正確位置上。將參照圖6詳細的描述該操作。每個位置攝像機51有一個具有中心X軸和Y軸的視場52。當在預檢測位置的布線圖形14相對于正確的輸送軸傾斜時，如圖所示，或者橫向偏移時，分別進入各個位置攝像機51的視場52中的相應的標記16示出了相對于中心X軸和Y軸的偏差△X和/或△Y。這樣的偏差代表了布線圖形的角度偏差誤差或橫向位移誤差。圖6示出了布線圖形相對于輸送軸FX的不想要的角度偏差0。基于獲得的△X和△Y，在布線圖形14進入檢測攝像機54的檢測位置之前，該處理器63產(chǎn)生用于消除該誤差的補償信號。
第二實施例(圖7A-圖7E)圖7A-圖7E示出了一個根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的檢測系統(tǒng)，其類似于第一實施例的結構，不同之處在于檢測攝像機54A包括沿基片10的橫向方向隔開的分開攝像裝置55A，并且其可在橫向方向上在圖7A-圖7C的第一位置和圖7D與圖7E的第二位置之間移動。相同的部件由相同的帶有后綴“A”的標號表示。該攝像裝置55A隔開固定的間距，這樣，在該裝置移動第一和第二位置之間距離時，可覆蓋布線圖形14的整個寬度。使用這種結構的檢測攝像機54A，可在正向和反向方向上控制輸送基片10?，F(xiàn)在將討論該系統(tǒng)的操作。如圖7A中所示，當布線圖形14進入由位置攝像機51A捕獲相應的部件標記16的預檢測位置時，控制器啟動，以較高的速度把基片10輸送到圖7B的第一檢測位置，在此處，該布線圖形14的前邊緣與檢測攝像機54A對準。然后，控制器通過一個正向步驟以較低的速度把基片10輸送到圖7C的第二檢測位置，該檢測攝像機54A保持在第一位置，在此期間，布線圖形14的一半?yún)^(qū)域(如陰影線所示)被掃描。然后，該檢測攝像機54A在橫向方向上移動到第二位置，如圖7D中所示。接著，通過一個反向步驟把基片10以較低的速度輸送到圖7E的位置，在此期間，該布線圖形14的其余一半被掃描。因此，通過同樣的步驟先正向再反向輸送基片10可掃描布線圖形的整個區(qū)域。其后，把基片10以高速正向輸送到圖7A的位置，用于下一個布線圖形的檢測。
應當注意，該實施例中，位置攝像機51A也可以使用位置標記16探測布線圖形14的預檢測位置，以便以與第一實施例同樣的方式實現(xiàn)圖7B的第一檢測位置處的布線圖形的正確定位。此外，在各連接中應當注意，當位置標記16來到相應的位置攝像機51A的視場時，即使各個標記16沒有嚴格地與該攝像機的視場的縱向中心(即圖6中所示的Y軸)相重合，控制器也可確認布線圖形14的預檢測位置。然后，控制器啟動，以很快的速度把基片10輸送固定的距離，并且以低速輸送適當?shù)木嚯x，以便針對偏差△X對布線圖形進行相對于圖7B的正確位置的微細調(diào)整。以此方式，可以可靠地檢測各個布線圖形，同時減少連續(xù)檢測各個布線圖形的運行時間。
如圖8A和8B所示，在該實施例中，最好在檢測區(qū)中的基片10的后面設置一個吸臺70，靠抽吸力保持基片。同時由檢測攝像機54A掃描該布線圖形。為了有助于使基片10平展地保持在吸臺70上，可以利用壓輥71，當布線圖形來到被掃描的位置時，其受到控制把基片擠壓在吸臺70上，其后該基片靠抽吸力保持在臺上，以便可靠地掃描布線圖形。該吸臺70支撐在底架72上，可沿輸送方向移動限制的長度，使得該基片10可由檢測攝像機移動檢測，即在圖7B-7E的位置之間，同時該基片保持在吸臺70上。此外，如圖9A和9B所示，可利用一個豎直移動的吸臺70A，在該布線圖形處于被掃描的位置時把基片保持在其上，并且在該基片從預檢測位置輸送到檢測位置時松脫該基片。該吸臺70A通過一個圓柱73可轉動地支撐在底架72A上，以便圍繞該圓柱的豎直軸轉動。用這種轉動結構，吸臺70A可以補償由位置攝像機探測的角度偏差誤差，用于相對于檢測攝像機正確地定位布線圖形。該吸臺70A也可沿基片的輸送方向隨著可移動地支撐在導軌74上的底架72A移動，以便在檢測布線圖形期間跟隨著該基片的運動。在該連接中，吸臺70A及圖8A的吸臺70可以在橫向方向上移動，以便基于來自位置攝像機的位置信號補償橫向位移誤差，如參照第一實施例所討論的。
第三實施例(圖10)參照圖10，示出了一個根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的檢測系統(tǒng)，其類似于第一實施例，不同之處在于檢測攝像機54B沿基片10的輸送方向延伸，并且其可在橫向方向上移動。相同的部件由相同的帶有后綴“B”的標號表示。該攝像裝置54B包括一個矩陣攝像裝置，其以這樣的方式緊緊地沿輸送方向設置，當該基片保持靜止，檢測攝像機在橫向方向上移動時，可以掃描布線圖形的整個區(qū)域。使用這種結構的檢測攝像機54B，控制器60B啟動，間歇地輸送基片10，提供一個靜止的期間，在該期間，布線圖形被掃描檢測。在該實施例中，相同的位置攝像機51B提供一個指示在預檢測位置處的布線圖形的上述種類的誤差的位置信號，這樣，在該布線圖形輸送到由檢測攝像機掃描的檢測位置時，通過移動進料器20A和/或收集器40A，控制器響應補償誤差。使用與第二實施例相同的吸臺70B，用于穩(wěn)定地保持基片，同時掃描該布線圖形，并且相對于檢測攝像機54B正確地定位該布線圖形。
第四實施例(圖11A-圖11E)圖11A-圖11E示出了一個根據(jù)本發(fā)明的第四實施例的檢測系統(tǒng)，其類似于第三實施例，不同之處在于檢測攝像機54C包括沿基片10的輸送方向隔開的分開攝像裝置55C，并且其可在橫向方向上在圖11A的第一位置和圖11C的第二位置之間移動。相同的部件由相同的帶有后綴“C”的標號表示。該攝像裝置55C隔開固定的間距，這樣，在該布線圖形14在正向方向上移動上述距離時，可覆蓋布線圖形14的整個長度。使用這種結構的檢測攝像機54C，一個控制器通過一個正向步驟輸送基片10，同時沿橫向方向在第一和第二位置之間往復該檢測攝像機54C一個循環(huán)?，F(xiàn)在將討論該系統(tǒng)的操作。如圖11A中所示，當布線圖形14進入由位置攝像機51A捕獲相應的部件標記16的預檢測位置時，控制器啟動，以較高的速度把基片10輸送到圖11B的第一檢測位置，在此處，該布線圖形14的前邊緣與最前面的檢測裝置55C對準。然后，該檢測攝像機54C在橫向方向上移動半個循環(huán)，到達圖11C的位置，該基片10保持靜止，掃描布線圖形的一半?yún)^(qū)域(如陰影線所示)。然后，該基片10正向輸送一個相應于鄰近的檢測裝置55C之間的間距的短距離，使布線圖形14來到圖11D的第二檢測位置處。接著，該檢測攝像機54C在橫向方向上移動余下的半個循環(huán)，到達圖11E的位置，從而完成掃描布線圖形14的整個區(qū)域。應當注意，該基片以較高的速度使布線圖形14從圖11A的預檢測位置輸送到圖11B的第一檢測位置，同時，以較低的速度使布線圖形從圖11C的第一檢測位置輸送到圖11D的第二檢測位置，以便減少連續(xù)檢測各個布線圖形的整個檢測時間，同時確?？煽康貦z測各個布線圖形。在該實施例中，當布線圖形14來到第一檢測位置時，如第一實施例中所討論的，通過在橫向方向上控制移動進料器和/或收集器，位置攝像機51C用來實現(xiàn)布線圖形14的正確定位。參照圖8A和9A討論的吸臺可應用在本系統(tǒng)中，用于同樣的確?？煽康貦z測的目的。
圖12示出了第三實施例的一個變型，其中檢測攝像機54D包括一個靠近布置的矩陣攝像裝置55D，以覆蓋布線圖形14的一半長度。布線圖形14的掃描可用與第三實施例的參照圖11A-11E討論的相同的順序進行。
第五實施例(圖13)參照圖13，示出了一個根據(jù)本發(fā)明的第五實施例的檢測系統(tǒng)。該檢測系統(tǒng)包括一個顯示器80，用于人眼對布線圖形重新檢測，該布線圖形已經(jīng)通過如前面的實施例所解釋的圖像處理確定為有缺陷。該系統(tǒng)還包括一個經(jīng)過基片10上面的備用臺90，當需要人員在由顯示器監(jiān)視的布線圖形上施加一個力以便比如用手動工具修補缺陷部分時，其作為一個支撐臺。該系統(tǒng)的基本結構包括一個進料器20E，用于把基片10從一個開卷機21E輸送到檢測區(qū)30，以及一個收集器40E，用于把基片收集在一個卷取機41E上。并且向引入輥裝置和引出輥裝置之間的基片10施加一個張力，以便在檢測區(qū)30E中水平延伸基片10。該引入輥裝置由傳動輥31E和壓緊輥32E組成，而引出輥裝置相似的由傳動輥33E和壓緊輥34E組成。設置在引入輥裝置和引出輥裝置之間的是一對豎直隔開的導向輥27，通過該導向輥，輸送方向被反向。導向輥27支撐在備用臺90上，并且被這樣定位，可通過該臺底部附近的入口91引入基片10，并且通過在該臺的一個縱向端處的出口92使基片出現(xiàn)在該臺90的頂部。設置在該臺90和引出輥裝置33E和34E之間的是一個升高輥93，其可豎直移動，以便在輸送基片時從臺90向上升起基片10。當基片10停止以檢測布線圖形時，該升高輥93下降把基片放在臺90上，用于可靠地識別有缺陷圖形，并且在必要時有利于人工處理布線圖形。
一個控制器60E包括一個取回部分，其源自圖像處理的輸出，該圖像處理如在前面的實施例中進行的，一個或多個布線圖形被確定為有缺陷。也就是說，分配給有缺陷的布線圖形的識別碼被傳送給控制器60E，其響應把該布線圖形輸送到臺90上，同時通過沒有缺陷的布線圖形。在布線圖形的區(qū)域中發(fā)現(xiàn)的特定的缺陷的位置的位置信息也可在圖像處理中獲得，并與識別碼一起輸送到控制器60E，使得電視攝像機54E受到控制，移動到特定的位置，以把放大的缺陷的圖像送到顯示器80，以便由人工很容易地識別。如果判斷該缺陷可被容易地修補，人員可利用臺90作為修補臺來用合適的手動工具修補缺陷。
安裝了與在前面的實施例中利用的相同的位置攝像機51E，用來觀察基片10上的位置標記，并在由攝像機54E檢測之前探測布線圖形的預檢測位置?；陉P于預檢測位置的信息，控制器60E指令把布線圖形輸送到一個正確的檢測位置，同時通過以與參照前面的實施例討論的相同的方式在橫向方向上移動進料器20E、收集器40E和臺90中的至少一個可對橫向位移、方向偏差的可能的誤差進行修正。在這種連接中，臺90安裝在一個底座94上，可圍繞圓柱95的豎直軸轉動，使得臺90可調(diào)整其方向，以便補償基片與預定的輸送方向的角度方向偏差。
盡管在前面的實施例中，位置標記與布線圖形分開印制，但它們也可印制在布線圖形的區(qū)域中。此外，可考慮檢測攝像機的特定布置和本系統(tǒng)的其它結構，適當?shù)剡x擇分開印制的標記與布線圖形的相對位置。
權利要求
1.一種用于檢測整體形成在柔性材料連續(xù)基片(10)上的分離布線圖形(14)的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括一個設置有攝像裝置(51、54)的檢測區(qū)(30)，用于檢測各個布線圖形，并且探測所述基片上的所述布線圖形的位置；引入輥裝置(31、32)，用于把基片引入所述檢測區(qū)中；引出輥裝置(33、34)，用于把所述基片從所述檢測區(qū)中拉出，所述引出輥裝置被定位，以便把所述檢測區(qū)限定在所述引入輥裝置和所述引出輥裝置之間，并且向所述基片施加一個張力，用于把在所述檢測區(qū)中的所述基片拉直；以及控制裝置(60)，其基于所述攝像裝置探測的位置信號控制通過所述檢測區(qū)的所述基片的位置，該位置信號指示在所述檢測區(qū)中所述基片上的所述各個布線圖形的所述位置。
2.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一個進料器(20)，用于把所述基片通過所述引入輥裝置輸送到所述檢測區(qū)中；一個收集器(40)，用于通過所述引出輥裝置從所述檢測區(qū)收集所述基片，所述進料器和所述收集器可在大體垂直于通過所述檢測區(qū)的所述基片的輸送方向的橫向方向上移動，所述控制裝置(60)包括一個機構，其可響應所述位置信號，至少在橫向方向上偏移所述進料器和所述收集器之一，用于所述布線圖形在所述檢測區(qū)中的正確定位。
3.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，每個所述引入輥和引出輥裝置包括一個傳動輥(31、33)和一個壓緊輥(32、34)，所述傳動輥由所述控制裝置控制進行轉動，所述壓緊輥把所述基片擠壓在所述傳動輥上以輸送輸送基片。
4.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述檢測攝像裝置(54)包括一個檢測攝像裝置(54)和一個位置攝像裝置(51)，所述檢測攝像裝置(54)把一個所述布線圖形的圖像提供給一個圖像檢測器(64)，在此處，所述圖像與參考圖像進行比較，用于確定在所述布線圖形中的缺陷，所述檢測攝像裝置(54)包括一個矩陣攝像裝置，其以這樣的方式設置在橫過所述基片的輸送方向的方向上，可覆蓋所述布線圖形的整個寬度，所述位置攝像裝置(51)探測在所述基片上的標記(16)，以確認正好在由所述檢測攝像機檢測之前的所述布線圖形的預檢測位置，并提供指示所述預檢測位置的所述位置信號，一個速度傳感器(35)探測所述基片的輸送速度，并提供指示輸送輸送速度的速度信號，所述控制裝置響應所述位置信號和所述速度信號，以便啟動所述檢測攝像裝置(54)，用于掃描與該布線圖形的位置同步的所述布線圖形的圖像。
5.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述攝像裝置包括一個檢測攝像裝置(54A)和一個位置攝像裝置(51A)，所述檢測攝像裝置(54A)把一個所述布線圖形的圖像提供給一個圖像檢測器(64)，在此處，所述圖像與參考圖像進行比較，用于確定在所述布線圖形中的缺陷，所述位置攝像裝置(51A)探測在所述基片(10)上的標記(16)，以確認正好在由所述檢測攝像機檢測之前的所述布線圖形的預檢測位置，并提供指示所述預檢測位置的所述位置信號，所述檢測攝像裝置(54A)包括一個矩陣攝像裝置(55A)，其設置在橫過所述基片的輸送方向的陣列方向上，以便當所述矩陣在所述陣列方向的第一位置和第二位置之間移動時可覆蓋所述布線圖形的整個寬度，所述控制裝置啟動，通過一個正向步驟沿所述輸送方向向前輸送所述基片，在該正向步驟中，所述檢測攝像裝置在所述第一位置完成一部分所述布線圖形的掃描，并且接著通過一個反向步驟反向輸送所述基片，在該反向步驟中，所述檢測攝像裝置在所述第二位置完成其余部分的所述布線圖形的掃描。
6.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述攝像裝置包括一個檢測攝像裝置(54B)和一個位置攝像裝置(51B)，所述檢測攝像裝置(54B)把一個所述布線圖形的圖像提供給一個圖像檢測器，在此處，所述圖像與參考圖像進行比較，用于確定在所述布線圖形中的缺陷，所述位置攝像裝置(51B)探測在所述基片上的標記(16)，以確認正好在由所述檢測攝像機檢測之前的所述布線圖形的預檢測位置，并提供指示所述預檢測位置的所述位置信號，所述控制裝置啟動，間歇地輸送所述基片，使得所述布線圖形在檢測位置保持靜止預定的時間，在該預定的時間內(nèi)，控制所述檢測攝像裝置相對于所述布線圖形移動，以檢測布線圖形。
7.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述攝像裝置包括一個檢測攝像裝置(54C)和一個位置攝像裝置(51C)，所述檢測攝像裝置把一個所述布線圖形的圖像提供給一個圖像檢測器，在此處，所述圖像與參考圖像進行比較，用于確定在所述布線圖形中的缺陷，所述位置攝像裝置探測在所述基片上的標記(16)，以確認正好在由所述檢測攝像機檢測之前的所述布線圖形的預檢測位置，并提供指示所述預檢測位置的所述位置信號，所述檢測攝像裝置(54C)包括一個矩陣攝像裝置(55C)，其設置在平行于所述基片的輸送方向的方向上，以便在所述矩陣沿垂直于所述輸送方向的橫向方向上往復一個循環(huán)時覆蓋所述布線圖形的整個寬度，所述控制裝置啟動，使所述基片保持在第一位置，在此處，所述檢測攝像裝置在所述橫向方向上移動半個所述循環(huán)，以便掃描一部分所述布線圖形，并且接著通過一個步驟輸送所述基片到第二檢測位置，在此處，所述檢測攝像裝置在所述橫向方向上移動余下的半個所述循環(huán)，以便掃描其余部分的所述布線圖形，所述控制裝置啟動，間歇地輸送所述基片，使得所述布線圖形在所述第一和第二檢測位置保持靜止，其中控制所述檢測攝像裝置相對于所述布線圖形移動，以檢測布線圖形。
8.如權利要求4至7中任何一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括一個進料器(20)，用于把所述基片從所述基片的第一存儲處(21)輸送到所述引入輥裝置，一個收集器(40)，用于把通過所述引出輥裝置的所述基片收集在所述基片的第二存儲處(41)，一個跳動卷取機(35、45)，其設置在兩個位置中的至少一個位置上，一個位置在所述進料器和所述引入輥裝置之間，另一個位置在所述引出輥裝置和所述收集器之間。
9.如權利要求4至7中任何一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測區(qū)設置有一個吸臺(70)，其定位在所述基片的后面，以便靠吸力把所述基片平展地保持在所述吸臺上，所述吸臺由所述控制裝置控制以保持所述基片，同時所述布線圖形由所述檢測攝像裝置掃描，并在檢測所述布線圖形后松脫所述基片。
10.如權利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述吸臺(70A)具有一個可沿所述基片的輸送方向延伸的輸送軸，并且可以圍繞垂直于所述基片平面的豎直軸擺動，以便調(diào)整所述輸送軸與輸送方向的角度，用于所述布線圖形相對于所述檢測攝像裝置的正確定位。
11.如權利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述吸臺(70)可隨著所述基片通過所述檢測區(qū)的輸送同步移動。
12.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述攝像裝置包括一個觀測攝像機(54E)，其在顯示器(80)上給出所述布線圖形的一個選擇的區(qū)域，用于由人眼進行檢測，所述檢測區(qū)設置有一個備用臺(90)，所述基片可輸送到其上。
全文摘要
一種通過利用基片作為進料輸送器檢測柔性材料連續(xù)基片上形成的分離布線圖形的檢測系統(tǒng)。該檢測系統(tǒng)包括一個設置有攝像裝置(51、54)的檢測區(qū)(30),用于檢測各個布線圖形(14),并且探測基片上的所述布線圖形的位置。設置一個引入輥(31、32),把基片引入檢測區(qū)中。與該引入輥相連的是引出輥(32、33),該引出輥把基片從檢測區(qū)中拉出。設置一個控制器(60),基于攝像裝置探測的位置信號控制通過檢測區(qū)的基片的位置,該位置信號指示在檢測區(qū)中基片上的各個布線圖形的位置。
文檔編號G01R31/01GK1273639SQ99801056
公開日2000年11月15日 申請日期1999年7月28日 優(yōu)先權日1998年7月28日
發(fā)明者大口哲哉, 石黑宏幸, 森好男, 北村武士 申請人:松下電工株式會社