專(zhuān)利名稱(chēng)：一種多區(qū)段四裂相指示光柵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于長(zhǎng)度計(jì)量領(lǐng)域中的一種多區(qū)段四裂項(xiàng)指示光柵，用于長(zhǎng)度計(jì)量。
本實(shí)用新型之前，常用的四裂項(xiàng)指示光柵，如圖1所示產(chǎn)生的光電信號(hào)正弦性差，對(duì)電子學(xué)高細(xì)分帶來(lái)很大誤差，影響測(cè)量精度。
為了克服上述缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于改善光電信號(hào)的正弦性，有利于消除高次諧波，為電子學(xué)高細(xì)分，提高測(cè)量分辨率提供了有利條件，使測(cè)量精度得到提高。
本實(shí)用新型的詳細(xì)內(nèi)容如圖2所示圖2a和圖2b是兩區(qū)段四裂相指示光柵，圖2c是四區(qū)段四裂相指示光柵。
兩區(qū)段四裂相指示光柵，是每個(gè)裂相窗口分成上下兩個(gè)區(qū)段或左右兩個(gè)區(qū)段，兩個(gè)區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足一定的相位關(guān)系，下方的零位編碼窗口刻線(xiàn)不分區(qū)段。四區(qū)段四裂項(xiàng)指示光柵，是每個(gè)裂相窗口分成上下左右四個(gè)區(qū)段，上下兩個(gè)區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足一定的相位關(guān)系，左右兩個(gè)區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足另外一種相位關(guān)系，下方的零位編碼窗口刻線(xiàn)不分區(qū)段。
工作原理說(shuō)明四裂項(xiàng)指示光柵的每個(gè)裂相窗口獲得的光電信號(hào)是由基波和高次諧波組成的，而高次諧波又是影響光電信號(hào)正弦性的主要因素，為了消除高次諧波，將四裂項(xiàng)指示光柵的每個(gè)裂相窗口光柵刻線(xiàn)采用分區(qū)段刻劃，區(qū)段之間的光柵刻線(xiàn)要滿(mǎn)足一定的相位差，使各區(qū)段獲取的光電信號(hào)相互補(bǔ)償，基波得到加強(qiáng)，高次諧波受到減弱，從而提高了光電信號(hào)的正弦性，為電子學(xué)高細(xì)分創(chuàng)造了條件，提高了測(cè)量分辨率，保證了測(cè)量精度。
本實(shí)用新型的積極效果有利于消除光電信號(hào)的高次諧波，改善了光電信號(hào)的正弦性，可實(shí)現(xiàn)電子學(xué)的高細(xì)分，提高測(cè)量分辨率，保證測(cè)量精度。


圖1已有技術(shù)四裂項(xiàng)指示光柵示意圖，圖2是本實(shí)用新型的多區(qū)段四裂項(xiàng)指示光柵示意圖，摘要附圖采用圖2。
最佳實(shí)施例兩區(qū)段四裂項(xiàng)指示光柵，兩區(qū)段的光柵刻線(xiàn)的相位差采用60°。四區(qū)段的四裂項(xiàng)指示光柵，上下兩區(qū)段的光柵刻線(xiàn)的相位差采用36°。
權(quán)利要求1.一種多區(qū)段四裂相指示光柵，是由指示光柵四裂相窗口和零位編碼窗口組成的，其特征在于兩區(qū)段四裂相指示光柵，每個(gè)裂相窗口分成上下兩個(gè)區(qū)段或左右兩個(gè)區(qū)段，兩個(gè)區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足一定的相位關(guān)系，下方的零位編碼窗口刻線(xiàn)不分區(qū)段；四區(qū)段四裂相指示光柵，上下兩個(gè)區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足一定的相位關(guān)系，左右兩個(gè)區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足另外一種相位關(guān)系，下方的零位編碼窗口刻線(xiàn)不分區(qū)段。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型屬于長(zhǎng)度計(jì)量領(lǐng)域中的一種多區(qū)段四裂項(xiàng)指示光柵,用于長(zhǎng)度計(jì)量。為了消除光電信號(hào)高次諧波,改善光電信號(hào)的正弦性、四裂相指示光柵的各裂相窗口采用多區(qū)段,上下兩區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足一定的相位關(guān)系,左右兩區(qū)段的光柵刻線(xiàn)滿(mǎn)足另外一種相位關(guān)系,區(qū)段之間獲得的光電信號(hào)相互補(bǔ)償,從而提高了光電信號(hào)的正弦性,為電子學(xué)細(xì)分創(chuàng)造了條件,保證測(cè)量精度。
文檔編號(hào)G01B11/02GK2349536SQ9823341
公開(kāi)日1999年11月17日 申請(qǐng)日期1998年11月26日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月26日
發(fā)明者張吉鵬, 董德水, 周浩 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所