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復合壓力傳感器的制作方法

文檔序號:6136361閱讀:345來源:國知局
專利名稱:復合壓力傳感器的制作方法
技術領域
本發(fā)明涉及電測量技術領域,特別是一種用于制造智能壓力變送器的復合壓力傳感器。
智能壓力變送器是近年來研制成的高科產(chǎn)品,具有很高的測量精度,這種精度是通過用靜壓,溫度對壓力示值的影響來修正差壓的誤差得到的這種復合傳感器除能對差壓進行測量外,同時還具有對靜壓、溫度進行測量的功能,目前所使用的復合壓力傳感器主要有圓杯單島和多邊形單島三杯結構,其中圓杯單島結構的復合壓力傳感器雖然具有一定的靈敏度和過載特性,并減少非線誤差,但是它的靜壓測量輸出無法得到大幅的提高,且這種結構是依靠機械加工方法得到的,具有加工復雜,合格率低的缺點,另外一種多邊形單形三杯復合壓力傳感器是根椐絕壓元件對靜壓進行測量的,由于組成惠斯登電橋的電阻是沿杯邊布置的,所以各應力點的測量值變化很大,不能進行非線性補償,具有圖形全是多邊形,制造困難,過載特性低的優(yōu)點。
本發(fā)明的目的提供一種靈敏度高,非線性可補償和過載特性優(yōu)良的復合壓力傳感器。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的,它包括基體,用于測量靜壓的敏感電阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4,用于測量靜壓的敏感電阻Rs1,Rs2,Rs3和Rs4,溫度敏電阻Rt和膜片,在基體上設置了一多邊雙島形的槽和兩個方形的凹槽,其中用于測量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽的中線,Rs1布置在另外方形凹槽的邊緣,用于測量差壓的敏感電阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4布置在多邊雙島形的凹槽的凸臺上。
本發(fā)明由于采用了雙島三杯結構,所以當雙面受力時雙島膜片受到的合力為零,當單面受力時,壓力全部作用于Rs1和Rs3這兩個絕壓元件上,整個器件具有對差壓和壓力進行測量的作用,可以實現(xiàn)微差壓,高靜壓的精確測量,具有非線性補償好和小電流,高靈敏度的優(yōu)點。
以下結合附圖對本發(fā)明做進一步的描述,

圖1是復合壓力傳感器的結構示意圖,圖2是圖1的A--A的剖示圖,圖3是圖1的等效電路圖,如圖1-3所示,該復合壓力傳感器,它包括基體1,用于測量靜壓的敏感電阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4,用于測量靜壓的敏感電阻Rs1,Rs2,Rs3和Rs4,溫度敏電阻Rt和膜片2,其中Rs1,Rs2,Rs3和Rs4構成測量靜壓的惠斯登電橋,Rg1,Rg2,Rg3和Rg4R1、R2、R3和R4構成測量差壓的惠斯登電橋;Rt布置在平行<110>45度角的方向,在基體1上設置一個多邊雙島形的凹槽和兩個方形凹槽的中線,Rs1布置在另外方形凹槽4和5的邊緣,用于測量差壓的敏感電阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4布置在多邊雙島形槽的凸臺上,雙島的凹槽深度為150--250微米,當傳感器雙面受力時,膜片2所受合力為零,通過Rs1,Rs2,Rs3和Rs4構成的靜壓惠登電橋測出靜壓,當單面受力時,壓力全部加在Rs1和sR3這兩個元件上,通過靜壓惠斯登電橋可以測出單面受力時的靜壓值;還可以通過由Rg1,Rg2,Rg3和Rg4,構成的差壓惠斯登電橋測出傳感器單面或雙面受力的差壓值。
權利要求
1,一種復合壓力傳感器,它包括基體,用于測量靜壓的敏感電阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4,用于測量靜壓的敏感電阻Rs1,Rs2,Rs3和Rs4,溫度敏電阻Rt和膜片,在基體上設置了一多邊雙島形的槽和兩個方形的凹槽,其中用于測量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽的中線,Rs1布置在另外方形凹槽的邊緣,用于測量差壓的敏感電阻Rg1,Rg2,Rg3和Rg4布置在多邊雙島形的凹槽的凸臺上
全文摘要
一種復合壓力傳感器,它包括基體,用于測量靜壓的敏感電阻R
文檔編號G01D5/16GK1248696SQ98114329
公開日2000年3月29日 申請日期1998年9月22日 優(yōu)先權日1998年9月22日
發(fā)明者丁文武 申請人:沈陽信息技術研究所
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