專利名稱：一種用于測(cè)量在板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)量在諸如陰極射線管(CRT)的面板之類的板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的裝置，更具體來說，它涉及當(dāng)板運(yùn)動(dòng)時(shí)來測(cè)量在板的內(nèi)表面上形成的沉積膜的厚度的裝置。
在典型面板的內(nèi)表面上，形成有預(yù)定圖案的熒光膜，而金屬膜形成在熒光膜的表面上。金屬膜將通過電子束碰撞激發(fā)而從熒光膜上產(chǎn)生的光反射到面板的前表面上，以便改善亮度，并且保護(hù)熒光膜不受電子束的碰撞。金屬膜由具有良好的反射率的鋁制成。隨著金屬膜厚度的增加，其典型的光反射率將提高，但是電子束透射過金屬膜的能量將較少。因此，從典型的光反射率和能量透射率的觀點(diǎn)來看，金屬膜的厚度應(yīng)當(dāng)適當(dāng)設(shè)置。
當(dāng)形成金屬膜時(shí)，其厚度被周期性地測(cè)量，因而得到控制。
金屬膜的厚度由操縱測(cè)量元件的操作工手工測(cè)量。在面板安裝在金屬膜沉積裝置上時(shí)測(cè)量金屬膜的厚度，因此其測(cè)量工作是復(fù)雜的，并且不能實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。另外安裝在沉積裝置上的面板是周期性地運(yùn)動(dòng)的，因此上述測(cè)量更加困難。
本發(fā)明的目的是克服上述問題而提供一種當(dāng)面板被傳送時(shí)測(cè)量在面板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的裝置。
本發(fā)明的另外一個(gè)目的是提供一種測(cè)量在板的內(nèi)表面上形成的的金屬膜厚度的裝置，其能夠改善金屬膜厚度測(cè)量工作的可靠性。
為完成上述目的，所提供的用于測(cè)量在板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的裝置包括一個(gè)位于被傳送的板之上的框架；一個(gè)在一端與所述框架可樞轉(zhuǎn)地組合在一起的導(dǎo)軌，使得安裝角可以調(diào)節(jié)；一個(gè)用于沿著所述導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動(dòng)的安裝在所述導(dǎo)軌上的臺(tái)車；與所述臺(tái)車組合的跟蹤裝置，用于通過有選擇地與所述運(yùn)動(dòng)板的所述側(cè)表面相接觸來以所述板運(yùn)動(dòng)的速度傳送所述臺(tái)車；安裝在所述臺(tái)車上以便從所述臺(tái)車上升和下降的測(cè)量元件，用于通過接觸所傳送的板來測(cè)量金屬膜的厚度；和用于相對(duì)于所述板來提升和降低測(cè)量元件的提升裝置。
另外，最好是，還包括一個(gè)安裝在導(dǎo)軌的另外一端的第一致動(dòng)器，用于通過提升和降低導(dǎo)軌來調(diào)節(jié)導(dǎo)軌的安裝角，并且在導(dǎo)軌上形成一個(gè)與面板的運(yùn)動(dòng)路徑相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)槽。
最好是，跟蹤裝置包括一個(gè)跟蹤桿，該跟蹤桿一端固定在臺(tái)車上，而另外一端豎向向下延伸，從而不與導(dǎo)軌接觸，和一個(gè)第二致動(dòng)器，該致動(dòng)器連接在跟蹤桿的另外一端，用于有選擇地接觸面板，以便臺(tái)車可以根據(jù)面板的運(yùn)動(dòng)來沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。
另外，最好是，通過臺(tái)車形成豎向通孔，并且提升裝置包括一個(gè)支承板，該支承板位于導(dǎo)軌的下部，能夠相對(duì)于導(dǎo)軌在豎向上運(yùn)動(dòng)并且有連接在其上的測(cè)量元件，和一個(gè)第三致動(dòng)器，該致動(dòng)器設(shè)置有一個(gè)桿，該桿穿過臺(tái)車的豎向通孔和導(dǎo)槽以后固定在支承板上。
本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)通過結(jié)合附圖詳細(xì)描述其較佳實(shí)施例將更加一目了然。其中，

圖1是本發(fā)明的用于測(cè)量在板的內(nèi)表面上形成的金屬膜厚度的裝置的分解透視圖；圖2A-圖2C是表示本發(fā)明的裝置的運(yùn)作情況的側(cè)視圖。
請(qǐng)參閱附圖1，本發(fā)明的用于測(cè)量金屬膜厚度的裝置被安裝在板90的上部，而板90安裝在傳送板10上，傳送板10由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(未示出)周期性地傳送，以便測(cè)量沉積在板90內(nèi)表面上的金屬膜的厚度。該測(cè)量金屬膜厚度的裝置包括一個(gè)安裝在傳送板10附近的框架20；一個(gè)安裝在框架20上的平而彎曲的導(dǎo)軌31，其中，安裝角可以調(diào)節(jié)；用于沿著導(dǎo)軌31往復(fù)運(yùn)動(dòng)的臺(tái)車41；安裝在臺(tái)車41上用于根據(jù)與板90側(cè)面的選擇接觸情況傳送臺(tái)車41的行駛裝置50；一個(gè)提升裝置60，其與臺(tái)車41組合在一起，用于相對(duì)于板90提升和降低金屬膜厚度測(cè)量傳感器70。
臺(tái)車41沿著在導(dǎo)軌31上的板90的運(yùn)動(dòng)路徑運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌31的一端可以樞轉(zhuǎn)地鉸接在框架20的一側(cè)，而其另外一端由框架20的另外一側(cè)支承著。與板90的運(yùn)動(dòng)路徑相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)引槽32形成在導(dǎo)軌31上。一個(gè)第一致動(dòng)器33安裝在框架20的非鉸接側(cè)，其支承著導(dǎo)軌31的另外一端并且可以提升和降低導(dǎo)軌31的自由端，以便轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)軌31，借此調(diào)節(jié)安裝角。
輪子42安裝在臺(tái)車41的兩側(cè)，以便能夠在導(dǎo)軌31上滾動(dòng)。
跟蹤裝置50包括一個(gè)跟蹤桿51和一個(gè)第二致動(dòng)器52，其中，跟蹤桿51的一端固定在臺(tái)車41的一側(cè)，并且向下延伸，從而不與導(dǎo)軌31相接觸，而第二致動(dòng)器52與跟蹤桿51的另外一端組合在一起，以便有選擇地接觸板90，從而臺(tái)車41可以根據(jù)板90的運(yùn)動(dòng)而沿著導(dǎo)軌31運(yùn)動(dòng)。
提升裝置60與臺(tái)車41組合在一起，并且可以提升和降低多個(gè)用于測(cè)量在板90的內(nèi)表面上的鋁膜厚度的測(cè)量元件70。提升裝置60包括一個(gè)支持板63和一個(gè)第三致動(dòng)器61，其中，支持板63布置在導(dǎo)軌31之下，能夠相對(duì)于導(dǎo)軌31在豎向上運(yùn)動(dòng)，并且有多個(gè)連接在其上的測(cè)量元件70，而第三致動(dòng)器61設(shè)置有一個(gè)桿62，桿62穿過臺(tái)車41的豎向通孔41a和導(dǎo)槽32之后固定在支持板63上。另外，導(dǎo)桿64固定在支持板63上并且通過導(dǎo)槽32和可滑動(dòng)地插入臺(tái)車41的豎向通孔41b。
本發(fā)明的用于測(cè)量在板的內(nèi)表面上的金屬膜的厚度的裝置還包括第一和第二傳感器66和67，第一傳感器66用于探測(cè)當(dāng)傳送板10運(yùn)動(dòng)和有選擇地操縱第二和第三致動(dòng)器52或者61時(shí)板90是否在測(cè)量元件70之下，而第二傳感器67用于探測(cè)板90是否已經(jīng)與導(dǎo)桿31的下部分開和操縱第一，第二或者第三致動(dòng)器33，52或者61。另外，一個(gè)用于在臺(tái)車41的傳送期間緩沖沖擊的緩沖器80還設(shè)置在導(dǎo)軌31的鉸接組合部分。通常，吸震器或者彈簧用作緩沖器80。
下面，參照附圖2A-2C描述有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的用于測(cè)量板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的厚度測(cè)量裝置的工作情況。
如圖2A所示，當(dāng)臺(tái)車41靠近緩沖器80時(shí)，如果當(dāng)傳送板10運(yùn)動(dòng)時(shí)板90由第一傳感器66探測(cè)到，便操縱跟蹤裝置50的第二致動(dòng)器52，使跟蹤桿51(見圖1)與板90的側(cè)表面接觸，同時(shí)操縱第三致動(dòng)器61來降低連接在桿62(見圖1)上的支持板63，以便使測(cè)量元件70與板90的上表面相接觸。
隨后，板90隨著傳送板10的運(yùn)動(dòng)被傳送。因?yàn)榈诙聞?dòng)器52的跟蹤桿51與板90的側(cè)表面相接觸，所以臺(tái)車41也以板90的運(yùn)動(dòng)速度沿著導(dǎo)軌31運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，因?yàn)榈谌聞?dòng)器61的桿62和支持板63的導(dǎo)桿64穿過在導(dǎo)軌31上形成的導(dǎo)槽32，所以當(dāng)桿62和導(dǎo)桿64沿著導(dǎo)槽32運(yùn)動(dòng)時(shí)臺(tái)車41被傳送。
沿著軌道傳送和以臺(tái)車41運(yùn)動(dòng)的速度運(yùn)動(dòng)的測(cè)量元件70當(dāng)與板90的上表面接觸時(shí)測(cè)量在板90的上表面上形成的金屬膜的厚度。
然后，如果板90繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，并且之后由第二傳感器67探測(cè)到，如圖2B所示，則操縱第二致動(dòng)器52，使跟蹤桿51與板90的側(cè)表面分開，并且同時(shí)操縱第三致動(dòng)器61來升起支承板63。因此測(cè)量元件70與板90的上表面分開。
在測(cè)量元件70與板90的側(cè)表面分開以后，如圖2C所示，操縱第一致動(dòng)器33來將導(dǎo)軌31的另外一端升起，使導(dǎo)軌31以一個(gè)預(yù)定角度傾斜。當(dāng)導(dǎo)軌31傾斜時(shí)，臺(tái)車41由于其自身的重力而沿著導(dǎo)軌31返回其原來的位置。這里，因?yàn)榫彌_器80安裝在導(dǎo)軌31的鉸接組合部分，所以作用在提升裝置60和測(cè)量元件70上的沖擊可以被吸收。
在臺(tái)車41返回其原來的位置之后，再次操縱第一致動(dòng)器33，以便使導(dǎo)軌31恢復(fù)至水平狀態(tài)，然后上述的操作可以重復(fù)進(jìn)行。
如上所述，本發(fā)明的用于測(cè)量板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的裝置可以在以板運(yùn)動(dòng)的速度運(yùn)動(dòng)的同時(shí)測(cè)量板的內(nèi)表面上的金屬膜的厚度，因此可以改善測(cè)量的精度和降低手工測(cè)量該厚度所花費(fèi)的人工工時(shí)。
權(quán)利要求
1.一種用于測(cè)量在板的內(nèi)表面上的金屬膜厚度的裝置，它包括一個(gè)位于被傳送的板之上的框架；一個(gè)在一端與所述框架可樞轉(zhuǎn)地組合在一起的導(dǎo)軌，使得安裝角可以調(diào)節(jié)；一個(gè)用于沿著所述導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動(dòng)的安裝在所述導(dǎo)軌上的臺(tái)車；與所述臺(tái)車組合的跟蹤裝置，用于通過有選擇地與所述運(yùn)動(dòng)板的所述側(cè)表面相接觸來以所述板運(yùn)動(dòng)的速度傳送所述臺(tái)車；安裝在所述臺(tái)車上以便從所述臺(tái)車上升和下降的測(cè)量元件，用于通過接觸所傳送的板來測(cè)量金屬膜的厚度；和用于相對(duì)于所述板提升和降低測(cè)量元件的提升裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，它還包括一個(gè)安裝在所述導(dǎo)軌另外一端上的第一致動(dòng)器，用于通過提升和降低所述導(dǎo)軌來調(diào)節(jié)所述導(dǎo)軌的安裝角，其中與所述板的運(yùn)動(dòng)路徑相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)槽形成在所述導(dǎo)軌上。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述跟蹤裝置包括一個(gè)一端固定在所述臺(tái)車上并且另外一端豎向向下延伸從而不與所述導(dǎo)軌相接觸的跟蹤桿，和一個(gè)第二致動(dòng)器，該第二致動(dòng)器連接在所述跟蹤桿的所述另外一端上，用于有選擇地接觸所述板，使得所述臺(tái)車可以根據(jù)所述板的運(yùn)動(dòng)來沿著所述導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，在所述臺(tái)車上形成有豎向通孔，并且所述提升裝置包括一個(gè)支承板，該板位于所述導(dǎo)軌的下部，能夠相對(duì)于所述導(dǎo)軌在豎向上運(yùn)動(dòng)并且有連接在其上的所述測(cè)量元件，和一個(gè)第三致動(dòng)器，該第三致動(dòng)器設(shè)置有一個(gè)桿，該桿在穿過所述臺(tái)車的所述豎向通孔和所述導(dǎo)槽以后固定在所述支承板上。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，它還包括一個(gè)用于探測(cè)是否所述板位于所述導(dǎo)軌之下的第一傳感器，和一個(gè)用于探測(cè)是否所述板已經(jīng)從在所述導(dǎo)軌之下的區(qū)域離開的第二傳感器，其中所述第一，第二或者第三致動(dòng)器通過所述第一和第二傳感器被有選擇地操作。
6.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，它還包括一個(gè)用于吸收根據(jù)所述臺(tái)車的運(yùn)動(dòng)和作用在所述臺(tái)車上的作用力而產(chǎn)生的沖擊的緩沖器。
7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述跟蹤裝置包括一個(gè)跟蹤桿，該跟蹤桿一端固定在所述臺(tái)車上并且豎向向下延伸，因而其另外一端不與所述導(dǎo)軌相接觸，和一個(gè)第二致動(dòng)器，該第二致動(dòng)器連接在所述跟蹤桿的所述另外一端上，用于有選擇地接觸所述板，使得所述臺(tái)車可以根據(jù)所述板的運(yùn)動(dòng)來沿著所述導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。
8.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，在所述臺(tái)車上形成有豎向通孔，并且所述提升裝置包括一個(gè)支承板，該支承板位于所述導(dǎo)軌的下部，能夠相對(duì)于所述導(dǎo)軌在豎向上運(yùn)動(dòng)，并且有連接在其上的所述測(cè)量元件，和一個(gè)第三致動(dòng)器，該第三致動(dòng)器設(shè)置有一個(gè)桿，該桿在穿過所述臺(tái)車的所述豎向通孔和所述導(dǎo)槽以后固定在所述支承板上。
全文摘要
一種用于測(cè)量在板的內(nèi)表面上形成的金屬膜厚度的裝置,它包括一個(gè)位于被傳送板之上的框架,在一端與框架可樞轉(zhuǎn)地組合在一起的導(dǎo)軌從而其安裝角可以調(diào)節(jié),安裝在導(dǎo)軌上用于沿著導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動(dòng)的臺(tái)車,與臺(tái)車組合在一起的跟蹤裝置,用于通過有選擇地接觸運(yùn)動(dòng)板的所述側(cè)表面來以板運(yùn)動(dòng)的速度傳送臺(tái)車,安裝在臺(tái)車上以便從臺(tái)車上上升和下降的測(cè)量元件,用于通過接觸被傳送的板來測(cè)量金屬膜厚度,和用于相對(duì)于板提升和降低測(cè)量元件的提升裝置,它可降低工時(shí)。
文檔編號(hào)G01B21/08GK1182203SQ97103400
公開日1998年5月20日 申請(qǐng)日期1997年3月27日 優(yōu)先權(quán)日1996年11月22日
發(fā)明者李吉元 申請(qǐng)人:三星電管株式會(huì)社