專利名稱：耐腐蝕壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感器，特別是一種可測(cè)量強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)的耐腐蝕壓力傳感器。
目前，一般測(cè)量用的壓力傳感器不能用于腐蝕性介質(zhì)。現(xiàn)有的非強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)用的壓力傳感器，采用不銹鋼材料者居多。對(duì)于測(cè)量強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)用的壓力傳感器，常采用耐腐蝕的氟塑料或哈氏合金C4等金屬耐腐蝕材料。氟塑料加工容易，但其強(qiáng)度較低，不適于做耐壓器件，哈氏合金C4等金屬材料耐腐蝕性有一定局限，并非什么腐蝕介質(zhì)都可用，且其價(jià)格昂貴，制造成本高，一般都不采用。對(duì)于與腐蝕介質(zhì)直接接觸的不銹鋼材料或傳感器的敏感元件，用于測(cè)量強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)時(shí)，使用壽命非常低。
本實(shí)用新型的目的是提供一種耐腐蝕壓力傳感器，它不僅可測(cè)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)，從根本解決了測(cè)壓儀器耐腐蝕問題，而且制造成本低，使用壽命長(zhǎng)，測(cè)量精度高。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的該裝置包括殼體、與殼體組裝成一體的接線盒和連接法蘭以及封裝在殼體內(nèi)的硅敏感元件，其中殼體內(nèi)的硅敏感元件兩端分別利用耐腐蝕材料制成的隔離膜片封裝導(dǎo)壓介質(zhì)，連接法蘭通過耐腐蝕密封墊與包覆有襯封的密封法蘭結(jié)合成一體。
由于本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有壓力傳感器存在的問題，將硅敏感元件兩端分別以耐腐蝕隔離膜片封裝導(dǎo)壓介質(zhì)，所以測(cè)量的敏感部位不與被測(cè)腐蝕介質(zhì)直接接觸，引入了與大氣相通的足以消除信號(hào)輸出誤差的參考?jí)憾耍行岣吣透g性能測(cè)量精度。另外，連接法蘭與密封法蘭緊密結(jié)合成一體，既保持測(cè)壓器件的強(qiáng)度，又具有良好的密封性能，因此，本實(shí)用新型制造成本比同類產(chǎn)品低，顯著提高其使用壽命和使用性能。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。


圖1是本實(shí)用新型的一種具體結(jié)構(gòu)示意圖。
根據(jù)圖1詳細(xì)說明本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)。該裝置包括殼體3、帶有接線引入孔1的接線盒2、連接法蘭7、包覆有耐腐蝕襯封9的密封法蘭8以及封裝在殼體3內(nèi)的常用擴(kuò)散硅敏感元件13等件。其中接線盒2的接線引入孔1可直接與控制儀表相接。殼體3與接線盒2、連接法蘭7組裝成一體。密封法蘭8與被測(cè)介質(zhì)接觸之處均以高壓氟塑料耐腐蝕材料為襯封9進(jìn)行包覆。將連接法蘭7通過高壓氟塑料制成的耐腐蝕密封墊10與密封法蘭8結(jié)合成一體，再與被測(cè)介質(zhì)的容器組裝在一起，既能密封、滿足測(cè)壓強(qiáng)度要求，又可防腐。在硅敏感元件13的兩端分別以隔離膜片11和4封裝導(dǎo)壓介質(zhì)12和14。隔離膜片4上方與大氣相通形成有利于減小測(cè)量誤差的參考?jí)憾恕８綦x膜片11下方利用耐腐蝕密封墊10和與連接法蘭7結(jié)合成一體的密封法蘭8連通被測(cè)介質(zhì)。隔離膜片11下方也可以利用其它形式的包覆高壓氟塑料的引壓口連通被測(cè)介質(zhì)。
測(cè)量時(shí)，被測(cè)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)的壓力傳遞到隔離膜片11，通過導(dǎo)壓介質(zhì)12傳遞到硅敏感元件13上去，再由接線玻璃封絕緣子6和輸出信號(hào)線5經(jīng)接線盒2的接線引入孔1，將電信號(hào)傳輸?shù)娇刂苾x表中顯示出壓力值。也可由信號(hào)放大顯示裝置上的壓力顯示盤顯示，其測(cè)量精度的準(zhǔn)確性明顯高于現(xiàn)有同類壓力傳感器。
權(quán)利要求1.一種耐腐蝕壓力傳感器，包括殼體、與殼體組裝成一體的接線盒和連接法蘭以及封裝在殼體內(nèi)的硅敏感元件，其特征是殼體內(nèi)的硅敏感元件兩端分別利用耐腐蝕材料制成的隔離膜片封裝導(dǎo)壓介質(zhì)，連接法蘭通過耐腐蝕密封墊與包覆有襯封的密封法蘭結(jié)合成一體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征是所用隔離膜片、密封墊、襯封均以高壓氟塑料制成。
專利摘要本實(shí)用新型是一種耐腐蝕壓力傳感器，它包括殼體、與殼體組裝成一體的接線盒和連接法蘭以及封裝在殼體內(nèi)的硅敏感元件，其中殼體內(nèi)的硅敏感元件兩端分別利用耐腐蝕材料制成的隔離膜片封裝導(dǎo)壓介質(zhì)，連接法蘭通過耐腐蝕密封墊與包覆有襯封的密封法蘭結(jié)合成一體。它不僅可測(cè)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿類介質(zhì)，從根本解決了測(cè)壓儀器耐腐蝕問題，而且制造成本低，使用壽命長(zhǎng)，測(cè)量精度高。
文檔編號(hào)G01L9/08GK2217794SQ95231269
公開日1996年1月17日 申請(qǐng)日期1995年5月30日 優(yōu)先權(quán)日1995年5月30日
發(fā)明者段祥照 申請(qǐng)人:段祥照