專利名稱：膜盒壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種測(cè)量裝置。
在先有技術(shù)中，用膜盒作彈性元件的，有指針式儀表和差動(dòng)變壓器式傳感器。市場(chǎng)上常見(jiàn)的指針式儀表是把膜盒受力后產(chǎn)生的位移轉(zhuǎn)換為指針的角度而直觀地顯示出來(lái)。由于沒(méi)有電信號(hào)輸出，因此不能實(shí)現(xiàn)量測(cè)的自動(dòng)化。
又如，由沈陽(yáng)機(jī)電學(xué)院的嚴(yán)鐘豪、浙江大學(xué)的譚祖根主編的《非電量電測(cè)技術(shù)》一書(1983年6月出版)的第127頁(yè)，介紹了一種由膜盒和差動(dòng)變壓器組成的微壓變送器。它讓膜盒受力后產(chǎn)生的變形帶動(dòng)鐵芯在差動(dòng)變壓器的線圈中運(yùn)動(dòng)，從而使差動(dòng)變壓器有電壓輸出。這種變送器，由膜盒變形而帶動(dòng)鐵芯發(fā)生的位移一般很小，所以輸出電壓小，抗干擾能力差，再加上電源質(zhì)量、電纜長(zhǎng)度的影響，量測(cè)精度仍不夠理想。
又如專利號(hào)為86200908.1的中國(guó)專利孔隙水壓力傳感器，將一個(gè)線圈裝在罐形磁芯內(nèi)，罐形磁芯裝在磁芯座里組成電磁組件，電磁組件和膜片構(gòu)成變磁阻傳感單元，再利用導(dǎo)線通過(guò)線路板將變磁阻傳感單元、電容器、集成電路塊相連接，構(gòu)成振蕩電路。利用膜片受力變形，改變膜片和磁心線圈間的氣隙，使磁阻發(fā)生變化，從而使LC振蕩電路的L發(fā)生變化。這種傳感器，由于變磁阻傳感單元在測(cè)量微壓時(shí)受溫度影響較大，因此應(yīng)用范圍受到限制。
本實(shí)用新型的目的是獲得一種適合于測(cè)量微壓、精度高、穩(wěn)定性好的測(cè)量裝置。
本實(shí)用新型由膜盒和兩個(gè)電感線圈組成傳感單元。采用調(diào)頻電路。在B－ZD3和L－C組成的振蕩電路中，兩個(gè)電感線圈并聯(lián)相接，使膜盒受力變形所產(chǎn)生的位移既使很小，也能使振蕩電路的頻率產(chǎn)生較大的變化，從而實(shí)現(xiàn)高分辨率。同時(shí)，固定線圈的材料均采用如聚砜樹脂等非鐵磁性材料，從而減少溫度變化對(duì)電感線圈磁通的影響，以使測(cè)量穩(wěn)定性好。
這種傳感器在測(cè)量中，尤其是在測(cè)量微壓時(shí)具有良好的穩(wěn)定性和高分辨率。
附圖

圖1 膜盒壓力傳感器圖2 電路圖圖3 位移傳感器圖4 高度和氣壓傳感器圖5 膜片壓力傳感器本實(shí)用新型的實(shí)施圖1是本實(shí)用新型壓力傳感器的剖視圖。
線圈(1)放入線圈支座(2)內(nèi)，線圈支座(2)由多半園形狀的底盤(3)筒狀立柱(4)和端蓋(5)組成。底盤(3)上有若干小螺絲孔。將線圈支座(2)的端蓋(5)擰緊，放到位移標(biāo)定架上，通過(guò)測(cè)試找出線圈(1)和(6)的最佳相對(duì)位置。按照?qǐng)D2所示電路圖連接線圈(6)和(1)。將下中心管(7)和上中心管(8)焊接到膜盒(9)的圓心處，下中心管(7)套上橡膠墊圈(10)裝入芯盤(11)中。芯盤中心孔孔徑富有變化，形成多層次環(huán)狀平臺(tái)，芯盤頂部凹陷成平底園盤狀，外周的中腰凸起，中腰的上下均車有螺紋。將膜盒(9)上的下中心管(7)從芯盤(11)的頂部中心孔處放入，將固定螺母(12)擰緊到下中心管(7)上。將芯盤(11)和基座(13)的螺紋處涂上膠水(如703硅橡膠)，然后擰緊?；?13)外側(cè)上方和內(nèi)側(cè)下方有螺紋，基座(13)內(nèi)壁靠近中腰部凸起一個(gè)半月形平臺(tái)，平臺(tái)上有若干螺絲小孔。將線圈支座(2)的底盤(3)放到基座(13)的內(nèi)壁凸起平臺(tái)(15)上，將底盤(3)上的孔與平臺(tái)(15)上的孔對(duì)準(zhǔn)，將螺釘(16)穿入孔中，擰緊，從而將線圈支座(2)固定到基座(13)上。在上中心管(8)和線圈(6)的中心孔內(nèi)涂少許環(huán)氧樹脂膠水，再將細(xì)棒(14)的兩端分別插入其內(nèi)。待膠水固化后，把B－ZD3振蕩器(17)用膠水粘到端蓋(5)上。把密封螺釘(18)放入頂蓋(22)的中心孔內(nèi)，再將導(dǎo)線(23)從密封螺釘(18)的中心孔內(nèi)穿過(guò)，按圖2所示電路圖，將導(dǎo)線(23)、線圈(1)和(6)，以及電容(20)分別焊接在套在振蕩器(17)上的線路板(21)上。頂蓋(22)為倒圓杯狀，頂部留有中心孔(19)和小孔(24)。在頂蓋(22)和基座(13)的螺紋處涂上膠水(如703硅橡膠)，循螺紋擰緊，再上緊密封螺釘(18)。將O型圓圈(25)套入低壓導(dǎo)管(28)，將低壓導(dǎo)管(28)擰入頂蓋(22)的小孔(24)內(nèi)。將透水石(26)裝入芯盤(11)底部的環(huán)狀平臺(tái)內(nèi)，再將底蓋(27)循螺紋擰到芯盤(11)上。
權(quán)利要求1.一種膜盒壓力傳感器，包括透水石(26)、振蕩器(17)、電容(20)、線路板(21)、導(dǎo)線(23)，其特征在于有頂蓋(22)、基座(13)、芯盤(11)、底蓋(27)、線圈支座(2)、端蓋(5)、膜盒(9)、線圈(1)和(6)。其中膜盒(9)園心處上方有上中心管(8)，下方有下中心管(7)。上中心管(8)內(nèi)有細(xì)棒(14)，細(xì)棒(14)上固定線圈(6)。線圈支座(2)內(nèi)有線圈(1)，線圈支座(2)在基座(13)內(nèi)的平臺(tái)(15)上，同時(shí)線圈(1)套在線圈(6)上。兩線圈的引線及電容(20)、導(dǎo)線(23)，分別焊在振蕩器(17)的線路板上。
2.按照權(quán)利要求1所述的膜盒壓力傳感器，其特征在于線圈(1)和(6)以并聯(lián)的形式通過(guò)線路板(21)與L－C振蕩電路相連。
3.按照權(quán)利要求1和2所述的膜盒壓力傳感器，其特征在于固定線圈的細(xì)棒(14)采用非鐵磁性材料，如聚
樹脂。
專利摘要本實(shí)用新型膜盒壓力傳感器由膜盒和兩個(gè)電感線圈組成傳感單元。采用調(diào)頻電路。在B-ZD
文檔編號(hào)G01L7/10GK2054902SQ8920182
公開日1990年3月21日 申請(qǐng)日期1989年2月23日 優(yōu)先權(quán)日1989年2月23日
發(fā)明者章歡慶 申請(qǐng)人:中國(guó)人民解放軍空軍工程設(shè)計(jì)研究局