專利名稱：半導(dǎo)體器件外引線耐應(yīng)力腐蝕檢測法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬半導(dǎo)體器件環(huán)境試驗(yàn)技術(shù)。
半導(dǎo)體器件和集成電路外引線因環(huán)境腐蝕而斷裂，是影響其可靠性的主要原因之一，其中大部分?jǐn)嗔雅c應(yīng)力腐蝕有關(guān)。但至今尚無一種評定外引線耐應(yīng)力腐蝕性能的快速定量方法。業(yè)已由1EC(國際電工委員會)批準(zhǔn)的環(huán)境試驗(yàn)方法如鹽霧和潮熱試驗(yàn)未考慮外引線所受應(yīng)力的作用;而外引線抗拉強(qiáng)度和彎曲試驗(yàn)又未考慮環(huán)境腐蝕的作用，故均不能用來評定外引線的耐應(yīng)力腐蝕性能。近年來國外一些研究者在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了一些外引線耐應(yīng)力腐蝕試驗(yàn)，雖各有特點(diǎn)，但均存在試驗(yàn)周期過長、效率低、與外引線實(shí)際使用狀態(tài)相去較遠(yuǎn)及難以定量等不足。如貝爾(Bell)電話實(shí)驗(yàn)室白柯(Baker)等人的纏繞試驗(yàn)〔見R.G.Baker，etal“Electro-Technology”Vol.72·№4(1963)11〕是將外引線纏繞在方型鍍金的銅接線柱上，在每天循環(huán)兩次的潮熱環(huán)境中，試驗(yàn)十二周，以金相檢查來判斷是否出現(xiàn)應(yīng)力腐蝕。桑地(Sandia)實(shí)驗(yàn)室威瑞可(Weirick)建立的彎曲試驗(yàn)〔見L.J.Weirick“SolidStatefechnology”Vol.18.№3(1975)25〕是將外引線正反彎曲90°后浸在1M的NaCl溶液中一周，仍以金相方法檢查有無應(yīng)力腐蝕裂紋。貝爾(Bell)電話實(shí)驗(yàn)室的艾爾肯德(ELKind)等人建立的直接拉伸靜載荷試驗(yàn)〔見M.J.Elkind.etal“PhysicsofFailureinElectronics”5(1967)477〕在潮熱環(huán)境中，每隔十天確定斷裂百分?jǐn)?shù)，共需時六十天以上。此法與實(shí)際使用的受力狀態(tài)相去甚遠(yuǎn)。歐洲空間研究中心的唐(Dunn)等人為研究焊劑對外引線應(yīng)力腐蝕的影響，使用二點(diǎn)彎曲法對扁平封裝外引線進(jìn)行恒變形試驗(yàn)，在潮熱環(huán)境試驗(yàn)56天，亦用金相檢查其應(yīng)力腐蝕斷裂〔見B.D.Dunn，etal“Weld.J”59.(1980)10〕。
為克服現(xiàn)有方法之不足，本發(fā)明采用使外引線在腐蝕介質(zhì)中彎曲變形的加載，在實(shí)驗(yàn)條件相同情況下同時檢測n×h個外引線(n為半導(dǎo)體器件數(shù)，h為每個器件的外引線數(shù))，一般n≤20，h≤10，并通過外引線斷裂失效時間t和累計(jì)失效率F(t)進(jìn)行威布爾統(tǒng)計(jì)處理，即通過以t和F(t)數(shù)據(jù)在威布爾概率紙上作圖，配置回歸直線，利用圖估方法確定形狀參數(shù)m、平均壽命μ、特征壽命η，標(biāo)準(zhǔn)離差δ、位置參數(shù)γ以實(shí)現(xiàn)對外引線耐應(yīng)力腐蝕能力的快速(一般≤10天)、高效、定量及盡可能逼近外引線實(shí)際使用狀態(tài)之檢測目的。在檢測時，本發(fā)明還可通過外引線根部是否涂封防腐劑，如凡士林等分別檢測外引線根部及其他部位耐應(yīng)力腐蝕情況;通過檢測燒結(jié)的、燒結(jié)后鍍Ni的、燒結(jié)鍍Ni后鍍Au的外引線對外引線實(shí)施預(yù)刻痕或預(yù)彎曲可模擬外引線受損或制造工藝不完善以及不同生產(chǎn)階段的耐應(yīng)力腐蝕能力。利用本發(fā)明便于實(shí)現(xiàn)對不同廠家或同一廠家不同批量、同一批量不同制備階段所生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件外引線和集成電路扁平封裝外引線的耐應(yīng)力腐蝕能力進(jìn)行定量比較。
由本發(fā)明所建立的檢測方法包括一、靜態(tài)外引線應(yīng)力腐蝕試驗(yàn)1.半導(dǎo)體器件外引線懸臂梁恒負(fù)荷加載應(yīng)力腐蝕法此法是將經(jīng)丙酮或酒精清洗干燥后的三分之二外引線浸入室溫的NaCl溶液中，外引線管帽固定，末端豎直向上，外力砝碼通過細(xì)絲經(jīng)滑輪水平地作用于外引線末端，使其呈懸臂梁受力狀態(tài)(見

圖1或圖3)。由材料力學(xué)可知，外引線各處所受張應(yīng)力為σ＝32Pl/πd3式中d-外引線直徑，P-外力砝碼，l-外力作用點(diǎn)至外引線所測應(yīng)力處距離。由公式可知，應(yīng)力呈線性分布，末端為零，根部σmax＝32PL/πd3最大(L為外力作用點(diǎn)至外引線根部距離)。為避免外引線發(fā)生永久變形，σmax應(yīng)小于外引線材料的屈服極限。檢測外引線耐腐蝕能力時，可通過記錄外引線斷裂失效時間t(一般6～12小時觀察記錄一次)和斷裂失效根數(shù)△Nf(t)，計(jì)算累計(jì)斷裂失效率F(t)，并以t和F(t)數(shù)據(jù)進(jìn)行威布爾統(tǒng)計(jì)處理以定量評定外引線耐應(yīng)力腐蝕能力。
為提高檢測效率，本法可在完全相同條件下同時檢測n×h個外引線，但當(dāng)h≤4時，2≤n≤20，如圖1所示;當(dāng)5≤h≤10時，n＝1，如圖3所示。
當(dāng)h≤4，2≤n≤20時，半導(dǎo)體器件底座沿試樣架〔8〕的中心線固定?；啞?〕安裝在外引線〔6〕末端的兩側(cè)(見圖1);當(dāng)5≤h≤10，n＝1時，半導(dǎo)體器件外引線底座固定在NaCl溶液槽〔25〕的中央小圓槽〔27〕內(nèi)?；啞?2〕呈輻射狀安置在外引線〔24〕末端周圍(見圖3)。
國內(nèi)外學(xué)者一致認(rèn)為氯離子是導(dǎo)致外引線應(yīng)力腐蝕斷裂的主要原因。發(fā)明人進(jìn)一步證實(shí)，在氯離子濃度較高的中性或弱酸性溶液中，外引線的應(yīng)力腐蝕尤其敏感。故本發(fā)明所采用的腐蝕介質(zhì)為PH值＝6.2～7.2的5%NaCl溶液。
實(shí)施例，某廠B1-E型晶體管n＝20，h＝3，共60根外引線，P＝20g，L＝25mm，d＝0.42mm，檢測結(jié)果如下表
經(jīng)威布爾統(tǒng)計(jì)處理得形狀參數(shù)m＝1.5，平均壽命μ＝81.6小時，特征壽命η＝86.4小時，標(biāo)準(zhǔn)離差δ＝67.8小時，位置參數(shù)γ＝36小時。
2.半導(dǎo)體器件外引線外接梁恒負(fù)荷加載應(yīng)力腐蝕法。
本法與懸臂梁加載應(yīng)力腐蝕法相比，一是加載方式不同即外力〔34〕系通過外接梁〔38〕作用于外引線〔39〕末端，使外引線呈外接梁受力狀態(tài)(見圖5)。由材料力學(xué)計(jì)算可知，此種情況外引線各處所受應(yīng)力為σ＝PDdcos(P/EI· X)2Icos(P/EI· L)]]>(kg/mm2)，式中P-外力載荷，D外接梁長，E-外引線材料的楊氏模量，I-慣矩，d-外引線直徑，L-外引線長，X-檢測點(diǎn)至外引線根部距離。當(dāng)X＝0時，即根部張應(yīng)力σmax＝PDd/21cos(P/EI]]>·L)最大。為避免外引線發(fā)生永久變形，σmax亦應(yīng)低于外引線材料的屈服極限;二是腐蝕介質(zhì)不同，即外接梁加載應(yīng)力腐蝕是在鹽霧或潮熱氣體中予以檢測。充入箱內(nèi)的鹽霧或潮熱氣體按國際電工委員會的規(guī)定配制。
實(shí)施例，某廠B1-E型晶體管n＝20，h＝3，共60根外引線在鹽霧介質(zhì)中進(jìn)行試驗(yàn)。P＝10g，D＝38mm，E＝13400kg/mm2，d＝0.42mm，L＝25mm，試驗(yàn)結(jié)果如下表
經(jīng)威布爾統(tǒng)計(jì)處理得m＝1.95，μ＝128.4小時，η＝137.2小時，δ＝93.1小時，γ＝78小時。
3.集成電路扁平封裝外引線懸臂梁恒負(fù)荷加載應(yīng)力腐蝕法。
該法是在鹽霧或潮熱氣體中檢測外引線耐應(yīng)力腐蝕的。檢測前將外引線剪彎成如圖6中所示的形狀。隨后將外引線底座〔48〕固定在試樣架〔45〕和試樣壓板〔46〕之間，使待測外引線呈水平狀態(tài)，外力〔42〕通過細(xì)絲〔43〕豎直的作用于外引線〔44〕末端，使其呈懸臂梁受力狀態(tài)。由材料力學(xué)可知，外引線根部所受應(yīng)力σmax＝6PL/ba2(kg/mm2)最大，式中P-外力砝碼，L-外引線根部至加載點(diǎn)距離，b-外引線寬度，a-外引線厚度。檢測時注意σmax應(yīng)低于外引線材料的屈服極限。
實(shí)施例，對某廠JBB-14A型集成電路扁平封裝的109根外引線于鹽霧介質(zhì)中檢測，P＝5g，L＝6mm，b＝0.4mm，a＝0.18mm，檢測結(jié)果如下(見下頁)
經(jīng)威布爾統(tǒng)計(jì)處理得m＝1.03，μ＝214.8小時，η＝214.8小時，δ＝214.8小時，γ＝84小時。
二、動態(tài)外引線應(yīng)力腐蝕試驗(yàn)動態(tài)外引線應(yīng)力腐蝕試驗(yàn)可模擬外引線在實(shí)際使用狀態(tài)中的運(yùn)動和應(yīng)力變化情況。使外引線在應(yīng)力腐蝕狀態(tài)下反復(fù)彎曲可達(dá)上述目的。
當(dāng)h≤4，2≤n≤20時，外引線反復(fù)彎曲可通過伺服電機(jī)〔17〕使試樣架〔8〕繞其中心線反復(fù)擺動予以實(shí)現(xiàn)(見圖2)。為保證外引線不發(fā)生疲勞斷裂，反復(fù)彎曲周期不可太小，一般應(yīng)在10～30分左右，反復(fù)彎曲角范圍不易過大，一般不大于30°，以保證張應(yīng)力變化不大于σmax的10%。
當(dāng)5≤h≤10，n＝1時，外引線〔24〕的反復(fù)彎曲可通過NaCl溶液槽〔25〕上下移動予以實(shí)現(xiàn)(見圖4)。反復(fù)彎曲周期和角范圍與上述要求相同。
實(shí)施例，某廠半導(dǎo)體器件n＝20，h＝3，彎曲周期30分，角范圍30°，實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下
經(jīng)威布爾統(tǒng)計(jì)處理得m＝3.2，μ＝76.5小時，η＝82小時，δ＝48.7小時，γ＝35小時。與靜態(tài)法相比，形狀參數(shù)m增大，標(biāo)準(zhǔn)離差δ變小，說明動態(tài)法更趨近正態(tài)分布。
本發(fā)明所建立的檢測裝置包括一、h≤4的多器件(n≤20)靜態(tài)外引線懸臂梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕檢測裝置此裝置如圖1所示。圖中1-裝置底板，2-外力砝碼，3-NaCl溶液箱，4-細(xì)絲，5-螺釘，6-外引線，7-滑輪，8-試樣架，9-支架，10-滑輪軸，11-NaCl溶液，12-圓孔，13-試樣壓板。
該裝置系在裝置底板〔1〕上放一腐蝕介質(zhì)存儲器即長方形NaCl溶液箱〔3〕，將沿中心線等間隔挖有一排圓孔〔12〕的試樣架〔8〕嵌入溶液箱〔3〕的兩端，待器件底座置入試樣架圓孔〔12〕后以其上挖有與試樣架〔8〕相應(yīng)的圓孔且直徑略小的試樣壓板〔13〕予以壓蓋并由螺釘〔5〕予以固定。在溶液箱〔3〕的兩側(cè)與試樣架圓孔位置相應(yīng)，通過支架〔9〕和滑輪軸〔10〕以等間隔方式安裝兩排如圖1〔7〕所示的滑輪〔7〕。檢測時，外力砝碼〔2〕由細(xì)絲〔4〕通過滑輪〔7〕作用于外引線〔6〕的末端，使外引線呈靜態(tài)懸臂梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕狀態(tài)。溶液箱〔3〕、試樣架〔8〕和試樣壓板均為耐蝕材料如有機(jī)玻璃所制成。
二、h≤4的多器件(n≤20)動態(tài)外引線懸臂梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕檢測裝置。
此裝置如圖2所示。圖中除14-繼電器，15-測角器，16-行程開關(guān)，17-伺服電機(jī)，18-電機(jī)墊板以及試樣架〔8〕與電機(jī)軸相連，試樣架〔8〕的中心線必須與電機(jī)軸線相合，試樣架〔8〕與溶液箱兩端為滑動連接，通過行程開關(guān)〔16〕和繼電器〔14〕以控制電機(jī)正反轉(zhuǎn)向及轉(zhuǎn)動范圍以使試樣架〔8〕繞其中心線反復(fù)擺動以達(dá)到外引線反復(fù)彎曲之目的外，其余部件的含義和功能均與靜態(tài)檢測裝置圖1相同。
三、n＝1的多引線(5≤h≤10)單器件靜態(tài)外引線懸臂梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕檢測裝置此裝置如圖3所示。圖中19-裝置底板，20-外力砝碼，21-細(xì)絲，22-滑輪，23-支架，24-外引線，25-NaCl溶液槽，26-螺釘，27-小圓槽，28-試樣壓板。
該裝置系在裝置底板〔19〕上安放-腐蝕介質(zhì)存儲器即柱形NaCl溶液槽〔25〕，在溶液槽〔25〕底部中央挖有小圓槽〔27〕以安放器件底座，底座由試樣壓板〔28〕予以壓蓋并由螺釘〔26〕予以固定。在溶液槽〔25〕的上方以等角距成輻射狀在支架〔23〕上安裝一系列滑輪〔22〕，當(dāng)外力砝碼〔20〕由細(xì)絲〔21〕通過滑輪〔22〕作用于外引線〔24〕末端時即成靜態(tài)懸臂梁狀。
四、多引線(5≤h≤10)單器件動態(tài)外引線懸臂梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕檢測裝置此裝置如圖4所示。圖中除29-電機(jī)，30-渦桿，31-渦輪，32-凸輪，33-溶液槽外套以及溶液槽外套〔33〕與裝置底板〔19〕固定連接，滑輪〔22〕通過支架〔23〕以輻射狀等角距安裝在溶液槽外套〔33〕上方，電機(jī)〔29〕轉(zhuǎn)動時通過渦桿〔30〕渦輪〔31〕變速，帶動凸輪轉(zhuǎn)動使溶液槽〔25〕上下升降以達(dá)外引線反復(fù)彎曲外，其余部件含義和功能均與圖3所示裝置相同。渦桿、渦輪及凸輪設(shè)計(jì)以滿足外引線反復(fù)彎曲周期和角范圍要求為準(zhǔn)。
五、多引線(h≤10)多器件(n≤20)靜態(tài)外引線外接梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕檢測裝置此種裝置如圖5所示，用于鹽霧或潮熱氣體介質(zhì)中。圖中34-外力砝碼，35-試樣架，36-試樣壓板，37-螺釘，38-外接梁，39-外引線，40-器件底座，41-細(xì)絲。在沿試樣架〔35〕中心線挖有一排等距離的圓槽內(nèi)放置器件底座〔40〕，由挖有相應(yīng)圓孔但直徑略小的試樣壓板〔36〕予以壓蓋并由螺釘〔37〕固定。外引線〔39〕末端嵌入外接梁〔38〕一端的小孔，外力砝碼〔34〕通過細(xì)絲〔41〕掛在外接梁另一端的槽內(nèi)并通過外接梁作用于外引線末端呈外接梁受力狀態(tài)。檢測時將如圖5所示的裝置置于腐蝕介質(zhì)儲存器即鹽霧或潮熱箱中。
六、集成電路扁平封裝外引線懸臂梁恒負(fù)荷應(yīng)力腐蝕檢測裝置該裝置如圖6所示，用于鹽霧和潮熱氣體介質(zhì)之中。每次可測集成電路底座數(shù)為n≤20，底座外引線數(shù)為h≤10。圖中42-外力砝碼，43-細(xì)絲，44-外引線，45-試樣架，46-試樣壓板，47-螺釘，48-集成電路底座。
該裝置的試樣架〔45〕上挖有一系列等距方槽以安裝集成電路底座〔48〕，以挖有相同方槽的試樣壓板〔46〕予以壓蓋并由螺釘〔47〕固定。將非檢測外引線向上彎起，令待測外引線〔44〕保持水平，外力砝碼〔42〕經(jīng)細(xì)絲〔43〕作用于外引線〔44〕末端，使其成懸臂梁受力狀態(tài)。試驗(yàn)時，將如圖6所示的裝置置于鹽霧或潮熱箱中予以檢測。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體器件外引線應(yīng)力腐蝕快速定量檢測法，它是在外引線處于腐蝕介質(zhì)中，在外引線末端作用以外力，并以外引線斷裂失效情況對其耐應(yīng)力腐蝕能力予以描述，其特征在于a)所說的外力是指使外引線發(fā)生彎曲變形的加載，b)所說的斷裂失效為直觀斷裂，c)在相同條件下可同時對n×h個外引線進(jìn)行檢測，其中n為器件數(shù)，h為每個器件的外引線數(shù)，n≤20，h≤10，d)所說的外引線斷裂失效情況系指以外引線斷裂失效時間t和累計(jì)失效率F(t)進(jìn)行威布爾統(tǒng)計(jì)處理。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于a)外引線末端豎直向上，外力砝碼〔2〕通過滑輪〔7〕水平地作用于外引線〔6〕的末端，根部最大張應(yīng)力σmax＝32PL/πd3應(yīng)低于外引線材料的屈服極限，b)當(dāng)h≤4時，2≤n≤20，當(dāng)5≤h≤10時，n＝1，c)所說的腐蝕介質(zhì)為濃度5%，PH值為6.2～7.2的NaCl溶液。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于外引線可以反復(fù)彎曲，彎曲周期一般為10～30分鐘左右，彎曲角范圍一般不大于30°。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于a)所說的外力〔34〕系通過外接梁〔38〕作用于豎直向上的外引線〔39〕末端，使外引線〔39〕成外接梁受力狀態(tài)，外引線根部最大張應(yīng)力σmax＝PDd/2Icos(P/EI]]>·L)應(yīng)低于外引線材料的屈服極限，b)所說的腐蝕介質(zhì)為鹽霧或潮熱氣體。
5.如權(quán)利要求1，2，3或4所述的方法，其特征在于外引線根部以防腐劑如凡士林予以封涂。
6.如權(quán)利要求1，2，3或4所述的方法，其特征在于外引線可以是燒結(jié)的，燒結(jié)后鍍Ni的、燒結(jié)鍍Ni后鍍Au的，亦可以是予刻痕或予彎曲的。
7.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于外引線可以是燒結(jié)的，燒結(jié)后鍍Ni的、燒結(jié)鍍Ni后鍍Au的，亦可以是予刻痕或予彎曲的。
8.一種半導(dǎo)體器件外引線應(yīng)力腐蝕快速定量檢測裝置，它包括試樣夾持器、腐蝕介質(zhì)存儲器和外力，其特征在于試樣夾持器可同時夾持n個外引線底座，每個底座可同時有h個外引線作用以外力，n≤20，h≤10。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于a)所說的試樣夾持器系由沿中心線挖有一排等距離圓孔的試樣架(圖1)〔8〕和與此相應(yīng)但孔徑略小的試樣壓板〔13〕所構(gòu)成，兩者由螺釘〔5〕予以固定，b)所說的腐蝕介質(zhì)存儲器系指長方形NaCl溶液箱(圖1)〔3〕，在溶液箱上方兩側(cè)通過支架〔9〕和滑輪軸〔10〕裝有兩排滑輪〔7〕，滑輪位置與半導(dǎo)體底座安裝位置相適應(yīng)，c)所述的外力〔2〕系由細(xì)絲〔4〕通過滑輪〔7〕水平地作用于豎直向上的外引線〔6〕末端，d)當(dāng)h≤4時，2≤n≤20。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于a)所說的溶液箱(圖2)〔3〕的一端為測角器〔15〕，其上裝有兩個行程開關(guān)〔16〕，當(dāng)伺服電機(jī)〔17〕轉(zhuǎn)動時，可通過行程開關(guān)〔16〕和繼電器〔14〕控制電機(jī)轉(zhuǎn)向和范圍，b)所說的試樣架(圖2)〔8〕與溶液箱兩端為滑動連接，試樣架與電機(jī)軸相連，試樣架中心線與電機(jī)軸線相合，當(dāng)電機(jī)正反向轉(zhuǎn)動時，試樣架反復(fù)擺動，使外引線反復(fù)彎曲。
11.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于a)所說的試樣夾持器系由溶液槽〔25〕底部中央圓槽與中央帶孔，孔徑略小的試樣壓板〔28〕所構(gòu)成，兩者之間由螺釘〔26〕予以緊固，b)所說的腐蝕介質(zhì)存儲器系
柱形NaCl溶液槽(圖3)〔25〕，在溶液槽上方周圍以等角距呈輻射狀通過支架(圖3)〔23〕安裝著一系列滑輪(圖3)〔22〕，c)所說的外力系指外力砝碼〔20〕經(jīng)細(xì)絲〔21〕通過滑輪〔22〕作用于豎直向上的外引線〔24〕末端，d)當(dāng)5≤h≤10時，n＝1。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于a)所述的溶液槽(圖4)〔25〕滑動地置于溶液槽外套〔33〕中，在外套〔33〕上方周圍以等角距呈輻射狀通過支架(圖4)〔23〕安裝有一系列滑輪(圖4)〔22〕，b)溶液槽底與凸輪〔32〕接觸，當(dāng)電機(jī)〔29〕轉(zhuǎn)動時，通過渦桿〔30〕和渦輪〔31〕變速后帶動凸輪〔32〕轉(zhuǎn)動，使溶液槽在外套〔33〕中上下升降，以實(shí)現(xiàn)外引線反復(fù)彎曲。
13.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于a)所述的試樣夾持器系由沿中心挖有一排等距圓槽的試樣架〔35〕與帶有相應(yīng)圓孔，且孔徑略小的試樣壓板〔36〕所構(gòu)成，其間以螺釘〔37〕予以緊固，b)外引線〔39〕末端豎直向上并嵌入外接梁〔38〕一端的孔內(nèi)，外力砝碼〔34〕由細(xì)絲〔41〕掛在外接梁〔38〕另一端的槽內(nèi)，并通過外接梁〔38〕作用于外引線〔39〕末端，c)所說的腐蝕介質(zhì)存儲器為鹽霧箱或潮熱箱。
全文摘要
目前國內(nèi)外所采用的半導(dǎo)體器件及集成電路扁平封裝外引線耐應(yīng)力腐蝕檢測方法及裝置雖然各有特點(diǎn)，但均存在試驗(yàn)周期長、效率低、與外引線實(shí)際使用狀態(tài)相去較遠(yuǎn)及難以定量之不足。本發(fā)明采用使外引線在腐蝕介質(zhì)中發(fā)生彎曲變形的加載縮短了試驗(yàn)周期；在相同試驗(yàn)條件下同時對n×h個外引線進(jìn)行檢測(n為底座數(shù)≤20，h為每個底座的外引線數(shù)≤10)提高了檢測效率；通過記錄外引線斷裂失效時間和累計(jì)失效率并以此進(jìn)行威布爾統(tǒng)計(jì)處理可達(dá)到定量檢測之目的。
文檔編號G01N17/00GK1036264SQ88101440
公開日1989年10月11日 申請日期1988年3月25日 優(yōu)先權(quán)日1988年3月25日
發(fā)明者沈卓身, 李虎, 彭建明 申請人:北京科技大學(xué)