本技術(shù)涉及探針卡，特別涉及一種探針卡用調(diào)針機(jī)。

背景技術(shù)：

1、探針卡是電子測試系統(tǒng)和半導(dǎo)體晶圓之間的接口。通常，探針卡與探針機(jī)械對接并與測試儀電連接。其目的是在測試系統(tǒng)和晶圓上的電路之間提供一條電氣路徑，從而允許在晶圓級對電路進(jìn)行測試和驗(yàn)證。

2、探針卡在使用過程中經(jīng)常出現(xiàn)磨損、傾斜等問題，從而導(dǎo)致探針卡上的探針出現(xiàn)傾斜、間距不一致的情況，最終影響晶圓的測試結(jié)果。因此，在探針卡使用一段時間后，需要對探針卡進(jìn)行調(diào)針，調(diào)節(jié)探針的傾斜度，使得間距保持一致。

3、專利2020232788669公開了一種環(huán)氧探針卡調(diào)針機(jī)，包括針卡固定裝置以及觀測裝置，還包括針孔對比裝置，所述針卡固定裝置用于對針卡進(jìn)行固定，且可對針卡進(jìn)行水平移動以及轉(zhuǎn)動；所述針孔對比裝置可用于安裝片狀物，該片狀物上設(shè)置有針孔，針孔位置與針卡上探針的標(biāo)準(zhǔn)位置對應(yīng)，所述觀測裝置位于針孔對比裝置上方，且提供光源。通過觀察對比針孔位置與探針位置，可以快速判斷探針是否出現(xiàn)傾斜彎曲，進(jìn)而進(jìn)行校正。這里的針孔對比裝置為可升降的橫桿，橫桿可軸向轉(zhuǎn)動，在橫桿上設(shè)置有一對固定塊，固定塊中設(shè)置有橫槽，片狀物的邊緣可插入橫槽中。在調(diào)針過程中，需要一直來回轉(zhuǎn)動橫桿，從而帶走片狀物一直翻轉(zhuǎn)，在長時間使用后，橫桿轉(zhuǎn)動過程中容易出現(xiàn)晃動，導(dǎo)致片狀物上的針孔出現(xiàn)偏差，從而影響調(diào)針效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)針準(zhǔn)確的探針卡用調(diào)針機(jī)。

2、為此，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種探針卡用調(diào)針機(jī)，包括底座，底座上設(shè)有門型支架，門型支架上設(shè)有顯微鏡組件；所述底座上還設(shè)有載物臺面以及驅(qū)使載物臺面調(diào)位的調(diào)節(jié)組件，所述載物臺面上方架設(shè)有安裝平臺，安裝平臺中間設(shè)有一供載物臺面穿行的開口；所述安裝平臺上方固定安裝一安裝軸，安裝軸上轉(zhuǎn)動安裝有參照卡固定座，參照卡固定座安裝有參照卡；所述參照卡固定座一側(cè)設(shè)有把手，可帶動參照卡固定座繞安裝軸轉(zhuǎn)動。

3、在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述參照卡固定座末端設(shè)有貫穿孔，套裝在安裝軸上；所述安裝軸上還設(shè)有兩個限位塊，位于參照卡固定座兩側(cè)。

4、在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述安裝軸上靠近把手一側(cè)的限位塊延伸出一水平面，所述參照卡固定座側(cè)面設(shè)有豎向的調(diào)平件，參照卡固定座轉(zhuǎn)到最低位時，調(diào)平件底部與水平面相抵接，即參照卡固定座處于水平狀態(tài)。

5、在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述參照卡為透明材質(zhì)，且參照卡上設(shè)有若干針孔參照點(diǎn)。

6、在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述調(diào)節(jié)組件包括堆疊設(shè)置的x軸調(diào)節(jié)臺、y軸調(diào)節(jié)臺、z軸調(diào)節(jié)臺和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)臺，載物臺面固定在旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)臺上。

7、在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述載物臺面上設(shè)有若干通氣孔，載物臺面?zhèn)让嫱ㄟ^氣管與負(fù)壓設(shè)備相連，載物臺面上的通氣孔呈負(fù)壓狀態(tài)。

8、在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述顯微鏡組件包括顯微鏡和移動座，顯微鏡安裝在移動座上，移動座滑動安裝在門型支架的橫梁上。

9、調(diào)針前，將探針卡放置在載物臺面上，被負(fù)壓吸附固定，然后調(diào)節(jié)載物臺面的高度，使得參照卡固定座翻轉(zhuǎn)下來的時候，探針端部可與參照卡相接觸，根據(jù)參照卡上的針孔參照點(diǎn)，調(diào)整載物臺面在x軸、y軸上的位置以及載物臺面的旋轉(zhuǎn)方位，使得探針卡上大部分探針與針孔參照點(diǎn)位置相對，然后開始調(diào)整位置不一致的探針。

10、調(diào)針時，向下轉(zhuǎn)動參照卡固定座，使得參照卡與探針貼合，從顯微鏡中觀察其中一探針與針孔參照點(diǎn)的差距，然后將參照卡固定座向上抬起，用鑷子調(diào)整剛剛觀察的那一枚探針，然后再把參照卡放下比對，多次調(diào)節(jié)，直至探針與針孔參照點(diǎn)位置一致，以此類推，將所有需要調(diào)針的探針一一調(diào)節(jié)好，即完成此探針卡的調(diào)針工作。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

12、1、將原先整個旋轉(zhuǎn)的橫軸改為僅有參照卡固定座繞安裝軸轉(zhuǎn)動，參照卡的翻轉(zhuǎn)更加穩(wěn)定，不易晃動；且在參照卡固定座兩側(cè)設(shè)有限位塊，可現(xiàn)在參照卡固定座的位置，防止參照卡在使用過程中移位。

13、2、在參照卡固定座側(cè)面設(shè)置調(diào)平件，使得參照卡固定座每次都能轉(zhuǎn)到最低位的水平狀態(tài)，避免轉(zhuǎn)動不到位，使得探針與參照點(diǎn)的相對位置發(fā)生變化，提高調(diào)針效果和調(diào)針效率。

14、3、載物臺面通過負(fù)壓吸附固定探針卡，適用于固定不同規(guī)格的探針卡，調(diào)節(jié)組件可從x軸、y軸、z軸和旋轉(zhuǎn)四個方位調(diào)節(jié)載物臺面的位置，使得探針卡上的探針與參照卡的位置對照更加精準(zhǔn)，最終的調(diào)針效果更好。

技術(shù)特征：

1.一種探針卡用調(diào)針機(jī)，包括底座，底座上設(shè)有門型支架，門型支架上設(shè)有顯微鏡組件；所述底座上還設(shè)有載物臺面以及驅(qū)使載物臺面調(diào)位的調(diào)節(jié)組件，所述載物臺面上方架設(shè)有安裝平臺，安裝平臺中間設(shè)有一供載物臺面穿行的開口；其特征在于：所述安裝平臺上方固定安裝一安裝軸，安裝軸上轉(zhuǎn)動安裝有參照卡固定座，參照卡固定座安裝有參照卡；所述參照卡固定座一側(cè)設(shè)有把手，可帶動參照卡固定座繞安裝軸轉(zhuǎn)動。

2.如權(quán)利要求1所述的一種探針卡用調(diào)針機(jī)，其特征在于：所述參照卡固定座末端設(shè)有貫穿孔，套裝在安裝軸上；所述安裝軸上還設(shè)有兩個限位塊，位于參照卡固定座兩側(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種探針卡用調(diào)針機(jī)，其特征在于：所述安裝軸上靠近把手一側(cè)的限位塊延伸出一水平面，所述參照卡固定座側(cè)面設(shè)有豎向的調(diào)平件，參照卡固定座轉(zhuǎn)到最低位時，調(diào)平件底部與水平面相抵接，即參照卡固定座處于水平狀態(tài)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種探針卡用調(diào)針機(jī)，其特征在于：所述參照卡為透明材質(zhì)，且參照卡上設(shè)有若干針孔參照點(diǎn)。

5.如權(quán)利要求1所述的一種探針卡用調(diào)針機(jī)，其特征在于：所述調(diào)節(jié)組件包括堆疊設(shè)置的x軸調(diào)節(jié)臺、y軸調(diào)節(jié)臺、z軸調(diào)節(jié)臺和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)臺，載物臺面固定在旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)臺上。

6.如權(quán)利要求1所述的一種探針卡用調(diào)針機(jī)，其特征在于：所述載物臺面上設(shè)有若干通氣孔，載物臺面?zhèn)让嫱ㄟ^氣管與負(fù)壓設(shè)備相連，載物臺面上的通氣孔呈負(fù)壓狀態(tài)。

7.如權(quán)利要求1所述的一種探針卡用調(diào)針機(jī)，其特征在于：所述顯微鏡組件包括顯微鏡和移動座，顯微鏡安裝在移動座上，移動座滑動安裝在門型支架的橫梁上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種探針卡用調(diào)針機(jī)，包括底座，底座上設(shè)有門型支架，門型支架上設(shè)有顯微鏡組件；所述底座上還設(shè)有載物臺面以及驅(qū)使載物臺面調(diào)位的調(diào)節(jié)組件，所述載物臺面上方架設(shè)有安裝平臺，安裝平臺中間設(shè)有一供載物臺面穿行的開口；所述安裝平臺上方固定安裝一安裝軸，安裝軸上轉(zhuǎn)動安裝有參照卡固定座，參照卡固定座安裝有參照卡；所述參照卡固定座一側(cè)設(shè)有把手，可帶動參照卡固定座繞安裝軸轉(zhuǎn)動。本技術(shù)將原先整個旋轉(zhuǎn)的橫軸改為僅有參照卡固定座繞安裝軸轉(zhuǎn)動，參照卡的翻轉(zhuǎn)更加穩(wěn)定，不易晃動；且在參照卡固定座兩側(cè)設(shè)有限位塊，可現(xiàn)在參照卡固定座的位置，防止參照卡在使用過程中移位。

技術(shù)研發(fā)人員：劉紅軍,張國燕
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江微針半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240306
技術(shù)公布日：2024/12/26