本實用新型屬于真空計傳感器技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種高性能真空計傳感器。

背景技術(shù)：

規(guī)管是真空計傳感器的關(guān)鍵部件，目前大多數(shù)規(guī)管采用金屬管殼，在低真空度測量過程中，電阻絲與管殼內(nèi)壁不能有效配合，存在響應(yīng)慢、不穩(wěn)定等特點，從而導(dǎo)致測量的準(zhǔn)確性不高，另外，金屬材質(zhì)摩擦力較小，容易從手中脫落，不方便安裝或者拆卸。為解決上述問題，現(xiàn)提供一種技術(shù)方案。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種高性能真空計傳感器，該規(guī)管具有測量準(zhǔn)確、響應(yīng)迅速、性能穩(wěn)定、安裝方便的優(yōu)點，可以滿足從常壓到0.1Pa氣體環(huán)境的真空度測量要求。

本實用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種高性能真空計傳感器，包括電阻絲、引線、管殼，所述管殼頂部設(shè)置有管殼一，管殼一中部設(shè)有貫穿的通孔，該通孔的外部設(shè)有多面體形狀的玻璃管，通孔的上側(cè)密封設(shè)有玻璃層；所述管殼一下端面連接有管殼二，管殼二的中部設(shè)有通孔，該通孔的內(nèi)壁上設(shè)置有弧形凹面，弧形凹面與電阻絲的弧形凸面緊密配合；管殼二下端面連接有管殼三，管殼三呈圓柱形設(shè)置，其外部附著有塑料層，塑料層呈正多邊形設(shè)置。

所述電阻絲與通孔的內(nèi)壁凹面均為六個半圓弧形。

所述玻璃管為六個八面體。

所述塑料層呈正十邊形。

本實用新型的有益效果：本實用新型設(shè)置有六個玻璃管，可以使真空計傳感器響應(yīng)性能增強，玻璃材質(zhì)導(dǎo)熱迅速，且耐腐蝕，可以適用于從常壓到0.1Pa氣體環(huán)境的真空度測量要求；管殼二與電阻絲的緊密配合可以減少真空計傳感器的熱量損失，同時增加真空計傳感器的感應(yīng)性能，提高真空計感應(yīng)器的測量準(zhǔn)確性；塑料層材質(zhì)輕便，正十邊形狀的設(shè)置可以增加摩擦力，可以使安裝、拆卸變得方便快捷。

附圖說明

為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的說明。

圖1為本實用新型一種高性能真空計傳感器主視示意圖；

圖2是圖1的俯視示意圖；

圖3是圖1的縱向剖面視圖；

圖4是圖3中A-A橫截面示意圖；

圖5是圖3中B-B橫截面示意圖；

圖中標(biāo)示：11-管殼一,111-玻璃層，112-玻璃管，12-管殼二，13-管殼三，131-塑料層，14-管殼四，2-電阻絲，3-引線，4-管殼。

具體實施方式

下面將結(jié)合實施例對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。

本實用新型提供一種高性能真空計傳感器，可以滿足從常壓到0.1Pa氣體環(huán)境的真空度測量要求。

一種高性能真空計傳感器，參見圖1-5，包括電阻絲2、引線3、管殼4；

其中，管殼4包括一體設(shè)置的管殼一11、管殼二12、管殼三13、管殼四14；

管殼一11呈圓柱形設(shè)置，其位于管殼4頂部，管殼一11由不銹鋼制成；管殼一11中部設(shè)有貫穿的正六角星形狀通孔，該通孔的外角部均布設(shè)有一玻璃管112，該玻璃管112為正六邊形的八面體；上述通孔的上側(cè)密封設(shè)有玻璃層111；玻璃材質(zhì)導(dǎo)熱迅速，而且耐腐蝕，設(shè)置有六個玻璃管112可以使真空計傳感器響應(yīng)性能增強，同時可以適用于從常壓到0.1Pa氣體環(huán)境的真空度測量要求；

管殼一11下端面連接有管殼二12，管殼二12呈圓柱形設(shè)置，其由不銹鋼制成，管殼二12的中部有一個圓柱形通孔，該通孔的內(nèi)壁上均勻設(shè)置有六個弧形凹面，每一個弧形凹面與電阻絲2的弧形凸面緊密配合，電阻絲2為用電阻溫度系數(shù)較高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲，熱絲兩端用引線3引出規(guī)管1，接測量線路；管殼二12與電阻絲2的緊密配合可以減少真空計傳感器的熱量損失，同時增加真空計傳感器的感應(yīng)性能，提高真空計感應(yīng)器的測量準(zhǔn)確性；

管殼二12下端面連接有管殼三13，管殼三13呈圓柱形設(shè)置，其外部附著有塑料層131，塑料層131呈正十邊形設(shè)置；塑料層131材質(zhì)輕便，正十邊形狀的設(shè)置可以增加摩擦力，可以使安裝、拆卸變得方便快捷；

管殼三13下端面連接有管殼四14，管殼四14與測量線路上的電子器件連接。

本實用新型中，玻璃管112導(dǎo)熱迅速，六個玻璃管112可以使電阻絲2迅速響應(yīng)，且不易被腐蝕性環(huán)境氣體腐蝕；管殼二12的內(nèi)壁與電阻絲21的緊密配合，減少真空計傳感器的熱量損失，同時增加真空計傳感器的感應(yīng)性能，提高真空計感應(yīng)器的測量準(zhǔn)確性；塑料層131附著在管殼三13外部可以使安裝拆卸真空計傳感器變得方便快捷。

以上公開的本實用新型優(yōu)選實施例只是用于幫助闡述本實用新型。優(yōu)選實施例并沒有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該實用新型僅為所述的具體實施方式。顯然，根據(jù)本說明書的內(nèi)容，可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實施例，是為了更好地解釋本實用新型的原理和實際應(yīng)用，從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地理解和利用本實用新型。本實用新型僅受權(quán)利要求書及其全部范圍和等效物的限制。