1.一種傳感器，其特征在于，包括：流量測量單元(1)，以及至少部分圍繞所述流量測量單元(1)設(shè)置的加熱裝置(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，沿著被測流體流向，在所述流量測量單元(1)的上游和下游設(shè)置所述加熱裝置(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)完全圍繞所述流量測量單元(1)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)的長度b和所述流量測量單元(1)的長度h的比例為：1.5≤b/h≤5。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述流量測量單元(1)和所述加熱裝置(8)之間的距離c的范圍為0-300um。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)的寬度a的范圍為1-3mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述流量測量單元(1)和所述加熱裝置(8)設(shè)置在硅片載體(3)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器，其特征在于，所述硅片載體(3)還包括對應(yīng)于所述流量測量單元(1)設(shè)置的第一鏤空區(qū)域(5)和/或?qū)?yīng)于所述加熱裝置(8)設(shè)置的第二鏤空區(qū)域(6)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)的寬度a小于所述第二鏤空區(qū)域(6)的寬度d。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述加熱裝置(8)為電阻絲或加熱膜。