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一種顆粒形態(tài)的光學(xué)檢測裝置的制作方法

文檔序號:12531557閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種顆粒形態(tài)的光學(xué)檢測裝置,包括:

一顆粒的分散裝置,用于將單個顆粒分散到空間中;

低相干干涉測量和顯微成像相結(jié)合的成像測量裝置,用于采集分散到空間中的顆粒圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒形態(tài)的光學(xué)檢測裝置,其特征在于:

所述的成像測量裝置包括低相干干涉測量裝置和顯微成像裝置,低相干干涉測量裝置和顯微成像裝置的照明光源采用同一個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒形態(tài)的光學(xué)檢測裝置,其特征在于:所述的成像測量裝置包括低相干光源、干涉儀、顯微裝置和探測器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒形態(tài)的光學(xué)檢測裝置,其特征在于:所述的成像測量裝置包括低相干光源、干涉儀、顯微裝置和光譜儀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顆粒形態(tài)的光學(xué)檢測裝置,其特征在于:所述的成像測量裝置包括掃頻寬光譜光源、干涉儀、顯微裝置和探測器。

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