技術總結
本發(fā)明揭示了一種探針測試連接裝置。所述探針測試連接裝置包括：晶圓探針接板，連接部件及轉(zhuǎn)接板；所述晶圓探針接板一端連接在一測試頭上，另一端通過所述連接部件與所述轉(zhuǎn)接板的一端相連接，所述轉(zhuǎn)接板的另一端連接探針。從而在進行不同的測試時，不需要更換晶圓探針接板，使得探針測試連接裝置更為方便靈活，提高了探針測試連接裝置的兼容性，保護了測試頭的穩(wěn)定性，預防損壞；并且，還能夠節(jié)約成本。

技術研發(fā)人員：張克堂;孫明圣;趙瑞豪;胡啟譽;陳禮清
受保護的技術使用者：中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
文檔號碼：201510963348
技術研發(fā)日：2015.12.18
技術公布日：2017.06.27