1.一種探針測(cè)試連接裝置,包括晶圓探針接板,連接部件及轉(zhuǎn)接板;所述晶圓探針接板一端連接在一測(cè)試頭上,所述晶圓探針接板的另一端通過(guò)所述連接部件與所述轉(zhuǎn)接板的一端相連接,所述轉(zhuǎn)接板的另一端連接探針。
2.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述晶圓探針接板包括一主體及固定在所述主體上的線(xiàn)路板,所述測(cè)試頭及連接部件分別連接在所述線(xiàn)路板上。
3.如權(quán)利要求2所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,還包括位于所述主體的中間區(qū)域的支撐件,所述支撐件可拆卸的固定在所述主體的中間區(qū)域上,或者與所述主體一體成型。
4.如權(quán)利要求3所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述連接部件通過(guò)一穿透所述線(xiàn)路板的螺栓固定在所述支撐件上。
5.如權(quán)利要求3所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)接板通過(guò)一穿透所述連接部件及線(xiàn)路板的螺栓固定在所述支撐件上。
6.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)接板的另一端依次通過(guò)一彈簧針連接器和一探針卡連接所述探針。
7.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)接板的另一端與所述探針直接連接。
8.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)接板的另一端通過(guò)一導(dǎo)線(xiàn)連接一探針卡,所述探針位于所述探針卡中。
9.如權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)接板的另一端通過(guò)一測(cè)試夾具連接所述探針。
10.如權(quán)利要求9所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述測(cè)試夾具通過(guò)螺栓或卡槽固定在所述轉(zhuǎn)接板上。
11.如權(quán)利要求9所述的探針測(cè)試連接裝置,其特征在于,所述轉(zhuǎn)接板上端固定一平板,所述測(cè)試夾具通過(guò)一穿透所述轉(zhuǎn)接板的螺栓固定在所述平板上。