1.一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，該設備包括液氮罐(1)、液氮增壓泵(2)和汽化器(4)，所述的液氮罐(1)通過管道依次連接液氮增壓泵(2)和汽化器(4)，所述的汽化器(4)連接待進行氣密性檢查的系統(tǒng)；液氮經(jīng)管道輸送至液氮增壓泵(2)進口，經(jīng)液氮增壓泵(2)增壓后形成高壓液氮輸送到汽化器(4)，氣化成高壓氮氣后輸送至待進行氣密性檢查的系統(tǒng)進行氣密性檢查。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的液氮增壓泵(2)通過一泵回流彎管(D)連接所述的液氮罐(1)，將液氮增壓泵(2)中氣化的氮氣輸送回液氮罐(1)；在該回流管道上設置氣相回流閥(HV-3)，用于控制氮氣的回流及停止。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的液氮增壓泵(2)連接電機(3)，通過電機(3)驅(qū)動液氮增壓泵(2)工作，
所述的液氮增壓泵(2)的進口處依次設有泵進口彎管(C)和進口過濾器(A)，
所述的液氮增壓泵(2)上設有啟動控制裝置、泄漏報警裝置、停車排氣裝置和低壓安全閥(PSV-3)。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的啟動控制裝置包括通過管道依次連接的一號溫度元件(TE-1)、一號低溫控制器(TC-1)和泵允許啟動指示(LT-4)；通過一號溫度元件(TE-1)探測液氮增壓泵(2)的溫度，當其溫度低至設定值時，通過一號低溫控制器(TC-1)控制泵允許啟動指示(LT-4)工作；
所述的泄漏報警裝置包括通過管道依次連接的三號溫度元件(TE-3)、三號低溫控制器(TC-3)和填料泄漏停車指示(LT-8)；三號溫度元件(TE-3)探測液氮增壓泵(2)的溫度，當其溫度異常時，通過三號低溫控制器(TC-3)控制填料泄漏停車指示(LT-8)，通過連鎖使液氮增壓泵(2)停車；
所述的停車排氣裝置為一個快速冷卻閥(HV-4)；當液氮增壓泵(2)停止工作后，打開快速冷卻閥(HV-4)，將液氮增壓泵(2)中的液氮排放至大氣中。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的液氮增壓泵(2)通過管道與所述的汽化器(4)相連，并在該管道上依次設置調(diào)節(jié)裝置、停車裝置、電磁閥和單向閥。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的調(diào)節(jié)裝置包括調(diào)節(jié)室(B)、高壓表(PIS)、高壓釋放指示(LT-6)和高壓安全閥(PSV-4)；當液氮增壓泵(2)與汽化器(4)相連的管道壓力增大時，液氮進入調(diào)節(jié)室(B)，高壓表(PIS)用于探測調(diào)節(jié)室(B)，當調(diào)節(jié)室(B)的壓力過高時，高壓釋放指示(LT-6)工作，控制高壓安全閥(PSV-4)起跳泄壓；
所述的停車裝置包括通過管道依次連接的二號溫度元件(TE-2)、二號低溫控制器(TC-2)和停車指示(LT-7)；二號溫度元件(TE-2)探測液氮增壓泵(2)與汽化器(4)連接管道的溫度，當溫度發(fā)生異常時，二號低溫控制器(TC-2)控制停車指示(LT-7)工作，通過連鎖使液氮增壓泵(2)停車。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的液氮罐(1)在頂部設有壓力表(PI-1)、泄壓閥(HV-1)和儲罐安全閥(PSV-1)，當壓力表顯示液氮罐(1)內(nèi)氣壓過高時，打開泄壓閥(HV-1)進行排氣泄壓；所述的液氮罐(1)在底部設有液氮出口閥(HV-2)，用于控制液氮的輸出；液氮罐(1)的底部連接液位顯示(LG)，顯示液氮罐(1)內(nèi)剩余的液氮量。
8.根據(jù)權利要求7所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的液氮罐(1)底部的液氮出口閥(HV-2)通過管道與液氮增壓泵(2)的泵進口彎管(C)相連，并在該管道上依次設置供應管線安全閥(PSV-2)和電磁閥(SOV-2)。
9.根據(jù)權利要求1所述的一種利用液氮增壓氣化進行氣密性檢查的設備，其特征在于，所述的液氮增壓泵(2)型號為NDPD，最大允許工作壓力為21BARG，流量為6.1L/min；
所述的液氮增壓泵(2)由電機(3)供能，電機(3)型號為YB2-132M-4，標準號為O/NF236，功率為5.5KW，頻率為50Hz，電壓為380V；
所述的汽化器(4)型號為CV300，流量為300NM3/H，零件號為5925161B，流體為NOA，最大允許工作壓力為31BARG。
10.一項采用權利要求1～9中任一所述設備的利用液氮增壓氣化進行氣密性 檢查的方法，其特征在于，操作包括如下步驟：
(1)打開液氮出口閥(HV-2)及電磁閥(SOV-2)，然后打開快速冷卻閥(HV-4)，對液氮增壓泵(2)進行預冷，直到泵允許啟動指示(LT-4)發(fā)出啟動指示；
(2)關閉快速冷卻閥(HV-4)，打開氣相回流閥(HV-3)及用戶閥門，然后啟動液氮增壓泵(2)，將高壓氮氣輸送至待進行氣密性檢查的系統(tǒng)進行氣密性檢查；
(3)氣密性檢查完畢后，關閉液氮增壓泵(2)，打開快速冷卻閥(HV-4)及用戶閥門，排除裝置內(nèi)的氮氣。