一種低成本金屬硅電阻壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型的目的旨在提供一種新型低成本金屬硅電阻壓力傳感器，其輸出精度高裝配應(yīng)力小，過(guò)載性能良好。一種低成本金屬硅電阻壓力傳感器，其特征是包括金屬硅電阻芯體和與之配合安裝的芯體支座，金屬硅電阻芯體與位于芯體支座上的綁定板通過(guò)導(dǎo)線連接；金屬硅電阻芯體與芯體支座之間通過(guò)焊縫位置焊接固定，并且金屬硅應(yīng)變式芯體中部制有應(yīng)力釋放槽；金屬硅應(yīng)變片位于芯體支座與綁定板之間。金屬硅電阻芯體與芯體支座激光焊接。本實(shí)用新型壓力傳感器結(jié)構(gòu)采用金屬硅電阻敏感器件作為敏感器件，不銹鋼基座，與其他類似低成本類型壓力變送器相比，具有高過(guò)載性能及高靈敏度輸出，以及低裝配應(yīng)力性能。
【專利說(shuō)明】一種低成本金屬硅電阻壓力傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于傳感器制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是一種金屬硅電阻壓力傳感器的改進(jìn)。

【背景技術(shù)】
[0002]壓力傳感器是一種常見(jiàn)的信號(hào)轉(zhuǎn)換裝置，其通過(guò)壓力敏感器件將壓力值轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)物的壓力測(cè)量與控制。一種典型的壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖2所示陶瓷壓力傳感器，由于中心感壓電路陶瓷基座處于同一平面，當(dāng)其膜片在裝配時(shí)受到擠壓力時(shí)感壓電路會(huì)受到影響而改變輸出，此改變會(huì)在裝配后很長(zhǎng)時(shí)間緩慢釋放，造成產(chǎn)品輸出變化。陶瓷傳感器由于陶瓷基座形變能力差，導(dǎo)致其過(guò)載能力不強(qiáng)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的旨在提供一種新型低成本金屬硅電阻壓力傳感器，其輸出精度高裝配應(yīng)力小，過(guò)載性能良好。
[0004]—種低成本金屬娃電阻壓力傳感器,包括金屬娃電阻芯體和與之配合安裝的芯體支座，金屬硅電阻芯體與位于芯體支座上的綁定板通過(guò)導(dǎo)線連接；金屬硅電阻芯體與芯體支座之間通過(guò)焊縫位置焊接固定，并且金屬硅應(yīng)變式芯體中部制有應(yīng)力釋放槽；金屬硅應(yīng)變片位于芯體支座與綁定板之間。
[0005]金屬娃電阻芯體與芯體支座激光焊接。
[0006]綁定板通過(guò)芯體支座上的注膠槽貼合粘接于芯體支座上，并與金屬硅應(yīng)變式芯體存在間隙。
[0007]本實(shí)用新型壓力傳感器結(jié)構(gòu)采用金屬硅電阻敏感器件作為敏感器件，不銹鋼基座，與其他類似低成本類型壓力變送器相比，具有高過(guò)載性能及高靈敏度輸出，以及低裝配應(yīng)力性能。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖，
[0009]圖2為現(xiàn)有壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1所示，本實(shí)用新型所提供的壓力傳感器包括了綁定板1、芯體支座2、金屬硅電阻芯體3、金屬硅應(yīng)變片5、4個(gè)主要部分。金屬硅應(yīng)變片5粘接接于具有應(yīng)力釋放槽7的金屬硅電阻芯體3上，金屬硅電阻芯體3焊接通過(guò)焊縫8使用激光焊焊接于芯體支座2上，綁定板I通過(guò)注膠槽6粘接至芯體支架2上，金屬硅應(yīng)變片5與綁定板I使用導(dǎo)線(鋁線)4綁定連接。此種結(jié)構(gòu)減少了裝配應(yīng)力，并且在綁定板I承壓時(shí)對(duì)金屬硅電阻芯體3造成影響可減少至忽略不計(jì)。
【權(quán)利要求】
1.一種低成本金屬硅電阻壓力傳感器，其特征是包括金屬硅電阻芯體(3)和與之配合安裝的芯體支座(2),金屬硅電阻芯體(3)與位于芯體支座(2)上的綁定板(1)通過(guò)導(dǎo)線(4)連接；金屬硅電阻芯體(3)與芯體支座(2)之間通過(guò)焊縫(8)位置焊接固定，并且金屬硅應(yīng)變式芯體中部制有應(yīng)力釋放槽(7)；金屬硅應(yīng)變片(5)位于芯體支座(2)與綁定板(1)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征是金屬硅電阻芯體(3)與芯體支座(2)激光焊接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征是綁定板(1)通過(guò)芯體支座(2)上的注膠槽(6)貼合粘接于芯體支座(2)上，并與金屬硅應(yīng)變式芯體(3)存在間隙(幻。
【文檔編號(hào)】G01L1/20GK204115923SQ201420600568
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月16日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請(qǐng)人:寶雞?？苽鞲衅饔邢薰?br>