反射鏡、反射鏡組及反射式光譜儀的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種反射鏡、反射鏡組及反射式光譜儀；該反射鏡由中心向外側(cè)包括一中心透光區(qū)及一周邊區(qū)，該中心透光區(qū)是環(huán)繞于一中心軸，該周邊區(qū)則環(huán)繞該中心透光區(qū)；令該反射鏡具有一對稱軸，該周邊區(qū)是以該對稱軸為軸而線對稱，該周邊區(qū)包含一周邊反射區(qū)及一周邊透光區(qū)，該中心透光區(qū)及該周邊透光區(qū)為中空。本實用新型藉由使反射鏡中的周邊透光區(qū)為中空結(jié)構(gòu)，藉此移除周邊透光區(qū)的玻璃介面，避免光線于周邊透光區(qū)產(chǎn)生反射以減少反射雜散光的產(chǎn)生，藉此使量測數(shù)據(jù)更為準(zhǔn)確。
【專利說明】反射鏡、反射鏡組及反射式光譜儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及反射式量測儀器，特別是指反射式量測儀器中的反射鏡，其是用 以引導(dǎo)量測儀器光源的光路。
【背景技術(shù)】
[0002] 傳統(tǒng)的反射鏡可用于許多量測儀器之中，主要是做為引導(dǎo)量測儀器的光路的功 能。
[0003] 普通用于反射式量測儀器中的反射鏡，為了達(dá)到引導(dǎo)光路的功能，且又能擷取到 欲量測樣品上所反射的光線，通常會使用半反射鏡的構(gòu)造，請參閱圖1及圖2所示，其結(jié)構(gòu) 為一圓盤狀的透明玻璃本體10,并于可分為外環(huán)部11及中心部12,該外環(huán)部11的表面涂 布反射涂層13,該中心部12則為未配置反射涂層的透光區(qū)域。
[0004] 然而，在量測反射光線時，因為反射鏡為一透明平板玻璃，此平板具有兩個與空氣 的介面，分別是玻璃材質(zhì)的中心部12及具有反射涂層13的外環(huán)部11，在接收由量測樣品反 射的光線時，會造成二次或甚至第三次的反射，使得光線在穿透反射鏡的中心部12的玻璃 表面時，會產(chǎn)生額外的反射雜散光，這部分的雜散光會進入到最終的光譜儀模組，而影響到 量測的結(jié)果，造成量測數(shù)據(jù)的偏差。 實用新型內(nèi)容
[0005] 本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種反射鏡結(jié)構(gòu)，其主要目的是避免量 測儀器的光線在經(jīng)過反射鏡的穿透面時產(chǎn)生額外的雜散光，藉此減少進入最后的光譜儀模 組的雜散光，使量測數(shù)據(jù)更為準(zhǔn)確。
[0006] 為解決上述問題，本實用新型提供一種反射鏡，具有一第一表面及一第二表面，該 第二表面是與該第一表面相互平行，該反射鏡的中心位置具有一中心軸，該反射鏡主要包 括：一中心透光區(qū)，環(huán)繞于該中心軸配置；一周邊區(qū)，環(huán)繞該中心透光區(qū)，且該周邊區(qū)包含 一周邊反射區(qū)及一周邊透光區(qū)；以及一對稱軸，該對稱軸經(jīng)過該中心透光區(qū)的中心位置； 其中，該中心透光區(qū)為一孔洞，該周邊區(qū)以該對稱軸為軸而線對稱，該周邊透光區(qū)為中空， 該周邊反射區(qū)是位于該第一表面。
[0007] 為解決上述問題，本實用新型提供一種反射鏡組，由中心向外側(cè)包含：一中心透光 區(qū)，環(huán)繞一中心軸配置；以及一周邊區(qū)，環(huán)繞該中心透光區(qū)，該周邊區(qū)包括一第一反射鏡、 一第二反射鏡及一第三反射鏡，其中，該第一反射鏡、該第二反射鏡及該第三反射鏡是等距 分布環(huán)繞于該中心軸；其中，該中心透光區(qū)為中空。
[0008] 為解決上述問題，本實用新型提供一種反射式光譜儀，包含：一反射鏡，具有一第 一表面及一第二表面，該第二表面是與該第一表面相互平行，該反射鏡的中心位置具有一 中心軸，該反射鏡主要包括：一中心透光區(qū)，環(huán)繞于該中心軸配置；一周邊區(qū)，環(huán)繞該中心 透光區(qū)，且該周邊區(qū)包含一周邊反射區(qū)及一周邊透光區(qū)；以及一對稱軸，該對稱軸經(jīng)過該中 心透光區(qū)的中心位置；其中，該中心透光區(qū)為一孔洞，該周邊區(qū)以該對稱軸為軸而線對稱， 該周邊透光區(qū)為中空，該周邊反射區(qū)是位于該第一表面；另外，反射式光譜儀更包含一光 源，發(fā)出一照明光至該反射鏡后產(chǎn)生一第一反射光；一物鏡，是設(shè)置于該第一反射光的路徑 上，并供該第一反射光通過；一量測平臺，一待測物放置于該量測平臺上，該量測平臺位于 該第一反射光的路徑上，且該物鏡是位于該反射鏡及該量測平臺間，該第一反射光照射到 該待測物后，反射一第二反射光；該第二反射光是通過該物鏡后，自該中心透光區(qū)及該周邊 透光區(qū)射出；以及一光譜儀，用以接收該第二反射光。
[0009] 本實用新型利用所提供的反射鏡、反射鏡組及反射式光譜儀，可以獲得的功效在 于：藉由移除中心透光區(qū)以及周邊透光區(qū)的玻璃介面，使反射鏡中的中心透光區(qū)為孔洞，反 射鏡的周邊透光區(qū)為中空，藉此避免光線于中心透光區(qū)以及周邊透光區(qū)產(chǎn)生反射以減少反 射雜散光的產(chǎn)生，使量測數(shù)據(jù)更為準(zhǔn)確。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010] 圖1是普通反射鏡的正面視圖。
[0011] 圖2是普通反射鏡的側(cè)面視圖。
[0012] 圖3是本實用新型第一實施例的正面視圖。
[0013] 圖4是本實用新型第一實施例的側(cè)面視圖。
[0014] 圖5是本實用新型第一實施例參數(shù)定義的正面視圖。
[0015] 圖6是本實用新型第一實施例參數(shù)定義的側(cè)面視圖。
[0016] 圖7A是本實用新型第一實施例的正面視圖。
[0017] 圖7B是本實用新型第二實施例的正面視圖。
[0018] 圖7C是本實用新型第三實施例的正面視圖。
[0019] 圖7D是本實用新型第四實施例的正面視圖。
[0020] 圖7E是本實用新型第五實施例的正面視圖。
[0021] 圖7F是本實用新型第六實施例的正面視圖。
[0022] 圖7G是本實用新型第七實施例的正面視圖。
[0023] 圖7H是本實用新型第八實施例的正面視圖。
[0024] 圖8是本實用新型第九實施例的正面視圖。
[0025] 圖9是本實用新型第九實施例的側(cè)面視圖。
[0026] 圖10是應(yīng)用本實用新型的反射鏡的反射式光譜儀的示意圖。
[0027] 圖11是圖10中，量測平臺上形成一投影照亮區(qū)域的示意圖。
[0028]圖12是本實用新型反射鏡與普通反射鏡的波長所對應(yīng)反射率的關(guān)系圖。圖13是 本實用新型反射鏡的波長對應(yīng)反射率消減率的關(guān)系圖。
[0029] 附圖標(biāo)記說明
[0030] 10本體 11外環(huán)部
[0031]12中心部 13反射涂層
[0032]20反射鏡
[0033]21第一表面
[0034] 22第二表面
[0035] 23內(nèi)孔斜面
[0036] 30中心透光區(qū)
[0037] 40周邊區(qū) 41周邊反射區(qū)
[0038] 411反射區(qū)塊 42周邊透光區(qū)
[0039] 421透光區(qū)塊 43反射區(qū)塊連接部
[0040] 44外環(huán)區(qū) 441外環(huán)反射區(qū)塊
[0041] 442外環(huán)透光區(qū)塊 45環(huán)形連接部
[0042] 50反射鏡組 51第一反射鏡
[0043] 52第二反射鏡 53第三反射鏡
[0044] 54中心透光區(qū) 55周邊區(qū)
[0045] 56周邊透光區(qū)
[0046] 61光源 62物鏡
[0047] 63量測平臺 64光譜儀
[0048] 65投影照亮區(qū)域
[0049]C中心軸 S對稱軸
[0050] T 厚度
[0051] L反射鏡的最大外徑
[0052]W反射鏡的最小外徑
[0053]Dmax中心透光區(qū)的最大內(nèi)徑
[0054]Dmin中心透光區(qū)的最小內(nèi)徑
[0055]a第一夾角
[0056]0第二夾角
【具體實施方式】
[0057] 在本實用新型被詳細(xì)描述之前，要注意的是在以下的說明內(nèi)容中，類似的元件是 以相同的編號來表不。
[0058] 本實用新型反射鏡20的第一實施例如圖3至圖7A所示，是由將平面玻璃的部分 切割移除所構(gòu)成，其外觀輪廓為橢圓形，該反射鏡20具有一第一表面21及相對于該第一表 面21的一第二表面22,該第一表面21與該第二表面22是相互平行，該反射鏡20的中心位 置具有一中心軸C，該反射鏡20由中心向外側(cè)主要包括一中心透光區(qū)30、一周邊區(qū)40以及 一對稱軸S，其中：
[0059] 該中心透光區(qū)30是環(huán)繞于該中心軸C配置，該中心透光區(qū)30為平面玻璃被切割 后所移除的部分，故為一孔洞結(jié)構(gòu)；
[0060] 該周邊區(qū)40則環(huán)繞該中心透光區(qū)30,且該周邊區(qū)40包含一周邊反射區(qū)41及一周 邊透光區(qū)42,該周邊透光區(qū)42為平面玻璃被切割后所移除的部分而為中空，該周邊反射區(qū) 41則為切割后保留的部分，且該周邊反射區(qū)41的表面可使用高反射率鍍膜覆蓋，以提高反 射的效果，該周邊反射區(qū)41是位于該第一表面21 ;
[0061] 該對稱軸S經(jīng)過該中心透光區(qū)30的中心位置，并使該周邊區(qū)40以該對稱軸S為 軸而線對稱；
[0062] 該周邊反射區(qū)41包含多個反射區(qū)塊411，且該反射區(qū)塊411的數(shù)量為2n+l，其中， n多1，于此實施例中，n = 1，使得該反射區(qū)塊411的數(shù)量為3 ;該周邊透光區(qū)42包含多個 透光區(qū)塊421，且各透光區(qū)塊421與各反射區(qū)塊411是環(huán)繞該中心透光區(qū)30相互交替分布， 因此，于此實施例中，該透光區(qū)塊421的數(shù)量亦為3;每一反射區(qū)塊411是均對應(yīng)該中心軸C 另一端的透光區(qū)塊421，即各反射區(qū)塊411與相對于中心透光區(qū)30另一端的透光區(qū)塊421 相對應(yīng)，且各反射區(qū)塊411的面積是小于或等于各對應(yīng)的透光區(qū)塊421的面積，于此實施例 中，各該反射區(qū)塊411的面積是與其對應(yīng)的透光區(qū)塊421的面積相等；
[0063] 各該反射區(qū)塊411是透過一反射區(qū)塊連接部43而相連接，該反射區(qū)塊連接部43 是環(huán)繞于該周邊區(qū)40的外側(cè)；各該反射區(qū)塊411是均為相同形狀，如圖中所示，概呈一扇 形；
[0064] 該反射鏡20的第一表面21與第二表面22之間具有一厚度T，且該反射鏡20的 最大外徑為L、該中心透光區(qū)30的最大內(nèi)徑為Dmax，其中，此實施例可滿足以下條件：0. 2mm < T < 5mm，0. 15 < Dmax/L < 0. 5 ；
[0065] 請參閱圖5及圖6所示，于此實施例中，厚度T = 1mm，反射鏡的最大外徑L =
[0066] 20*(2~0. 5)mm，反射鏡的最小外徑W = 20mm，中心透光區(qū)的最大內(nèi)徑Dmax = 4. 5*(2~0. 5)mm，中心透光區(qū)的最小內(nèi)徑Dmin = 4. 5mm。
[0067] 以上所述為本實用新型實施例主要構(gòu)件及其組態(tài)說明。至于本實用新型實施例的 使用方式及功效，請復(fù)參閱圖3及圖4所示，該反射鏡20為平面玻璃所構(gòu)成，因此該中心透 光區(qū)30及該周邊透光區(qū)42原本為一透明玻璃表面，本實用新型將中心透光區(qū)30及周邊透 光區(qū)42的玻璃切割移除，使反射鏡20將中心透光區(qū)30及周邊透光區(qū)42為中空的狀態(tài)，如 此可避免光線經(jīng)過反射鏡20的玻璃空氣間的介面時產(chǎn)生反射雜散光，使量測數(shù)據(jù)更為準(zhǔn) 確；此外，本實用新型是將反射鏡20的部分玻璃切割移除，使光線可以不受其他雜散光干 擾下，直接穿過反射鏡20,并得到更精確的量測數(shù)據(jù)，且更能降低反射鏡20的重量，具有輕 量化的優(yōu)勢。
[0068] 請參閱圖7B所示，為本實用新型的第二實施例，其中，該周邊反射區(qū)41的反射區(qū) 塊411及該周邊透光區(qū)42的透光區(qū)塊421的數(shù)目為五，藉此使用者可依據(jù)實際使用需求， 改變本實用新型的反射區(qū)塊411及透光區(qū)塊421的數(shù)目。
[0069] 請參閱圖7C所示，為本實用新型的第三實施例，其中，該周邊反射區(qū)41的反射區(qū) 塊411為一矩形部及一圓形部的結(jié)合，而該周邊透光區(qū)42的透光區(qū)塊421亦隨著反射區(qū) 塊411的形狀不同而相對調(diào)整，此外，于此實施例中，各該反射區(qū)塊411的面積是小于與其 對應(yīng)的透光區(qū)塊421的面積。
[0070] 請參閱圖7D配合圖5所示，圖7D為本實用新型的第四實施例，與第一實施例比較 之，此一實施例的中心透光區(qū)的最大內(nèi)徑Dmax及中心透光區(qū)的最小內(nèi)徑Dmin的數(shù)值是較 第一實施例為大。
[0071] 請參閱圖7E所示，為本實用新型的第五實施例，各該反射區(qū)塊411是透過一反射 區(qū)塊連接部43而相連接，該反射區(qū)塊連接部43是環(huán)繞于該中心透光區(qū)30的外側(cè)。
[0072] 請參閱圖7F所示，為本實用新型的第六實施例，其主要為一反射鏡組50,其是由 一第一反射鏡51、一第二反射鏡52及一第三反射鏡53所構(gòu)成，其中，該反射鏡組50由中心 向外側(cè)包含：一中心透光區(qū)54以及一周邊區(qū)55,該中心透光區(qū)54環(huán)繞一中心軸C配置；該 周邊區(qū)55環(huán)繞該中心透光區(qū)54,該周邊區(qū)55包括該第一反射鏡51、該第二反射鏡52及該 第三反射鏡53,其中，該第一反射鏡51、該第二反射鏡52及該第三反射鏡53是等距分布環(huán) 繞于該中心軸C，并與三周邊透光區(qū)56相互交替分布；其中，該中心透光區(qū)54及各該周邊 透光區(qū)56為中空結(jié)構(gòu)。此外，由于該反射鏡組20不具有反射區(qū)塊連接部43,因此使用時， 需將該反射鏡20安裝于量測儀器的固定部（圖中未示）上，以使該反射鏡20的周邊反射 區(qū)41的各反射區(qū)塊411位于適當(dāng)?shù)奈恢谩?br>
[0073] 請參閱圖7G所示，為本實用新型的第七實施例，該周邊區(qū)40更包含一外環(huán)區(qū)44， 該外環(huán)區(qū)44環(huán)繞于該周邊區(qū)40夕卜側(cè)，并以該中心軸C為軸心，該外環(huán)區(qū)44與該周邊區(qū)40 間具有一環(huán)形連接部45 ;其中，該外環(huán)區(qū)44具有多個外環(huán)反射區(qū)塊441及多個外環(huán)透光區(qū) 塊442,各該外環(huán)反射區(qū)塊441與各該外環(huán)透光區(qū)塊442相互交替分布，各該外環(huán)透光區(qū)塊 442對應(yīng)配置于各該周邊反射區(qū)41的反射區(qū)塊411的外側(cè)，更詳細(xì)地說，該外環(huán)反射區(qū)塊 441透過該環(huán)形連接部45連接于該周邊透光區(qū)42的外側(cè)，該外環(huán)透光區(qū)塊442透過該環(huán)形 連接部45連接于該周邊區(qū)反射區(qū)41外側(cè)。
[0074] 請參閱圖7H所示，為本實用新型的第八實施例，該反射鏡20為長方形。
[0075] 請參閱圖8及圖9所示，為本實用新型的第九實施例，該反射鏡20包含一第一表 面21與一第二表面22,該第一表面21與該第二表面22是相互平行，該周邊透光區(qū)42于 該第一表面21具有一第一表面周邊透光區(qū)211，該周邊透光區(qū)42于該第二表面22具有一 第二表面周邊透光區(qū)221，該第二表面周邊透光區(qū)221的面積是大于該第一表面周邊透光 區(qū)211，該第一表面21的第一表面周邊透光區(qū)211與該第二表面22的第二表面周邊透光 區(qū)221之間具有一內(nèi)孔斜面23,該內(nèi)孔斜面23與該中心軸C之間具有一角度A，其滿足下 列狀態(tài)關(guān)系式：30度< A < 60度，于此實施例中，A = 45deg。
[0076] 請參閱圖10配合圖3至圖6所示，其為應(yīng)用有本實用新型的反射鏡的反射式光譜 儀的實施例，包括：
[0077] -反射鏡20,具有一第一表面21及一第二表面22,該第二表面22是與該第一表 面21相互平行，該反射鏡20的中心位置具有一中心軸C，該反射鏡20主要包括：一中心透 光區(qū)30,環(huán)繞于該中心軸C配置；一周邊區(qū)40,環(huán)繞該中心透光區(qū)30,且該周邊區(qū)40包含 一周邊反射區(qū)41及一周邊透光區(qū)42 ;以及一對稱軸S，該對稱軸S經(jīng)過該中心透光區(qū)30的 中心位置；其中，該中心透光區(qū)30為一孔洞，該周邊區(qū)40以該對稱軸S為軸而線對稱，該周 邊透光區(qū)42為中空，該周邊反射區(qū)41是位于該第一表面21 ;另外，該反射式光譜儀更包含 一光源61，用以對該反射鏡20發(fā)出一照明光，該照明光照射至該反射鏡20后分別自該中心 透光區(qū)30、該周邊透光區(qū)42及該周邊反射區(qū)41而分為一第一出射光及一第一反射光；一 物鏡62,是設(shè)置于該第一反射光的路徑上，并供該第一反射光通過；
[0078] -量測平臺63,用以供待量測物放置，該量測平臺位于該第一反射光的路徑上，且 該物鏡62是位于該反射鏡20及該量測平臺63間，該第一反射光照射到該待測物后，反射 一第二反射光；該第二反射光是通過該物鏡62后，自該反射鏡20的中心透光區(qū)30及周邊 透光區(qū)42射出；以及一光譜儀64,用以接收自該反射鏡20的中心透光區(qū)30及周邊透光區(qū) 42射出的第二反射光。
[0079] 此外，該反射鏡與該照明光之間具有一第一夾角a，該第一夾角a為45度，該反 射鏡與該量測平臺間具有一第二夾角0，該第二夾角0為45度。
[0080] 請配合參閱圖11所示，該第一反射光是于該量測平臺64上形成一投影照亮區(qū)域 65,其中，該投影照亮區(qū)域65為圓形。
[0081] 請參閱圖12及配合表一所示，為本實用新型實施例的反射鏡與普通的反射鏡比 較，其中，X軸為照射至反射鏡的波長（nm)，Y軸為雜散光的反射率（％ )，圖中的P線段為 普通的反射鏡所測得的數(shù)值，而N線段則為本實用新型的反射鏡所測得的數(shù)值；表一中，波 長的單位為nm、"中空"欄位代表本實用新型反射鏡的反射率、"非中空"欄位代表普通反 射鏡的反射率、減少率指的是本實用新型的反射鏡與普通的反射鏡在同一波長下相比較的 反射率減少率。由圖中可看出，N線段恒位于P線段的下方，此即代表本實用新型的反射鏡 在雜散光的反射率方面，恒較常規(guī)的反射鏡低，因此，不論應(yīng)用本實用新型反射鏡的量測儀 器使用的光線的波長為何，均能減少反射雜散光的產(chǎn)生，藉此使量測數(shù)據(jù)更為準(zhǔn)確。
[0082]
【權(quán)利要求】
1. 一種反射鏡，其特征在于，具有一第一表面及一第二表面，該第二表面是與該第一表 面相互平行，該反射鏡的中心位置具有一中心軸，該反射鏡主要包括： 一中心透光區(qū)，環(huán)繞于該中心軸配置； 一周邊區(qū)，環(huán)繞該中心透光區(qū)，且該周邊區(qū)包含一周邊反射區(qū)及一周邊透光區(qū)；以及 一對稱軸，該對稱軸經(jīng)過該中心透光區(qū)的中心位置； 其中，該中心透光區(qū)為一孔洞，該周邊區(qū)以該對稱軸為軸而線對稱，該周邊透光區(qū)為中 空，該周邊反射區(qū)是位于該第一表面。
2. 如權(quán)利要求1所述的反射鏡，其特征在于，所述周邊反射區(qū)包含多個反射區(qū)塊，且該 反射區(qū)塊數(shù)量為2n+l，其中，n多1。
3. 如權(quán)利要求2所述的反射鏡，其特征在于，所述周邊透光區(qū)包含多個透光區(qū)塊，且各 透光區(qū)塊與各反射區(qū)塊是環(huán)繞該中心透光區(qū)相互交替分布，每一反射區(qū)塊是均對應(yīng)該中心 軸另一端的一透光區(qū)塊，且各反射區(qū)塊的面積小于各對應(yīng)的透光區(qū)塊的面積。
4. 如權(quán)利要求2所述的反射鏡，其特征在于，所述各反射區(qū)塊是透過一反射區(qū)塊連接 部而相連接，該反射區(qū)塊連接部是環(huán)繞于該中心透光區(qū)的外側(cè)。
5. 如權(quán)利要求2所述的反射鏡，其特征在于，所述各反射區(qū)塊是透過一反射區(qū)塊連接 部而相連接，該反射區(qū)塊連接部是環(huán)繞于該周邊區(qū)的外側(cè)。
6. 如權(quán)利要求2所述的反射鏡，其特征在于，所述各反射區(qū)塊為相同形狀。
7. 如權(quán)利要求2所述的反射鏡，其特征在于，所述各反射鏡的外觀輪廓為橢圓形。
8. 如權(quán)利要求2所述的反射鏡，其特征在于，所述各反射鏡為長方形。
9. 如權(quán)利要求1所述的反射鏡，其特征在于，所述各第一表面與該第二表面之間具有 一厚度T，其滿足以下條件：0? 2mm < T < 5mm〇
10. 如權(quán)利要求1所述的反射鏡，其特征在于，所述各反射鏡的最大外徑為L，該中心透 光區(qū)的最大內(nèi)徑為Dmax，其滿足以下條件：0. 15 < Dmax/L < 0. 5。
11. 如權(quán)利要求1所述的反射鏡，其特征在于，所述各周邊透光區(qū)于該第一表面具有一 第一表面周邊透光區(qū)，該周邊透光區(qū)于該第二表面具有一第二表面周邊透光區(qū)，該第二表 面周邊透光區(qū)的面積是大于該第一表面周邊透光區(qū)。
12. 如權(quán)利要求11所述的反射鏡，其特征在于，所述各第一表面周邊透光區(qū)與該第二 表面周邊透光區(qū)之間具有一內(nèi)孔斜面，該內(nèi)孔斜面與該中心軸之間具有一角度A，其滿足下 列狀態(tài)：30度< A < 60度。
13. 如權(quán)利要求1所述的反射鏡，其特征在于，該反射鏡更包含： 一外環(huán)區(qū)，該外環(huán)區(qū)環(huán)繞于該周邊區(qū)外側(cè)，其中，該外環(huán)區(qū)具有多個外環(huán)反射區(qū)塊及多 個外環(huán)透光區(qū)塊，各該外環(huán)反射區(qū)塊與各該外環(huán)透光區(qū)塊相互交替分布，各該外環(huán)透光區(qū) 塊對應(yīng)配置于各該周邊反射區(qū)的反射區(qū)塊外側(cè)。
14. 一反射鏡組，其特征在于，由中心向外側(cè)包含： 一中心透光區(qū)，環(huán)繞一中心軸配置；以及 一周邊區(qū)，環(huán)繞該中心透光區(qū)，該周邊區(qū)包括一第一反射鏡、一第二反射鏡及一第三反 射鏡，其中，該第一反射鏡、該第二反射鏡及該第三反射鏡是等距分布環(huán)繞于該中心軸； 其中，該中心透光區(qū)為中空。
15. -反射式光譜儀，其特征在于，包含： 一反射鏡，具有一第一表面及一第二表面，該第二表面是與該第一表面相互平行，該反 射鏡的中心位置具有一中心軸，該反射鏡主要包括： 一中心透光區(qū)，環(huán)繞于該中心軸配置； 一周邊區(qū)，環(huán)繞該中心透光區(qū)，且該周邊區(qū)包含一周邊反射區(qū)及一周邊透光區(qū)；以及 一對稱軸，該對稱軸經(jīng)過該中心透光區(qū)的中心位置； 其中，該中心透光區(qū)為一孔洞，該周邊區(qū)以該對稱軸為軸而線對稱，該周邊透光區(qū)為中 空，該周邊反射區(qū)是位于該第一表面； 一光源，發(fā)出一照明光至該反射鏡后產(chǎn)生一第一反射光； 一物鏡，是設(shè)置于該第一反射光的路徑上，并供該第一反射光通過； 一量測平臺，一待測物放置于該量測平臺上，該量測平臺位于該第一反射光的路徑上， 且該物鏡是位于該反射鏡及該量測平臺間，該第一反射光照射到該待測物后，反射一第二 反射光； 該第二反射光是通過該物鏡后，自該中心透光區(qū)及該周邊透光區(qū)射出；以及 一光譜儀，用以接收該第二反射光。
16. 如權(quán)利要求15所述的反射式光譜儀，其特征在于，所述反射鏡與該照明光之間具 有一第一夾角，該夾角為45度，該反射鏡與該量測平臺間具有一第二夾角，該第二夾角為 45度。
17. 如權(quán)利要求15所述的反射式光譜儀，其特征在于，所述第一反射光是于該量測平 臺上形成一投影照亮區(qū)域，該投影照亮區(qū)域為圓形。
【文檔編號】G01J3/02GK204241715SQ201420534127
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年9月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月1日
【發(fā)明者】張建邦, 朱國強 申請人:大立光電股份有限公司