一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其包括測量電極、環(huán)形UV燈、常閉電磁閥、進(jìn)水管、出水管、控制檢測電路板和液晶顯示屏，所述測量電極的一端連接進(jìn)水管，測量電極的另一端連接出水管，常閉電磁閥安裝在出水關(guān)上，所述環(huán)形UV燈安裝在測量電極的一側(cè)，所述控制檢測電路板分別與常閉電磁閥、測量電極、環(huán)形UV燈和液晶顯示屏點連接。本實用新型采用一個電導(dǎo)率電極，來消除電極間的差異，從而準(zhǔn)確檢測水樣中低含量的總有機碳。本實用新型管路密封性好，電路連接可靠，測量精度高。
【專利說明】一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及超純水水質(zhì)檢測裝置，尤其是涉及一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子工業(yè)的急速發(fā)展，在電子零件的清洗上需使用大量高純度的洗凈水，尤以集成電路產(chǎn)業(yè)對此需求最甚。所以，便發(fā)展出相關(guān)的技術(shù)，盡量除去水中各種雜質(zhì)。
[0003]在高科技產(chǎn)業(yè)工藝、設(shè)備高度發(fā)展的同時，超純水質(zhì)量要求日趨嚴(yán)苛，然而，目前超純水處理技術(shù)己可將超純水水質(zhì)處理趨近理論極限值，舉例而言，超純水在25°C時，其電阻的理論值為18.25ΜΩ.cm，而實廠制造的超純水電阻值可達(dá)18.2ΜΩ.ο?，故證明未來要提升超純水質(zhì)量確實是一大挑戰(zhàn)。但隨著工藝線寬縮小，且超純水中約有95%-96%的污染來自有機物，故超純水水質(zhì)其又以總有機碳濃度(Total Organic Carbon, TOC)的要求更為嚴(yán)苛。
[0004]傳統(tǒng)的直接電導(dǎo)法檢測水樣中總有機碳時采用兩個電導(dǎo)率電極，當(dāng)水樣中的總有碳含量低于20ug/L左右時，兩個電極之間的差異大于總有機碳氧化前后的電導(dǎo)率的數(shù)值，無法準(zhǔn)確檢測總有機碳的含量或是需要頻繁的補償差異才能準(zhǔn)確檢測總有機碳的含量。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型目的是針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述技術(shù)問題，提供一種管道密封性好，測量精確度高的用于檢測超純水中總有機碳的裝置。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其包括測量電極、環(huán)形UV燈、常閉電磁閥、進(jìn)水管、出水管、控制檢測電路板和液晶顯示屏，所述測量電極的一端連接進(jìn)水管，測量電極的另一端連接出水管，常閉電磁閥安裝在出水關(guān)上，所述環(huán)形UV燈安裝在測量電極的一側(cè)，所述控制檢測電路板分別與常閉電磁閥、測量電極、環(huán)形UV燈和液晶顯示屏點連接。
[0007]作為優(yōu)選，所述測量電極包括外電極、內(nèi)電極、高純石英玻璃罩、進(jìn)水接頭、出水接頭、內(nèi)電極固定密封板和溫度傳感器，所述內(nèi)電極固定密封板和高純石英玻璃罩構(gòu)成一個密閉的腔體，溫度傳感器安裝在腔體內(nèi)，所述內(nèi)電極安裝在腔體內(nèi)側(cè)的內(nèi)電極固定密封板上，腔體的兩端分別安裝有一個外電極，所述外電極和內(nèi)電極之間設(shè)有液體通道，所述進(jìn)水接頭和出水接頭分別安裝在腔體兩端的外電極的外側(cè)，所述外電極、進(jìn)水接頭和出水接頭與液體通道連通。
[0008]作為優(yōu)選，所述內(nèi)電極固定密封板與內(nèi)電極之間設(shè)有內(nèi)電極密封O型圈。
[0009]作為優(yōu)選，所述內(nèi)電極固定密封板與外電極之間設(shè)有外電極密封O型圈。
[0010]作為優(yōu)選，所述環(huán)形UV燈安裝在測量電極的高純石英玻璃罩外側(cè)。
[0011]本實用新型采用一個電導(dǎo)率電極，來消除電極間的差異，從而準(zhǔn)確檢測水樣中低含量的總有機碳。本實用新型管路密封性好，電路連接可靠，測量精度高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型所述一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實用新型所述測量電極的結(jié)構(gòu)圖。

【具體實施方式】
[0014]本實用新型的特征及優(yōu)點將通過實施例結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0015]如圖1所示，一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其包括測量電極1、環(huán)形UV燈2、常閉電磁閥3、進(jìn)水管4、出水管5、控制檢測電路板6和液晶顯示屏7，所述測量電極I的一端連接進(jìn)水管4，測量電極I的另一端連接出水管5，常閉電磁閥3安裝在出水關(guān)5上，所述環(huán)形UV燈2安裝在測量電極I的一側(cè)，所述控制檢測電路板6分別與常閉電磁閥3、測量電極1、環(huán)形UV燈2和液晶顯示屏7點連接，所述環(huán)形UV燈安裝在測量電極的高純石英玻璃罩外側(cè)。
[0016]如圖2所示，所述測量電極I包括外電極11、內(nèi)電極12、高純石英玻璃罩13、進(jìn)水接頭14、出水接頭15、內(nèi)電極固定密封板16和溫度傳感器17，所述內(nèi)電極固定密封板16和高純石英玻璃罩14構(gòu)成一個密閉的腔體18，溫度傳感器17安裝在腔體18內(nèi)，所述內(nèi)電極12安裝在腔體18內(nèi)側(cè)的內(nèi)電極固定密封板16上，腔體18的兩端分別安裝有一個外電極11，所述外電極11和內(nèi)電極12之間設(shè)有液體通道19，所述進(jìn)水接頭14和出水接頭15分別安裝在腔體18兩端的外電極11的外側(cè)，所述外電極11、進(jìn)水接頭14和出水接頭15與液體通道19連通，所述內(nèi)電極固定密封板16與內(nèi)電極12之間設(shè)有內(nèi)電極密封O型圈8，所述內(nèi)電極固定密封板16與外電極11之間設(shè)有外電極密封O型圈9。
[0017]本實用新型的工作原理:打開出水管5上的常閉電磁閥3，讓水樣流進(jìn)測量電極I ;關(guān)閉常閉電磁閥5，將水樣隔離在內(nèi)電極12和外電極11之間的液體通道19內(nèi)，檢測其電導(dǎo)率為DO ;開啟高純石英玻璃罩14外側(cè)波長為185nm的環(huán)形UV燈2，水樣在紫外光的照射下，其中的有機物碳被完全氧化成C02，部分C02與水生成碳酸，碳酸離解為碳酸根和碳酸氫根，檢測此時的電導(dǎo)率為Dl ;那么水樣的電導(dǎo)率在紫外照射氧化前后差值為D2，D2=D1-D0 ；經(jīng)研究水樣中總有機碳的含量與D2成二次線性關(guān)系，通過檢測D2的值來計算水樣中總有機碳的含量。
[0018]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型結(jié)構(gòu)作舉例說明。本實用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其特征在于:其包括測量電極、環(huán)形UV燈、常閉電磁閥、進(jìn)水管、出水管、控制檢測電路板和液晶顯示屏，所述測量電極的一端連接進(jìn)水管，測量電極的另一端連接出水管，常閉電磁閥安裝在出水關(guān)上，所述環(huán)形UV燈安裝在測量電極的一側(cè)，所述控制檢測電路板分別與常閉電磁閥、測量電極、環(huán)形UV燈和液晶顯示屏點連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其特征在于:所述測量電極包括外電極、內(nèi)電極、高純石英玻璃罩、進(jìn)水接頭、出水接頭、內(nèi)電極固定密封板和溫度傳感器，所述內(nèi)電極固定密封板和高純石英玻璃罩構(gòu)成一個密閉的腔體，溫度傳感器安裝在腔體內(nèi)，所述內(nèi)電極安裝在腔體內(nèi)側(cè)的內(nèi)電極固定密封板上，腔體的兩端分別安裝有一個外電極，所述外電極和內(nèi)電極之間設(shè)有液體通道，所述進(jìn)水接頭和出水接頭分別安裝在腔體兩端的外電極的外側(cè)，所述外電極、進(jìn)水接頭和出水接頭與液體通道連通。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其特征在于:所述內(nèi)電極固定密封板與內(nèi)電極之間設(shè)有內(nèi)電極密封O型圈。
4.如權(quán)利要求2所述的一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其特征在于:所述內(nèi)電極固定密封板與外電極之間設(shè)有外電極密封O型圈。
5.如權(quán)利要求1所述的一種用于檢測超純水中總有機碳的裝置，其特征在于:所述環(huán)形UV燈安裝在測量電極的高純石英玻璃罩外側(cè)。
【文檔編號】G01N27/06GK204028030SQ201420386169
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年7月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月14日
【發(fā)明者】羅敏俊 申請人:羅敏俊