化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型揭示了一種化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，包括可彎折的帶體，用于將所述帶體的兩端扣合的扣合部件，所述扣合部件與所述帶體相連，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的至少一部分為固體酸堿指示劑。本實(shí)用新型提供的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置中，所述固體酸堿指示劑遇酸堿變色，所述帶體可以嵌套在化學(xué)品存放包裝的開口處，當(dāng)所述化學(xué)品從所述開口處泄露時，所述固體酸堿指示劑變色，從而可以第一時間檢測到化學(xué)品泄露監(jiān)測的異常情況，避免化學(xué)品泄漏可能造成的人員傷害，避免品質(zhì)風(fēng)險物料下線使用，或者產(chǎn)線斷料的情況出現(xiàn)。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造業(yè)中的安全監(jiān)控領(lǐng)域，特別是涉及一種化學(xué)品泄露監(jiān) 測裝置。 化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體晶圓的制備工廠（FAB)里，會用各種化學(xué)品，其中包括一些酸、堿試劑。 該化學(xué)品一般存放在存放包裝里，如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中一種常見的存放包裝。存放包 裝10具有一開口 11，用于放入和導(dǎo)出化學(xué)品，通過一蓋子12將開口 11密封，防止化學(xué)品從 開口 11處泄漏。
[0003] 然而，化學(xué)品的存放包裝往往存在問題，或運(yùn)輸途中遇到野蠻操作/意外撞擊，易 導(dǎo)致化學(xué)品泄漏。多數(shù)化學(xué)品接觸具有危險性，需即時警示識別泄漏狀況，以便及時采取有 效的防護(hù)措施，避免人身傷害。部分化學(xué)品需保持隔絕狀態(tài)，泄漏可能導(dǎo)致品質(zhì)風(fēng)險，需即 時警示識別泄漏狀況，以便及時采取有效的處理措施，避免存在品質(zhì)風(fēng)險的化學(xué)品下線使 用。
[0004] 化學(xué)品屬于FAB大宗使用原料，若產(chǎn)生泄露現(xiàn)象，無法正常使用，必影響FAB正常 生產(chǎn)進(jìn)度，部分化學(xué)品交貨周期較長，甚至可能導(dǎo)致斷料。若泄露未第一時間察知，導(dǎo)致人 員安全事故，影響更甚。但是，現(xiàn)有技術(shù)中并沒有很好的化學(xué)品泄漏監(jiān)測裝置。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 本實(shí)用新型的目的在于，提供一種化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，能夠及時監(jiān)測化學(xué)品泄 露監(jiān)測的異常情況。
[0006] 為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，包括：可彎折的 帶體，用于將所述帶體的兩端扣合的扣合部件，所述扣合部件與所述帶體相連，所述化學(xué)品 泄露監(jiān)測裝置的至少一部分為固體酸堿指示劑。
[0007] 可選的，所述帶體的至少一部分為固體酸堿指示劑。
[0008] 可選的，整個所述帶體均為固體酸堿指示劑。
[0009] 可選的，所述扣合部件包括第一卡扣組件和對應(yīng)的第二卡扣組件，所述第一卡扣 組件位于所述帶體的一端，所述第二卡扣組件位于所述帶體的另一端。
[0010] 可選的，所述第一卡扣組件為凸起，所述第二卡扣組件為扣孔。
[0011] 可選的，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置包括多個所述扣孔，多個所述扣孔在所述帶體 的長度方向依次排列。
[0012] 可選的，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置包括多個所述凸起，多個所述凸起在所述帶體 的長度方向依次排列。
[0013] 可選的，所述帶體的長度為10cm?50cm。
[0014] 可選的，所述帶體的寬度為1cm?10cm。
[0015] 可選的，所述帶體的厚度為0· 5cm?5cm。
[0016] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)：
[0017] 在本實(shí)用新型提供的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置中，包括可彎折的帶體以及用于將所述 帶體的兩端扣合的扣合部件，所述扣合部件與所述帶體相連，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的 至少一部分為固體酸堿指示劑，與現(xiàn)有技術(shù)相比，所述固體酸堿指示劑遇酸堿變色，所述帶 體可以嵌套在化學(xué)品存放包裝的開口處，當(dāng)所述化學(xué)品從所述開口處泄露時，所述固體酸 堿指示劑變色，從而可以第一時間檢測到化學(xué)品泄露監(jiān)測的異常情況，避免化學(xué)品泄漏可 能造成的人員傷害，避免品質(zhì)風(fēng)險物料下線使用，或者產(chǎn)線斷料的情況出現(xiàn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)中塑料桶的示意圖；
[0019] 圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的立體圖；
[0020] 圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的俯視圖；
[0021] 圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的正視圖；
[0022] 圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的扣合示意圖；
[0023] 圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的使用時的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024] 下面將結(jié)合示意圖對本實(shí)用新型的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中 表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新 型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員 的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。
[0025] 為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠贡緦?shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例 的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費(fèi)時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0026] 在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán) 利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且 均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0027] 本實(shí)用新型的核心思想在于，提供一種化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，在本實(shí)用新型提供 的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置中，包括可彎折的帶體，用于將所述帶體的兩端扣合的扣合部件，所 述扣合部件與所述帶體相連，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的至少一部分為固體酸堿指示劑， 所述固體酸堿指示劑遇酸堿變色，所述帶體可以嵌套在化學(xué)品存放包裝的開口處，當(dāng)所述 化學(xué)品從所述開口處泄露時，所述固體酸堿指示劑變色，從而可以第一時間檢測到化學(xué)品 泄露監(jiān)測的異常情況，避免化學(xué)品泄漏可能造成的人員傷害，避免品質(zhì)風(fēng)險物料下線使用， 或者產(chǎn)線斷料的情況出現(xiàn)。
[0028] 以下列舉所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的幾個實(shí)施例，以清楚說明本實(shí)用新型的內(nèi) 容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人 員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。
[0029] 以下請參考圖2-圖5來具體說明本實(shí)用新型第一實(shí)施例中的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝 置，其中，圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的立體圖；圖3為本實(shí)用新型 一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的俯視圖；圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測 裝置的正視圖；圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例中化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的扣合示意圖。
[0030] 如圖5所示，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置1包括帶體100和扣合部件，在本實(shí)施例 中，所述扣合部件包括第一^^扣組件110和第二卡扣組件120,所述第二卡扣組件120用于 與第一卡扣組件110進(jìn)行扣合而設(shè)置。其中，所述帶體100可彎折，以方便將所述化學(xué)品泄 露監(jiān)測裝置1嵌套在化學(xué)品存放包裝的開口處。所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置1的至少一部分 為固體酸堿指示劑。其中，可以為所述帶體100的至少一部分為固體酸堿指示劑。優(yōu)選的， 整個所述帶體100為均固體酸堿指示劑，以方便監(jiān)測是否有化學(xué)品泄露。
[0031] 所述第一卡扣組件110位于所述帶體100的一端，所述第二卡扣組件120位于所 述帶體的另一端，以方便將所述帶體100卡扣為一個環(huán)，方便嵌套在化學(xué)品存放包裝的開 口處。
[0032] 較佳的，所述第一^^扣組件110為凸起，所述第二卡扣組件120為扣孔，將凸起扣 在扣孔內(nèi)，以使得所述第一卡扣組件110和所述第二卡扣組件120進(jìn)行扣合。較佳的，所述 化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置1包括多個所述扣孔121，多個所述扣孔121在所述帶體1的長度方向 依次排列，使得所述凸起110可以選擇任意一個所述扣孔121進(jìn)行扣合，使得所述帶體100 卡扣形成的環(huán)的大小可以調(diào)節(jié)，以適用于各種直徑的所述開口。其中，所述扣孔121的數(shù)量 不做限制，可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置。
[0033] 較佳的，在本實(shí)施例中，所述帶體100的長度L為10cm?50cm，所述帶體100的寬 度W為lcm?10cm，所述帶體100的厚度Η為0. 5cm?5cm，例如，所述帶體100的長度L 為20cm、30cm、40cm，所述帶體100的寬度W為2cm、5cm、8cm，所述帶體100的厚度Η為lcm、 2cm、3cm、4cm，等等，可以方便對所述帶體100的卡扣。但是，所述帶體100的尺寸并不限于 上述范圍。
[0034] 在本實(shí)施例中，所述固體酸堿指示劑的材料并不作限制，例如，申請?zhí)枮?201310404929.6的中國專利申請公開的固體酸堿指示劑即可，但是，所述固體酸堿指示劑 的材料并不限于申請?zhí)枮?01310404929. 6的中國專利申請所公開的范圍，只要是可以根 據(jù)pH值的變化而發(fā)生顏色變化，亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。當(dāng)整個所述帶體100為 均固體酸堿指示劑，要求所述固體酸堿指示劑的材料為可彎折、并具有一定耐磨性的材料。 所述固體酸堿指示劑的材料為本領(lǐng)域的公知常識，在此不作贅述。
[0035] 本實(shí)施例的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置1在使用時，將所述帶體100彎折，使得所述凸起 110可以選擇任意一個所述扣孔121進(jìn)行扣合，使得所述帶體100卡扣形成環(huán)狀，如圖5所 示。并將環(huán)狀的所述帶體1〇〇放置于所述開口 11處，如圖6所示。在圖6中，與圖1相同 的標(biāo)號表示與圖1相同的部件。當(dāng)所述化學(xué)品從所述開口 11處泄露時，所述固體酸堿指示 劑變色，從而可以第一時間檢測到化學(xué)品泄露監(jiān)測的異常情況，避免化學(xué)品泄漏可能造成 的人員傷害，避免品質(zhì)風(fēng)險物料下線使用，或者產(chǎn)線斷料的情況出現(xiàn)。
[0036] 本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例如上所述，但是，本實(shí)用新型并不限于上述實(shí)施例的范 圍。例如：
[0037] 所述帶體100可以由多個子帶活動連接形成，其中的一個或多個所述子帶為固體 酸堿指示劑，則此時，所述固體酸堿指示劑不需要可以彎折；
[0038] 另外，所述帶體100可以不包括固體酸堿指示劑，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置還可 以包括一指示部件，所述指示部件可以與所述帶體1〇〇相連接，所述指示部件為固體酸堿 指示劑，則亦可以實(shí)現(xiàn)監(jiān)測的功能；
[0039] 此外，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置還可以包括多個所述凸起，多個所述凸起在所述 帶體的長度方向依次排列，根據(jù)本實(shí)用新型的上述描述，多個所述凸起的設(shè)置為本領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員可以理解的，在此不作贅述；
[0040] 所述第一卡扣組件和所述第二卡扣組件并不限于為相互配合的凸起和扣孔，所述 第一卡扣組件和所述第二卡扣組件還可以為相互配合的扣環(huán)與扣鉤，所述扣鉤套在所述扣 環(huán)內(nèi)，亦可以卡扣所述帶體；
[0041] 所述扣合部件并不限于包括第一卡扣組件和對應(yīng)的第二卡扣組件，所述扣合部件 還可以為一膠粘部件，可以將所述帶體的兩端粘在一起實(shí)現(xiàn)扣合，亦在本實(shí)用新型的思想 范圍之內(nèi)。
[0042] 綜上所述，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，在本實(shí)用新型提供的化學(xué) 品泄露監(jiān)測裝置中，包括可彎折的帶體，用于將所述帶體的兩端扣合的扣合部件，所述扣合 部件與所述帶體相連，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的至少一部分為固體酸堿指示劑。與現(xiàn)有 技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)：所述固體酸堿指示劑遇 酸堿變色，所述帶體可以嵌套在化學(xué)品存放包裝的開口處，當(dāng)所述化學(xué)品從所述開口處泄 露時，所述固體酸堿指示劑變色，從而可以第一時間檢測到化學(xué)品泄露監(jiān)測的異常情況，避 免化學(xué)品泄漏可能造成的人員傷害，避免品質(zhì)風(fēng)險物料下線使用，或者產(chǎn)線斷料的情況出 現(xiàn)。
[〇〇43] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，包括：可彎折的帶體以及用于將所述帶體 的兩端扣合的扣合部件，所述扣合部件與所述帶體相連，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置的至少 一部分為固體酸堿指示劑。
2. 如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述帶體的至少一部分為 固體酸堿指示劑。
3. 如權(quán)利要求2所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，整個所述帶體均為固體酸 堿指示劑。
4. 如權(quán)利要求1-3中任意一項所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述扣合部 件包括第一卡扣組件和對應(yīng)的第二卡扣組件，所述第一卡扣組件位于所述帶體的一端，所 述第二卡扣組件位于所述帶體的另一端。
5. 如權(quán)利要求4所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述第一卡扣組件為凸起， 所述第二卡扣組件為扣孔。
6. 如權(quán)利要求5所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置 包括多個所述扣孔，多個所述扣孔在所述帶體的長度方向依次排列。
7. 如權(quán)利要求5所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置 包括多個所述凸起，多個所述凸起在所述帶體的長度方向依次排列。
8. 如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述帶體的長度為10cm? 50cm〇
9. 如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述帶體的寬度為lcm? 10cm〇
10. 如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品泄露監(jiān)測裝置，其特征在于，所述帶體的厚度為 0· 5cm ?5cm〇
【文檔編號】G01N21/78GK203894170SQ201420258850
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月20日
【發(fā)明者】孫璐, 上官遨宇 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司