用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器。該感應式磁場傳感器包括：三軸磁場傳感器模塊，包括探測方向兩兩垂直的三支傳感器本體；信號處理模塊，包括三組信號處理電路，分別與三支傳感器本體相連接，用于對三支傳感器本體輸出的信號分別進行放大和濾波；以及信號采集電路，與信號處理模塊的三組信號處理電路相連接，用于將放大濾波后的信號調整信號帶寬至預設帶寬，并對三組信號分別進行采集輸出。本發(fā)明通過在原有的細長型磁芯兩端加磁盤聚集磁通，等效的提高了磁芯的長徑比，提高了磁場傳感器的靈敏度。
【專利說明】用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及電子行業(yè)磁場傳感器【技術領域】，尤其涉及一種用于水下磁異常網絡的 感應式磁場傳感器。

【背景技術】
[0002] 高性能的磁場傳感器可以用于目標體引起的磁場異常探測，例如重要港口的海底 監(jiān)測網、水下目標探測與跟蹤、海底監(jiān)測與預警網、陸上要地監(jiān)測網等建設，具有無源性、不 易為目標體發(fā)現(xiàn)、抗干擾能力強等優(yōu)點。
[0003] 意大利海軍研究部門于2004年開發(fā)了一套聲磁結合的反蛙人港口防護系統(tǒng) (Magnetic-Acoustic System，簡稱MAC系統(tǒng)），該系統(tǒng)利用磁傳感器作為聲納系統(tǒng)的補充 用來對港口附近海域進行預警檢測。以色列原子能機構下屬的一個研究小組開展了磁傳感 器網絡對運動目標的檢測、定位與跟蹤研究。通過用磁偶極子模型對目標建模，假設目標的 運行軌跡為勻速直線并通過先進的信號處理方法，實現(xiàn)了對目標的即時檢測和精確定位跟 蹤?？梢?，在海岸預警技術方面，感應式磁場傳感器是不可或缺的核心技術，直接制約著我 國海岸預警系統(tǒng)的發(fā)展。
[0004] 然而，目前海岸預警新技術和儀器中，以磁阻式磁場傳感器和磁通門磁場傳感器 應用最為廣泛。然而，磁阻式磁場傳感器靈敏度一般大于InT/ V Hz，不僅識別目標距離近， 且對于一些小目標無法識別，嚴重制約了水下軍事監(jiān)測范圍和精度。磁通門式磁場傳感器 雖然靈敏度較低，一般為5pT/ V Hz，但是其功耗較大，一般為400mW，對海底供能要求較高， 尤其在多節(jié)點的情況下，若要形成廣泛的軍事監(jiān)測網絡耗費巨大，不適合于供電要求苛刻 的海底探測與監(jiān)測系統(tǒng)中應用。


【發(fā)明內容】

[0005] (一）要解決的技術問題
[0006] 鑒于上述技術問題，本發(fā)明提供了一種用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感 器，以提高磁場傳感器的靈敏度，減小其體積。
[0007] (二）技術方案
[0008] 根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器。 該感應式磁場傳感器包括：三軸磁場傳感器模塊，包括探測方向兩兩垂直的三支傳感器本 體；信號處理模塊，包括三組信號處理電路，分別與三支傳感器本體相連接，用于對三支傳 感器本體輸出的信號分別進行放大和濾波；以及信號采集電路，與信號處理模塊的三組信 號處理電路相連接，用于將放大濾波后的信號調整信號帶寬至預設帶寬，并對三組信號分 別進行采集輸出。
[0009] (三）有益效果
[0010] 從上述技術方案可以看出，本發(fā)明用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器具有 以下有益效果： toon] (1)本發(fā)明采用了磁通聚集器，通過在原有的細長型磁芯兩端加磁盤聚集磁通，等 效的提高了磁芯的長徑比，突破了傳統(tǒng)感應式磁場傳感器在有限空間內的噪聲極限，提高 了磁場傳感器的靈敏度，約為1〇ρΤ/ V Hz。
[0012] (2)本發(fā)明采用采用低功耗零漂移放大芯片，在實現(xiàn)低噪聲放大的同時抑制了 1/ f噪聲，并且，放大電路的功耗僅為350 μ W，極大地減輕了海底供能的負擔，適于形成海底 探測與監(jiān)測系統(tǒng)網絡。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013] 圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器中一傳感器 本體及與其相連的放大電路的示意圖；
[0014] 圖2為根據(jù)本發(fā)明實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器中傳感器本 體模塊的結構示意圖；
[0015] 圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器中信號處理 模塊中一組信號處理電路的結構框圖；
[0016] 圖4為圖3中放大電路中放大電路的電路圖；
[0017] 圖5為圖3中放大電路中濾波電路的電路圖；
[0018] 圖6為圖3中放大電路中信號采集電路的電路圖；
[0019] 圖7為本發(fā)明實施例用于水下磁異常網絡的超低功耗感應式磁場傳感器本底噪 聲水平指標。

【具體實施方式】
[0020] 為使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結合具體實施例，并參照 附圖，對本發(fā)明進一步詳細說明。需要說明的是，在附圖或說明書描述中，相似或相同的部 分都使用相同的圖號。附圖中未繪示或描述的實現(xiàn)方式，為所屬【技術領域】中普通技術人員 所知的形式。另外，雖然本文可提供包含特定值的參數(shù)的示范，但應了解，參數(shù)無需確切等 于相應的值，而是可在可接受的誤差容限或設計約束內近似于相應的值。實施例中提到的 方向用語，例如"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"等，僅是參考附圖的方向。因此，使用的 方向用語是用來說明并非用來限制本發(fā)明的保護范圍。
[0021] 本發(fā)明是針對現(xiàn)實要求提出的用于水下磁異常網絡的超低功耗感應式磁場傳感 器。
[0022] 在本發(fā)明的一個示例性實施例中，提供了一種用于水下磁異常網絡的感應式磁場 傳感器。圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器中一傳感器本 體及與其相連的放大電路的示意圖。
[0023] 請參照圖1,本實施例感應式磁場傳感器包括：
[0024] 三軸磁場傳感器模塊，包括探測方向兩兩垂直的三支傳感器本體；
[0025] 信號處理模塊，包括三組信號處理電路，分別與三支傳感器本體相連接，用于對三 支傳感器本體輸出的信號分別進行放大和濾波；以及
[0026] 信號采集電路，與信號處理模塊的三組信號處理電路相連接，用于將放大濾波后 的信號調整信號帶寬至預設帶寬，并對三組信號分別進行采集輸出。
[0027] 以下分別對本實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器的各個組成部分 進行詳細說明。
[0028] 一、三軸磁場傳感器模塊
[0029] 圖2根據(jù)本發(fā)明實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器中傳感器本體 模塊的結構示意圖。如圖2所示，將三支磁場傳感器本體兩兩垂直，集成固定在一起，連同 信號處理模塊和信號采集模塊一起由鋁屏蔽盒封閉，以屏蔽高頻電場。
[0030] 本實施例中，封裝后的三軸磁場傳感器模塊的總體積為7. 6cmX 7. 6cmX 7. 6cm。小 的體積保證了該磁場傳感器可以廣泛的網狀布置在近海岸，實現(xiàn)精確測量目標。
[0031] 請參照圖1和圖2,傳感器本體包括：磁芯結構，縱剖面呈工字型，中間部分為細長 棒狀的磁芯，兩端部分為扁平狀磁通量聚焦器；骨架，套設于磁芯結構磁芯的外側；感應線 圈，均勻纏繞于骨架上，磁芯的外圍。
[0032] 本發(fā)明的磁芯結構呈工字型，中間為細長的圓柱體磁芯，長度為5cm，直徑為 0. 5cm，兩端為扁平狀圓柱體，稱為磁通聚集器，長度為0. 4cm，直徑為3cm。這三部分磁芯緊 密的固定在一起。
[0033] 磁芯材料均采用軟磁鐵氧體材料。該材料的初始磁導率高、電導率低，可以實現(xiàn)磁 感應強度的無損耗放大，從而達到所需靈敏度。
[0034] 多阻線圈采用無氧銅漆包線的方式實現(xiàn)，漆包線直徑在0. 035mm_0. 56mm，每層圈 數(shù)在100-4, 000匝，共纏繞1-40層，總圈數(shù)約為1，000-400, 000匝，保證足夠的靈敏度。
[0035] 本實施例中，對于每一傳感器本體而言，其長度為6. 5cm，截面積為3. 2cmX 3. 2cm。
[0036] 二、信號處理模塊
[0037] 信號處理模塊包括三組并行的信號處理電路。圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例用于水下 磁異常網絡的感應式磁場傳感器中信號處理模塊中一組信號處理電路的結構框圖。如圖3 所示，每一信號處理電路包括：放大電路，用于對相應磁場傳感器本體感應線圈輸出的信號 進行放大；濾波電路，與放大電路相連接，用于對放大后的信號進行濾波，以濾除噪聲。
[0038] 2.1放大電路
[0039] 圖4為圖3中信號處理電路中放大電路的電路圖。如圖4所示，該放大模塊主要 由芯片0PA333(U1)組成，該芯片可同時滿足低噪聲及自動穩(wěn)零，且具有較低功耗。
[0040] 請參照圖4,該放大電路包括：
[0041] 調諧單元，包括串聯(lián)的第一調諧電阻R1和第一調諧電容C1，其中，第一調諧電阻 R1的一側連接至的公共端COM(1. 65V)，第一調諧電容C1的一側連接至相應感應線圈的信 號輸出端X ;
[0042] 限幅模塊，包括首尾相接的第一二極管D1和第二二極管D2,其中，第一二極管D1 的正極連接至電源正VCC ;第二二極管D2的負極連接至電源地VSS ;第一二極管D1的負極 和第二二極管D2的正極共同連接至相應感應線圈的信號輸出端X ;
[0043] T型網絡，其第一端連接至地；
[0044] 放大模塊，為0PA333芯片U1，其管腳1通過第二電阻R2連接至感應線圈的信號輸 出端X ;其管腳2連接至電源地VSS，其管腳3通過第三電阻R3連接至公共端C0M，并連接 至T型網絡的第二端；其管腳4連接T型網絡的第三端，并作為第一放大模塊的輸出S1其 管腳5連接至電源正VCC，并通過第三電容連接至電源地VSS ;其管腳3和管腳4之間通過 第二電容C2連接。
[0045] 本實施例中，T型網絡包括：第四電阻，其第一端連接至0PA333芯片的管腳3 ;第 五電阻R5,其第一端連接至0PA333芯片的管腳4 ;以及第六電阻R6,其第一端連接至第四 電阻R4的第二端和第五電阻R5的第二端；其第二端接地。
[0046] 本實施例中，公共端COM的電壓為1.65V，電源正的電壓為3. 6V。限幅模塊中兩二 極管的型號均為BAV199。第一電阻R1、第四電阻R4和第五電阻R5的阻值均為100kQ ;第 二電阻R2和第三電阻R3的阻值均為10k Ω，第六電阻R6的阻值為180 Ω。第一電容C1的 電容值為15nF，第二電容C2的電容值為270nF，第三電容C3的電容值為0. 1 μ F。
[0047] 2. 2濾波電路
[0048] 圖5為圖3中放大電路中濾波電路的電路圖。如圖5所示，該模塊主要由芯片 0PA2369(U2)構成，其中，0ΡΑ2369為雙運放芯片，可搭建二級濾波器，更好的實現(xiàn)傳感器的 帶寬。
[0049] 請參照圖5,該濾波模塊包括：第一階低通濾波器；第二階低通濾波器；以及第三 階濾波器。其中，第一階低通濾波器和第二階低通濾波器為相同的低通濾波器。
[0050] 第一階低通濾波器包括：0PA2369運放芯片U2A。該0PA2369運放芯片U2A管腳1 輸出濾波后信號S1，管腳2串聯(lián)第八電阻R8和第七電阻R7接信號輸入S1 ;將第七電阻R7 和第八電阻R8接點處記為P，則P點處串聯(lián)第四電容C4到GND ;管腳1和管腳2連接第五 電容C5,管腳1和P點間連接第九電阻R9 ;管腳3串聯(lián)第十電阻R10到電源地VSS ;管腳4 接電源地VSS ;管腳5接電源正VCC，同時串聯(lián)第三電容C3到電源地VSS。
[0051] 第二階低通濾波器包括：0PA2369運放芯片U2B。該0PA2369運放芯片U2B管腳7 輸出濾波后信號，管腳6串聯(lián)第十三電阻R13和第^ 電阻R11接信號輸入S1 ;將第十三 電阻R13和第i^一電阻R11接點處即為P，則P點處串聯(lián)第七電容C7到GND ;管腳7和管腳 6連接第八電容C8,管腳7和P點間連接第十二電阻R12 ;管腳5串聯(lián)第十四電阻R14到電 源地VSS。
[0052] 本實施例中，第七電阻R7與第九電阻R9的阻值為110kQ，第八電阻R8的阻值為 lOOkQ，第十電阻R10的阻值為ΙΟΙ?Ω，第四電容C4的電容值為150nF，第五電容C5的電容 值為68nF，第六電容C6的電容值為0. 1 μ F。第二階低通濾波器中相應的器件與第一階低 通濾波器中相應的器件參數(shù)相同，此處不再詳細描述。
[0053] 第三階濾波器為0ΡΑ333芯片U3,其管腳1串聯(lián)第九電容C9連接至第二濾波器輸 出端，同時串聯(lián)第十五電阻R15到GND ;其管腳2連接至電源地VSS，其管腳3串聯(lián)第十六電 阻R16到COM端；管腳3和管腳4之間連接第十七電阻R17和第十電容C10的并聯(lián)；管腳4 串聯(lián)第十二電容輸出信號S2,同時接第十八電阻到GND ;管腳5接電源正VCC，同時串聯(lián)第 三電容C11到電源地VSS。
[0054] 本實施例中，第九電容R9與第十二電容R9電容值為22yF，第十五電阻R15與 第十八電阻R18的阻值為1M，第十六電阻R16的阻值為10kQ，第十七電阻R17的阻值為 lOOkQ，第十電容C10的電容值為100nF，第^-一電容C11的電容值為0. 1 μ F。
[0055] 三、信號采集電路
[0056] 圖6為圖3中放大電路中采集模塊的電路圖。如圖6所示，該采集模塊由8位AD 采集芯片AD7682芯片U4構成，其滿足一般要求且具有極低功耗，該AD7682芯片U4的各個 管腳設置如下：
[0057] 管腳1連接至電源正VDD，并通過第三十七電容C37連接至地；
[0058] 管腳2連接至AD參考電壓VREF，并通過第三十九電容C39連接至地；
[0059] 管腳3通過第四十電容C40連接至地；
[0060] 管腳4和管腳5連接至地；
[0061] 管腳7,管腳16,管腳18分別接三組信號處理電路的輸出端一 S4, S2, S3 ;
[0062] 管腳連10接至公共端COM ;
[0063] 管腳11和管腳12分別連接至外部輸出控制字CNV和DIN，控制并選擇該AD7682 芯片輸出由三組輸入信號中的哪一組采集的數(shù)字信號；
[0064] 管腳13連接至外部時鐘序列SCK的輸入端；
[0065] 管腳15連接至電源正VDD，并通過第三十八電容C38連接至地；
[0066] 管腳16連接至濾波模塊的信號輸出端；
[0067] 管腳20連接至電源正VDD ;
[0068] 管腳21連接至地；
[0069] 管腳 6、8、9、17、19 懸空；
[0070] 管腳14作為該采集模塊的輸出端。
[0071] 其中，第三十七電容C37,第三十八電容C38和第四十電容C40的電容值為0. luF ; 第三十九電容C39的電容值為10uF ;AD參考電壓VREF的電壓值為3. 3V。
[0072] 四、供電模塊：
[0073] 本實施例用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器還包括：供電模塊，用于產生 信號處理模塊和信號采集模塊中需要的參考電壓COM和VREF。
[0074] 供電模塊由一般電池單電源供電，供電電壓在3. 3V-5. 2V之間，通過電源芯片產 生參考電壓等，在此不再復述。
[0075] 本實施例中放大電路具有兩大特征：
[0076] (1)電路具有極低的功耗，三軸磁場傳感器的功耗僅為350 μ W，可由電池長期供 電，使其可大量廣泛的布置在近海岸而不需要太大的成本；
[0077] (2)低噪聲及自動穩(wěn)零。首先，線圈感應信號輸入的第一級放大器具有極低的等效 輸入噪聲，其次，該低噪聲放大器利用自動穩(wěn)零技術抑制電路Ι/f噪聲，同時，抑制磁場傳 感器的等效輸入Ι/f噪聲；通過磁芯、線圈和低噪聲放大電路的相互匹配，該磁場傳感器的 等效輸入磁場噪聲可達到12pT/ V ΗζΟΙΗζ，最低可達到4pT/ V Ηζ@7Ηζ，帶寬為20mHz-7Hz， 如圖7所示，可見其完全滿足對水下磁異常進行監(jiān)測的需要。
[0078] 至此，已經結合附圖對本實施例進行了詳細描述。依據(jù)以上描述，本領域技術人員 應當對本發(fā)明用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器有了清楚的認識。
[0079] 此外，上述對各元件和方法的定義并不僅限于實施例中提到的各種具體結構、形 狀或方式，本領域普通技術人員可對其進行簡單地更改或替換，例如：
[0080] (1)芯片0PA333還可以用AD8229代替；
[0081] (2)鐵氧體磁芯可以用坡莫合金材料或納米晶來代替。
[0082] 綜上所述，本發(fā)明磁場傳感器覆蓋磁異常信號帶寬，體積小便于形成海岸預警監(jiān) 測網絡，功耗低使得海岸預警網損耗很小，節(jié)約成本。實際監(jiān)控中，通過本發(fā)明獲取磁場的 異常表現(xiàn)，綜合分析判斷目標體的質量、出現(xiàn)的方位及移動的速度等重要指標。
[0083] 以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳 細說明，所應理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡 在本發(fā)明的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保 護范圍之內。
【權利要求】
1. 一種用于水下磁異常網絡的感應式磁場傳感器，其特征在于，包括： 三軸磁場傳感器模塊，包括探測方向兩兩垂直的三支傳感器本體； 信號處理模塊，包括三組信號處理電路，分別與三支傳感器本體相連接，用于對三支傳 感器本體輸出的信號分別進行放大和濾波；以及 信號采集電路，與信號處理模塊的三組信號處理電路相連接，用于將放大濾波后的信 號調整信號帶寬至預設帶寬，并對三組信號分別進行采集輸出。
2. 根據(jù)權利要求1所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述三支傳感器本體中的 任一傳感器本體包括： 磁芯結構，縱剖面呈工字型，中間部分為細長棒狀的磁芯，兩端部分為扁平狀磁通量聚 焦器； 骨架，套設于磁芯結構磁芯的外側；以及 感應線圈，均勻纏繞于骨架上，磁芯的外圍。
3. 根據(jù)權利要求2所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述磁芯結構的材料為軟 磁鐵氧體材料或坡莫合金材料。
4. 根據(jù)權利要求1所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述三組信號處理電路中 的每一組信號處理電路包括： 放大電路，用于對相應傳感器本體輸出的信號進行放大；以及 濾波電路，與所述放大電路相連接，用于對放大后的信號進行濾波，以控制帶寬。
5. 根據(jù)權利要求4所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述放大電路包括： 調諧單元，包括串聯(lián)的第一調諧電阻（R1)和第一調諧電容（C1)，其中，第一調諧電阻 R1的一側連接至的公共端COM，第一調諧電容（C1)的一側連接至相應傳感器本體的信號輸 出端⑴； 限幅模塊，包括首尾相接的第一二極管（D1)和第二二極管（D2)，其中，第一二極管 (D1)的正極連接至電源正（VCC);第二二極管D2的負極連接至電源地（VSS);第一二極管 (D1)的負極和第二二極管（D2)的正極共同連接至相應傳感器本體的信號輸出端（X); T型網絡，其第一端連接至地；以及 放大模塊，為0PA333芯片（U1)，其管腳1通過第二電阻（R2)連接至相應傳感器本體的 信號輸出端（X);其管腳2連接至電源地（VSS);其管腳3通過第三電阻（R3)連接至公共端 (COM)，并連接至T型網絡的第二端；其管腳5連接至電源正（VCC)，并通過第三電容連接至 電源地（VSS);其管腳4連接T型網絡的第三端，并作為該放大模塊的輸出；其管腳3和管 腳4之間通過第二電容（C2)連接。
6. 根據(jù)權利要求5所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述T型網絡包括： 第四電阻（R4)，其第一端連接至0PA333芯片的管腳3 ; 第五電阻（R5)，其第一端連接至0PA333芯片的管腳4 ;以及 第六電阻（R6)，其第一端連接至第四電阻（R4)的第二端和第五電阻（R5)的第二端； 其第二端接地。
7. 根據(jù)權利要求4所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述濾波電路包括：第一階 低通濾波器；第二階低通濾波器；以及第三階濾波器； 所述第一階低通濾波器和第二階低通濾波器為相同的低通濾波器，包括：〇PA2369運 放芯片（U2A)，其管腳1輸出濾波后信號；管腳2串聯(lián)第七電阻（R7)和第八電阻（R8)接信 號輸入端S1 ;將第七電阻（R7)和第八電阻（R8)接點處即為P，則P點處串聯(lián)第四電容（C4) 到GND;管腳1和管腳2之間連接第五電容（C5)，管腳1和P點間連接第九電阻（R9);管腳 3串聯(lián)第十電阻（R10)到電源地（VSS);管腳4接電源地（VSS);管腳5接電源正（VCC)，同 時串聯(lián)第三電容（C3)到電源地（VSS); 第三階濾波器為0PA333芯片U3,其管腳1串聯(lián)第九電容C9連接至第二濾波器輸出端， 同時串聯(lián)第十五電阻R15到GND ;其管腳2連接至電源地VSS，其管腳3串聯(lián)第十六電阻R16 至IJ COM端；管腳3和管腳4之間連接第十七電阻R17和第十電容CIO的并聯(lián)；管腳4串聯(lián)第 十二電容出書信號S2,同時接第十八電阻到GND ;管腳5接電源正VCC，同時串聯(lián)第三電容 C11到電源地VSS。
8. 根據(jù)權利要求1所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述信號采集電路包括 AD7682芯片（U4)，其各管腳設置如下： 管腳1連接至電源正（VDD)，并通過第三十七電容（C37)連接至地； 管腳2連接至AD參考電壓VREF，并通過第三十九電容（C39)連接至地； 管腳3通過第四十電容（C40)連接至地； 管腳4和管腳5連接至地； 管腳7,管腳16,管腳18分別接三組信號處理電路的輸出端（S4, S2, S3); 管腳連10接至公共端（COM); 管腳11和管腳12分別連接至外部輸出控制字CNV和DIN，控制并選擇該AD7682芯片 輸出由三組輸入信號中的哪一組采集的數(shù)字信號； 管腳13連接至外部時鐘序列SCK的輸入端； 管腳15連接至電源正（VDD)，并通過第三十八電容（C38)連接至地； 管腳20連接至電源正（VDD); 管腳21連接至地； 管腳6、8、9、17、19懸空； 管腳14作為該采集模塊的輸出端。
9. 根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，所述三軸磁場 傳感器模塊、信號處理模塊和信號采集電路由鋁屏蔽盒封閉。
10. 根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的感應式磁場傳感器，其特征在于，還包括： 供電模塊，用于對信號處理模塊和信號采集電路中的芯片進行供電。
【文檔編號】G01V3/08GK104062685SQ201410333701
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年7月14日 優(yōu)先權日:2014年7月14日
【發(fā)明者】閆彬, 朱萬華, 劉雷松, 方廣有 申請人:中國科學院電子學研究所