粒子檢測(cè)裝置以及粒子檢測(cè)方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種能夠?qū)αＷ舆M(jìn)行正確地檢測(cè)的粒子檢測(cè)裝置以及粒子檢測(cè)方法。該粒子檢測(cè)裝置具有：殼體(1)；配置于殼體(1)的內(nèi)部的腔室(2)；設(shè)置于腔室(2)的導(dǎo)入噴嘴(21)；樣品導(dǎo)入路徑(3)，其連接設(shè)置于殼體(1)的第一導(dǎo)入口(11)和設(shè)置于腔室(2)的導(dǎo)入噴嘴(21)，用于將包含粒子的流體導(dǎo)入腔室(2)；調(diào)整機(jī)構(gòu)(5)，其通過(guò)調(diào)整路徑(4)向腔室(2)內(nèi)供給去除了粒子的流體，所述調(diào)整用路徑(4)從設(shè)置于殼體(1)的與第一導(dǎo)入口(11)不同的第二導(dǎo)入口(12)連通到腔室(2)；以及將光照射于從導(dǎo)入噴嘴(21)噴出的流體，對(duì)流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)機(jī)構(gòu)(23)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】粒子檢測(cè)裝置以及粒子檢測(cè)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及環(huán)境評(píng)價(jià)技術(shù)，尤其涉及粒子檢測(cè)裝置以及粒子檢測(cè)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在一般的室內(nèi)或無(wú)菌室等超凈間中，有時(shí)使用粒子檢測(cè)裝置檢測(cè)并記錄包含飛散的微生物的粒子(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2以及非專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。光學(xué)式粒子檢測(cè)裝置例如吸引配置有裝置的房間的氣體并將光照射至吸引到的氣體上。若氣體中含有粒子，則照射了光的粒子就會(huì)發(fā)出熒光，或產(chǎn)生散射光，因此，能夠檢測(cè)出氣體中包含的粒子的數(shù)量或大小等。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)I日本特開(kāi)2008-225539號(hào)公報(bào)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2011-83214號(hào)公報(bào)
[0007]非專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0008]非專(zhuān)利文獻(xiàn)I長(zhǎng)谷川倫男等，“気中微生物T ^ A検出技術(shù)i子CO応用(氣體中微生物實(shí)時(shí)檢測(cè)技術(shù)及其應(yīng)用)”，株式會(huì)社山武，azbil Technical Review(阿自倍爾技術(shù)綜述)2009年12月號(hào)，第2-7頁(yè)，2009年


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]本發(fā)明的目的之一在于，提供一種能夠正確地檢測(cè)粒子的粒子檢測(cè)裝置以及粒子檢測(cè)方法。
[0011]用于解決課題的手段
[0012]根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子檢測(cè)裝置，其具有:(a)殼體；(b)配置于殼體的內(nèi)部的腔室；(C)樣品導(dǎo)入路徑，所述樣品導(dǎo)入路徑用于將包含粒子的流體從設(shè)置于殼體的第一導(dǎo)入口導(dǎo)入到所述腔室內(nèi)；(d)調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)通過(guò)調(diào)整用路徑將去除了粒子的流體供給到腔室內(nèi)，對(duì)腔室內(nèi)的流體的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，所述調(diào)整用路徑從設(shè)置于殼體的與第一導(dǎo)入口不同的第二導(dǎo)入口連通到腔室；以及(e)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)將光照射于腔室內(nèi)的流體，對(duì)流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)。
[0013]又，根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子檢測(cè)方法，包括:(a)通過(guò)樣品導(dǎo)入流路將包含粒子的流體從設(shè)置于殼體的第一導(dǎo)入口導(dǎo)入到配置于殼體的內(nèi)部的腔室內(nèi)的步驟；(b)通過(guò)調(diào)整用路徑將去除了粒子的流體供給到腔室內(nèi)，對(duì)腔室內(nèi)的流體的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的步驟，所述調(diào)整用路徑從設(shè)置于殼體的與第一導(dǎo)入口不同的第二導(dǎo)入口連通到腔室；以及(C)將光照射于腔室內(nèi)的流體，對(duì)流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)的步驟。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠正確地檢測(cè)粒子的粒子檢測(cè)裝置以及粒子檢測(cè)方法。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置的示意圖。
[0017]圖2是本發(fā)明的比較例所涉及的粒子檢測(cè)裝置的示意圖。
[0018]圖3是本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。在下面的附圖的記載中，相同或者類(lèi)似的部分用相同或者類(lèi)似的符號(hào)表示。但是，附圖是示意性的圖。因此，具體的尺寸等應(yīng)該對(duì)照以下的說(shuō)明進(jìn)行判斷。又，附圖之間當(dāng)然也包括彼此的尺寸關(guān)系、比例不同的部分。
[0020](第一實(shí)施形態(tài))
[0021]第一實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置如圖1所示，包括:殼體I ;配置于殼體I的內(nèi)部的腔室2 ;設(shè)置于腔室2的導(dǎo)入噴嘴21 ;樣品導(dǎo)入路徑3，所述樣品導(dǎo)入路徑3連接設(shè)置于殼體I的第一導(dǎo)入口 11和設(shè)置于腔室2的導(dǎo)入噴嘴21，用于將包含粒子的流體導(dǎo)入腔室2內(nèi)；調(diào)整機(jī)構(gòu)5，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5通過(guò)調(diào)整用路徑4向腔室2內(nèi)供給去除了粒子的流體，所述調(diào)整用路徑4從設(shè)置于殼體I的與第一導(dǎo)入口 11不同的第二導(dǎo)入口 12連通到腔室2 ;以及檢測(cè)機(jī)構(gòu)23，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)23將光照射于從導(dǎo)入噴嘴21噴出的流體，對(duì)流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)。
[0022]殼體I的形狀是任意的?？梢允褂媒饘僖约皹?shù)脂等作為殼體I的材料，但是不限定于這些。腔室2的形狀以及材料是任意的。但是，腔室2優(yōu)選為具有耐壓性。樣品導(dǎo)入路徑3具有例如由金屬以及樹(shù)脂等構(gòu)成的導(dǎo)管。
[0023]在腔室2中與導(dǎo)入噴嘴21相對(duì)地設(shè)置有排出管嘴22。又，在殼體I中還設(shè)置有排出口 13和排出路徑6，所述排出路徑6連接腔室2的排出管嘴22和殼體I的排出口 13，用于將腔室2內(nèi)的流體排出到殼體I的外部。排出路徑6具有例如由金屬以及樹(shù)脂等構(gòu)成的導(dǎo)管。排出路徑6中設(shè)置有作為排風(fēng)機(jī)的排風(fēng)泵62。
[0024]通過(guò)排風(fēng)泵62被從殼體I的第一導(dǎo)入口 11吸引來(lái)的殼體I外部的氣體等的流體經(jīng)過(guò)樣品導(dǎo)入路徑3以及導(dǎo)入噴嘴21被噴出到腔室2內(nèi)。被噴出到腔室2內(nèi)的流體經(jīng)過(guò)與導(dǎo)入噴嘴21相對(duì)地設(shè)置的排出管嘴22被從腔室2排出，進(jìn)一步經(jīng)過(guò)排出路徑6從設(shè)置于殼體I的排出口 13被排出到殼體I的外部。
[0025]檢測(cè)機(jī)構(gòu)23將光照射于在導(dǎo)入噴嘴21和排出管嘴22之間形成的氣流等流體的流動(dòng)，例如，通過(guò)對(duì)由流體中包含的粒子產(chǎn)生的散射光進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)出粒子的數(shù)量?；蛘撸瑱z測(cè)機(jī)構(gòu)23通過(guò)對(duì)流體中包含的粒子發(fā)出的熒光進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)出被從第一導(dǎo)入口 11導(dǎo)入到腔室2內(nèi)的流體中包含的粒子的數(shù)量。進(jìn)一步地，檢測(cè)機(jī)構(gòu)23用每單位時(shí)間檢測(cè)到的粒子的數(shù)量除以每單位時(shí)間從第一導(dǎo)入口 11吸引到的流體的體積，計(jì)算出流體中的粒子的濃度。
[0026]在此，粒子包括:包含微生物等的生物物質(zhì)、化學(xué)物質(zhì)、塵土、粉塵以及灰塵等的塵埃等。作為微生物的例子，包含細(xì)菌以及真菌。作為細(xì)菌的例子，列舉有革蘭氏陰性菌以及革蘭氏陽(yáng)性菌。作為革蘭氏陰性菌的一例，列舉有大腸桿菌。作為革蘭氏陽(yáng)性菌的例子，列舉有表皮葡萄球菌、枯草桿菌芽孢、微球菌以及棒狀桿菌。作為真菌的例子，列舉有黑霉菌等曲霉。但是，微生物不限定于此。
[0027]如果在流體中包含有微生物等熒光性粒子的話(huà)，則粒子被光照射到會(huì)發(fā)出熒光。微生物中包含的核黃素(riboflavin)、黃素單核苷酸(FMN)、黃素腺嘌呤二核苷酸(FAD)、煙酰胺腺嘌呤二核苷磷酸(NAD (?) H)、批唆胺(pyridoxamine)、5 '-磷酸批口多醒(pyridoxal-5’-phosphate)、卩比卩多醇(pyridoxine)、色氨酸(tryptophan)、酪氨酸(tyrosine)以及苯基丙氨酸(phenylalanine)等會(huì)發(fā)出突光。
[0028]例如，存在有粒子檢測(cè)裝置被配置在超凈間等中的情況下，從殼體I上設(shè)置的排出口 13向殼體I外排出的流體中最好不包含粒子的情況。在該情況下，也可以在排出路徑6中設(shè)置例如HEPA過(guò)濾器(高效空氣過(guò)濾器)等的排風(fēng)過(guò)濾器61。
[0029]在腔室2的導(dǎo)入噴嘴21中，流體的截面積被收緊，流速增加，壓力降低。因此，在形成于導(dǎo)入噴嘴21和排出管嘴22之間的流體的流動(dòng)的周?chē)鷷?huì)產(chǎn)生對(duì)流。又，由于腔室2內(nèi)的壓力降低，來(lái)自排出管嘴22的流體的排出有時(shí)無(wú)法順利進(jìn)行。如果腔室2內(nèi)產(chǎn)生對(duì)流，或腔室2內(nèi)的壓力下降的話(huà)，則粒子就會(huì)滯留在腔室2內(nèi)部。如果粒子滯留在腔室2內(nèi)部，則由于檢測(cè)機(jī)構(gòu)23對(duì)相同的粒子進(jìn)行多次檢測(cè)，因此就難以正確地檢測(cè)出流體的每單位體積中包含的粒子的數(shù)量。
[0030]對(duì)此，第一實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置具有調(diào)整機(jī)構(gòu)5，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5通過(guò)調(diào)整用路徑4將去除了粒子的流體供給到腔室2內(nèi)，對(duì)腔室2的壓力進(jìn)行加壓等，或?qū)η皇?內(nèi)的流體進(jìn)行整流，從而調(diào)整腔室2內(nèi)的流體的狀態(tài)，所述調(diào)整用路徑4從設(shè)置于殼體I的與第一導(dǎo)入口 11不同的第二導(dǎo)入口 12連通到腔室2。由此，就能夠?qū)Ｗ拥牧黧w從排出管嘴22順利地排出。
[0031]調(diào)整用路徑4具有例如由金屬以及樹(shù)脂等構(gòu)成的導(dǎo)管。調(diào)整用路徑4上例如設(shè)置有第一過(guò)濾器51、調(diào)整泵52、流量計(jì)53以及第二過(guò)濾器54。通過(guò)調(diào)整泵52，從第二導(dǎo)入口12吸引到的殼體I外部的流體中包含的粒子通過(guò)第一過(guò)濾器51以及第二過(guò)濾器54被去除。流量計(jì)53例如對(duì)每單位時(shí)間通過(guò)調(diào)整泵52被供給到腔室2的、去除了粒子的流體的體積等流量進(jìn)行測(cè)量。
[0032]在此，在本發(fā)明的參考例中，如圖2所示，在殼體I中設(shè)置有單一的導(dǎo)入口 111，在連接于單一的導(dǎo)入口 111的共同路徑103上，連接有調(diào)整機(jī)構(gòu)105的調(diào)整用路徑104和樣品導(dǎo)入路徑3。調(diào)整泵152將流體的一部分從共同路徑103吸引至調(diào)整用路徑104，吸引到的流體中包含的粒子通過(guò)第一過(guò)濾器151以及第二過(guò)濾器154被去除。去除了粒子的流體為了對(duì)腔室2內(nèi)的壓力進(jìn)行加壓等調(diào)整而被供給到腔室2。
[0033]檢測(cè)機(jī)構(gòu)123用每單位時(shí)間檢測(cè)到的粒子的數(shù)量除以每單位時(shí)間被吸引到樣品導(dǎo)入路徑3的流體的體積，計(jì)算出流體中的粒子的濃度。例如，每單位時(shí)間有40L的流體被從單一導(dǎo)入口 111吸引，在分歧點(diǎn)200，10L的流體被分配給調(diào)整用路徑104，30L的流體被分配給樣品導(dǎo)入路徑3。在該情況下，檢測(cè)機(jī)構(gòu)123用每單位時(shí)間檢測(cè)到的粒子的數(shù)量除以分配給樣品導(dǎo)入路徑3的流體的體積、即30L，計(jì)算出粒子的濃度。
[0034]但是，在分歧點(diǎn)200，去到調(diào)整用路徑104的粒子的數(shù)量與去到樣品導(dǎo)入路徑3的粒子的數(shù)量的比不一定和被分配給調(diào)整用路徑104的流體的體積與被分配給樣品導(dǎo)入路徑3的流體的體積的比一致。例如,在每單位時(shí)間有10L的流體被分配給調(diào)整用路徑104、每單位時(shí)間有30L的流體被分配給樣品導(dǎo)入路徑3的情況下，被分配給調(diào)整用路徑104的流體的體積與不分配給樣品導(dǎo)入路徑3的流體的體積的比是1:3。但是，在分歧點(diǎn)200，如果共同路徑103和樣品導(dǎo)入路徑3被配置在直線(xiàn)上的話(huà)，則具有粒子由于慣性力，相比于調(diào)整用路徑104更多地流動(dòng)到樣品導(dǎo)入路徑3的傾向。因此，本發(fā)明的
【發(fā)明者】發(fā)現(xiàn)，如果用檢測(cè)機(jī)構(gòu)123檢測(cè)到的粒子的數(shù)量除以被分配給樣品導(dǎo)入路徑3的流體的體積，從而計(jì)算出流體中的粒子的濃度的話(huà)，就會(huì)比實(shí)際的濃度要高。
[0035]對(duì)此，在圖1中示出的實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置中，調(diào)整用路徑4不從樣品導(dǎo)入路徑3分支，用于腔室2內(nèi)的壓力調(diào)整的流體被從設(shè)置于殼體I的與第一導(dǎo)入口 11不同的第二導(dǎo)入口 12吸引。因此，由于調(diào)整用路徑4與樣品導(dǎo)入路徑3相獨(dú)立，調(diào)整用路徑4沒(méi)有從樣品導(dǎo)入路徑3分支等，所以即使檢測(cè)機(jī)構(gòu)123用每單位時(shí)間檢測(cè)到的粒子的數(shù)量除以每單位時(shí)間被從第一導(dǎo)入口 11吸引并流過(guò)樣品導(dǎo)入路徑3的流體的體積，從而計(jì)算出流體中的粒子的濃度，也不會(huì)產(chǎn)生誤差。因此，根據(jù)第一實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置，就能夠正確地檢測(cè)出流體中包含的粒子的數(shù)量或濃度。
[0036](第二實(shí)施形態(tài))
[0037]第二實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置的調(diào)整機(jī)構(gòu)5如圖3所示，具有對(duì)作為流體的氣體進(jìn)行壓縮的壓縮機(jī)55。作為從壓縮機(jī)55送出的加壓流體的壓縮氣體經(jīng)過(guò)第一過(guò)濾器51、調(diào)壓器56、控制閥57以及第二過(guò)濾器54，被送入腔室2內(nèi)。第一過(guò)濾器51、調(diào)壓器56、控制閥57以及第二過(guò)濾器54被設(shè)置于通過(guò)第二導(dǎo)入口 12的調(diào)整用路徑4。
[0038]旁路路徑71在調(diào)整用路徑4的調(diào)壓器56以及控制閥57之間的部分70進(jìn)行分支，旁路路徑71合流于排出路徑6。第一過(guò)濾器51以及第二過(guò)濾器54將壓縮氣體中包含的粒子去除。調(diào)壓器56調(diào)節(jié)被供給到腔室2內(nèi)的壓縮氣體的壓力?？刂崎y57對(duì)被分配到調(diào)整用路徑4和旁路路徑71的壓縮氣體的分配比進(jìn)行調(diào)整。
[0039]在旁路路徑71和排出路徑6的合流部配置有噴射器63。壓縮氣體被從旁路路徑71供給到噴射器63，由此，噴射器63吸引腔室2內(nèi)的流體。根據(jù)第二實(shí)施形態(tài)所涉及的粒子檢測(cè)裝置，由于通過(guò)壓縮機(jī)55，使得向腔室2內(nèi)部的壓縮氣體的供給和從腔室2內(nèi)部的排氣雙方都能夠進(jìn)行，因此能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的簡(jiǎn)化和能量消耗的降低等。
[0040](其他實(shí)施形態(tài))
[0041]如上所述，根據(jù)實(shí)施形態(tài)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了記載，但是，不應(yīng)該理解為構(gòu)成該公開(kāi)的一部分的記述以及附圖限制了該發(fā)明。根據(jù)該公開(kāi)，各種各樣的代替實(shí)施形態(tài)、實(shí)施例以及運(yùn)用技術(shù)對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)應(yīng)該是很明顯的。例如，圖1以及圖3中示出的檢測(cè)機(jī)構(gòu)23也可以通過(guò)測(cè)量通過(guò)兩條激光光線(xiàn)之間的粒子的飛行時(shí)間，來(lái)計(jì)算出粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑。這樣一來(lái)，應(yīng)該理解本發(fā)明包含了在此處沒(méi)有記載的各種各樣的實(shí)施形態(tài)等。
[0042]符號(hào)說(shuō)明
[0043]I 殼體
[0044]2 腔室
[0045]3 樣品導(dǎo)入路徑
[0046]4 調(diào)整用路徑
[0047]5 調(diào)整機(jī)構(gòu)
[0048]6 排出路徑
[0049]11 第一導(dǎo)入口
[0050]12 第二導(dǎo)入口
[0051]13 排出口
[0052]21導(dǎo)入噴嘴
[0053]22排出管嘴
[0054]23檢測(cè)機(jī)構(gòu)
[0055]51第一過(guò)濾器
[0056]52調(diào)整泵
[0057]53流量計(jì)
[0058]54第二過(guò)濾器
[0059]55壓縮機(jī)
[0060]56調(diào)壓器
[0061]57控制閥
[0062]61排風(fēng)過(guò)濾器
[0063]62排風(fēng)泵
[0064]63噴射器
[0065]70 部分
[0066]71旁路路徑
[0067]103共同路徑
[0068]104調(diào)整用路徑
[0069]105調(diào)整機(jī)構(gòu)
[0070]111 導(dǎo)入口
[0071]123檢測(cè)機(jī)構(gòu)
[0072]151第一過(guò)濾器
[0073]152調(diào)整泵
[0074]154第二過(guò)濾器
[0075]200 分歧點(diǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種粒子檢測(cè)裝置，其特征在于，具有: 殼體； 配置于所述殼體的內(nèi)部的腔室； 樣品導(dǎo)入路徑，所述樣品導(dǎo)入路徑用于將包含粒子的流體從設(shè)置于所述殼體的第一導(dǎo)入口導(dǎo)入到所述腔室內(nèi)； 調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)通過(guò)調(diào)整用路徑將去除了粒子的流體供給到所述腔室內(nèi)，對(duì)所述腔室內(nèi)的流體的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整，所述調(diào)整用路徑從設(shè)置于所述殼體的與所述第一導(dǎo)入口不同的第二導(dǎo)入口連通到所述腔室；以及 檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)將光照射于所述腔室內(nèi)的所述流體，對(duì)所述流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)。
2.如權(quán)利要求1所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)從所述第一導(dǎo)入口導(dǎo)入到所述腔室內(nèi)的流體的每單位體積的所述粒子的數(shù)量進(jìn)行檢測(cè)。
3.如權(quán)利要求1或2所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)具有: 用于將所述流體供給到所述腔室內(nèi)的調(diào)整泵；和 用于去除所述流體中包含的粒子的過(guò)濾器。
4.如權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有: 被設(shè)置于所述腔室的、與所述樣品導(dǎo)入路徑連接的導(dǎo)入噴嘴； 在所述腔室中與所述導(dǎo)入噴嘴相對(duì)地設(shè)置的排出管嘴；以及 排出路徑，所述排出路徑連接設(shè)置于所述殼體的排出口和所述排出管嘴，用于將所述腔室內(nèi)的流體排出到所述殼體的外部。
5.如權(quán)利要求4所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于， 還具有旁路路徑，所述旁路路徑從所述調(diào)整用路徑分支出來(lái)，并與所述排出路徑合流， 在所述旁路路徑和所述排出路徑的合流部配置有噴射器， 通過(guò)從所述旁路路徑向所述噴射器供給加壓流體，所述噴射器對(duì)所述腔室內(nèi)的流體進(jìn)行吸引。
6.如權(quán)利要求1至5中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)所述腔室內(nèi)的壓力進(jìn)行調(diào)整。
7.如權(quán)利要求1至6中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述調(diào)整機(jī)構(gòu)對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行整流。
8.如權(quán)利要求1至7中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)由所述粒子產(chǎn)生的散射光進(jìn)行檢測(cè)。
9.如權(quán)利要求1至8中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)所述粒子發(fā)出的熒光進(jìn)行檢測(cè)。
10.一種粒子檢測(cè)方法，其特征在于，包括: 通過(guò)樣品導(dǎo)入路徑將包含粒子的流體從設(shè)置于殼體的第一導(dǎo)入口導(dǎo)入到配置于所述殼體的內(nèi)部的腔室內(nèi)的步驟； 通過(guò)調(diào)整用路徑將去除了粒子的流體供給到所述腔室內(nèi)，對(duì)所述腔室內(nèi)的流體的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的步驟，所述調(diào)整用路徑從設(shè)置于所述殼體的與所述第一導(dǎo)入口不同的第二導(dǎo)入口連通到所述腔室；以及 將光照射于所述腔室內(nèi)的所述流體，對(duì)所述流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)的步驟。
11.如權(quán)利要求10所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在對(duì)所述流體中包含的粒子進(jìn)行檢測(cè)的步驟中，對(duì)從所述第一導(dǎo)入口導(dǎo)入到所述腔室內(nèi)的流體的每單位體積的所述粒子的數(shù)量進(jìn)行檢測(cè)。
12.如權(quán)利要求10或11所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在通過(guò)所述調(diào)整用路徑將去除了粒子的流體供給到所述腔室內(nèi)的步驟中，使用調(diào)整泵， 在所述調(diào)整用路徑上設(shè)置用于去除所述粒子的過(guò)濾器。
13.如權(quán)利要求10至12中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在所述腔室設(shè)置連接于所述樣品導(dǎo)入路徑的導(dǎo)入噴嘴， 所述粒子檢測(cè)方法還包括通過(guò)排出路徑將所述腔室內(nèi)的流體排出到所述殼體的外部的步驟，所述排出路徑連接在所述腔室中與所述導(dǎo)入噴嘴相對(duì)地設(shè)置的排出管嘴和設(shè)置于所述殼體的排出口。
14.如權(quán)利要求13所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于，還包括: 將加壓流體供給到旁路路徑的步驟，所述旁路路徑從所述調(diào)整用路徑分支出來(lái)，通過(guò)噴射器與所述排出路徑合流；以及 所述噴射器吸引所述腔室內(nèi)的流體的步驟。
15.如權(quán)利要求10至14中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在對(duì)所述腔室內(nèi)的流體的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的步驟中，調(diào)整所述腔室內(nèi)的壓力。
16.如權(quán)利要求10至15中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在對(duì)所述腔室內(nèi)的流體的狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的步驟中，對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行整流。
17.如權(quán)利要求10至16中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在對(duì)所述粒子進(jìn)行檢測(cè)的步驟中，對(duì)由所述粒子產(chǎn)生的散射光進(jìn)行檢測(cè)。
18.如權(quán)利要求10至17中的任意一項(xiàng)所記載的粒子檢測(cè)方法，其特征在于， 在對(duì)所述粒子進(jìn)行檢測(cè)的步驟中，對(duì)所述粒子發(fā)出的熒光進(jìn)行檢測(cè)。
【文檔編號(hào)】G01N15/06GK104165826SQ201410206025
【公開(kāi)日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年5月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月17日
【發(fā)明者】村上久彌 申請(qǐng)人:阿自倍爾株式會(huì)社