彈性波式壓力傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了彈性波式壓力傳感器，包括印制電路板（1）、石英基座（2）、壓力器件（3）、壓力敏感屏（4）、換能器（6）和擋板圈（8），所述的石英基座（2）位于印制電路板（1）的正下方；所述的壓力器件（3）的頂部設(shè)置有壓力敏感屏（4），在壓力敏感屏（4）的頂部還設(shè)置有換能器（6），壓力器件（3）卡接在印制電路板（1）和石英基座（2）所形成的直角腔體上；所述的印制電路板（1）的正上方還設(shè)置有石英帽（5），在印制電路板（1）的外圍設(shè)置有一圈擋板（8）。本實(shí)用新型通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，只需通過(guò)與延遲時(shí)間成反比的震蕩頻率即可輸出壓力信號(hào)，功耗低且可靠性好，在印制電路板外圍還設(shè)置有擋板與其它部件隔離，防止電路板被壓壞。
【專(zhuān)利說(shuō)明】彈性波式壓力傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及壓力傳感器，具體涉及彈性波式壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào)，模擬信號(hào)是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號(hào)?；蛟谝欢芜B續(xù)的時(shí)間間隔內(nèi)，其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號(hào)。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱(chēng)為壓電傳感器。壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量輕，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。但是現(xiàn)有的壓力傳感器無(wú)法根據(jù)延遲時(shí)間成反比的震蕩頻率來(lái)輸出壓力信號(hào)，功耗高，可靠性差。且現(xiàn)有的壓力傳感器上的電路板沒(méi)有設(shè)置專(zhuān)門(mén)的擋板與其它器件隔離，印刷電路板容易受到損壞。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供彈性波式壓力傳感器，只需通過(guò)與延遲時(shí)間成反比的震蕩頻率即可輸出壓力信號(hào)，功耗低且可靠性好，在印制電路板外圍還設(shè)置有擋板與其它部件隔離，防止電路板被壓壞。
[0004]為解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:彈性波式壓力傳感器，包括印制電路板、石英基座、壓力器件、壓力敏感屏、換能器和擋板圈，所述的石英基座位于印制電路板的正下方；所述的壓力器件的頂部設(shè)置有壓力敏感屏，在壓力敏感屏的頂部還設(shè)置有換能器，壓力器件卡接在印制電路板和石英基座所形成的直角腔體上；所述的印制電路板的正上方還設(shè)置有石英帽，在印制電路板的外圍設(shè)置有一圈擋板。
[0005]所述的印制電路板為雙面板。
[0006]所述的換能器上連接有運(yùn)算放大器。
[0007]所述的石英帽的底部設(shè)置有氣密封。
[0008]所述的石英帽的形狀為L(zhǎng)型。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0010]1、本實(shí)用新型只需通過(guò)表面彈性波傳播的延遲時(shí)間成反比的震蕩頻率，即可輸出壓力信號(hào)，該信號(hào)準(zhǔn)確度高、溫度特性好、功耗小且可靠性高。
[0011]2、在印制電路板的外圍還設(shè)置有一圈擋板，與印制電路板外圍部件隔開(kāi)，避免印制電路板被壓壞。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中附圖標(biāo)記分別表示為:1、印制電路板；2、石英基座；3、壓力器件；4、壓力敏感屏；5、石英帽；6、換能器；7、氣密封；8、擋板。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步闡述，本實(shí)用新型的實(shí)施例不限于此。
[0015]實(shí)施例:
[0016]如I圖所示，本實(shí)用新型包括印制電路板1、石英基座2、壓力器件3、壓力敏感屏
4、換能器6和擋板圈8，印制電路板I為雙面板，換能器上連接有運(yùn)算放大器，石英帽5的底部設(shè)置有氣密封7，石英帽5的形狀為L(zhǎng)型。本實(shí)用新型的石英基座2位于印制電路板I的正下方；壓力器件3的頂部設(shè)置有壓力敏感屏4，在壓力敏感屏4的頂部還設(shè)置有換能器6，壓力器件3卡接在印制電路板I和石英基座2所形成的直角腔體上。本實(shí)用新型的印制電路板I的正上方還設(shè)置有石英帽5，在印制電路板I的外圍設(shè)置有一圈擋板8。
[0017]換能器設(shè)置在薄膜敏感屏的邊緣，換能器是由拋光的壓電基片上設(shè)置兩個(gè)金屬叉指構(gòu)成，若給換能器加上電信號(hào)，便由逆壓電效應(yīng)在換能器的壓電基片表面上激勵(lì)起彈性表面波，并傳播電信號(hào)經(jīng)過(guò)運(yùn)算放大器放大反饋保持震蕩狀態(tài)，表面彈性波的傳播時(shí)間即為延遲時(shí)間，根據(jù)與延遲時(shí)間成反比的震蕩頻率，即可輸出壓力信號(hào)。該裝置提高了測(cè)量精度，減小了溫度對(duì)壓力傳感器的影響，準(zhǔn)確度高、溫度特性好、功耗小且可靠性高。在印制電路板的外圍還設(shè)置有一圈擋板，與印制電路板外圍部件隔開(kāi)，避免印制電路板被壓壞。
[0018]如上所述便可實(shí)現(xiàn)該實(shí)用新型。
【權(quán)利要求】
1.彈性波式壓力傳感器，其特征在于:包括印制電路板(I)、石英基座(2)、壓力器件(3)、壓力敏感屏(4)、換能器(6)和擋板圈(8)，所述的石英基座(2)位于印制電路板(I)的正下方；所述的壓力器件(3)的頂部設(shè)置有壓力敏感屏(4)，在壓力敏感屏(4)的頂部還設(shè)置有換能器(6)，壓力器件(3)卡接在印制電路板(I)和石英基座(2)所形成的直角腔體上；所述的印制電路板(I)的正上方還設(shè)置有石英帽(5)，在印制電路板(I)的外圍設(shè)置有一圈擋板(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波式壓力傳感器，其特征在于:所述的印制電路板(I)為雙面板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波式壓力傳感器，其特征在于:所述的換能器上連接有運(yùn)算放大器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波式壓力傳感器，其特征在于:所述的石英帽(5)的底部設(shè)置有氣密封(7)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波式壓力傳感器，其特征在于:所述的石英帽(5)的形狀為L(zhǎng)型。
【文檔編號(hào)】G01L1/25GK203572603SQ201320770024
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年11月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月30日
【發(fā)明者】吳磊, 劉杰, 宋德林, 陳鵬, 梁浩, 王全北 申請(qǐng)人:成都國(guó)科海博信息技術(shù)股份有限公司