一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置，包括依次設(shè)置的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器、快慢軸準(zhǔn)直透鏡組件、具有放大作用的顯微物鏡、位置可調(diào)的孔徑光闌、以及偏振分束棱鏡，透過孔徑光闌的光經(jīng)偏振分束棱鏡，分為TE偏振光和TM偏振光，在形成的透射光路和反射光路上分別設(shè)置有光功率探測器。本實用新型能夠測量多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器的空間偏振信息，進(jìn)而實現(xiàn)定量評價半導(dǎo)體激光器封裝所所產(chǎn)生的應(yīng)力，從而改善封裝工藝。
【專利說明】一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種用以測試多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器封裝產(chǎn)生的應(yīng)力的裝置?！颈尘凹夹g(shù)】:
[0002]半導(dǎo)體激光器封裝產(chǎn)生的應(yīng)力嚴(yán)重制約著器件的輸出光功率、工作壽命和光譜特性，是造成大功率半導(dǎo)體激光器可靠性差的主要因素，測試半導(dǎo)體激光器封裝產(chǎn)生的應(yīng)力方法很多，包括通過陰極熒光分析法(CL)、微熒光光譜分析法(μ-PL)、微拉曼光譜法(μ -R)、光電流光譜法(PC)等，這些方法需要昂貴試驗設(shè)備，試驗過程復(fù)雜。
[0003]關(guān)于半導(dǎo)體激光器的偏振測試，目前主要是測試半導(dǎo)體激光器整體的偏振特性，反映的是半導(dǎo)體激光器整體的偏振性能優(yōu)劣，整體的偏振特性無法表征半導(dǎo)體激光器封裝產(chǎn)生的應(yīng)力分布。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型提供了一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置，能夠測量多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器的空間偏振信息，進(jìn)而實現(xiàn)定量評價半導(dǎo)體激光器封裝所所產(chǎn)生的應(yīng)力，從而改善封裝工藝。
[0005]本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試方法，包括以下步驟:
[0007](I)對多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光進(jìn)行快軸準(zhǔn)直和慢軸準(zhǔn)直；
[0008](2)經(jīng)過快軸準(zhǔn)`直和慢軸準(zhǔn)直后，將多個發(fā)光單元整體在空間上放大，放大后的發(fā)光單元經(jīng)過一個孔徑光闌，調(diào)節(jié)孔徑光闌的位置以及通光孔徑只允許一個發(fā)光單元的光通過；
[0009](3)每個發(fā)光單元的光經(jīng)過孔徑光闌后，入射到偏振分束棱鏡中分成TE和TM兩種不同偏振態(tài)的光，利用光電探測器對兩路偏振光分別進(jìn)行功率測試，得到該發(fā)光單元的偏振特性；
[0010](4)保持多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器位置不動，通過移動孔徑光闌，按照步驟(3)依次對每個發(fā)光單元的偏振特性進(jìn)行測試；
[0011](5)最后得到所有發(fā)光單元的偏振特性，形成空間偏振信息圖。
[0012]上述步驟(3)中，利用光電探測器測得每個發(fā)光單元的兩路偏振光的功率Pte和
Ptm ;計算出該發(fā)光單兀的偏振度
【權(quán)利要求】
1.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置，包括依次設(shè)置的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器、快慢軸準(zhǔn)直透鏡組件、具有放大作用的顯微物鏡、位置可調(diào)的孔徑光闌、以及偏振分束棱鏡，透過孔徑光闌的光經(jīng)偏振分束棱鏡，分為TE偏振光和TM偏振光,在形成的透射光路和反射光路上分別設(shè)置有光功率探測器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置，其特征在于:孔徑光闌采用高熱導(dǎo)率的金屬材料制成，在孔徑光闌的表面涂覆吸光材料；所述的高熱導(dǎo)熱率金屬材料為銅、金、銅鎢、或者銅金剛石復(fù)合材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置，其特征在于:在孔徑光闌處設(shè)置風(fēng)扇進(jìn)行風(fēng)冷。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間偏振測試裝置，其特征在于:在孔徑光闌上設(shè)置微通道水路或者宏通道水路進(jìn)行散熱。
【文檔編號】G01M11/02GK203629789SQ201320660825
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月24日
【發(fā)明者】王貞福, 劉興勝 申請人:西安炬光科技有限公司