用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)、罐體及旋涂的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)，以及包括這種壓力檢測系統(tǒng)的罐體和旋涂機。所述旋涂機包括用于容納溶劑的罐體，所述壓力檢測系統(tǒng)包括：壓力檢測裝置和控制系統(tǒng)，其中，所述壓力檢測裝置包括附接至罐體的壓力傳感裝置，并用于檢測和判斷罐體的內(nèi)部壓力是否處于預(yù)定范圍內(nèi)；所述控制系統(tǒng)用于控制壓力檢測裝置的啟動，以及控制旋涂機的工作和停止。
【專利說明】用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)、罐體及旋涂機
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種用于旋涂機罐體的壓力檢測系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]如今，各種類型的旋涂機已廣泛應(yīng)用于硅片加工領(lǐng)域。由日本TEL (TOKYOELECTRON LTD.)公司生產(chǎn)的硅片旋涂機臺——SOG MARK-8機臺為一代表性裝置。所述旋涂機臺包括一用于容納溶劑的罐體。所述罐體由上罐體部分、下罐體部分和嵌合部分組成。所述上罐體部分和下罐體部分相對設(shè)置，并在其中形成中空腔室，用于容納溶劑。所述嵌合部分設(shè)置在所述上罐體部分和下罐體部分的結(jié)合位置處，用于使得上罐體部分和下罐體部分相對固定并封閉整個罐體結(jié)構(gòu)。
[0003]然而，由于無法確認(rèn)所述嵌合部分相對于所述上罐體部分和下罐體部分的密封完好性，在旋涂機的操作過程中可能存在以下問題:即在旋涂機的工作過程中，由于罐體密封不足或溶劑泄漏，造成旋涂機的罐體內(nèi)部的壓力不足，從而導(dǎo)致沒有適當(dāng)?shù)娜軇┝枯敵龊屯扛苍诨稀?br> 實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型提供了一種用于旋涂機罐體的壓力檢測系統(tǒng)，用于解決以上問題。
[0005]本實用新型的一個實施例公開了一種用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)，所述旋涂機包括用于容納溶劑的罐體，其特征在于:所述壓力檢測系統(tǒng)包括:壓力檢測裝置和控制系統(tǒng)，其中，所述壓力檢測裝置包括附接至罐體的壓力傳感裝置，并用于檢測和判斷罐體的內(nèi)部壓力是否處于預(yù)定范圍內(nèi)；所述控制系統(tǒng)用于控制壓力檢測裝置的啟動，以及控制旋涂機的工作和停止。
[0006]所述控制系統(tǒng)包括計時單元，所述計時單元在罐體接收到工作電壓的同時接收一計數(shù)信號，并延時預(yù)定時間量后啟動壓力檢測裝置進(jìn)行檢測。
[0007]所述計時單元延遲的預(yù)定時間量為10秒。
[0008]所述控制系統(tǒng)還包括計數(shù)警報單元，所述計數(shù)警報單元用于接收所述壓力檢測裝置的判斷結(jié)果，并基于所述判斷結(jié)果控制旋涂機的工作和停止，
[0009]當(dāng)所述判斷結(jié)果為不滿足預(yù)定要求的情況并且達(dá)到預(yù)定數(shù)量時，所述計數(shù)警報單元發(fā)出警報。
[0010]所述計數(shù)警報單元設(shè)置為在整個旋涂過程結(jié)束后切換旋涂機停止并發(fā)出警報。
[0011]本實用新型還公開了一種用于旋涂機的罐體，其包括:用于容納用于旋涂機的溶劑的罐體，以及如上所述的用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)。
[0012]本實用新型還公開了一種旋涂機，其包括:旋涂機臺，用于容納用于旋涂機的溶劑的罐體，以及如上所述的用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)。
[0013]本實用新型公開的壓力檢測系統(tǒng)具有以下優(yōu)點:通過在原有溶劑罐體上加裝壓力檢測傳感器來監(jiān)測在操作過程中罐體內(nèi)的壓力是否穩(wěn)定在一預(yù)定范圍內(nèi)，解決了無法確認(rèn)所述嵌合部分相對于所述上罐體部分和下罐體部分的密封完好性的問題，避免了由于壓力不當(dāng)?shù)脑蚨斐傻漠a(chǎn)品涂覆異常，提供了生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]通過結(jié)合以下附圖所作的詳細(xì)描述，本實用新型的上述和/或其他方面和優(yōu)點將變得更清楚和更容易理解，這些附圖只是示意性的，并不限制本實用新型，其中:
[0015]圖1示出了旋涂機的罐體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2示出了壓力檢測系統(tǒng)的整體示意圖；
[0017]圖3示出了壓力檢測系統(tǒng)的工作流程圖。
【具體實施方式】
[0018]本實用新型總體涉及用于硅片旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)。
[0019]如圖1所示，旋涂機一般包括一用于容納溶劑的罐體10。所述罐體10由上罐體部分11、下罐體部分12和嵌合部分13組成。所述上罐體部分11和下罐體部分12相對設(shè)置，并在其中形成中空腔室，用于容納溶劑。所述嵌合部分13設(shè)置在所述上罐體部分11和下罐體部分12的結(jié)合位置處，用于使得上罐體部分11和下罐體部分12相對固定并封閉整個罐體結(jié)構(gòu)。
[0020]如圖2所示，本實用新型中的一個實施方式通過壓力檢測系統(tǒng)20來監(jiān)測在操作過程中罐體10內(nèi)的壓力是否穩(wěn)定在一預(yù)定范圍內(nèi)。
[0021]所述壓力檢測系統(tǒng)20包括:壓力檢測裝置21和控制系統(tǒng)22。
[0022]所述壓力檢測裝置21包括附接至罐體10上的壓力傳感裝置(圖中未示出)。所述壓力檢測裝置21接收所述壓力傳感裝置所檢測的所述罐體10內(nèi)部的壓力值并判斷所述檢測的壓力是否處于預(yù)定范圍內(nèi)。所述控制系統(tǒng)22用于控制壓力檢測裝置21的啟動，以及控制旋涂機的工作和停止。
[0023]所述控制系統(tǒng)可包括計時單元23，所述計時單元23在罐體10接收到工作電壓的同時接收一計數(shù)信號，并延時預(yù)定時間量后啟動壓力檢測裝置21進(jìn)行檢測。所述計時單元23所延遲的預(yù)定時間量可以為例如10s，即在罐體10開始工作后IOs啟動壓力檢測裝置21進(jìn)行檢測。
[0024]所述控制系統(tǒng)22還可包括計數(shù)警報單元24，所述計數(shù)警報單元24用于接收所述壓力檢測裝置21的判斷結(jié)果，并基于所述判斷結(jié)果控制旋涂機的工作和停止，其中，當(dāng)所述判斷結(jié)果為不滿足預(yù)定要求的情況并且達(dá)到預(yù)定數(shù)量時，所述計數(shù)警報單元24發(fā)出警報。在本實施例中，所述預(yù)定數(shù)量可設(shè)定為I次。
[0025]為了保證旋涂機的工作流暢性，所述計數(shù)警報單元24可設(shè)置為在整個旋涂過程結(jié)束后切換旋涂機停止并發(fā)出警報。
[0026]如圖2所示，所述壓力檢測系統(tǒng)20的工作過程如下所述。
[0027]打開N2閥，并向旋涂機的罐體10內(nèi)開始加壓。同時，啟動壓力檢測系統(tǒng)20并使得計時單元23啟動并開始計時。在延時預(yù)定時間量后，所述計時單元23觸發(fā)壓力傳感裝置開始對罐體內(nèi)部的壓力進(jìn)行檢測。所述壓力檢測裝置21接收所述壓力傳感裝置所檢測的所述罐體10內(nèi)部的壓力值并判斷所述檢測的壓力是否處于預(yù)定范圍內(nèi)。當(dāng)判斷結(jié)果為壓力值正常時，觸發(fā)與罐體10連接的溶劑管閥25，輸出溶劑并完成旋涂任務(wù)；當(dāng)判斷結(jié)果為壓力值不正常時，啟動計數(shù)警報單元24，并在計數(shù)結(jié)果達(dá)到預(yù)定數(shù)量后(例如I次)，在整個旋涂過程結(jié)束后切換旋涂機停止并發(fā)出警報。
[0028]本實用新型公開的壓力檢測系統(tǒng)可用于例如TEL Mark-8系列中的SOG機臺的SOG溶劑的罐體的壓力檢測和Track機臺的光阻溶劑的罐體的壓力偵測，還可應(yīng)用于例如TELACT-8系列中的機臺的光阻溶劑的罐體的壓力偵測。
[0029]通過使用本實用新型中的壓力檢測系統(tǒng)，對溶劑罐體內(nèi)的壓力值進(jìn)行了很好的監(jiān)測，避免了由于壓力不當(dāng)?shù)脑蚨斐傻漠a(chǎn)品涂覆異常的問題，大大減少了廢片的產(chǎn)生，提供了生產(chǎn)效率。
[0030]以上已經(jīng)通過實施例對本實用新型的結(jié)構(gòu)、優(yōu)點和特征進(jìn)行了描述。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知道:上述的描述僅僅為舉例，而不是限定性的。本【技術(shù)領(lǐng)域】中的普通技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的前提下，可進(jìn)行各種等同的改變和替換。
【權(quán)利要求】
1.一種用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)，所述旋涂機包括用于容納溶劑的罐體，其特征在于: 所述壓力檢測系統(tǒng)包括:壓力檢測裝置和控制系統(tǒng)， 其中，所述壓力檢測裝置包括附接至罐體的壓力傳感裝置，并用于檢測和判斷罐體的內(nèi)部壓力是否處于預(yù)定范圍內(nèi)； 所述控制系統(tǒng)用于控制壓力檢測裝置的啟動，以及控制旋涂機的工作和停止。
2.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括計時單元，所述計時單元在罐體接收到工作電壓的同時接收一計數(shù)信號，并延時預(yù)定時間量后啟動壓力檢測裝置進(jìn)行檢測。
3.如權(quán)利要求2所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計時單元延遲的預(yù)定時間量為10秒。
4.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還包括計數(shù)警報單元，所述計數(shù)警報單元用于接收所述壓力檢測裝置的判斷結(jié)果，并基于所述判斷結(jié)果控制旋涂機的工作和停止。
5.如權(quán)利要求4所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計數(shù)警報單元構(gòu)造為當(dāng)所述判斷結(jié)果為不滿足預(yù)定要求的情況并且達(dá)到預(yù)定數(shù)量時，所述計數(shù)警報單元發(fā)出警報。
6.如權(quán)利要求5所述的壓力檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計數(shù)警報單元設(shè)置為在整個旋涂過程結(jié)束后切換旋涂機停止并發(fā)出警報。
7.一種用于旋涂機的罐體，其包括: 用于容納用于旋涂機的溶劑的罐體，以及 如權(quán)利要求1所述的用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)。
8.一種旋涂機，其包括: 旋涂機臺， 用于容納用于旋涂機的溶劑的罐體，以及 如權(quán)利要求1所述的用于旋涂機的壓力檢測系統(tǒng)。
【文檔編號】G01L19/12GK203648806SQ201320543082
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年9月3日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月3日
【發(fā)明者】趙久嵩, 甄宗沛, 蘇云雷, 安禮余 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司