可檢測污染層的環(huán)境傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種環(huán)境傳感器和操作環(huán)境傳感器的方法。環(huán)境傳感器包括：包含光傳感器的半導(dǎo)體襯底；表層，環(huán)境光可以通過該表層傳遞到達(dá)光傳感器，和光源，該光源被設(shè)置為照亮表層，該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上，其中，所述環(huán)境傳感器設(shè)置為通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。
【專利說明】可檢測污染層的環(huán)境傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種環(huán)境傳感器。本發(fā)明還涉及一種操作環(huán)境傳感器的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]環(huán)境傳感器可以用于確定各種環(huán)境中的各種物理參數(shù)，如溫度，光強度，壓力，應(yīng)變，沖擊，濕度，二氧化碳和其它氣體，各種環(huán)境包括建筑物(如住宅，辦公室，倉庫，溫室等)，汽車和卡車等車輛(例如在乘客車廂，或在車輛的發(fā)動機)，體外甚至體內(nèi)應(yīng)用。
[0003]使家庭和樓宇更智能是明顯的社會趨勢，意味著住宅和建筑物的生態(tài)足跡須盡可能多的減少。家庭和樓宇中的許多能源用于供暖，通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)。二氧化碳傳感器可以監(jiān)測空氣質(zhì)量，與溫度和濕度傳感器一起反饋暖通空調(diào)系統(tǒng)的結(jié)果，從而采取恰當(dāng)?shù)匦袆??？梢杂森h(huán)境傳感器測量空間內(nèi)的光強度并相應(yīng)調(diào)整人工照明，來減少額外的能量。所有這些環(huán)境傳感器，也可以通過網(wǎng)絡(luò)連接在一起。以這樣的方式，可以動態(tài)地調(diào)整照明，溫度，新鮮空氣和濕氣，而不是跟隨預(yù)編程的機制，這樣可以減少生態(tài)足跡。
[0004]環(huán)境傳感器，例如壓力傳感器，空氣顆粒傳感器，二氧化碳和一氧化碳傳感器，監(jiān)測呼氣成分傳感器將越來越多地應(yīng)用在移動設(shè)備中，如移動電話或片劑。
[0005]另一個應(yīng)用領(lǐng)域是汽車，司機和乘客要監(jiān)測污染物和顆粒等空氣質(zhì)量并通過控制系統(tǒng)采取適當(dāng)?shù)拇胧?，如關(guān)閉或過濾進入的空氣。
[0006]另一個應(yīng)用領(lǐng)域是良好市場細(xì)分。例如，冰箱內(nèi)的水分和油脂層可以指示冰箱的衛(wèi)生水平。冰箱內(nèi)的環(huán)境傳感器可以監(jiān)控如氨氣或其他食品新鮮度相關(guān)氣體的水平，可以停止工作以防積累水分或油脂層。
[0007]在許多這些應(yīng)用中，傳感器將被使用多年，旨在提供作為獨立設(shè)備的不受干擾的功能。在這段時間里，暴露于環(huán)境中的傳感器表面上完全可能出現(xiàn)如灰塵，油，鹽，油脂等沉積物。對于包括膜片的光(光強度測量)和化學(xué)傳感器(水分，氣體，液體)，壓力傳感器燈機械傳感器(例如MEMS器件)，這些污染層會嚴(yán)重影響正確的參數(shù)的讀數(shù)。
[0008]雖然已經(jīng)有關(guān)于檢測污染層的報告(US5998782，EP1457763，DE102006039034,JP2002296342, US8144330和US7652586)，但是沒有一篇報告是涉及環(huán)境傳感器領(lǐng)域的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種環(huán)境傳感器，包括:包含光傳感器的半導(dǎo)體襯底；表層，環(huán)境光可以通過該表層傳遞到達(dá)光傳感器，和光源，該光源被設(shè)置為照亮表層，該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上，其中，所述環(huán)境傳感器設(shè)置為通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種操作環(huán)境傳感器方法，包括半導(dǎo)體襯底，光源和表層，環(huán)境光可以通過該表層傳遞到達(dá)光傳感器，該光源被設(shè)置為照亮表層，該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上，該方法包括:通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。[0011]環(huán)境傳感器本身被暴露在環(huán)境中，因此可能遭受污染層的堆積。這些污染層可以阻礙參數(shù)的正確讀數(shù)。根據(jù)本發(fā)明的實施例中，它不僅能夠?qū)崿F(xiàn)包含半導(dǎo)體襯底的環(huán)境傳感器中的污染層的檢測，它還能夠利用半導(dǎo)體襯底的其他優(yōu)點，如小型化、低制造成本和多傳感器集成。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的環(huán)境傳感器，可結(jié)合污染層檢測和例如單獨的煙或單獨的一氧化碳或二氧化碳傳感器。
[0013]而在一些示例中，環(huán)境傳感器可以包括獨立的光源和獨立的光檢測器，它也可以將光源和光檢測器結(jié)合在共同的半導(dǎo)體襯底內(nèi)，使結(jié)構(gòu)更緊湊，制造成本更低。
[0014]在環(huán)境傳感器中的半導(dǎo)體襯底內(nèi)可以集成更多的傳感器。除了根據(jù)本發(fā)明實施例的光傳感器，可以在同一個半導(dǎo)體襯底內(nèi)進一步集成壓力、溫度和氣體等傳感器。
[0015]在一個實施例中，光源可以被構(gòu)造為發(fā)光二極管(LED)。這使得電源結(jié)構(gòu)更緊湊和更聞效。
[0016]光傳感器可以分析接收到的光的頻譜，從而區(qū)分不同種環(huán)境光源。當(dāng)環(huán)境傳感器被用于調(diào)整建筑物或房間內(nèi)照明條件的系統(tǒng)中，這種區(qū)分是有用的。
[0017]環(huán)境傳感器可以被封裝(例如通過把傳感器的半導(dǎo)體襯底和其他元件設(shè)置在半導(dǎo)體封裝中，使傳感器可以與外界環(huán)境接觸)。在這種實施例中，在封裝材料中的該表層可以包括一個窗口。
[0018]為環(huán)境傳感器提供表層的另一種方式是在半導(dǎo)體襯底上沉積材料(例如，氧化物)，其可以作為表層。以這種方式，傳感器的封裝可以被簡化(因為封裝本身不需要單獨的準(zhǔn)備(例如一個窗口)以形成反射表層)。
[0019]包含沉積在半導(dǎo)體襯底上的沉積材料的表層包括氮化硅，硅氧氮化物或氧化硅。這些材料是半導(dǎo)體制造常用的材料，可進一步實現(xiàn)低成本制造。
[0020]該環(huán)境傳感器可以成為環(huán)境管理系統(tǒng)的一部分，或作為一個獨立的傳感器，或作為樓宇自動化系統(tǒng)中的傳感器網(wǎng)絡(luò)的一部分。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在存在環(huán)境光的情況下確定反射光的強度，需要在光源關(guān)閉時進行第一強度測量，在光源開啟時進行第二強度測量。減去兩個強度，反射光強度將保持不變。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，提供了 一種在沒有環(huán)境光的情況下，測量沒有污染層的表層反射的光的強度的方法，用作為凈透明表層的校準(zhǔn)光強度特性。鑒于不存在污染層，該強度可以被用作與反射光的強度值進行比較的參考值。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的實施例，環(huán)境光和反射光的頻率分析可用于區(qū)分各種不同的環(huán)境光源。當(dāng)環(huán)境傳感器用于建筑物或房間中調(diào)整光照條件的系統(tǒng)時，可以利用這樣的區(qū)分。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的實施例，環(huán)境光和反射光的頻率分析可用于確定污染層的結(jié)構(gòu)、成分和厚薄等因素。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1示出了本發(fā)明的在不同襯底上設(shè)置光源和光傳感器的第一實施例；
[0026]圖2示出了本發(fā)明的在第一實施例的基礎(chǔ)上再在不同襯底上增加溫度傳感器的第二實施例；[0027]圖3示出了本發(fā)明的光傳感器和光源都集成在同一襯底內(nèi)的第三實施例；
[0028]圖4示出了本發(fā)明的具有集成濕度傳感器的第四實施例；
[0029]圖5示出了圖4的環(huán)境傳感器的頂視圖；
[0030]圖6示出了本發(fā)明的表層沉積在半導(dǎo)體襯底上的第五實施例；
[0031]圖7示出了圖6的環(huán)境傳感器的頂視圖。
【具體實施方式】
[0032]圖1示意性地示出了本發(fā)明的第一實施例。在這個實施例中，提供了光源15、在半導(dǎo)體襯底20內(nèi)的光傳感器10和表層5。表層5包括一塊材料(例如石英)，光可以穿過該材料。它可以是矩形、圓形或其他形狀。表層5被暴露在環(huán)境中，因此可能積累污染層3。污染層3的材料可以是來自各種來源(如風(fēng)力，工業(yè)活動及吸煙)的各種物質(zhì)，如油脂，灰塵，顆粒，油和鹽等。
[0033]來自周圍環(huán)境的環(huán)境光可以穿過污染層3和表層5，并且可以到達(dá)光傳感器10。污染層3可把來自光源15的一部分光反射到光傳感器10上。在半導(dǎo)體襯底20內(nèi)，可以集成用于測量編程和信號處理的外圍電路。這使得可以在t=tl時進行第一強度測量，光源15被關(guān)閉，通過污染層和表層5的環(huán)境光的強度測量結(jié)果為II。然后在t=t2時，進行第二強度測量，此時光源15被開啟，強度測量結(jié)果為12。隨后在電路的信號處理部分，把Il從12中減去，即結(jié)果是:Ic=I2-1l，其就是反射光的強度的測量值。由表層5反射的光的強度取決于表層5本身的材料,也取決于污染層的存在。由光傳感器接收到的光的量在有污染層的情況對比沒有污染層的情況會發(fā)生改變，因為一部分的光可以被污染層散射、反射或吸收。因此，由光傳感器接收到的光的變化可以作為測量污染層的存在的方式。
[0034]tl和t2之間不應(yīng)該有過大的時間差，只有在tl和t2之間的環(huán)境光沒有實質(zhì)性改變的情況下，Ic的測量才是可靠的。tl和t2之間的典型的時間差肯定比I秒少，可以小到幾納秒。例如，當(dāng)環(huán)境傳感器是在只有人工照明的房間內(nèi)時，環(huán)境光的強度不會變化很多。然而，當(dāng)環(huán)境傳感器是在室外時，環(huán)境光波動較大，例如，當(dāng)有云擋住陽光。在進一步改進中，也可以記錄還未暴露在環(huán)境中的新的、未使用的環(huán)境傳感器的反射光的強度Ir，該環(huán)境傳感器中沒有污染層。Ic-1r的差值也是積累在表層5的污染層3的量的度量值。
[0035]在本實施例中，光源15可以以多種方式制成，但使用發(fā)光二極管(LED)是非常高效能的方式?？商娲?，也可以使用OLED技術(shù)來構(gòu)建光源15。
[0036]另外，也可以使用多個產(chǎn)生不同波長的光的光源。例如AlGaAs主要產(chǎn)生紅外光，而InGaN主要產(chǎn)生紫外光。在多個波長上執(zhí)行測量是有利的，可以獲取污染層的更多細(xì)節(jié)信息。
[0037]根據(jù)第一實施例，光傳感器被集成在半導(dǎo)體襯底中。光傳感器可以是一個簡單的裝置，例如光敏電阻(LDR)，或是更先進的設(shè)備，例如是可控制空穴或電子在其PN結(jié)流動的基于光電二極管或光電晶體的半導(dǎo)體襯底。通過在該半導(dǎo)體襯底的頂部結(jié)合使用折射柵格，可以只讓特定波長的光傳遞到光傳感器。該柵格可以在制造半導(dǎo)體襯底內(nèi)不同設(shè)備時進行制造，該柵格由多晶硅，電介質(zhì)或金屬材料形成的平行線制成。通過選擇適當(dāng)?shù)木€的間隔，可以使不同波長的光到達(dá)光傳感器。把多個光傳感器與不同的柵格相結(jié)合，可以產(chǎn)生不同波長的接收光的強度的分布。該特征在污染層性質(zhì)已知的情況下非常有用，例如已知防污層是油脂或油等有機性質(zhì)，或是冷凝水。在這種情況下，可選擇波長，使得光被有機層或水層吸收。當(dāng)環(huán)境傳感器的機載外圍電路中包含模型和算法時，這個特征有進一步的改進。在該模型和算法中，可以儲存穿過污染層的環(huán)境光的波長信息。
[0038]圖2示意性地示出了本發(fā)明的第二實施例。根據(jù)該實施例，設(shè)置有光源15、半導(dǎo)體襯底20內(nèi)的光傳感器10、表層15，和襯底22內(nèi)的另外的傳感器45 (例如溫度傳感器)。以這種方式，可以把環(huán)境傳感器擴展到更多的傳感器，本質(zhì)上很難將它們在同一個半導(dǎo)體襯底內(nèi)集成。例如，光源可以設(shè)在GaN襯底內(nèi)，光傳感器可以設(shè)在CdS襯底內(nèi)，溫度傳感器可以設(shè)在硅襯底內(nèi)。
[0039]圖3示意性地示出了本發(fā)明的第三實施例。根據(jù)該實施例，提供了光源15，在半導(dǎo)體襯底20內(nèi)的光傳感器10和表層5。根據(jù)本發(fā)明的這個實施例，光源15和光傳感器都集成在共同的半導(dǎo)體襯底內(nèi)。本實施例利用了半導(dǎo)體大規(guī)模批量制造的優(yōu)點以實現(xiàn)低成本。另一個優(yōu)點是，環(huán)境傳感器結(jié)構(gòu)可以比第一實施例中的更為緊湊。在本實施例中，可以具有發(fā)光二極管形成的集成光源15。
[0040]圖4示意性地示出了本發(fā)明的第四實施例。圖5提供了第四實施例的頂視圖。根據(jù)這個實施例，提供了光源15，在半導(dǎo)體襯底20內(nèi)的光傳感器10，表層5，濕度傳感器25和具有使?jié)穸葌鞲衅鞅┞队诃h(huán)境的開口 35的封裝30。也有覆蓋暴露于環(huán)境中的整個區(qū)域的污染層3。濕度傳感器可通過測量包含兩個交叉指狀電極的電容的電容量來實現(xiàn)，其中介電材料可以是濕度敏感聚合物。當(dāng)聚合物吸收水分，會改變其介電常數(shù)，這將導(dǎo)致所測量的電容的變化。
[0041]在該不例中，光源15、光傳感器10和濕度傳感器25都集成在一個共同的半導(dǎo)體襯底內(nèi)，因此結(jié)構(gòu)緊湊性和低成本方面具有與第三實施例相同的優(yōu)點。根據(jù)本發(fā)明的這個實施例，在封裝30內(nèi)提供環(huán)境傳感器，這在半導(dǎo)體器件中相當(dāng)普遍，目的是保護環(huán)境檢測器免受機械、化學(xué)和其它影響的損害。該封裝支持表層5以與第一和第二實施例相同的測量方式進行測量。如前面提到的，表層5可以由如石英等材料制成，并且能夠允許環(huán)境光的通過。表層5的尺寸可以比封裝中的開口大，以便用相容的膠將它密封在封裝的頂部。該封裝還提供了開口 35，以使集成濕度傳感器接觸環(huán)境。
[0042]圖6示意性地示出了本發(fā)明的第五實施例。圖7給出了第五實施例的頂視圖。按照這個實施例，提供了光源15，在半導(dǎo)體襯底20內(nèi)的光傳感器10，表層40，封裝和濕度傳感器25。該封裝還為表層5提供了開口 35以使?jié)穸葌鞲衅鹘佑|到外界壞境。第五實施例與第三實施例的區(qū)別在于表層的設(shè)置方式。根據(jù)本發(fā)明的實施例，表層直接沉積在半導(dǎo)體襯底上，并可由半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)的材料制成，例如硅氧氮化物(SiON的)層或二氧化硅(SiO2)層?？墒褂没瘜W(xué)氣相沉積或等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)或旋涂玻璃技術(shù)來沉積該層。SiON層或SiO2層的厚度不是非常關(guān)鍵，但典型地是在0.5至1.0微米的范圍內(nèi)。如果需要的話，標(biāo)準(zhǔn)圖案(光刻和蝕刻)技術(shù)可用于空出需要濕度傳感器的襯底。本實施例簡化了環(huán)境傳感器的封裝。
[0043]已知的，許多樣式的環(huán)境傳感器可以用CMOS技術(shù)制成。例如沖擊，壓力，溫度，光，濕度和氣體已經(jīng)有相關(guān)技術(shù)了。在實施例1和2中，傳感器不需要直接與環(huán)境接觸，如沖擊、溫度和光傳感器可以直接集成在半導(dǎo)體襯底內(nèi)。在實施方案3和4中，可能添加溫度和光傳感器，還有如壓力，濕度和氣體傳感器，這些傳感器需要直接與環(huán)境接觸的開口。由于這些傳感器會受污染層的影響，具有污染層檢測功能的環(huán)境傳感器是非常有優(yōu)勢的。
[0044]一些上面提到的集成污染檢測功能的傳感器在家庭和樓宇環(huán)境管理系統(tǒng)中非常有用。該環(huán)境管理系統(tǒng)(EMS)將包含一種環(huán)境傳感器，它可以監(jiān)視如溫度，濕度，光照水平和空氣中的CO2濃度等參數(shù)。環(huán)境傳感器可以是位于整個建筑物的傳感器網(wǎng)絡(luò)的一部分。在這樣的應(yīng)用中，希望可以在半導(dǎo)體襯底內(nèi)集成能與環(huán)境管理系統(tǒng)進行有線或無線通訊的其他電路，并發(fā)射輸出信號。這些管理系統(tǒng)中，在連續(xù)和需要的基礎(chǔ)上，環(huán)境傳感器的輸出信號可用于調(diào)整制熱或制冷、加濕、新鮮空氣進口和人工光照強度等。很顯然，住宅和建筑物中，環(huán)境傳感器將要使用很多年。在該期間內(nèi)，傳感器可以追蹤污染層的積累的情況。如果將非易失性存儲器集成在半導(dǎo)體襯底內(nèi)，那么這便是可以做到的。該存儲器可以用于記錄測量工具隨時間推移提供的數(shù)據(jù)。把積累情況報告給管理系統(tǒng)，然后采取適當(dāng)?shù)男袨?，如啟動維護，以防止非預(yù)期的快速積累或非預(yù)期的成分的積累，找尋導(dǎo)致故障的原因。
[0045]本發(fā)明也可應(yīng)用在其他領(lǐng)域，如移動電話、藥片、白色家電、汽車、或體內(nèi)和體外等領(lǐng)域。
[0046]例如，在冰箱中可能積累厚的冷凝水層和油脂層。這可能會導(dǎo)致制造的冰箱存在危害健康的可能。應(yīng)用環(huán)境傳感器可以檢測到這種層的堆積，并給出需要清潔的信號。
[0047]如上述的家、樓宇的環(huán)境管理體系中的原則在汽車中也可適用。例如，如果在一輛汽車的前部還有另一輛從排氣管排濃煙的車輛，那么環(huán)境檢測器可以檢測空氣中的顆粒物或CO濃度的升高，隨后關(guān)閉汽車的新鮮空氣進入的管道。
[0048]在移動電話或片劑中應(yīng)用環(huán)境傳感器也是可能的，包括測量空間內(nèi)的壓力或CO2水平。
[0049]上面給出的所有的實施方案和實施例都是假定有污染層積累的前提下的?？梢韵胫罥J，在實際應(yīng)用中，環(huán)境傳感器可能發(fā)生表層刻蝕的情況。例如，在環(huán)境傳感器用于監(jiān)測某些方面，如工業(yè)廢水等情況下，表層可能被酸所刻蝕，其表層結(jié)構(gòu)也可能發(fā)生改變。這就將導(dǎo)致反射光強度的變化，這樣的信號可以達(dá)到監(jiān)控的目的，以及發(fā)出環(huán)境感應(yīng)器完整性受威脅的警告信號。在這樣的例子中，防污層包括表層受影響(例如蝕刻)的部分。
[0050]相應(yīng)的，已經(jīng)描述了環(huán)境傳感器和操作環(huán)境傳感器的方法。環(huán)境傳感器包括:包含光傳感器的半導(dǎo)體襯底，表層，環(huán)境光可以通過該表層傳遞到達(dá)光傳感器，和光源，該光源被設(shè)置為照亮表層，該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上，環(huán)境傳感器被配置為通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。
[0051]雖然已經(jīng)描述了本發(fā)明的特定實施例，可以理解的是，在本發(fā)明要求的保護范圍內(nèi)可以進行許多修改/添加和/或取代。
【權(quán)利要求】
1.一種環(huán)境傳感器，其特征在于，包括: 包含光傳感器的半導(dǎo)體襯底； 表層，環(huán)境光可以通過該表層傳遞到達(dá)光傳感器；和 光源，該光源被設(shè)置為照亮表層，從而該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上； 其中，所述環(huán)境傳感器被設(shè)置為通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，包括至少一個另外的傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，所述光傳感器和光源被集成在共同的半導(dǎo)體襯底中。
4.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，所述光傳感器，光源和另外的傳感器分別集成在共同的襯底上，其中，至少一個另外的傳感器位于所述襯底的第一區(qū)域，所述光源和光傳感器位于所述襯底的第二區(qū)域，通過表層避免將第二區(qū)域暴露在環(huán)境中，將第一區(qū)域暴露在環(huán)境中。
5.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，所述光源是LED裝置。
6.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，該環(huán)境傳感器被設(shè)置為分析接收到的光的頻譜來區(qū)分不同類的環(huán)境光源。
7.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，所述表層在環(huán)境傳感器的封裝中，包括窗口?！?br> 8.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，所述表層包括沉積在半導(dǎo)體襯底上的材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的環(huán)境傳感器，其特征在于，所述沉積在半導(dǎo)體襯底上的材料包括氮化硅，氮氧化硅或二氧化硅。
10.一種環(huán)境管理系統(tǒng)，其特征在于，包括至少一個根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的環(huán)境傳感器。
11.一種操作環(huán)境傳感器的方法，其特征在于，包括包含光傳感器的半導(dǎo)體襯底、表層和光源，其中，環(huán)境光可以通過該表層傳遞到達(dá)光傳感器，該光源被設(shè)置為照亮表層，從而該表層反射該光源的至少一部分光到光傳感器上，該方法包括: 通過比較壞境光和至少一個光傳感器的反射光的測量值來確定該表層上污染層的存在。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，還包括: 進行第一測量，包括鑒于光源關(guān)閉的情況，測量經(jīng)過表層的環(huán)境光的強度；和 進行第二測量，包括鑒于光源開啟的情況，測量到達(dá)光傳感器的光的強度；和 將第二測量強度減去第一測量強度；和 用該相減的結(jié)果來確定反射光的強度。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，包括在沒有環(huán)境光的情況下，通過光傳感器測量沒有污染層的表層反射光源后的光的強度，用作為干凈透明表層的校準(zhǔn)光強度特性。
14.根據(jù)權(quán)利要求11至13任一項所述的方法，其特征在于，分析接收到的光的頻譜來區(qū)分不同類的環(huán)境光源。
15.根據(jù)權(quán)利要求11至14任一項所述的方法，其特征在于，包括使用環(huán)境光和反射光的頻率特性來確定污染層的結(jié)構(gòu) 或厚度。
【文檔編號】G01D21/02GK103852110SQ201310636598
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年12月2日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月30日
【發(fā)明者】艾利·阿莫爾·邊赫迪, 曼維·阿加瓦爾 申請人:Nxp股份有限公司