一種memes壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，包括固定連接MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓(9)的探針臺(8)及與探針臺(8)相連的MCU模塊(1)，MCU模塊(1)外圍設(shè)有與其相連的計算機(jī)(7)、矩陣開關(guān)電路(2)與A/D轉(zhuǎn)換模塊(5)；矩陣開關(guān)電路(2)外圍分別連接有電流源電路(3)與信號調(diào)理電路(4)，矩陣開關(guān)電路(2)還與探針臺(8)相連；所述測試裝置還包括為MCU模塊(1)、矩陣開關(guān)電路(2)、電流源電路(3)、信號調(diào)理電路(4)與A/D轉(zhuǎn)換模塊(5)供電的直流穩(wěn)壓電源(6)；給MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓(9)施加電流源激勵，通過MCU模塊(1)對傳感器晶圓反饋的電信號進(jìn)行處理，進(jìn)而將被檢測傳感器晶圓的性能參數(shù)在計算機(jī)上進(jìn)行顯示。
【專利說明】—種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試【技術(shù)領(lǐng)域】，具體是一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]公知的，MEMS加速度傳感器一般被分為壓阻式、壓電式、諧振器式、電容式、熱電偶式、光纖式和電磁式等等，其中壓阻式加速度傳感器以動態(tài)響應(yīng)特性及輸出線性度較好、制作成本低、工藝簡單等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用；在MEMS壓阻式加速度傳感器制造時，需要在晶圓階段對其進(jìn)行測試；而目前的測試手段比較單一，采用人工的方式用萬用表對晶圓逐個測量，效率低下，而現(xiàn)有的自動測試裝置中，測試手段單一，僅僅能夠判斷出被測體的好壞，不能得到被測體的性能參數(shù)，仍然無法滿足測試的多種需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，該檢驗(yàn)系統(tǒng)能夠?qū)EMS壓阻式加速度傳感器晶圓進(jìn)行自動智能檢測，并且能夠直觀地顯示被檢測傳感器晶圓的性能參數(shù)。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，包括固定連接MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓的探針臺及與探針臺相連的MCU模塊，MCU模塊外圍設(shè)有與其相連的計算機(jī)、矩陣開關(guān)電路與A/D轉(zhuǎn)換模塊；矩陣開關(guān)電路外圍分別連接有電流源電路與信號調(diào)理電路，矩陣開關(guān)電路還與探針臺相連；所述測試裝置還包括為MCU模塊、矩陣開關(guān)電路、電流源電路、信號調(diào)理電路與A/D轉(zhuǎn)換模塊供電的直流穩(wěn)壓電源。
[0005]進(jìn)一步地，所述MCU模塊采用STM32F103VET6芯片。
[0006]進(jìn)一步地，所述MCU模塊與計算機(jī)之間采用MAX3232芯片構(gòu)成的RS232接口進(jìn)行連接。
[0007]進(jìn)一步地，所述A/D轉(zhuǎn)換模塊采用ADS8330芯片。
[0008]進(jìn)一步地，所述矩陣開關(guān)電路采用一組TS5A3359芯片構(gòu)成。
[0009]上述方案中，MCU模塊為成熟的微處理器,能夠?qū)斎氲男盘栔悄芑治鎏幚?；矩陣開關(guān)電路是成熟的多路復(fù)用器產(chǎn)品，能夠?qū)Σ煌男盘栐催M(jìn)行切換；信號調(diào)理電路采用放大、隔離與濾波的方式將傳感器晶圓反饋的微電流信號轉(zhuǎn)換成可讀的有效信號，使其適合于A/D轉(zhuǎn)換模塊的輸入；A/D轉(zhuǎn)換模塊即模擬量轉(zhuǎn)換數(shù)字量模塊，為常用的電子元件；電流源電路即恒流源，提供恒定的靜態(tài)電流；計算機(jī)作為監(jiān)控終端用于操控測試過程和顯示測試結(jié)果。
[0010]本發(fā)明的有益效果是，給MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓施加電流源激勵，通過MCU模塊對傳感器晶圓反饋的電信號進(jìn)行處理，進(jìn)而將被檢測傳感器晶圓的性能參數(shù)在計算機(jī)上進(jìn)行顯示。【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明:
圖1是本發(fā)明的電路原理框圖；
1.MCU模塊；2.矩陣開關(guān)電路；3.電流源電路；4.信號調(diào)理電路；5.A/D轉(zhuǎn)換模塊；
6.直流穩(wěn)壓電源；7.計算機(jī)；8.探針臺；9.MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓。
【具體實(shí)施方式】
[0012]如圖1所示，探針臺8用于固定連接MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9，MCU模塊I外圍設(shè)有與其相連的計算機(jī)7、矩陣開關(guān)電路2與A/D轉(zhuǎn)換模塊5 ;矩陣開關(guān)電路2外圍分別連接有電流源電路3與信號調(diào)理電路4，矩陣開關(guān)電路2還與探針臺8相連；MCU模塊1、矩陣開關(guān)電路2、電流源電路3、信號調(diào)理電路4與A/D轉(zhuǎn)換模塊5通過直流穩(wěn)壓電源6供電；本實(shí)施例中，探針臺8采用PT302型探針臺，MCU模塊I采用STM32F103VET6芯片，MCU模塊I與計算機(jī)7之間采用MAX3232芯片構(gòu)成的RS232接口進(jìn)行連接，A/D轉(zhuǎn)換模塊5采用ADS8330芯片，矩陣開關(guān)電路2采用一組TS5A3359芯片構(gòu)成。
[0013]工作時，將待檢測的MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9固定連接與探針臺8上，開啟探針臺8，探針臺8向MCU模塊I發(fā)出“開始測試”信號，之后操作員操作計算機(jī)7上的監(jiān)控畫面，點(diǎn)擊“開始”按鈕，通過MCU模塊I向探針臺8發(fā)出控制信號，使探針臺8與MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9形成電聯(lián)接；然后即開始測試，MCU模塊I控制矩陣開關(guān)電路2，使電流源電路3輸出的恒定電流通過矩陣開關(guān)電路2不同的通路施加在MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9的不同引腳上，MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9在得到電激勵后，將反饋信號經(jīng)矩陣開關(guān)電路2不同的通路發(fā)送給信號調(diào)理電路4，信號調(diào)理電路4對反饋的微電流信號進(jìn)行放大、隔離與濾波處理，轉(zhuǎn)換成A/D轉(zhuǎn)換模塊5適用的輸入信號；A/D轉(zhuǎn)換模塊5對信號進(jìn)行模擬量數(shù)字量轉(zhuǎn)換后再發(fā)送給MCU模塊1，MCU模塊I對反饋信號進(jìn)行分析處理，并將結(jié)果發(fā)送給計算機(jī)7，由計算機(jī)7的監(jiān)控畫面對測試結(jié)果進(jìn)行顯示；由于采用了矩陣開關(guān)電路2，可以將電流源電路3輸出電流同時施加在MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9的不同引腳上，也可以分不同次地施加，所以能夠一次測出MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓9的所有固有參數(shù)與工作參數(shù)，也可以僅僅測試所需要的參數(shù)，具有很大的靈活性；MCU模塊I對施加電激勵后的反饋信號進(jìn)行分析處理，準(zhǔn)確可靠，由計算機(jī)7對測試結(jié)果進(jìn)行顯示，方便直觀。
[0014]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同替換、等效變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，包括固定連接MEMS壓阻式加速度傳感器晶圓(9)的探針臺(8)，其特征在于，所述測試裝置還包括與探針臺(8)相連的MCU模塊(1)，MCU模塊(I)外圍設(shè)有與其相連的計算機(jī)(7)、矩陣開關(guān)電路(2)與A/D轉(zhuǎn)換模塊(5);矩陣開關(guān)電路(2)外圍分別連接有電流源電路(3)與信號調(diào)理電路(4)，矩陣開關(guān)電路(2)還與探針臺(8)相連；所述測試裝置還包括為MCU模塊(I)、矩陣開關(guān)電路(2)、電流源電路(3)、信號調(diào)理電路⑷與A/D轉(zhuǎn)換模塊(5)供電的直流穩(wěn)壓電源(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述MCU模塊(I)采用STM32F103VET6芯片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述MCU模塊⑴與計算機(jī)(7)之間采用MAX3232芯片構(gòu)成的RS232接口進(jìn)行連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述A/D轉(zhuǎn)換模(5)塊采用ADS8330芯片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種MEMES壓阻式加速度傳感器晶圓自動檢驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述矩陣開關(guān)電路(2)采用一組TS5A3359芯片構(gòu)成。
【文檔編號】G01R31/26GK103529372SQ201310506791
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月24日
【發(fā)明者】郭威, 方嵐, 田波, 焦貴忠 申請人:華東光電集成器件研究所