加速度檢測(cè)元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種加速度檢測(cè)元件。加速度檢測(cè)元件1包括外框體2、發(fā)熱體3、溫度檢測(cè)用的第1測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5以及運(yùn)算放大器6（差分運(yùn)算電路）。外框體2在內(nèi)部形成有能夠密封流體的流體缸11（流體密封室）。發(fā)熱體3形成于對(duì)流體缸11進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁中特定的內(nèi)壁面即電路安裝面12（特定內(nèi)壁面）上。第1測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5形成于電路安裝面12上。如圖3所示，從第1測(cè)溫體4到發(fā)熱體3的距離D1比從第2測(cè)溫體5到發(fā)熱體3的距離D2短。運(yùn)算放大器6計(jì)算第1測(cè)溫體4的測(cè)定結(jié)果和第2測(cè)溫體5的測(cè)定結(jié)果的差。
【專利說(shuō)明】加速度檢測(cè)元件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種檢測(cè)物體加速度的加速度檢測(cè)元件。
【背景技術(shù)】
[0002]關(guān)于檢測(cè)物體的加速度的有關(guān)技術(shù)，專利文獻(xiàn)I中已公開(kāi)了如下的傳感器元件，即在被流體填充的容器內(nèi)部的一個(gè)平面上設(shè)有發(fā)熱用加熱電阻、以及包夾所述發(fā)熱電阻的一對(duì)溫度檢測(cè)用電阻的傳感器元件。當(dāng)在發(fā)熱用加熱電阻發(fā)熱的狀態(tài)下對(duì)傳感器元件施加加速度時(shí)，流體的對(duì)流方向發(fā)生變化，導(dǎo)致一對(duì)溫度檢測(cè)用電阻的電阻值產(chǎn)生差異。通過(guò)檢測(cè)所述電阻值的差異，便可檢測(cè)到作用于傳感器元件的加速度。
[0003]專利文獻(xiàn)I 日本特開(kāi)2000 — 193677號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]但是，上述專利文獻(xiàn)I所公示的結(jié)構(gòu)僅可檢測(cè)與配置有發(fā)熱用加熱電阻及一對(duì)溫度檢測(cè)用電阻的平面平行的方向上的加速度。
[0005]本發(fā)明的所述內(nèi)容及所述內(nèi)容以外的目的和新特征在本說(shuō)明書(shū)的描述及附圖說(shuō)
明中寫(xiě)明。
[0006]根據(jù)本專利說(shuō)明書(shū)之一實(shí)施方式，加速度檢測(cè)元件具有:在內(nèi)部形成有能夠密封流體的流體密封室的外框體；形成于對(duì)所述流體密封室進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁面中特定的內(nèi)壁面即特定內(nèi)壁面上的發(fā)熱體；形成于所述特定內(nèi)壁面上的溫度測(cè)定用的第I測(cè)溫體及溫度測(cè)定用的第2測(cè)溫體，其中，從所述第I測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離比從所述第2測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離短；以及計(jì)算所述第I測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果和所述第2測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果的差的差分運(yùn)算電路。
[0007]根據(jù)另一實(shí)施方式，加速度檢測(cè)元件具有:在內(nèi)部形成有能夠密封流體的流體密封室的外框體；形成于對(duì)所述流體密封室進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁面中特定的內(nèi)壁面即特定內(nèi)壁面上的發(fā)熱體；形成于所述特定內(nèi)壁面上的溫度測(cè)定用的一對(duì)第I測(cè)溫體及溫度測(cè)定用的一對(duì)第2測(cè)溫體，其中，所述一對(duì)第I測(cè)溫體以包夾所述發(fā)熱體的方式等距離地配置在所述發(fā)熱體周圍，所述一對(duì)第2測(cè)溫體以包夾所述發(fā)熱體的方式等距離地配置在所述發(fā)熱體周圍，而且，從所述一對(duì)第I測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離比從所述一對(duì)第2測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離短；計(jì)算所述一對(duì)第I測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果的總和的第I總和運(yùn)算電路；計(jì)算所述一對(duì)第2測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果的總和的第2總和運(yùn)算電路；以及計(jì)算所述第I總和運(yùn)算電路的運(yùn)算結(jié)果和所述第2總和運(yùn)算電路的運(yùn)算結(jié)果的差的差分運(yùn)算電路。
[0008]根據(jù)所述差分運(yùn)算電路進(jìn)行的運(yùn)算結(jié)果，可檢測(cè)出與所述特定內(nèi)壁面正交的方向上的加速度。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1所示的是加速度檢測(cè)元件的外觀透視圖。(第I實(shí)施方式)[0010]圖2所示的是加速度檢測(cè)元件的局部透視圖。(第I實(shí)施方式)
[0011]圖3所示的是沿著圖1的II1-1II線剖開(kāi)的剖面圖。(第I實(shí)施方式)
[0012]圖4所示的是圖解熱移動(dòng)的剖面圖。(第I實(shí)施方式)
[0013]圖5A所示的是加速度向下時(shí)的溫度分布的等高線圖。圖5B所示的是加速度向上時(shí)的溫度分布的等高線圖。(第I實(shí)施方式)
[0014]圖6所示的是加速度檢測(cè)元件的電路圖。(第I實(shí)施方式)
[0015]圖7所示的是加速度檢測(cè)元件的局部透視圖。(第2實(shí)施方式)
[0016]圖8所示的是加速度檢測(cè)元件的剖面圖。(第2實(shí)施方式)
[0017]圖9所示的是圖解熱移動(dòng)的剖面圖。(第2實(shí)施方式)
[0018]圖10所示的是加速度檢測(cè)元件的電路圖。(第2實(shí)施方式)
[0019]圖11所示的是加速度檢測(cè)元件的局部透視圖。(第3實(shí)施方式)
[0020]圖12所示的是加速度檢測(cè)元件的剖面圖。(第3實(shí)施方式)
[0021]圖13所示的是圖解熱移動(dòng)的剖面圖。(第3實(shí)施方式)
[0022]圖14所示的是加速度檢測(cè)元件的局部透視圖。(第4實(shí)施方式)
[0023]圖15所示的是加速度檢測(cè)元件的剖面圖。(第4實(shí)施方式)
[0024]圖16所示的是圖解熱移動(dòng)的剖面圖。(第4實(shí)施方式)
[0025](符號(hào)說(shuō)明)
[0026]I 加速度檢測(cè)元件
[0027]2 外框體
[0028]3 發(fā)熱體
[0029]4 第I測(cè)溫體
[0030]5 第2測(cè)溫體
[0031]6 運(yùn)算放大器
[0032]11 流體缸
[0033]12 電路安裝面
【具體實(shí)施方式】
[0034](第I實(shí)施方式)
[0035]下面參照?qǐng)D1至圖6對(duì)第I實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0036]如圖1及圖2、圖6所示，加速度檢測(cè)元件I具有外框體2、發(fā)熱體3、第I測(cè)溫體
4、第2測(cè)溫體5以及運(yùn)算放大器6 (差分運(yùn)算電路)。
[0037]如圖2所示，外框體2是將第I絕緣層8、第2絕緣層9、第3絕緣層10依次層疊到Si襯底7 (半導(dǎo)體襯底)而成的。從層疊方向上看，第2絕緣層9以環(huán)狀形成。由此，便可在外框體2的內(nèi)部形成能夠密封氣體G (流體)的流體缸11。本實(shí)施方式中，流體缸11呈大致立方體形狀。在對(duì)流體缸11進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁面中離Si襯底7最近的內(nèi)壁面即電路安裝面12上配置有發(fā)熱體3和第I測(cè)溫體4、以及第2測(cè)溫體5等。本實(shí)施方式中，氣體G為氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w。上述惰性氣體可防止發(fā)熱體3、第I測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5等受到腐蝕。
[0038]下面對(duì)“與安裝面正交的方向”、“流體缸的長(zhǎng)邊方向”及“流體缸的短邊方向”等進(jìn)行定義。其中，“與安裝面正交的方向”是指與電路安裝面12正交的方向。與安裝面正交的方向中，將從第3絕緣層10向第I絕緣層8看的方向定為靠近安裝面的方向，將從第I絕緣層8向第3絕緣層10看的方向定為離開(kāi)安裝面的方向?！傲黧w缸的長(zhǎng)邊方向”是指呈大致立方體形狀的流體缸11的長(zhǎng)邊方向?！傲黧w缸的短邊方向”是指呈大致立方體形狀的流體缸11的短邊方向?！芭c安裝面正交的方向”、“流體缸的長(zhǎng)邊方向”及“流體缸的短邊方向”互為正交的方向。為了便于說(shuō)明，在圖3以后的圖中，以雙點(diǎn)劃線示出流體缸11。
[0039]如圖2及圖3所示，在流體缸的長(zhǎng)邊方向上第2絕緣層9具有對(duì)流體缸11進(jìn)行分隔的小內(nèi)壁面9a及小內(nèi)壁面9b。其中，小內(nèi)壁面9a和小內(nèi)壁面9b互為平行的面。第3絕緣層10具有對(duì)流體缸11中遠(yuǎn)離安裝面方向上的一側(cè)進(jìn)行分隔的頂面10a。頂面IOa為與電路安裝面12平行的面。
[0040]如圖2所示，發(fā)熱體3及第I測(cè)溫體4、第2測(cè)溫體5沿著流體缸的短邊方向呈細(xì)長(zhǎng)的形狀。另外，發(fā)熱體3及第I測(cè)溫體4、第2測(cè)溫體5以與電路安裝面12平行的方式形成在電路安裝面12上。如圖2及圖3所示，從小內(nèi)壁面9a朝向小內(nèi)壁面9b的方向上依次配置有發(fā)熱體3及第I測(cè)溫體4、第2測(cè)溫體5。發(fā)熱體3及第I測(cè)溫體4、第2測(cè)溫體5沿著流體缸的長(zhǎng)邊方向排成一列。發(fā)熱體3配置在小內(nèi)壁面9a的附近，第I測(cè)溫體4配置在發(fā)熱體3的附近，第2測(cè)溫體5配置在小內(nèi)壁面9b的附近。因此，從第I測(cè)溫體4到發(fā)熱體3的距離Dl比從第2測(cè)溫體5到發(fā)熱體3的距離D2短。
[0041]在上述的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)通過(guò)電流流過(guò)發(fā)熱體3而使其發(fā)熱時(shí)，出現(xiàn)圖4中粗線所示的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象。圖4中，傳熱路徑P為經(jīng)由被密封在流體缸11中的氣體G從發(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4傳熱的傳熱路徑。傳熱路徑q為經(jīng)由被密封在流體缸11中的氣體G從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5傳熱的傳熱路徑。同樣地，傳熱路徑r為經(jīng)由Si襯底7或第I絕緣層8從發(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4傳熱的傳熱路徑。傳熱路徑s為經(jīng)由Si襯底7或第I絕緣層8從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5傳熱的傳熱路徑。
[0042]此時(shí)，無(wú)論加速度檢測(cè)元件I向哪個(gè)方向加速，傳熱路徑r及傳熱路徑s都完全不受到影響。相反地，當(dāng)加速度檢測(cè)元件I向某個(gè)方向加速時(shí)，由于密封在流體缸11內(nèi)的氣體G的移動(dòng)，傳熱路徑P及傳熱路徑q都將受到各種影響。一般來(lái)說(shuō)，Si襯底7及第I絕緣層8的熱傳導(dǎo)率比氣體G高。因此，從發(fā)熱體3到第I測(cè)溫體4、以及從發(fā)熱體3到第2測(cè)溫體5的熱傳導(dǎo)是，以傳熱路徑r及傳熱路徑s為主要路徑，以傳熱路徑P及傳熱路徑q是次要路徑。
[0043]圖5A中，用等高線圖示出了作用于加速度檢測(cè)元件I的加速度在靠近安裝面的方向上時(shí)的溫度分布。圖5B中，用等高線圖示出了作用于加速度檢測(cè)元件I的加速度在遠(yuǎn)離安裝面方向上時(shí)的溫度分布。由于主要傳熱路徑為圖4所示的傳熱路徑r及傳熱路徑s，所以，在圖5A及圖5B中，第I絕緣層8的附近的溫度一樣高，而第3絕緣層10的附近的溫度一樣低。因此，由于被發(fā)熱體3加熱的氣體G的比重變低，所以將朝著與作用于氣體G的加速度的方向相反的方向移動(dòng)。即，如圖5A所示，作用于氣體G的加速度在靠近安裝面的方向上時(shí)，氣體G將向遠(yuǎn)離安裝面的方向移動(dòng)，如圖5B所不,作用于氣體G的加速度在遠(yuǎn)離安裝面的方向上時(shí)，氣體G將向靠近安裝面的方向移動(dòng)。因此，如圖5A所示，作用于氣體G的加速度在靠近安裝面的方向時(shí)與作用于氣體G的加速度在遠(yuǎn)離安裝面方向上時(shí)相比，流體缸11內(nèi)與安裝面正交的方向上的溫差變小。[0044]下面再來(lái)看圖4，如果對(duì)從發(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4傳熱的傳熱路徑P和從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5傳熱的傳熱路徑q進(jìn)行比較，如對(duì)圖4和圖5進(jìn)行比較可知，后者比前者更容易受到與安裝面正交的方向上的加速度的影響。這是因?yàn)椋瑥陌l(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4傳熱時(shí)，在傳熱方面起支配性作用的是流體缸的長(zhǎng)邊方向，相反地，從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5傳熱時(shí)，第2測(cè)溫體5附近的氣體G在與安裝面正交的方向上的移動(dòng)在某種程度上來(lái)說(shuō)起到了支配性的作用。簡(jiǎn)單地說(shuō)，就是，與安裝面正交的方向上的加速度不會(huì)影響傳熱路徑P，但會(huì)影響到傳熱路徑q。因此，對(duì)第I測(cè)溫體4和第2測(cè)溫體5的測(cè)溫結(jié)果進(jìn)行比較，便可檢測(cè)到作用于氣體G在與安裝面正交的方向上的加速度。
[0045]圖6所示的是對(duì)第I測(cè)溫體4和第2測(cè)溫體5的測(cè)溫結(jié)果進(jìn)行比較的比較電路。第I測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5優(yōu)選隨溫度變化電阻值也發(fā)生變化的溫度電阻。如圖6所示，第I測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5分別與各個(gè)定電流源I連接，第I測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5上分別流過(guò)規(guī)定的電流。此結(jié)構(gòu)中，如果將第I測(cè)溫體4的高電位側(cè)的電壓和第2測(cè)溫體5的高電位側(cè)的電壓輸入運(yùn)算放大器6，則第I測(cè)溫體4的測(cè)定結(jié)果和第2測(cè)溫體5的測(cè)定結(jié)果的差便被作為運(yùn)算放大器6的輸出電壓被讀出。之后，通過(guò)對(duì)從運(yùn)算放大器6輸出的輸出電壓進(jìn)行監(jiān)測(cè)，便可檢測(cè)出與安裝面正交的方向上的加速度。
[0046]另外，圖4中，優(yōu)選第2測(cè)溫體5附近的氣體G的流動(dòng)方向和與安裝面正交的方向?yàn)槠叫嘘P(guān)系，且第2測(cè)溫體5應(yīng)盡可能靠近小內(nèi)壁面％。采用上述結(jié)構(gòu)便可提高加速度檢測(cè)元件I的加速度檢測(cè)的靈敏度。
[0047]以上對(duì)第I實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，第I實(shí)施方式還具有如下特征:
[0048](I)加速度檢測(cè)元件I由外框體2、發(fā)熱體3、溫度測(cè)定用的第I測(cè)溫體4及溫度測(cè)定用的第2測(cè)溫體5、以及運(yùn)算放大器6 (差分運(yùn)算電路)構(gòu)成。外框體2的內(nèi)部形成有能夠密封流體的流體缸11 (流體密封室)。發(fā)熱體3形成有對(duì)流體缸11進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁面中特定的內(nèi)壁面即電路安裝面12 (特定內(nèi)壁面)。第I測(cè)溫體4及第2測(cè)溫體5形成在電路安裝面12上。如圖3所示，從第I測(cè)溫體4到發(fā)熱體3的距離Dl比從第2測(cè)溫體5到發(fā)熱體3的距離D2短。運(yùn)算放大器6計(jì)算第I測(cè)溫體4的測(cè)定結(jié)果和第2測(cè)溫體5的測(cè)定結(jié)果的差。采用上述結(jié)構(gòu)，便可根據(jù)運(yùn)算放大器6的運(yùn)算結(jié)果來(lái)檢測(cè)出與電路安裝面12正交的方向上的加速度。另外，由于采用了運(yùn)算放大器6的差運(yùn)算結(jié)果，所以可以抵消從外部環(huán)境的環(huán)境溫度受到的影響。
[0049]第I實(shí)施方式中的氣體G采用氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w，但也可為空氣或氦氣。氦氣比氮?dú)獾臒醾鲗?dǎo)率高，所以在提高加速度檢測(cè)元件I的靈敏度方面性能更為優(yōu)越。但是，由于氦氣的分子小，所以也存在容易從流體缸11泄漏這一缺點(diǎn)。
[0050]另外，從加速度檢測(cè)元件I的靈敏度方面來(lái)說(shuō)，圖3的距離D2應(yīng)盡可能大(如幾百微米)、而距離Dl應(yīng)盡可能小。如果將圖3和圖5進(jìn)行比較，距離Dl和距離D2的尺寸比雖未統(tǒng)一，但圖5所示的尺寸比更接近實(shí)際機(jī)型的尺寸比。
[0051](第2實(shí)施方式)
[0052]下面參照?qǐng)D7至圖10來(lái)說(shuō)明第2實(shí)施方式。本實(shí)施方式中以與第I實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，并省略掉重復(fù)的說(shuō)明。另外，對(duì)于與第I實(shí)施方式各構(gòu)成要素對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素原則上采用同一符號(hào)。
[0053]如圖7及圖8所示，本實(shí)施方式中的電路安裝面12上配置有:溫度測(cè)定用的一對(duì)第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b、溫度測(cè)定用的一對(duì)第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b。所述一對(duì)第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b、以及一對(duì)第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b均為沿著流體缸的短邊方向配置且具有細(xì)長(zhǎng)的形狀。而且，發(fā)熱體3及第I測(cè)溫體4a、第I測(cè)溫體4b、第2測(cè)溫體5a、第2測(cè)溫體5b均以與電路安裝面12平行的方式形成于電路安裝面12上。如圖7及圖8所示，從小內(nèi)壁面9a朝向小內(nèi)壁面9b的方向上按順序配置有第2測(cè)溫體5a、第I測(cè)溫體4a、發(fā)熱體3、第I測(cè)溫體4b、第2測(cè)溫體5b。發(fā)熱體3及一對(duì)第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b、一對(duì)第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b沿著流體缸的長(zhǎng)邊方向排成一列地配置。發(fā)熱體3配置在流體缸11的流體缸的長(zhǎng)邊方向的中央。一對(duì)第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b以包夾發(fā)熱體3的方式等距離地配置在發(fā)熱體3的外圍。一對(duì)第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b以包夾發(fā)熱體3的方式等距離地配置在發(fā)熱體3的外圍。而且，從一對(duì)第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b到發(fā)熱體3的距離Dl比從一對(duì)第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b到發(fā)熱體3的距離D2短。
[0054]為上述結(jié)構(gòu)時(shí)，當(dāng)電流流過(guò)發(fā)熱體3而使發(fā)熱體3發(fā)熱時(shí)，將產(chǎn)生圖9中的粗線部分所示的傳熱現(xiàn)象。圖9中，傳熱路徑P為經(jīng)由流體缸11中密封的氣體G從發(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b傳熱的傳熱路徑。傳熱路徑q為經(jīng)由流體缸11中密封的氣體G從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b傳熱的傳熱路徑。傳熱路徑r為經(jīng)由Si襯底7及第I絕緣層8從發(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b傳熱的傳熱路徑。傳熱路徑s為經(jīng)由Si襯底7及第I絕緣層8從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b傳熱的傳熱路徑。
[0055]此時(shí)，無(wú)論加速度檢測(cè)元件I向哪個(gè)方向加速，傳熱路徑r及傳熱路徑s都完全不受影響。相反地，當(dāng)加速度檢測(cè)元件I向某個(gè)方向加速時(shí)，由于被密封在流體缸11內(nèi)的氣體G的移動(dòng)，傳熱路徑P及傳熱路徑q將受到各種影響。一般來(lái)說(shuō)，Si襯底7及第I絕緣層8的熱傳導(dǎo)率比氣體G高。因此，從發(fā)熱體3到第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b、以及從發(fā)熱體3到第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b的熱傳導(dǎo)是，以傳熱路徑r及傳熱路徑s為主要路徑，以傳熱路徑P及傳熱路徑q為次要路徑。
[0056]如果對(duì)從發(fā)熱體3向第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b傳熱的傳熱路徑P和從發(fā)熱體3向第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b傳熱的傳熱路徑q進(jìn)行比較可知，后者比前者更容易受到與安裝面正交的方向上的加速度的影響。這是由于，從發(fā)熱體3到第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b傳熱時(shí)，在傳熱方面起支配性作用的是流體缸的長(zhǎng)邊方向，相反地，從發(fā)熱體3到第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b傳熱時(shí)，第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b附近的氣體G在與安裝面正交的方向上的移動(dòng)在某種程度上來(lái)說(shuō)起到了支配性的作用。簡(jiǎn)單地說(shuō)就是，作用于氣體G的與安裝面正交的方向上的加速度不會(huì)影響傳熱路徑P，但會(huì)影響到傳熱路徑q。因此，如果對(duì)第I測(cè)溫體4a及第I測(cè)溫體4b與第2測(cè)溫體5a及第2測(cè)溫體5b的測(cè)溫結(jié)果進(jìn)行比較，便可檢測(cè)到作用于氣體G的與安裝面正交的方向上的加速度。
[0057]下面詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施方式中檢測(cè)加速度的原理。首先來(lái)看公式(I)?(4)。
[0058]公式(I):
[0059]T4a=T40+Δ ΤΗ4+Δ Tv4...(I)
[0060]公式(2):
[0061 ] T4b=T40- Δ Th4+ Δ Tv4...(2)[0062]公式(3):
[0063]
【權(quán)利要求】
1.一種加速度檢測(cè)元件，其特征在于，具有: 外框體,在內(nèi)部形成有能夠密封流體的流體密封室； 發(fā)熱體，形成于對(duì)所述流體密封室進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁面中特定的內(nèi)壁面即特定內(nèi)壁面上； 溫度測(cè)定用的第I測(cè)溫體和溫度測(cè)定用的第2測(cè)溫體，所述第I測(cè)溫體和第2測(cè)溫體形成于所述特定內(nèi)壁面上，而且，從所述第I測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離比從所述第2測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離短；以及 差分運(yùn)算電路，計(jì)算所述第I測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果與所述第2測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果的差。
2.一種加速度檢測(cè)元件，其特征在于，具有: 外框體,在內(nèi)部形成有能夠密封流體的流體密封室； 發(fā)熱體，形成于對(duì)所述流體密封室進(jìn)行分隔的多個(gè)內(nèi)壁面中特定的內(nèi)壁面即特定內(nèi)壁面上； 溫度測(cè)定用的一對(duì)第I測(cè)溫體和溫度測(cè)定用的一對(duì)第2測(cè)溫體，所述一對(duì)第I測(cè)溫體和所述一對(duì)第2測(cè)溫體形成于所述特定內(nèi)壁面上，其中，所述一對(duì)第I測(cè)溫體以包夾所述發(fā)熱體的方式等距離地配置在所述發(fā)熱體的外圍，所述一對(duì)第2測(cè)溫體也以包夾所述發(fā)熱體的方式等距離地配置在所述發(fā)熱體的外圍，而且，從所述一對(duì)第I測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離比從所述一對(duì)第2測(cè)溫體到所述發(fā)熱體的距離短； 第I總和運(yùn)算電路，計(jì)算所述一對(duì)第I測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果的總和； 第2總和運(yùn)算電路，計(jì)算所述一對(duì)第2測(cè)溫體的測(cè)定結(jié)果的總和；以及 差分運(yùn)算電路，計(jì)算所述第I總和運(yùn)算電路的運(yùn)算結(jié)果和所述第2總和運(yùn)算電路的運(yùn)算結(jié)果的差。
3.如權(quán)利要求2所述的加速度檢測(cè)元件，其特征在于， 所述發(fā)熱體、所述一對(duì)第I測(cè)溫體和所述第2測(cè)溫體排成一列地配置。
4.如權(quán)利要求3所述的加速度檢測(cè)元件，其特征在于，還具有: 一對(duì)內(nèi)側(cè)流體控制突起部，所述一對(duì)內(nèi)側(cè)流體控制突起部分別配置于所述一對(duì)第I測(cè)溫體和所述一對(duì)第2測(cè)溫體之間，且從所述特定內(nèi)壁面突出地形成。
5.如權(quán)利要求4所述的加速度檢測(cè)元件，其特征在于，還具有: 一對(duì)外側(cè)流體控制突起部，所述一對(duì)外側(cè)流體控制突起部分別與所述一對(duì)內(nèi)側(cè)流體控制突起部包夾所述一對(duì)第2測(cè)溫體地配置在相反側(cè)，且從所述特定內(nèi)壁面突出地形成。
6.如權(quán)利要求5所述的加速度檢測(cè)元件，其特征在于， 所述一對(duì)內(nèi)側(cè)流體控制突起部的突出量與所述一對(duì)外側(cè)流體控制部的突出量相等。
【文檔編號(hào)】G01P15/12GK103675343SQ201310386250
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月31日
【發(fā)明者】田邊昭 申請(qǐng)人:瑞薩電子株式會(huì)社