一種高壓測試模塊的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種高壓測試模塊,包括底座,與底座垂直的支撐板,伺服電機,同步輪及同步帶;支撐板兩側(cè)的同步帶上分別設(shè)置有第一及第二水平移動底座;水平移動底座上均安裝有升降氣缸,升降氣缸驅(qū)動有垂直移動底座,垂直移動底座頂端安裝有元件支撐塊;支撐板側(cè)邊安裝有支撐梁及測試針支撐塊,支撐梁上安裝有支撐架,支撐架一側(cè)安裝有導(dǎo)輥,導(dǎo)輥與測試針支撐塊之間設(shè)置有高壓測試針;支撐架的另一側(cè)安裝有壓塊升降氣缸,壓塊升降氣缸的活塞端安裝有壓塊,工作時壓塊對應(yīng)所述第一元件支撐塊或者第二元件支撐塊。該發(fā)明具有高效、精確的優(yōu)點,人工勞動強度低且測試效率高,保證了整個測試封裝過程的有序進行。
【專利說明】一種高壓測試模塊
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種高壓測試模塊,特別涉及一種用于半導(dǎo)體元器件的高壓測試模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體測試封裝行業(yè)中,需要對半導(dǎo)體元器件進行高壓測試以測試其導(dǎo)通性能,現(xiàn)有技術(shù)是人工手動對半導(dǎo)體元器件一個一個進行高壓測試,不僅效率低下,且測試精度較差,工人勞動強度大,從而影響了整體測試封裝進度。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種高壓測試模塊,以代替人工對半導(dǎo)體元器件進行聞效率的聞壓測試,并提聞生廣效率。
[0004]為達到上述目的,本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種高壓測試模塊,包括底座,所述底座上設(shè)置有伺服電機,由所述伺服電機驅(qū)動的同步輪,以及由所述同步輪驅(qū)動的同步帶;
[0006]所述同步帶中間設(shè)置有與所述底座垂直的支撐板,所述支撐板兩側(cè)的所述同步帶上分別設(shè)置有第一水平移動底座及第二水平移動底座;
[0007]所述第一水平移動底座上安裝有第一升降氣缸,所述第一升降氣缸的活塞端安裝有第一垂直移動底座,所述第一垂直移動底座頂端安裝有第一兀件支撐塊;
[0008]所述第二水平移動底座上安裝有第二升降氣缸,所述第二升降氣缸的活塞端安裝有第二垂直移動底座,所述第二垂直移動底座頂端安裝有第二元件支撐塊;
[0009]所述支撐板頂端安裝有測試針支撐塊,側(cè)邊安裝有支撐梁,所述支撐梁上安裝有對應(yīng)所述支撐板頂部的支撐架;所述支撐架對應(yīng)所述測試針支撐塊的一側(cè)安裝有導(dǎo)輥升降氣缸,所述導(dǎo)輥升降氣缸的活塞端安裝有導(dǎo)輥支架,所述導(dǎo)輥支架上安裝有導(dǎo)輥,所述導(dǎo)輥與所述底座平行設(shè)置,所述導(dǎo)輥與測試針支撐塊之間設(shè)置有高壓測試針;所述支撐架的另一側(cè)安裝有壓塊升降氣缸,所述壓塊升降氣缸的活塞端安裝有壓塊,工作時所述壓塊依次對應(yīng)所述第一元件支撐塊或者第二元件支撐塊。
[0010]進一步的,所述支撐板的頂部兩側(cè)設(shè)置有水平導(dǎo)軌,所述第一水平移動底座及第二水平移動底座上均設(shè)置有對應(yīng)并配合所述水平導(dǎo)軌的滑塊。
[0011]進一步的,所述第一升降氣缸與第一垂直移動底座分別位于所述第一水平移動底座的兩側(cè),所述第一升降氣缸與所述第一垂直移動底座之間通過水平設(shè)置的第一垂直底座支架連接,所述第一水平移動底座上垂直設(shè)置有對應(yīng)所述第一垂直底座支架的第一緩沖器。
[0012]進一步的,所述第二升降氣缸與第二垂直移動底座分別位于所述第二水平移動底座的兩側(cè),所述第二升降氣缸與所述第二垂直移動底座之間通過水平設(shè)置的第二垂直底座支架連接,所述第二水平移動底座上垂直設(shè)置有對應(yīng)所述第二垂直底座支架的第二緩沖器。
[0013]進一步的,所述導(dǎo)輥的數(shù)量為3根且平行安裝于所述導(dǎo)輥支架上,所述高壓測試針分為兩組并分別穿過3根所述導(dǎo)輥形成的兩道導(dǎo)輥間隙。
[0014]進一步的,所述支撐板的兩側(cè)還分別設(shè)置有垂直于所述支撐板的限位塊,所述限位塊分別對應(yīng)所述第一水平移動底座及第二水平移動底座。
[0015]通過上述技術(shù)方案,本發(fā)明提供的一種高壓測試模塊,其通過伺服電機帶動兩組水平及垂直移動機構(gòu)將裝有元件的元件支撐塊移動至對應(yīng)高壓測試針的位置,再通過壓塊將元件壓緊,最后通過高壓測試針對元件進行高壓測試,相比人工測試,該發(fā)明具有高效、精確的優(yōu)點,人工勞動強度低且測試效率高,保證了整個測試封裝過程的有序進行。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0017]圖1為實施例所公開的一種高壓測試模塊的立體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018]圖2為實施例所公開的高壓測試模塊另一視角的立體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019]圖3為圖2中A部放大結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖中數(shù)字表示:
[0021]11.底座12.伺服電機
[0022]13.同步輪14.同步帶
[0023]15.第一水平移動底座16.第二水平移動底座
[0024]17.第一升降氣缸 18.第一垂直底座支架
[0025]19.第一垂直移動底座20.第一元件支撐塊
[0026]21.第二升降氣缸 22.第二垂直底座支架
[0027]23.第二垂直移動底座24.第二元件支撐塊
[0028]25.支撐板26.測試針支撐塊
[0029]27.高壓測試針28.支撐梁
[0030]29.支撐架30.壓塊
[0031]31.導(dǎo)輥升降氣缸 32.導(dǎo)輥支架
[0032]33.導(dǎo)輥34.水平導(dǎo)軌
[0033]35.滑塊36.第一緩沖器
[0034]37.第二緩沖器38.限位塊
【具體實施方式】
[0035]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。
[0036]參考圖1至3,本發(fā)明提供的高壓測試模塊,包括底座11,底座11上設(shè)置有伺服電機12,由伺服電機12驅(qū)動的同步輪13,以及由同步輪13驅(qū)動的同步帶14 ;同步帶14中間設(shè)置有與底座11垂直的支撐板25,支撐板25兩側(cè)的所述同步帶14上分別設(shè)置有第一水平移動底座15及第二水平移動底座16 ;第一水平移動底座15上安裝有第一升降氣缸17,第一升降氣缸17的活塞端安裝有第一垂直移動底座19,第一垂直移動底座19頂端安裝有第一元件支撐塊20 ;第二水平移動底座16上安裝有第二升降氣缸21,第二升降氣缸21的活塞端安裝有第二垂直移動底座23,第二垂直移動底座23頂端安裝有第二元件支撐塊24 ;支撐板25頂端安裝有測試針支撐塊26,側(cè)邊安裝有支撐梁28,支撐梁28上安裝有對應(yīng)支撐板25頂部的支撐架29 ;支撐架29對應(yīng)測試針支撐塊26的一側(cè)安裝有導(dǎo)輥升降氣缸31,導(dǎo)輥升降氣缸31的活塞端安裝有導(dǎo)輥支架32,導(dǎo)輥支架32上安裝有導(dǎo)輥33,導(dǎo)輥33與底座平行設(shè)置,導(dǎo)輥33與測試針支撐塊26之間設(shè)置有高壓測試針27 ;支撐架29的另一側(cè)安裝有壓塊升降氣缸,壓塊升降氣缸的活塞端安裝有壓塊30,工作時壓塊30對應(yīng)所述第一元件支撐塊20或者第二元件支撐塊24。
[0037]支撐板25的頂部兩側(cè)設(shè)置有水平導(dǎo)軌34,第一水平移動底座15及第二水平移動底座16上均設(shè)置有對應(yīng)并配合水平導(dǎo)軌34的滑塊35。
[0038]第一升降氣缸17與第一垂直移動底座19分別位于第一水平移動底座15的兩側(cè),第一升降氣缸17與第一垂直移動底座19之間通過水平設(shè)置的第一垂直底座支架18連接,第一水平移動底座15上垂直設(shè)置有對應(yīng)第一垂直底座支架18的第一緩沖器36,通過第一緩沖器36的設(shè)置以確保第一升降氣缸17復(fù)位時起到減震作用。
[0039]第二升降氣缸21與第二垂直移動底座23分別位于第二水平移動底座16的兩側(cè),第二升降氣缸21與第二垂直移動底座23之間通過水平設(shè)置的第二垂直底座支架22連接,第二水平移動底座16上垂直設(shè)置有對應(yīng)第二垂直底座支架22的第二緩沖器37,通過第二緩沖器37的設(shè)置以確保第二升降氣缸21復(fù)位時起到減震作用。
[0040]導(dǎo)輥33的數(shù)量為3根且平行安裝于導(dǎo)輥支架32上,高壓測試針27分為兩組并分別穿過3根導(dǎo)輥33形成的兩道導(dǎo)輥33間隙,該結(jié)構(gòu)設(shè)置用于將分別測試元件不同位置的兩組高壓測試針27分為上下兩層,較短的高壓測試針27位于下層,較長的高壓測試針27位于上層。
[0041]支撐板25的兩側(cè)還分別設(shè)置有垂直于支撐板25的限位塊38,限位塊38分別對應(yīng)第一水平移動底座15及第二水平移動底座16,在第一水平移動底座15及第二水平移動底座16移動時進行限位。
[0042]本發(fā)明的工作原理為:
[0043]首先將該發(fā)明安裝在對應(yīng)轉(zhuǎn)盤式半導(dǎo)體測試分選機高壓測試的吸嘴位置處;
[0044]高壓測試針27及壓塊30均處于復(fù)位狀態(tài),伺服電機12驅(qū)動同步輪13帶動同步帶14轉(zhuǎn)動,然后將第一組水平及垂直移動機構(gòu)移動至對應(yīng)吸嘴處,第二組遠離吸嘴,此時第一升降氣缸17驅(qū)動第一垂直移動底座19上升使第一元件支撐塊20對應(yīng)吸嘴,吸嘴將元件防止在第一元件支撐塊20的凹槽內(nèi),此時第二升降驅(qū)動驅(qū)動第二垂直移動底座23處于上升狀態(tài);
[0045]第一升降氣缸17驅(qū)動第一垂直移動底座19下降使第一元件支撐塊20復(fù)位,然后伺服電機12驅(qū)動同步輪13帶動同步帶14轉(zhuǎn)動,使第一元件支撐塊20移動至對應(yīng)壓塊30及高壓測試針27位置處,帶有吸嘴的轉(zhuǎn)盤同步轉(zhuǎn)動,此時第二元件支撐塊24移動至對應(yīng)剛轉(zhuǎn)動至相應(yīng)位置的吸嘴,吸嘴將元件防止在第二元件支撐塊24的凹槽內(nèi);
[0046]第一升降氣缸17驅(qū)動第一垂直移動底座19上升使第一元件支撐塊20上升,然后壓塊升降氣缸驅(qū)動壓塊30下降并壓住第一元件支撐塊20上的元件,最后導(dǎo)輥升降氣缸31驅(qū)動高壓測試針27下降并接觸元件的相應(yīng)位置進行高壓測試;
[0047]待第一元件支撐塊20上的元件高壓測試完畢,高壓測試針27及壓塊30復(fù)位,第二升降氣缸21驅(qū)動第二垂直移動底座23下降使第二元件支撐塊24下降,伺服電機12驅(qū)動同步輪13帶動同步帶14轉(zhuǎn)動,并使第二元件支撐塊24移動至對應(yīng)高壓測試針27及壓塊30處,此時第一元件支撐塊20對應(yīng)另一空吸嘴,該空吸嘴將經(jīng)過高壓測試的元件吸走;
[0048]第二升降氣缸21驅(qū)動第二垂直移動底座23上升使第二元件支撐塊24上升,然后壓塊升降氣缸驅(qū)動壓塊30下降并壓住第二元件支撐塊24上的元件,最后導(dǎo)輥升降氣缸31驅(qū)動高壓測試針27下降并接觸元件的相應(yīng)位置進行高壓測試;
[0049]然后重復(fù)上述步驟依次交替對第一元件支撐塊20及第二元件支撐塊24上的元件進行高壓測試。
[0050]對上述實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。
【權(quán)利要求】
1.一種高壓測試模塊,其特征在于,包括底座,所述底座上設(shè)置有伺服電機,由所述伺服電機驅(qū)動的同步輪,以及由所述同步輪驅(qū)動的同步帶; 所述同步帶中間設(shè)置有與所述底座垂直的支撐板,所述支撐板兩側(cè)的所述同步帶上分別設(shè)置有第一水平移動底座及第二水平移動底座; 所述第一水平移動底座上安裝有第一升降氣缸,所述第一升降氣缸的活塞端安裝有第一垂直移動底座,所述第一垂直移動底座頂端安裝有第一元件支撐塊; 所述第二水平移動底座上安裝有第二升降氣缸,所述第二升降氣缸的活塞端安裝有第二垂直移動底座,所述第二垂直移動底座頂端安裝有第二元件支撐塊; 所述支撐板頂端安裝有測試針支撐塊,側(cè)邊安裝有支撐梁,所述支撐梁上安裝有對應(yīng)所述支撐板頂部的支撐架;所述支撐架對應(yīng)所述測試針支撐塊的一側(cè)安裝有導(dǎo)輥升降氣缸,所述導(dǎo)輥升降氣缸的活塞端安裝有導(dǎo)輥支架,所述導(dǎo)輥支架上安裝有導(dǎo)輥,所述導(dǎo)輥與所述底座平行設(shè)置,所述導(dǎo)輥與測試針支撐塊之間設(shè)置有高壓測試針;所述支撐架的另一側(cè)安裝有壓塊升降氣缸,所述壓塊升降氣缸的活塞端安裝有壓塊,工作時所述壓塊依次對應(yīng)所述第一元件支撐塊或者第二元件支撐塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓測試模塊,其特征在于,所述支撐板的頂部兩側(cè)設(shè)置有水平導(dǎo)軌,所述第一水平移動底座及第二水平移動底座上均設(shè)置有對應(yīng)并配合所述水平導(dǎo)軌的滑塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓測試模塊,其特征在于,所述第一升降氣缸與第一垂直移動底座分別位于所述第一水平移動底座的兩側(cè),所述第一升降氣缸與所述第一垂直移動底座之間通過水平設(shè)置的第一垂直底座支架連接,所述第一水平移動底座上垂直設(shè)置有對應(yīng)所述第一垂直底座支架的第一緩沖器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓測試模塊,其特征在于,所述第二升降氣缸與第二垂直移動底座分別位于所述第二水平移動底座的兩側(cè),所述第二升降氣缸與所述第二垂直移動底座之間通過水平設(shè)置的第二垂直底座支架連接,所述第二水平移動底座上垂直設(shè)置有對應(yīng)所述第二垂直底座支架的第二緩沖器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓測試模塊,其特征在于,所述導(dǎo)輥的數(shù)量為3根且平行安裝于所述導(dǎo)輥支架上,所述高壓測試針分為兩組并分別穿過3根所述導(dǎo)輥形成的兩道導(dǎo)棍間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高壓測試模塊,其特征在于,所述支撐板的兩側(cè)還分別設(shè)置有垂直于所述支撐板的限位塊,所述限位塊分別對應(yīng)所述第一水平移動底座及第二水平移動底座。
【文檔編號】G01R1/04GK104076168SQ201310098241
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年3月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月25日
【發(fā)明者】張巍巍 申請人:江蘇格朗瑞科技有限公司