光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置、測量方法及測量用程序的制作方法【專利摘要】本發(fā)明的目的在于通過將入射光垂直照射于試樣而謀求裝置整體的小型化，同時(shí)可在極短時(shí)間內(nèi)測量光學(xué)軸的方向以及異向性的大小。本發(fā)明的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置，形成有從激光器(6)將入射光朝垂直方向照射至試樣(3)且將朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由半透半反鏡(7)引導(dǎo)至受光元件(9)的測量光學(xué)系統(tǒng)(4)，在激光器(6)與半透半反鏡(7)之間配置偏振器(P)，并且在半透半反鏡(7)與受光元件(9)之間配置檢光器(A)，在半透半反鏡(7)與試樣(3)之間配置：1/2波長板(12)，使通過偏振器(P)所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)；以及1/4波長板(13)，使遲相軸的方向從相對于1/2波長板(12)的遲相軸偏移了±δ(δ≠nπ/4，n是整數(shù))的初始位置，以旋轉(zhuǎn)角度相對于1/2波長板(12)成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。【專利說明】光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置、測量方法及測量用程序【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種測量具有光學(xué)異向性的試樣的光學(xué)軸的方位及異向性的大小的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置、測量方法及測量用程序，尤其適用于液晶配向膜的檢查等?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]液晶顯示器形成為如下構(gòu)造:在表面疊層了透明電極及配向膜的背側(cè)玻璃基板、及在表面疊層形成了彩色濾光膜，透明電極及配向膜的表側(cè)玻璃基板，隔著間隔件(spacer)使配向膜彼此相對向且在該配向膜的間隙封入了液晶的狀態(tài)下密封，并且在其表背兩側(cè)疊層有偏振光濾光膜。[0003]在此，為了使液晶顯示器正常動(dòng)作，需使液晶分子均勻地排列在相同方向，且由配向膜來決定液晶分子的方向性。[0004]該配向膜之所以可使液晶分子整齊排列，是因?yàn)榫哂蟹肿优湎?，配向膜只要涵蓋其整個(gè)面具有均勻的分子配向，則不容易在液晶顯示器產(chǎn)生缺陷，且只要分子配向的不均勻部分存在，液晶分子的方向就會(huì)紊亂，液晶顯示器便成為不良品。[0005]即，配向膜的質(zhì)量會(huì)直接影響液晶顯示器的質(zhì)量，只要配向膜有缺陷，液晶分子的方向性就會(huì)紊亂，因此在液晶顯示器也會(huì)產(chǎn)生缺陷。[0006]因此，在組裝液晶顯示器時(shí)，只要預(yù)先檢查配向膜是否有缺陷并僅使用質(zhì)量穩(wěn)定的配向I旲，則液晶顯不器的成品率提聞，且生廣效率提聞。[0007]因此，存在想要簡易測量因?yàn)榕湎蚰さ姆肿优湎蛩鶎?dǎo)致光學(xué)異向性的光學(xué)軸的方向或異向性的大小的求要，本申請人:提出一種高速測量因?yàn)榉肿优湎蛩鶎?dǎo)致的光學(xué)異向性的方法(參照專利文獻(xiàn)I)。[0008]該方法是一種將入射光傾斜照射至液晶配向膜等的試樣，檢測出其反射光的偏振狀態(tài)的方法，基于將光學(xué)系統(tǒng)或試樣載置臺(tái)(stage)旋轉(zhuǎn)所獲得的反射光強(qiáng)度，來測量其測量點(diǎn)中的光學(xué)軸的方向、異向性的大小，具有針對異向性的靈敏度高且測量時(shí)間短的優(yōu)點(diǎn)。[0009]然而，在從傾斜方向以規(guī)定的入射角照射光的光學(xué)系統(tǒng)中，由于反射光是以與入射角相同的反射角來反射，因此必須將入射光及反射光的光路相對于測量中心確保在兩偵牝因此會(huì)有測量裝置大型化的問題。[0010]而且，在使光學(xué)系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于也需確保成為與該旋轉(zhuǎn)半徑對應(yīng)的運(yùn)轉(zhuǎn)區(qū)域的圓形空間，因此更需要大型的設(shè)置空間。[0011]尤其液晶顯示器的母玻璃(motherglass)的大小，即使是中小型液晶顯示器用母玻璃其I邊也為2m左右，而大型液晶顯示器用母玻璃則I邊超過3m，因此為了在母玻璃的狀態(tài)下于所限定的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行測量，需將多個(gè)測量裝置配置成一次元或矩陣(matrix)狀，因此要求將測量裝置小型化。[0012]因此，只要將光垂直照射于試樣的測量面來測量光學(xué)異向性參數(shù)，則能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化，而該種測量裝置也已被提出(參照專利文獻(xiàn)2)。[0013]圖11示出該測量裝置31的說明圖，其形成有將來自成為光源的激光器32通過半透半反鏡33反射的入射光在垂直方向照射于試樣34,并且將來自試樣34在垂直方向反射的反射光穿過上述半透半反鏡33而引導(dǎo)至受光元件35的光路，由于不傾斜照射入射光，因此能夠?qū)崿F(xiàn)裝置31的小型化。[0014]在該測量裝置31中，在激光器32與半透半反鏡33之間配置固定偏振器P，并且在半透半反鏡33與受光元件35之間可旋轉(zhuǎn)地配置檢光器A，且在半透半反鏡33與試樣34之間，可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有使通過偏振器P所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)的1/2波長板36。[0015]此時(shí)，如果使1/2波長板36旋轉(zhuǎn)180°,則照射于試樣34的直線偏振光的入射方位就會(huì)旋轉(zhuǎn)360°，因此只要一邊使1/2波長板例如每5°停止，一邊使檢光器A旋轉(zhuǎn)360°,則可以檢測出照射于試樣的直線偏振光的入射方位每10°變化時(shí)的反射光的偏振狀態(tài)。[0016]然后，例如，如果將檢光器A每旋轉(zhuǎn)10°來測量反射光強(qiáng)度,則在檢光器A的旋轉(zhuǎn)角Θ與反射光強(qiáng)度R的關(guān)系上可獲得36個(gè)數(shù)據(jù)，基于此數(shù)據(jù)進(jìn)行傅立葉(Fourier)解析，則可獲得此時(shí)的直線偏振光相對于入射方位Ψ的一個(gè)相位差數(shù)據(jù)。[0017]然而，為了獲得直線偏振光相對于入射方位O至360°的相位差數(shù)據(jù)，必須一邊使1/2波長板36例如每5°停止，一邊針對0°至180°的36點(diǎn)進(jìn)行測量，因此要使檢光器A相對于該一個(gè)角度旋轉(zhuǎn)360°且針對每10°取得36個(gè)數(shù)據(jù)，因此要使檢光器A旋轉(zhuǎn)36次而取得合計(jì)共36X36=1296點(diǎn)的數(shù)據(jù)，不僅測量耗費(fèi)時(shí)間，之后的計(jì)算處理也耗費(fèi)時(shí)間，并不能組入于實(shí)際生產(chǎn)線。[0018]如果使1/2波長板36每10°停止且針對檢光器A的每10度取得數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)數(shù)就會(huì)減少至1/4而為18X18=324，但結(jié)果檢光器A還是必須旋轉(zhuǎn)18次，因此測量時(shí)間只減少1/2左右，而且，會(huì)有測量精確度隨數(shù)據(jù)數(shù)減少而降低的問題。[0019][在先技術(shù)文獻(xiàn)][0020]專利文獻(xiàn)I[0021]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-76324號(hào)公報(bào)[0022]專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-304645號(hào)公報(bào)【
發(fā)明內(nèi)容】[0023]因此，本發(fā)明的技術(shù)課題在于通過將入射光垂直照射于試樣而謀求裝置整體的小型化，同時(shí)可在極短時(shí)間內(nèi)測量光學(xué)軸的方向及異向性的大小。[0024]為了解決上述問題，本發(fā)明是提供一種光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置，基于照射至試樣的測量區(qū)域的入射光及其反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的特征在于包括:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件；以及運(yùn)算處理裝置，基于通過受光元件所檢測出的反射光強(qiáng)度來算出光學(xué)異向性參數(shù)，上述測量光學(xué)系統(tǒng)在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移土δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，其中，δ古ηπ/4，η是整數(shù)，上述運(yùn)算處理裝置算出使1/4波長板從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(+δ)、與使1/4波長板從初始位置一δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(—δ)的差分AR，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分ΛR的關(guān)系來決定試樣的光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。[0025]本發(fā)明所涉及的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置具備測量光學(xué)系統(tǒng)，該測量光學(xué)系統(tǒng)從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件。[0026]因此,入射光將朝垂直方向照射于試樣,與從傾斜方向照射入射光的情況相比較，不僅可將裝置小型化，而且不需要使光學(xué)系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)，因此不需確保其空間。[0027]從激光器照射的光通過偏振器成為直線偏振光，并通過1/2波長板使該直線偏振光的偏振軸旋轉(zhuǎn)，通過使遲相軸偏移土δ所配置的1/4波長板轉(zhuǎn)換為橢圓偏振光，而朝垂直方向照射于試樣。[0028]該反射光所包含的偏振光成分中的偏振狀態(tài)未變化的偏振光成分，再次通過1/4波長板時(shí)恢復(fù)為直線偏振光，在通過1/2波長板的時(shí)間點(diǎn)恢復(fù)為偏振軸與通過偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光相等的直線偏振光，因此會(huì)被相對于偏振器為正交尼柯耳的關(guān)系的檢光器所切斷(cut)，相對于此，偏振狀態(tài)變化了的偏振光成分，由于成為與原來的直線偏振光不同的偏振狀態(tài)，因此會(huì)穿過檢光器而到達(dá)受光元件，能夠檢測出做為光強(qiáng)度的變化。[0029]來自具有光學(xué)異向性的試樣表面的反射光，由于偏振光成分發(fā)生變化，因此與該異向性相對應(yīng)來檢測光強(qiáng)度變化。[0030]在進(jìn)行實(shí)際測量時(shí)，對使1/4波長板從初始位置+δ與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(+S)、使1/4波長板從初始位置一δ與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(—S)進(jìn)行測量。[0031]S卩，關(guān)于一個(gè)測量點(diǎn)，針對將1/4波長板的初始位置設(shè)為+δ時(shí)以及設(shè)為一δ時(shí)的2次，僅使1/2波長板旋轉(zhuǎn)180°，同時(shí)使1/4波長板旋轉(zhuǎn)360°就完成測量。[0032]接著算出反射光強(qiáng)度的差分ΛR=R(+δ)-R(-δ)。[0033]S卩，通過取得處于對稱關(guān)系的2個(gè)橢圓偏振光的反射光中所包含的偏振狀態(tài)的差分，即可僅抽出起因于試樣的光學(xué)異向性的偏振狀態(tài)的變化。[0034]然后，可根據(jù)直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與差分ΛR的關(guān)系，來決定試樣的光學(xué)軸的方向及光學(xué)異向性的大小。[0035]例如，若繪出以直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角為X軸，以差分為Y軸的曲線圖，在旋轉(zhuǎn)角為試樣的光學(xué)軸的方向，由于差分ΛR為0，因此讀取該旋轉(zhuǎn)角就可知道試樣的光學(xué)軸的方向。[0036]此外，由于異向性的大小會(huì)反映在差分ΛR的高度方向的振幅，因此根據(jù)差分的極大值或極小值的大小就可判斷光學(xué)異向性的大小，可極簡單地并在短時(shí)間內(nèi)測量這些光學(xué)異向性參數(shù)。[0037]另外，此時(shí)的差分呈現(xiàn)近似于以180°為I周期的正弦曲線的變化，每90°取得O的值。這是因?yàn)閷⒃嚇拥墓鈱W(xué)軸的方向設(shè)為0°時(shí)，反射光強(qiáng)度會(huì)在0°與180°時(shí)相等，并且反射光強(qiáng)度會(huì)在90°與270°相等。[0038]因此，僅從該數(shù)據(jù)將無法確定光學(xué)軸的方向。[0039]然而，例如，液晶配向膜的制品試驗(yàn)是用于確認(rèn)多個(gè)測量點(diǎn)中的配向方向(光學(xué)軸的方向)的分布狀態(tài)、或從配向處理的方向的偏移，通過配向處理大致的配向方向是已知的，其偏移最大也就20°左右，因此不會(huì)有將光學(xué)軸的方向錯(cuò)認(rèn)為是90°的情況。【專利附圖】【附圖說明】[0040]圖1是示出本發(fā)明所涉及的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的一個(gè)例子的說明圖。[0041]圖2是不出其處理順序的說明圖。[0042]圖3(a)至圖3(c)是示出本發(fā)明方法進(jìn)行的測量結(jié)果的曲線圖。[0043]圖4是示出光學(xué)軸的方向的分布的曲線圖。[0044]圖5是示出異向性的大小的分布的曲線圖。[0045]圖6(a)至圖6(g)是示出本發(fā)明所涉及的另一方法進(jìn)行的測量結(jié)果的曲線圖。[0046]圖7(a)至圖7(d)是示出本發(fā)明所涉及的另一方法進(jìn)行的測量結(jié)果的曲線圖。[0047]圖8(a)至圖8(c)是示出本發(fā)明所涉及的另一方法進(jìn)行的測量結(jié)果的曲線圖。[0048]圖9是示出本發(fā)明所涉及的另一光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的說明圖。[0049]圖10是示出本發(fā)明所涉及的又一光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的說明圖。[0050]圖11是示出現(xiàn)有裝置的說明圖。[0051]主要元件符號(hào)說明[0052]I光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置；2載置臺(tái)；3試樣；S測量點(diǎn)(測量區(qū)域)；4測量光學(xué)系統(tǒng)；5運(yùn)算處理裝置；6激光器；7半透半反鏡；9受光元件；P偏振器；A檢光器；10二維光位置檢測元件；121/2波長板；131/4波長板；14對物側(cè)聚光透鏡；17檢測側(cè)聚光透鏡；18針孔?！揪唧w實(shí)施方式】[0053]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)通過將入射光垂直照射于試樣而謀求裝置整體的小型化，同時(shí)可在極短時(shí)間內(nèi)測量光學(xué)軸的方向及異向性的大小的目的，具備:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件；以及運(yùn)算處理裝置，基于通過受光元件所檢測出的反射光強(qiáng)度來算出光學(xué)異向性參數(shù)。[0054]測量光學(xué)系統(tǒng)在激光器與半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，且在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，使遲相軸的方向從相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移了土δ(δ古ηπ/4，η是整數(shù))的初始位置，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。[0055]運(yùn)算處理裝置算出使1/4波長板從初始位置+δ與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(+S)、與使1/4波長板從初始位置一δ與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(—δ)的差分AR，且根據(jù)上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分ΔR的關(guān)系來決定試樣的光學(xué)軸的方向及光學(xué)異向性的大小。[0056](實(shí)施例1)[0057]圖1所示的本例的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置I是用于檢測設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3上的測量點(diǎn)(點(diǎn)狀測量區(qū)域)S的光學(xué)異向性參數(shù)的裝置。[0058]該光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置I是用以基于照射至測量點(diǎn)S的入射光與該反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該測量點(diǎn)S中的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小的裝置，其具備進(jìn)行其偏振光解析的測量光學(xué)系統(tǒng)4及電腦等運(yùn)算處理裝置5。[0059]在測量光學(xué)系統(tǒng)4中，形成有:從成為光源的激光器6經(jīng)由半透半反鏡7將入射光朝垂直方向照射至測量區(qū)域S的入射光路L1;使從測量區(qū)域S朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由半透半反鏡7分岔，并且在半透半反鏡8使之分岔而引導(dǎo)至受光元件9的反射光路L2；以及將穿過半透半反鏡8的光引導(dǎo)至二維光位置檢測元件10的擺動(dòng)檢測光路L3。[0060]在入射光路L1中，在激光器6與半透半反鏡7之間，配置有將其照射光放大且設(shè)為平行光束的光束擴(kuò)展器11與偏振器P，且在半透半反鏡7與載置臺(tái)2之間配置有:1/2波長板12，為了使通過偏振器P所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而通過馬達(dá)M1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板13，使遲相軸的方向從相對于上述1/2波長板12的遲相軸偏移+δ(δ古ηπ/4，η是整數(shù))的初始位置使旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板12成為2倍的方式通過馬達(dá)M2同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。[0061]另外，在1/4波長板13與載置臺(tái)2之間，以可通過馬達(dá)M3轉(zhuǎn)動(dòng)而且通過對物側(cè)聚光透鏡14使入射光在試樣3的表面上以連結(jié)焦點(diǎn)的方式通過馬達(dá)M4可上下移動(dòng)地配置有旋轉(zhuǎn)器(revolver)16,該旋轉(zhuǎn)器16具備使入射光聚光的對物側(cè)聚光透鏡14,并且形成有在平行光狀態(tài)下使入射光穿過的透孔15。[0062]在本例中，激光器6是使用波長532nm、光強(qiáng)度IOmW的半導(dǎo)體激光器，且通過放大率為10倍的光束擴(kuò)展器11放大成直徑5mm的平行光束，穿過使用了消光比10—6的格蘭湯姆森(Glan—Thompson)棱鏡的偏振器P,且穿過對物側(cè)聚光透鏡(Olympus制:倍率50倍)而照射至試樣。[0063]此時(shí),對于試樣的照射光點(diǎn)(spot)系統(tǒng)約為I微米。[0064]在反射光路L2中，于半透半反鏡7及8間配置檢光器A，而在半透半反鏡8與受光元件9之間，設(shè)有在使反射光收斂于焦點(diǎn)位置之后，一邊擴(kuò)散一邊引導(dǎo)至受光元件9的檢測側(cè)聚光透鏡17，并且在該焦點(diǎn)位置設(shè)有針孔(pinhole)18，據(jù)此，能夠去除從對物側(cè)聚光透鏡14的焦點(diǎn)位置以外反射的光噪(noise)(例如試樣的背面反射光)。[0065]在本例中，使用焦點(diǎn)距離25mm的檢測側(cè)聚光透鏡17，穿過孔徑20μm的針孔18，而通過由光電子增倍管所構(gòu)成的受光元件9來檢測出反射光的光強(qiáng)度。[0066]另外，載置臺(tái)2具備可在相對于入射光的光軸Z正交的X軸及Y軸方向移動(dòng)的X平臺(tái)(table)19x、Y平臺(tái)19y;為了進(jìn)行試樣2的擺動(dòng)調(diào)整而能夠在θx以及0y方向傾動(dòng)的θχ平臺(tái)20x以及Θy平臺(tái)20y,且各平臺(tái)可通過馬達(dá)M5至M8驅(qū)動(dòng)。[0067]此外，在本例中，偏振器P的偏振軸朝向?yàn)榕cX軸方向平行，且1/2波長板12的遲相軸在初始位置朝向與偏振軸一致的方向，而1/4波長板13的遲相軸將相對于1/2波長板12的遲相軸偏移了土δ(δ古ηπ/4，η是整數(shù))的位置設(shè)定為初始位置，并使檢光器A的偏振軸朝向?yàn)榕cY軸平行。[0068]即，在初始狀態(tài)下，偏振器P的偏振軸及1/2波長板12的遲相軸朝向X軸方向，而1/4波長板13的遲相軸則相對于X軸朝向+δ或者一δ。[0069]在此，在將偏振器P及檢光器A固定，使1/2波長板12旋轉(zhuǎn)O?180°后，入射至1/4波長板13的直線偏振光以X軸方向?yàn)?°繞著Z軸旋轉(zhuǎn)O?360°。[0070]此時(shí)，直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角用其偏振軸的旋轉(zhuǎn)角來定義，當(dāng)將1/2波長板12的旋轉(zhuǎn)角度設(shè)為Ψ時(shí)，穿過1/2波長板12而入射到1/4波長板13的直線偏振光的偏振軸的旋轉(zhuǎn)角用2Ψ來表示。[0071]此外，由于1/4波長板13從初始位置土δ旋轉(zhuǎn)成為1/2波長板12的2倍的旋轉(zhuǎn)角度，因此該旋轉(zhuǎn)角用2Ψ±δ來表示，遲相軸相對于入射的直線偏振光的偏振軸總是偏移土δ(δ古nJi/4，η是整數(shù))，因此穿過1/4波長板13的光為橢圓偏振光。[0072]由此，橢圓偏振光會(huì)在維持其橢圓率為固定的狀態(tài)下，使相當(dāng)于橢圓長軸的方位角旋轉(zhuǎn)360°并照射至試樣。[0073]另外，在1/4波長板13與旋轉(zhuǎn)器16之間，配置有可在光軸上進(jìn)退的觀察用半透半反鏡21，而在其反射光軸上則配置有觀察試樣3的帶照明的攝像機(jī)22。[0074]此外，此測量光學(xué)系統(tǒng)4可收納于直徑約IOOmm的殼體(未圖示)，而以往的光學(xué)系統(tǒng)包括運(yùn)轉(zhuǎn)范圍需要直徑600mm，因此以面積比而言可小型化至約36分之I。[0075]運(yùn)算處理裝置5在其輸入接口連接有受光元件9、二維光位置檢測元件10及攝像機(jī)22，并且在輸出接口連接有各馬達(dá)M1?M8，并且依照規(guī)定的程序，進(jìn)行試樣3的擺動(dòng)調(diào)整、測量點(diǎn)S的XY面內(nèi)的定位、測量點(diǎn)S的Z軸方向位置的測量、1/2波長板12及1/4波長板13的初始位置設(shè)定與驅(qū)動(dòng)、通過受光元件9所測量的反射光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、光學(xué)異向性參數(shù)的算出等。[0076]圖2是表示運(yùn)算處理裝置5進(jìn)行的一連串的處理順序的流程圖。[0077]將要測量光學(xué)異向性的試樣設(shè)置于載置臺(tái)2，且將主開關(guān)(mainswitch)設(shè)為導(dǎo)通(on)時(shí)，電源供給給運(yùn)算處理裝置5、激光器6、受光元件9及各馬達(dá)M1?M8，開始執(zhí)行以下的處理。[0078]首先，當(dāng)在步驟STPl輸入測量點(diǎn)S的XY座標(biāo)時(shí)，在步驟STP2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)M5、M6,通過XY平臺(tái)19x、19y使測量點(diǎn)S與入射光軸Z—致。[0079][擺動(dòng)調(diào)整單元][0080]接著，在步驟STP3通過馬達(dá)M6使旋轉(zhuǎn)器16旋轉(zhuǎn)而使透孔15進(jìn)出于入射光軸Z，在步驟STP4通過二維光位置檢測元件10判斷來自試樣3的反射光的光軸是否與擺動(dòng)檢測光路L3的光軸一致，當(dāng)不一致時(shí)，在步驟STP5驅(qū)動(dòng)馬達(dá)馬18并通過θχ、0y平臺(tái)20x、20y調(diào)整試樣3的擺動(dòng)返回到步驟STP4，當(dāng)無擺動(dòng)時(shí)，則移動(dòng)到步驟STP6。[0081][對物側(cè)聚光透鏡焦點(diǎn)位置調(diào)整單元][0082]在步驟STP6通過馬達(dá)M3使旋轉(zhuǎn)器16旋轉(zhuǎn)而使對物側(cè)聚光透鏡14進(jìn)出于入射光軸Z，在步驟STP7使聚光透鏡14在入射光軸Z方向進(jìn)行掃描，在步驟STP8將聚光透鏡14的位置固定在受光元件9的受光強(qiáng)度成為最大的位置，并存儲(chǔ)此時(shí)的Z座標(biāo)，然后移動(dòng)到步驟STP9。[0083][測量點(diǎn)檢測單元][0084]在步驟STP9使觀察用半透半反鏡21進(jìn)出于光軸Z，在步驟STPlO進(jìn)行攝像機(jī)22的圖像解析來判斷入射光軸Z是否與測量點(diǎn)S—致，若不一致就在步驟STPll將XY平臺(tái)19x、19y進(jìn)行微調(diào)整然后返回到步驟STP10，只要受到照射就在步驟STP12存儲(chǔ)該XYZ座標(biāo)，使觀察用半透半反鏡21退避，并移動(dòng)到步驟STP13。[0085][反射光強(qiáng)度測量單元][0086]在步驟STP13通過馬達(dá)M1將1/2波長板12的遲相軸設(shè)為與X軸平行，通過馬達(dá)M2使1/4波長板13的遲相軸相對于X軸朝向+δ來設(shè)定初始位置。[0087]之后，在步驟STP14中，通過馬達(dá)札為使1/4波長板13的旋轉(zhuǎn)角度相對于1/2波長板12的旋轉(zhuǎn)角度Ψ成為2倍的方式同步地驅(qū)動(dòng)，在步驟STP15中，則使1/2波長板12依照規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)而由受光元件9測量反射光強(qiáng)度，與穿過了1/2波長板12的直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角即1/2波長板12的旋轉(zhuǎn)角的2倍角度對應(yīng)而存儲(chǔ)反射光強(qiáng)度R(+δ)。[0088]然后，在步驟STP16中，在1/2波長板12旋轉(zhuǎn)180°的時(shí)間點(diǎn)中斷測量。[0089]接著，在步驟STP17通過馬達(dá)M1使1/2波長板12的遲相軸與X軸平行，通過馬達(dá)M2使1/4波長板13的遲相軸相對于X軸朝向一δ而重新設(shè)定初始位置。[0090]之后，在步驟STP18中，通過馬達(dá)MpM2以1/4波長板13的旋轉(zhuǎn)角度相對于1/2波長板12的旋轉(zhuǎn)角度Ψ成為2倍的方式同步地驅(qū)動(dòng)，在步驟STP19中，1/2波長板12旋轉(zhuǎn)至180°為止每進(jìn)行規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)則通過受光元件9測量反射光強(qiáng)度，與穿過了1/2波長板12的直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角即1/2波長板12的旋轉(zhuǎn)角的2倍角度對應(yīng)而存儲(chǔ)反射光強(qiáng)度R(-δ)。[0091][差分算出單元][0092]接著，移動(dòng)到步驟STP20，基于所測量的反射光強(qiáng)度R(+S)及R(—δ)，算出它們的差分AR=R(+S)-R(-δ)。[0093]另外，為了將起因于光學(xué)系統(tǒng)4的光噪去除，根據(jù)需要將試樣3朝向0°方向設(shè)置于載置臺(tái)2的情況下、將試樣3朝向90°方向設(shè)置于載置臺(tái)2的情況下、將無光學(xué)異向性的玻璃等的等向性材料設(shè)置于載置臺(tái)2的情況下進(jìn)行步驟STP13至20的處理也有效。[0094]將這種情況下的各個(gè)反射光強(qiáng)度R表示如下。[0095]R0(+5):使試樣3朝向0°，且將1/4波長板13的初始位置設(shè)為+δ的情況，[0096]R0(—δ):使試樣3朝向0°,且將1/4波長板13的初始位置設(shè)為一δ的情況，[0097]R90(+δ):使試樣3朝向90°，且將1/4波長板13的初始位置設(shè)為+δ的情況，[0098]R90(—δ):使試樣3朝向90°,且將1/4波長板13的初始位置設(shè)為一δ的情況，[0099]RE(+δ):設(shè)置等向性材料，且將1/4波長板13的初始位置設(shè)為+δ的情況，[0100]RE(—δ):設(shè)置等向性材料，且將1/4波長板13的初始位置設(shè)為一δ的情況，[0101]差分ΛR除上述之外，也可通過下式來算出。[0102]ΔR=[R0(+δ)-R0(-δ)]-[Re(+δ)-Re(_δ)][0103]ΔR=[R0(+δ)-R0(-δ))一[R90(+δ)-R90(_δ)][0104]ΔR=ΔR0-ΔR90[0105]ΔR0=[R0(+δ)-R0(-6)]-[Re(+δ)-Re(_δ))[0106]ΔR90=[R90(+δ)-R90(-δ)]-[Re(+δ)-Re(_δ)][0107][異向性分析單元][0108]在步驟STP21中，將直線偏振光相對于旋轉(zhuǎn)角2V的差分AR描繪于曲線圖上，在步驟STP22進(jìn)行擬合處理，描繪2Ψ—AR線圖的曲線圖。[0109]在步驟STP23中讀取成為ΛR=O的角度，其中之一為在試樣3的測量點(diǎn)S中的光學(xué)軸的方向。[0110]此外，只要測量點(diǎn)S內(nèi)的光學(xué)軸的方向一致，則可以說異向性較大，可以通過ΛR的高度方向的振幅來評價(jià)。因此，在步驟STP24中，通過算出ΛR的極大值與極小值的差、從O至極大值的高度等反映出ΛR的高度方向的振幅的值，來評價(jià)異向性的大小。[0111]以上是本發(fā)明的一個(gè)構(gòu)成例，接著說明本發(fā)明方法。[0112]例如，作為試樣3，將涂布有實(shí)施了配向處理的液晶配向膜的IXD用TFT基板(每一像素30微米)，使其配向處理的方向與X軸平行而設(shè)置于載置臺(tái)2，使對物透鏡用自動(dòng)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)器旋轉(zhuǎn)，在使對物透鏡從光路離開的狀態(tài)下基于光位置檢測元件的信號(hào)進(jìn)行擺動(dòng)調(diào)難iF.0[0113]在擺動(dòng)調(diào)整之后，將對物側(cè)聚光透鏡14插入到入射光軸Z，將聚光透鏡14朝Z方向掃描。只要將對物側(cè)取光透鏡14的位置固定于在受光元件9的強(qiáng)度成為最大的位置并存儲(chǔ)此時(shí)的Z座標(biāo)，則可測量測量點(diǎn)S的Z方向位置。[0114]接著，通過攝像機(jī)22的圖像，調(diào)整XY平臺(tái)19x、19y以使入射光照射于TFT基板的像素內(nèi)之后，測量反射光強(qiáng)度。[0115]首先，針對1/2波長板12設(shè)定初始位置使遲相軸成為與X軸平行，對1/4波長板13設(shè)定于遲相軸相對于X軸偏移+δ(+2°)的初始位置。[0116]接著，以1/4波長板的旋轉(zhuǎn)角度相對于1/2波長板12成為2倍的方式，分別以旋轉(zhuǎn)速度20rpm及40rpm旋轉(zhuǎn)1/2波長板12及1/4波長板13，當(dāng)1/2波長板12從O至180°為止每旋轉(zhuǎn)5°都通過受光元件9讀取反射光強(qiáng)度R(+δ)。[0117]此時(shí)，從激光器6照射的光沿著入射光路LI行進(jìn)，在偏振器P使偏振軸成為與X軸方向平行的直線偏振光，在1/2波長板12使該直線偏振光的偏振軸旋轉(zhuǎn)，通過遲相軸偏移+2°而配置的1/4波長板13來轉(zhuǎn)換為橢圓偏振光，通過對物側(cè)聚光透鏡14聚焦于直徑I微米的光點(diǎn)而在朝垂直方向照射試樣3。[0118]然后，從試樣3的測量點(diǎn)S擴(kuò)散的反射光沿著反射光路L2行進(jìn)，在對物側(cè)聚光透鏡14被平行化，再次穿過1/4波長板13及1/2波長板12而轉(zhuǎn)換為直線偏振光，在半透半反鏡7被反射，穿過檢光器A之后，在半透半反鏡8被反射，通過設(shè)置在檢測側(cè)聚光透鏡17的焦點(diǎn)位置的孔徑20μm的針孔18，去除來自對物側(cè)聚光透鏡14的焦點(diǎn)位置以外反射的光噪(例如試樣的背面反射光)，而僅使從測量點(diǎn)S反射的反射光到達(dá)受光元件9。[0119]此時(shí),反射光中所包含的偏振光成分中的偏振狀態(tài)未變化的偏振光成分再次通過1/4波長板13時(shí)恢復(fù)為直線偏振光,在通過了1/2波長板12的時(shí)間點(diǎn)恢復(fù)為偏振軸與X軸平行的直線偏振光，因此會(huì)被偏振軸與Y軸平行的檢光器A所切斷，相對于此，偏振狀態(tài)有變化的偏振光成分，由于成為與原來的直線偏振光不同的偏振狀態(tài)，因此會(huì)穿過檢光器A而到達(dá)受光元件9，可以作為光強(qiáng)度的變化而被檢測來。[0120]接著，針對1/2波長板12設(shè)定初始位置使遲相軸成為與X軸平行，對1/4波長板13設(shè)定于遲相軸相對于X軸偏移一δ(—2°)的初始位置之后，同樣地通過受光元件9來測量反射光強(qiáng)度R(—S)。[0121]然后，通過下式來算出這些反射光強(qiáng)度R(+S)、R(—δ)的差分AR。[0122]AR=R(+5)-R(-5)[0123]圖3(a)至圖3(c)是表示此時(shí)的測量結(jié)果的曲線圖，以下曲線圖均為橫軸是通過1/2波長板12而旋轉(zhuǎn)的直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角2Ψ，縱軸是圖3(a)為反射光強(qiáng)度R(+δ)，圖3(b)為反射光強(qiáng)度R(—δ)，圖3(c)為差分AR。[0124]然后，對圖3(C)的數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合處理，讀取成為ΛR=O的偏振軸的角度2Ψ，則為10°,100°,190°,280°。[0125]設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3的配向處理方向與X軸平行(0°)因此可知最接近0°的10°(190°)為該測量點(diǎn)S的光學(xué)軸的方向(配向方向)。[0126]異向性的大小H例如可用下式來求出。[0127]H=ΔRmax-Δrmin[0128]此時(shí)，針對預(yù)先測量的良品，測量異向性的大小Htl，并基于與其之比H/U，例如如果為0.9以上，則可判斷異向性的大小為適當(dāng)。[0129]圖4是表示針對在試樣3的表面上設(shè)定為矩陣狀的多個(gè)測量點(diǎn)測量光學(xué)軸的方向的結(jié)果的曲線圖，圖5是針對異向性的大小表示其分布狀態(tài)的曲線圖。[0130](實(shí)施例2)[0131]另外，因?yàn)槠鹨蛴跍y量光學(xué)系統(tǒng)4的光噪較大時(shí)，為了將其去除，根據(jù)需要將試樣3朝向0°方向而設(shè)置于載置臺(tái)2的情況下、將試樣3朝向90°方向而設(shè)置于載置臺(tái)2的情況下、將無光學(xué)異向性的玻璃等的光學(xué)等向性材料設(shè)置于載置臺(tái)2的情況下來測量反射光強(qiáng)度，如果如下所示那樣算出差分，則可更高精確度地測量光學(xué)異向性參數(shù)。[0132]圖6是基于來自使配向處理方向朝向與X軸平行(0°方向)而設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3的反射光強(qiáng)度&(+δ)、&(一δ)、將光學(xué)等向性材料即玻璃設(shè)置于載置臺(tái)2時(shí)的反射光強(qiáng)度RE(+S)、Re(—δ)，用以式來算出差分ΛR時(shí)的測量結(jié)果。[0133]ΔR=[R0(+δ)-R0(-δ))-[Re(+δ)一Re(-δ)][0134]圖6(a)為反射光強(qiáng)度Rtl(+δ)，圖6(b)為反射光強(qiáng)度Rtl(—δ)，圖6(C)為其差[R0(+δ)—RQ(—δ)]，圖6(d)為反射光強(qiáng)度RE(+δ),圖6(e)為反射光強(qiáng)度Re(—δ)、圖6(f)為其差[Re(+5)—Re(—δ)]，圖6(g)為差分AR。[0135]然后，對圖6(g)的數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合處理，讀取成為ΛR=O的偏振軸的角度2Ψ，為12°,102°,192°,282°。[0136]由于設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3的配向處理方向是與X軸平行(0°)，因此可知最接近0°的12°(192°)是該測量點(diǎn)S的光學(xué)軸的方向(配向方向)。[0137](實(shí)施例3)[0138]圖7是基于來自使配向處理方向朝向與X軸平行(0°方向)而設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3的反射光強(qiáng)度Rtl(+δ)、&(一δ)、將來自使配向處理方向朝向與X軸平行(90°方向)而設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3的反射光強(qiáng)度R9tl(+δ)、R9tl(—δ)，用下式算出差分ΛR時(shí)的測量結(jié)果。[0139]ΔR=[R0(+δ)-R0(_δ)]-[R90(+δ)-R90(_δ)][0140]據(jù)此，可將光學(xué)系統(tǒng)固有的異向性去除，且異向性的大小進(jìn)一步成為2倍，因此可進(jìn)行精確度更高的測量。[0141]針對反射光強(qiáng)度Rtl(+δ)及Rci(-δ)，使用圖6(a)及圖6(b)的數(shù)據(jù)。[0142]圖7(a)是反射光強(qiáng)度R9tl(+δ)，圖7(b)是反射光強(qiáng)度R9tl(-δ)，圖7(C)是表不其差[R90(+δ)-R90(-δ)],圖7(d)是差分ΔR0[0143]然后，對圖7(d)的數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合處理，讀取成為AR=O的偏振軸的角度2Ψ，為15°,105°,195°,285°。[0144]由于設(shè)置于載置臺(tái)2的試樣3的配向處理方向是與X軸平行(0°)，因此可知最接近0°的15°(195°)是該測量點(diǎn)S的光學(xué)軸的方向(配向方向)。[0145](實(shí)施例4)[0146]在此，只要需要利用中間數(shù)據(jù)[Rtl(+δ)-Rq(-δ)]以及[R90(+δ)-R90(_δ)]，且針對各個(gè)預(yù)先去除起因于光學(xué)系統(tǒng)4的光噪，則可通過下式來求出差分ARtl以及AR9tlt5[0147]ΔR0=[R0(+δ)-R0(-δ)]-[Re(+δ)-Re(_δ)][0148]ΔR90=[R90(+δ)-R90(-δ)]-[Re(+δ)-Re(_δ)][0149]基于這些數(shù)據(jù)，可通過下式來求出差分AR。[0150]AR=AR0-AR900[0151]反射光強(qiáng)度&(+3)、&(-6)、&(+6)、&(-6)使用圖6(a)、圖6(b)、圖6(d)、圖6(e)的數(shù)據(jù)，反射光強(qiáng)度R90(+δ)、R90(-δ)使用圖7(a)、圖7(b)的數(shù)據(jù)。[0152]圖8(a)是差分ΛR。，圖8(b)是差分ΔR90,其差分ΛR=ΛR0-△R9tl與圖7(d)的結(jié)果相冋。[0153](實(shí)施例5)[0154]圖9是表示本發(fā)明的另一光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的說明圖。[0155]本例的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置25能夠針對具有某一程度的寬度的測量區(qū)域S2(例如直徑IOmm)整體來進(jìn)行光學(xué)異向性的評價(jià)。另外，與圖1重復(fù)的部分賦予相同符號(hào)且省略詳細(xì)說明。[0156]在本例中，通過設(shè)置于測量光學(xué)系統(tǒng)4的激光器6與半透半反鏡7之間的光束擴(kuò)展器11來設(shè)定其倍率，使入射光成為具有與測量區(qū)域S2對應(yīng)的大小的光束徑(例如直徑IOmm)的平行光束。[0157]此外，并沒有設(shè)置圖1的對物側(cè)聚光透鏡14、檢測側(cè)聚光透鏡17、針孔18。[0158]據(jù)此，在光束擴(kuò)展器11成為直徑IOmm的平行光束的入射光，穿過偏振器P、1/2波長板12、1/4波長板13而成為橢圓偏振光，照射至試樣3的測量區(qū)域S2整體。[0159]該反射光在直徑IOmm的平行光束的狀態(tài)下穿過1/4波長板13、1/2波長板12，并沿著反射光路L2穿過檢光器A，到達(dá)受光元件9，來測量其光強(qiáng)度。[0160]此時(shí)，測量區(qū)域S2內(nèi)的光學(xué)軸的方向被檢測出其平均的方向，只要光學(xué)軸的方向一致，則表示異向性的大小的值H較大，若在光學(xué)軸的方向具有偏差，則表示異向性的大小的值H較小。[0161](實(shí)施例6)[0162]圖10是表示本發(fā)明的又一光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的說明圖，與圖1重復(fù)的部分賦予相同符號(hào)且省略詳細(xì)說明。[0163]本例的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置26，即使在測量區(qū)域S3將波長板12、13的直徑設(shè)定得較大的情況下(例如直徑Imm左右)，也可針對該測量區(qū)域S3整體通過一次測量來進(jìn)行光學(xué)異向性的評價(jià)。[0164]在本例中，在測量光學(xué)系統(tǒng)4的激光器6與半透半反鏡7之間，設(shè)置有將其照射光設(shè)為規(guī)定的光束徑(例如5mm)的平行光束的光束擴(kuò)展器11，且在1/4波長板13與設(shè)置試樣3的載置臺(tái)2之間，設(shè)置有將入射光擴(kuò)徑為具有與測量區(qū)域S3對應(yīng)的大小的光束徑的平行光束的光束擴(kuò)展器27。[0165]此外，并未設(shè)置圖1的對物側(cè)聚光透鏡14、檢測側(cè)聚光透鏡17、針孔18。[0166]據(jù)此，在最初的光束擴(kuò)展器11成為5_的平行光束的入射光，穿過偏振器P、1/2波長板12、1/4波長板13而成為橢圓偏振光，而在光束擴(kuò)展器27被擴(kuò)徑為直徑Im的平行光束，而照射至試樣3的測量區(qū)域S2整體。[0167]該反射光成為直徑Im的平行光束，朝反方向向光束擴(kuò)展器27行進(jìn)，成為直徑5_的平行光束而穿過1/4波長板13、1/2波長板12，沿著反射光路L2而穿過檢光器A到達(dá)受光元件9，而測量其光強(qiáng)度。[0168]此時(shí)，測量區(qū)域S2內(nèi)的光學(xué)軸的方向檢測出其平均的方向，只要光學(xué)軸的方向一致，則表示異向性的大小的值H較大，若有偏差，則表示異向性的大小的值H較小的點(diǎn)與上述的實(shí)施例相同。[0169][產(chǎn)業(yè)上的可利用性][0170]本發(fā)明能夠適用于具有光學(xué)異向性的制品，特別適用于液晶配向膜的質(zhì)量檢查坐寸ο【權(quán)利要求】1.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置，基于照射至試樣的測量區(qū)域的入射光及其反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置的特征在于包括:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件；以及運(yùn)算處理裝置，基于通過受光元件所檢測出的反射光強(qiáng)度來算出光學(xué)異向性參數(shù)，上述測量光學(xué)系統(tǒng)在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移土δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng),其中，δ古ηπ/4,η是整數(shù)，上述運(yùn)算處理裝置算出使1/4波長板從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(+S)、與使1/4波長板從初始位置一δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)時(shí)所檢測出的反射光強(qiáng)度R(—δ)的差分AR，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分ΔR的關(guān)系來決定試樣的光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置，其特征在于:在上述測量光學(xué)系統(tǒng)的上述激光器與半透半反鏡之間，設(shè)置了將上述入射光設(shè)為具有與測定區(qū)域?qū)?yīng)的大小的光束徑的平行光束的光束擴(kuò)展器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置，其特征在于:在上述測量光學(xué)系統(tǒng)的上述激光器與半透半反鏡之間，設(shè)置了將其照射光設(shè)為具有規(guī)定光束徑的平行光束的光束擴(kuò)展器；在上述1/4波長板與上述試樣之間，能夠在其光軸方向相對移動(dòng)地設(shè)有對物側(cè)聚光透鏡，該對物側(cè)聚光透鏡使上述入射光聚光以使焦點(diǎn)聚焦于該試樣的表面上；在上述檢光器與受光元件之間，設(shè)有使上述反射光收斂于焦點(diǎn)位置之后，一邊擴(kuò)散一邊引導(dǎo)至受光元件的檢測側(cè)聚光透鏡，并且在該焦點(diǎn)位置設(shè)有針孔。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)異向性參數(shù)測量裝置，其特征在于:當(dāng)上述測定區(qū)域設(shè)定為大于各上述波長板的直徑的情況下，在上述測量光學(xué)系統(tǒng)的上述激光器與半透半反鏡之間，設(shè)置了將其照射光設(shè)為具有規(guī)定的光束徑的平行光束的光束擴(kuò)展器；在上述1/4波長板與上述試樣之間，設(shè)置了將上述入射光擴(kuò)徑為具有與測量區(qū)域?qū)?yīng)的大小的光束徑的平行光束的光束擴(kuò)展器。5.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量方法，基于照射至試樣的測量區(qū)域的入射光及其反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該光學(xué)異向性參數(shù)測量方法的特征在于包括:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件，該測量光學(xué)系統(tǒng)在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移土δ的初始位置，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng),其中，δ古ηπ/2,η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量方法具備:反射光強(qiáng)度測量步驟，使上述1/4波長板一邊從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度R(+S)，并且使上述1/4波長板一邊從初始位置一δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度R(—δ)；差分算出步驟，基于所檢測出的反射光強(qiáng)度R(+S)以及R(—3)，通過厶1?=1?(+6)-R(-δ)來算出差分AR;異向性分析步驟，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分ΛR的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。6.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量方法，基于照射至試樣的測量區(qū)域的入射光及其反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該光學(xué)異向性參數(shù)測量方法的特征在于包括:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件；該測量光學(xué)系統(tǒng)在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng):以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移土δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng),其中，δ古ηπ/4,η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量具備:反射光強(qiáng)度測量步驟，設(shè)置上述試樣，使上述1/4波長板一邊從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度R(+S)，使上述1/4波長板一邊從初始位置一δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度R(_δ);參照反射光強(qiáng)度測量步驟，替代上述試樣而設(shè)置無光學(xué)異向性的參照板，與上述反射光強(qiáng)度測量步驟同樣地測量參照反射光強(qiáng)度RE(+S)以及RE(-δ);差分算出步驟，基于上述反射光強(qiáng)度R(+S)以及R(_S)、上述參照反射光強(qiáng)度Re(+5)以及Re(-S)，通過ΔR=[R0(+δ)一R0(-δ)]—[Re(+δ)—Re(_δ)]來算出差分AR;以及異向性分析步驟，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分ΛR的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。7.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量方法，基于照射至試樣的測量區(qū)域的入射光及其反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該光學(xué)異向性參數(shù)測量方法的特征在于包括:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件；該測量光學(xué)系統(tǒng)在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移+δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，其中，6古nJi/4，η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量具備:第I反射光強(qiáng)度測量步驟，在將上述試樣設(shè)置于任意方向的狀態(tài)下，使上述1/4波長板一邊從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度Rc^+δ)，使上述1/4波長板一邊從初始位置-δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度&(-δ):第2反射光強(qiáng)度測量步驟，在使上述試樣以入射光的光軸為中心旋轉(zhuǎn)90°的狀態(tài)下，與上述第I反射光強(qiáng)度測量步驟同樣地測量反射光強(qiáng)度R9tl(+S)以及R9CI(-S);第I差分算出步驟，基于在上述第I反射光強(qiáng)度測量步驟中所測量的反射光強(qiáng)度R0(+δ)以及Rtl(_δ)與在第2反射光強(qiáng)度測量步驟中所測量的反射光強(qiáng)度R9tl(+δ)以及R9Q(-S)，通過ΔR=[R0(+δ)-R0(-δ))-[R90(+δ)-R90(_δ)]來算出差分AR;以及異向性分析步驟，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分△!?的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。8.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量方法，基于照射至試樣的測量區(qū)域的入射光及其反射光的偏振狀態(tài)的變化來測量該試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該方法的特征在于包括:測量光學(xué)系統(tǒng)，從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述測量區(qū)域，并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至受光元件；該測量光學(xué)系統(tǒng)在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移+δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，其中，6古nJi/4，η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量具備:第I反射光強(qiáng)度測量步驟，在將上述試樣設(shè)置于任意方向的狀態(tài)下，使上述1/4波長板一邊從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度Rtl(+δ)，使上述1/4波長板一邊從初始位置-δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度&(-δ):第2反射光強(qiáng)度測量步驟，在使上述試樣以入射光的光軸為中心旋轉(zhuǎn)90°的狀態(tài)下，與上述第I反射光強(qiáng)度測量步驟同樣地測量反射光強(qiáng)度R9tl(+S)以及R9CI(-S);參照反射光強(qiáng)度測量步驟，替代上述試樣設(shè)置無光學(xué)異向性的參照板，與上述第I反射光強(qiáng)度測量步驟同樣地測量參照反射光強(qiáng)度Re(+S)以及Re(-δ);第I差分算出步驟，基于在上述第I反射光強(qiáng)度測量步驟中所測量的反射光強(qiáng)度R0(+δ)以及R0(-5)、參照反射光強(qiáng)度R90(+δ)以及R90(-δ)，通過ΔR0=[R0(+δ)一R0(-δ))-[Re(+δ)-Re(_δ)]來算出差分AR。；第2差分算出步驟，基于在上述第2反射光強(qiáng)度測量步驟中所測量的反射光強(qiáng)度R90(+δ)以及R90(-δ)、參照反射光強(qiáng)度Re(+δ)以及RE(-δ)，通過ΔR90=[R90(+δ)-R90(-δ)]-[Re(+δ)-Re(-δ)]來算出差分AR9tl;第3差分算出步驟，基于上述各差分ARci以及ΛR9tl，通過ΔR=ΔR0-ΔR90來算出差分AR;以及異向性分析步驟，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分△!?的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。9.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序，通過電腦來操作測量光學(xué)系統(tǒng)，基于通過受光元件所檢測出的反射光的強(qiáng)度來測量試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該測量光學(xué)系統(tǒng)形成有光路，該光路是從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述試樣的測量區(qū)域、并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至上述受光元件，在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移+δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，其中，6^ηπ/4,η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序具備:反射光強(qiáng)度測量單元，將上述1/4波長板設(shè)定于初始位置+δ，使之一邊與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一邊用上述受光元件來測量反射光強(qiáng)度R(+S)，并且與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域，將上述1/4波長板設(shè)定于初始位置-δ，使之一邊與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一邊用上述受光元件來測量反射光強(qiáng)度R(_δ)，并且與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；差分算出單元，基于所存儲(chǔ)的反射光強(qiáng)度R(+S)以及R(-δ)，通過AR=R(+5)-R(-5)來算出差分AR;以及異向性分析單元，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分△!?的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。10.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序，通過電腦來操作測量光學(xué)系統(tǒng)，基于通過受光元件所檢測出的反射光的強(qiáng)度來測量試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該測量光學(xué)系統(tǒng)形成有光路，該光路是從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述試樣的測量區(qū)域、并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至上述受光元件，在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移土δ的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，其中，6^ηπ/4,η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序具備:反射光強(qiáng)度測量單元，將上述1/4波長板設(shè)定于初始位置+δ，使之一邊與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一邊用上述受光元件來測量反射光強(qiáng)度R(+S)，并且與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域，將上述1/4波長板設(shè)定于初始位置-δ，使之一邊與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一邊用上述受光元件來測量反射光強(qiáng)度R(_δ)，并且與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；參照反射光強(qiáng)度測量單元，針對無光學(xué)異向性的參照板，與上述反射光強(qiáng)度測量單元同樣地測量參照反射光強(qiáng)度RE(+S)以及RE(-δ);差分算出單元，基于上述反射光強(qiáng)度R(+S)以及R(_S)、上述參照反射光強(qiáng)度Re(+5)以及Re(-S)，通過ΔR=[R0(+δ)-R0(-δ)]-[Re(+δ)-Re(-δ)]來算出差分AR;以及異向性分析單元，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分△!?的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。11.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序，通過電腦來操作測量光學(xué)系統(tǒng)，基于通過受光元件所檢測出的反射光的強(qiáng)度來測量試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該測量光學(xué)系統(tǒng)形成有光路，該光路是從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述試樣的測量區(qū)域、并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至上述受光元件，在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移蛇的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng),其中，δ古n/4,η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序具備:第I反射光強(qiáng)度測量單元，針對設(shè)置于任意方向的上述試樣，使上述1/4波長板一邊從初始位置+δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度R0(+δ)，使上述1/4波長板一邊從初始位置-δ起與1/2波長板同步地旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度Rtl(_δ)，使各反射光強(qiáng)度與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；第2反射光強(qiáng)度測量單元，在使上述試樣以入射光的光軸為中心旋轉(zhuǎn)90°的狀態(tài)下，與上述第I反射光強(qiáng)度測量單元同樣地測量反射光強(qiáng)度R9tl(+S)以及R9tl(_δ)，并且使各反射光強(qiáng)度與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；差分算出步驟，基于在上述第I反射光強(qiáng)度測量單元中所測量的反射光強(qiáng)度Rtl(+S)以及Rtl(-S)與在第2反射光強(qiáng)度測量單元中所測量的反射光強(qiáng)度R9tl(+δ)以及R9tl(-δ)，通過ΔR=[R0(+δ)-R0(-δ)]-[R90(+δ)-R90(_δ)]來算出差分AR;以及異向性分析單元，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分△R的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小。12.一種光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序，通過電腦來操作測量光學(xué)系統(tǒng)，基于通過受光元件所檢測出的反射光的強(qiáng)度來測量試樣的光學(xué)軸的方向與光學(xué)異向性的大小，該測量光學(xué)系統(tǒng)形成有光路，該光路是從成為光源的激光器經(jīng)由半透半反鏡將入射光朝垂直方向照射于上述試樣的測量區(qū)域、并且將從該測量區(qū)域朝垂直方向反射的反射光經(jīng)由上述半透半反鏡引導(dǎo)至上述受光元件，在上述激光器與上述半透半反鏡之間配置偏振器，并且在半透半反鏡與受光元件之間配置檢光器，在半透半反鏡與試樣之間配置有:1/2波長板，為了使通過上述偏振器所產(chǎn)生的直線偏振光旋轉(zhuǎn)而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及1/4波長板，從使遲相軸的方向相對于上述1/2波長板的遲相軸偏移蛇的初始位置起，以旋轉(zhuǎn)角度相對于該1/2波長板成為2倍的方式同步地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng),其中，δ古n/4,η是整數(shù)，該光學(xué)異向性參數(shù)測量用程序具備:第I反射光強(qiáng)度測量單元，針對設(shè)置于任意方向的上述試樣，使上述1/4波長板一邊從初始位置+δ起與1/2波長板同步旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度Rtl(+δ)，使上述1/4波長板一邊從初始位置-δ起與1/2波長板同步旋轉(zhuǎn)一邊測量反射光強(qiáng)度&(-δ)，并且使各反射光強(qiáng)度與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；第2反射光強(qiáng)度測量單元，在使上述試樣以入射光的光軸為中心旋轉(zhuǎn)90°的狀態(tài)下，與上述第I反射光強(qiáng)度測量單元同樣地測量反射光強(qiáng)度R9tl(+S)以及R9tl(_δ)，并且使各反射光強(qiáng)度與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；第2反射光強(qiáng)度測量單元，針對替代上述試樣而設(shè)置的無光學(xué)異向性的參照板，與上述第I反射光強(qiáng)度測量單元同樣地測量參照反射光強(qiáng)度RE(+S)以及RE(-δ)，并且使各反射光強(qiáng)度與上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角關(guān)聯(lián)起來而存儲(chǔ)于預(yù)先設(shè)定的存儲(chǔ)區(qū)域；第I差分算出步驟，基于在上述第I反射光強(qiáng)度測量單元中所測量的反射光強(qiáng)度R0(+δ)以及RQ(_S)、參照反射光強(qiáng)度&(+6)以及RE(-S)，通過ΔR0=[R0(+δ)-R0(-δ)]-[Re(+δ)-Re(-δ)]來算出差分AR。；第2差分算出步驟，基于在上述第2反射光強(qiáng)度測量單元中所測量的反射光強(qiáng)度R90(+δ)以及R90(-δ)、參照反射光強(qiáng)度Re(+δ)以及RE(-δ)，通過ΔR90=[R90(+δ)-R90(-δ)]-[Re(+δ)-Re(-δ)]來算出差分AR9tl;第3差分算出單元，基于上述各差分ARci以及ΛR9tl，通過ΔR=ΔR0-ΔR90來算出差分AR;以及異向性分析單元，基于上述直線偏振光的旋轉(zhuǎn)角與上述差分△!?的關(guān)系來決定光學(xué)軸的方向以及光學(xué)異向性的大小?！疚臋n編號(hào)】G01N21/21GK103477206SQ201280017649【公開日】2013年12月25日申請日期:2012年4月5日優(yōu)先權(quán)日:2011年4月11日【發(fā)明者】田之岡大輔申請人:肖特茉麗特株式會(huì)社