專利名稱：一種空間相移器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光學(xué)儀器，具體涉及一種空間相移器。
背景技術(shù)：
電子散斑干涉技術(shù)(ESPI)是以激光散斑作為被測(cè)物場(chǎng)變化信息的載體，利用被測(cè)物體在受激光照射后產(chǎn)生干涉散斑場(chǎng)的相關(guān)條紋來檢測(cè)雙光束波前后之間的相位變化。一束激光被透鏡擴(kuò)展并投射到被檢測(cè)物體的表面上，反射光與從激光器直接投射到攝像機(jī)的參考光光束發(fā)生干涉，在被照射的表面產(chǎn)生散斑場(chǎng)及一系列散斑圖像。當(dāng)物體運(yùn)動(dòng)時(shí)，這些散斑會(huì)隨之發(fā)生變化，這些變化表征出被測(cè)物體表面的位移場(chǎng)變化或形變信息。使用CCD (電荷耦合器件)攝像機(jī)得到視頻信號(hào)，由計(jì)算機(jī)軟件處理分析后在監(jiān)視器上顯示出表征物場(chǎng)變化的散斑干涉條紋圖，通過數(shù)值計(jì)算將這些條紋解析為人們所熟知的物理量。傳統(tǒng)的干涉測(cè)量方法是直接判讀一幅干涉圖中的條紋序號(hào)N(x，y)由此獲得被測(cè)波面的相位信息fK灰>1 = 2威(Xjh由于干涉的各種噪音、探測(cè)和判讀的靈敏度及其不一致性等因素的影響，所得被測(cè)波面的面形并不理想。I960年Carr6提出相移的思想，Bruning等人實(shí)現(xiàn)了相移技術(shù)。相移技術(shù)能較準(zhǔn)確的求得相位信息，得到被測(cè)波面的理想面形，因而得到了迅速的發(fā)展。相移的工作原理如下干涉光場(chǎng)中任一點(diǎn)的合成光強(qiáng)為I(x7y) = a{x,y) + h(xfy) 08[φ(χ}y)} χ = 0,1,…，X-I ；y = 0,1,…，Y-I (2-1)其中，(χ，y)-圖像中的像素位置，I (x，y)-_干涉條紋強(qiáng)度，a(x, y) —背景光強(qiáng)，b (x，y)/a(x, y)-對(duì)比度或調(diào)制度，fi^y)-要提取的位相?！銇碚f，I (x, y)已知,但a(x, y)、b(x, y)和免( 均未知，所以至少需要三幅
干涉圖才能確定丨爐(1，>')。于是將式(2-1)變成如下
/(x,j) = (B(jr,.y) + l<i,_y)cos[f(u)—Δβ( )](2— 2)Δ a (k)是引入的兩支干涉光路中的可變位相，k = 0，1，…，K_l。當(dāng)k = 3時(shí),就是四步相移,取等步長(zhǎng)0/2) Δ α 0 = O, Aa1= Ji /2, Aa2 =Ji，Δ a 3 = 3 /2將這些量代入(2-2)式,聯(lián)立求解可得
,、,\IMy)
= arctg -f-—^r _/,《W卜 J3(^v) _相移的方法通常分為時(shí)間相移[k = K(時(shí)間)]和空間相移[k = K(空間)]兩種，其中，時(shí)間相移是通過在時(shí)間時(shí)序中采集幾幅圖來計(jì)算相位；空間相移是在同一時(shí)刻采集一幅圖，該圖中包含不同的空間相位信息，用一幅圖就可計(jì)算相位。實(shí)現(xiàn)空間相移的關(guān)鍵環(huán)節(jié)是空間分光和空間相移，現(xiàn)有的空間相移技術(shù)是基于光柵分光和偏振干涉的單CCD成像空間相移系統(tǒng)，其中光柵的作用在于分光，這些分光束經(jīng)過設(shè)在光柵背面的偏振片組進(jìn)行相移，從而得到幾束已知相位差的光，并由CCD記錄干涉圖像，再通過計(jì)算機(jī)處理得出被測(cè)相位，從而反映被測(cè)物體的變形情況。但是上述的現(xiàn)有空間相移技術(shù)存在以下的不足I、包含的光學(xué)元件多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。2、由光柵分出的光的強(qiáng)度不均勻，易造成測(cè)量誤差。3、偏振片之間的縫隙會(huì)漏光，影響檢測(cè)結(jié)果。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且測(cè)量精度高的空間相移器。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案為一種空間相移器，包括基板以及設(shè)在基板上的多個(gè)相移單元，每個(gè)相移單元包括η個(gè)厚度不等的相移臺(tái)階，所述η為大于等于3的自然數(shù)；將所述η個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/n，其中λ為光波波長(zhǎng)；所述每個(gè)相移單元中不同厚度的相移臺(tái)階之間的位置關(guān)系均相同；所述每個(gè)相移單元與CCD鏡頭光板上的一個(gè)像素相對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型所述的空間相移器，其中，所述η優(yōu)選3、4或5。即優(yōu)選采用常用的三步相移、四步相移和五步相移來實(shí)現(xiàn)相位變化。本實(shí)用新型的空間相移器的一個(gè)具體方案，其中，所述的η為3，這3個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/3。特別地，所述3個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系是第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階在縱向依次排列；這3個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系也可是第一相移臺(tái)階、第三相移臺(tái)階和第二相移臺(tái)階在縱向依次排列。本實(shí)用新型的空間相移器的另一個(gè)具體方案，其中，所述的η為4，這4個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階、第三相移臺(tái)階和第四相移臺(tái)階，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/4。特別地，所述4個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系是這4個(gè)相移臺(tái)階分為前后兩行，每行2個(gè),前行從左至右分別是第一相移臺(tái)階和第二相移臺(tái)階,后行從左至右分別為第三相移臺(tái)階和第四相移臺(tái)階；這4個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系也可是這4個(gè)相移臺(tái)階分為前后兩行，每行2個(gè)，前行從左至右分別是第一相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階，后行從左至右分別為第二相移臺(tái)階和第四相移臺(tái)階。本實(shí)用新型的空間相移器的再一個(gè)具體方案，其中，所述的η為5，這5個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階、第三相移臺(tái)階、第四相移臺(tái)階和第五相移臺(tái)階，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/5。特別地，所述5個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系是這5個(gè)相移臺(tái)階分為左右兩列，左列3個(gè)，右列2個(gè)，左列從前到后依次為第一相移臺(tái)階、第四相移臺(tái)階和第五相移臺(tái)階，右列從前到后依次為第二相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階；這5個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系也可是這5個(gè)相移臺(tái)階分為左右兩列，左列3個(gè)，右列2個(gè)，左列從前到后依次為第五相移臺(tái)階、第四相移臺(tái)階和第一相移臺(tái)階，右列從前到后依次為第三相移臺(tái)階和第二相移臺(tái)階。本實(shí)用新型所述的空間相移器的一個(gè)優(yōu)選方案，其中，所述的基板由石英玻璃形成。本實(shí)用新型的空間相移器的一個(gè)優(yōu)選方案，其中，所述的第一相移臺(tái)階的厚度等于基板的厚度，該基板的厚度為光波波長(zhǎng)的整數(shù)倍。理論上第一相移臺(tái)階的厚度最小可以為一個(gè)波長(zhǎng)，但是由于光波波長(zhǎng)較小，為了制作方便，第一相移臺(tái)階的厚度一般為光波波長(zhǎng)的3000 3500倍。本實(shí)用新型的空間相移器的工作原理是在每一個(gè)相移單元中，按厚度從大到小排列的相鄰兩相移臺(tái)階之間的厚度差為λ/n，相應(yīng)地可算得兩者的相位差(即相移量)為2π/η(光波在一個(gè)波長(zhǎng)內(nèi)的相位變化為O 2 π，因此通過兩相移臺(tái)階后的光的相位差等于兩者的厚度差與波長(zhǎng)的比值再乘以2 π),當(dāng)所述的η為大于等于3的自然數(shù)時(shí)，一個(gè)相移單元中便可獲得至少3幅相位差已知的干涉圖紋，根據(jù)背景技術(shù)中的描述可知，只要獲得三幅以上已知相位差的干涉圖紋，便可算得相應(yīng)的像素位置的相位。由于每一個(gè)相移單元與CCD鏡頭上的光板的一個(gè)像素對(duì)應(yīng)，因此光板上的一個(gè)像素記錄一個(gè)相移單元的干涉圖紋，對(duì)應(yīng)可算得被測(cè)物體上一個(gè)相應(yīng)像·素位置的相位；將多個(gè)與相移單元對(duì)應(yīng)的待測(cè)面的相位組合在一起便可得到整個(gè)待測(cè)面的完整相位，從而可算得待測(cè)面的變形量。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下的有益效果I、本實(shí)用新型的空間相移器通過由厚度不同的相移臺(tái)階組成的相移單元實(shí)現(xiàn)分光和相移，所有的相移單元集成在一個(gè)基板上形成一個(gè)光學(xué)元件，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，便于安裝到干涉儀上，減少儀器體積和重量；而現(xiàn)有技術(shù)采用光柵進(jìn)行分光，再采用偏振片進(jìn)行相移，使用的光學(xué)兀件多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。2、由于各個(gè)相移單元結(jié)構(gòu)完全相同，因此各個(gè)相移單元分出的分光束的強(qiáng)度均勻，從而有利于提高檢測(cè)的精度；而現(xiàn)有技術(shù)中采用光柵分光所分出來的分光束強(qiáng)度不均勻，造成測(cè)量精度低。3、由于所有的相移單元集成在一個(gè)基板上，相移單元之間沒有間隙，因此不會(huì)像現(xiàn)有技術(shù)那樣因偏振片漏光而影響檢測(cè)結(jié)果。4、本實(shí)用新型的一個(gè)相移單元分別與CXD光板的一個(gè)像素以及被測(cè)表面的一個(gè)像素位置對(duì)應(yīng)，每一個(gè)相移單元可測(cè)得一個(gè)像素位置的相位，使得待測(cè)面上的每一個(gè)像素位置均能測(cè)出相位，測(cè)量精度大大提高。5、本實(shí)用新型的空間相移器只需在基板上采用光刻蝕的方法刻蝕出相移單元即可制得，生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單，生產(chǎn)成本低。

圖I 圖4為本實(shí)用新型的空間相移器的實(shí)施例I的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，圖I為主視圖，圖2為左視圖，圖3為俯視圖，圖4為立體圖。圖5為圖I所示的空間相移器與CXD攝像機(jī)光板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6和圖7為圖I所示的空間相移器的制作過程示意圖。圖8本實(shí)用新型的空間相移器的實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9本實(shí)用新型的空間相移器的實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10本實(shí)用新型的空間相移器的實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。[0038]圖11本實(shí)用新型的空間相移器的實(shí)施例5的結(jié)構(gòu)示意圖。圖12本實(shí)用新型的空間相移器的實(shí)施例6的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例I參見圖I 圖4，本實(shí)施例的空間相移器包括基板I以及設(shè)在基板I上的多個(gè)相移單元，其中，基板I由石英玻璃制成；每個(gè)相移單元包括4個(gè)厚度不等的相移臺(tái)階2，將這4個(gè)相移臺(tái)階2按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階2-1、第二相移臺(tái)階2-2、第三相移臺(tái)階2-3和第四相移臺(tái)階2-4，相鄰兩相移臺(tái)階2的高度差為λ/4，其中λ為激光器打出的激光的波長(zhǎng)，該波長(zhǎng)為640納米，亦即所述相鄰兩相移臺(tái)階2的高度差為160納米；相鄰兩相移臺(tái)階2的相位差為1/2 π，亦即以第一相移臺(tái)階2-1為基準(zhǔn)，第二相移臺(tái)階2-2、第三相移臺(tái)階2-3和第四相移臺(tái)階2-4的相位差分別是π /2、π和3 π /2 ;基板I的厚度為所述波長(zhǎng)λ的3000倍，即I. 92毫米。所述每個(gè)相移單元中不同厚度的相移臺(tái)階2之間的位置關(guān)系均相同，具體為在每一個(gè)相移單元中，所述4個(gè)相移臺(tái)階2均分為前后兩行，每行包含兩個(gè)相移臺(tái)階2，前行從左至右分別是第一相移臺(tái)階2-1和第二相移臺(tái)階2-2，后行從左至右分別為第三相移臺(tái)階2-3和第四相移臺(tái)階2-4 ;所述多個(gè)相移單元相互連接集成在基板I上。參見圖5，本實(shí)用新型的空間相移器應(yīng)用到干涉儀中時(shí)，所述每個(gè)相移單元分別與CXD鏡頭上的光板3的一個(gè)像素3-1對(duì)應(yīng)，例如，如果CXD的像素3-1的尺寸為10 X 10微米，那么每個(gè)相移單元的大小也為10 X 10微米；如果CXD的像素3-1的尺寸為5. 2X5. 2微米，每個(gè)相移單元的大小也為5. 2X5. 2微米，因此相移單元的尺寸大小可根據(jù)所使用的CCD鏡頭的光板3的像素3-1的大小來確定。參見圖6和圖7，本實(shí)施例的空間相移器可通過以下方法制得參見圖6，先在基板
I上與第一相移臺(tái)階2-1和第四相移臺(tái)階2-4對(duì)應(yīng)處縱向隔行刻蝕160納米的縱向槽1-1，形成第二相移臺(tái)階2-2 (基板I的表面形成第一相移臺(tái)階2-1);然后在與第三相移臺(tái)階2-3和第四相移臺(tái)階2-4對(duì)應(yīng)處橫向刻蝕320納米的橫向槽1-2，形成第三相移臺(tái)階2-3和第四相移臺(tái)階2-4(其中，第三相移臺(tái)階2-3是在基板I表面刻蝕320納米形成，第四相移臺(tái)階2-4是在縱向槽1-1的底部刻蝕320納米形成)(參見圖7)。實(shí)施例2參見圖8，本實(shí)施例中與實(shí)施例I的不同在于本實(shí)施例的空間相移器對(duì)應(yīng)的光波的波長(zhǎng)為532納米，因此所述相鄰兩相移臺(tái)階2的高度差為133納米；本實(shí)施例中，每個(gè)相移單元2中不同厚度的相移臺(tái)階2之間的位置關(guān)系為所述4個(gè)相移臺(tái)階2亦分為前后兩行，每行包含兩個(gè)相移臺(tái)階2，前行從左至右分別是第一相移臺(tái)階2-1和第三相移臺(tái)階2-3，后行從左至右分別為第二相移臺(tái)階2-2和第四相移臺(tái)階2-4 ;本實(shí)施例的空間相移器的制作方法為先橫向隔行刻蝕133納米，然后再縱向隔行刻蝕266納米。本實(shí)施例上述以外的其他實(shí)施方式與實(shí)施例I相同。實(shí)施例3參見圖9，本實(shí)施例中，每個(gè)相移單元包括3個(gè)厚度不等的相移臺(tái)階2，將這3個(gè)相移臺(tái)階2按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階2-1、第二相移臺(tái)階2-2和第三相移臺(tái)階2-3，相鄰兩相移臺(tái)階2的高度差為λ /3 ;相鄰兩相移臺(tái)階2的相位差為2 π /3，亦即以第一相移臺(tái)階2_1為基準(zhǔn)，第二相移臺(tái)階2_2和第二相移臺(tái)階2_3的相位差分別是2 π /3和4π/3。每個(gè)相移單元2中不同厚度的相移臺(tái)階2之間的位置關(guān)系為第一相移臺(tái)階2-1、第二相移臺(tái)階2-2和第三相移臺(tái)階2-3在縱向從前到后依次排列。本實(shí)施例上述以外的其他實(shí)施方式可參照實(shí)施例I來進(jìn)行。實(shí)施例4參見圖10，本實(shí)施例與實(shí)施例3的不同之處在于，每個(gè)相移單元2中不同厚度的相移臺(tái)階2之間的位置關(guān)系為第一相移臺(tái)階2-1、第三相移臺(tái)階2-3和第二相移臺(tái)階2-2在縱向從前到后依次排列。本實(shí)施例上述以外的其他實(shí)施方式與實(shí)施例3相同。實(shí)施例5參見圖11，本實(shí)施例中，每個(gè)相移單元包括5個(gè)厚度不等的相移臺(tái)階2，將這5個(gè)相移臺(tái)階2按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階2-1、第二相移臺(tái)階2-2、第三相移臺(tái)階2-3、第四相移臺(tái)階2-4和第五相移臺(tái)階2-5，相鄰兩相移臺(tái)階2的高度差為λ /5 ;相鄰兩相移臺(tái)階2的相位差為2/5 π，亦即以第一相移臺(tái)階2-1為基準(zhǔn)，第二相移臺(tái)階2-2、第三相移臺(tái)階2-3、第四相移臺(tái)階2-4和第五相移臺(tái)階2-5的相位差分別是2 π /5、4 π /5、6 π /5和8 π /5。每個(gè)相移單元2中不同厚度的相移臺(tái)階2之間的位置關(guān)系為所述5個(gè)相移臺(tái)階2分為左右兩列，左列具有3個(gè)相移臺(tái)階2，右列具有2個(gè)相移臺(tái)階2，左列從前到后依次為第一相移臺(tái)階2-1、第四相移臺(tái)階2-4和第五相移臺(tái)階2-5，右列從前到后依次為第二相移臺(tái)階2_2和第二相移臺(tái)階2_3。本實(shí)施例上述以外的其他實(shí)施方式可參照實(shí)施例I來進(jìn)行。實(shí)施例6參見圖12，本實(shí)施例與實(shí)施例5的不同之處在于，每個(gè)相移單元2中不同厚度的相移臺(tái)階2之間的位置關(guān)系為所述5個(gè)相移臺(tái)階2分為左右兩列，左列具有3個(gè)相移臺(tái)階2，右列具有2個(gè)相移臺(tái)階2，左列從前到后依次為第五相移臺(tái)階2-5、第四相移臺(tái)階2-4和第一相移臺(tái)階2-1，右列從前到后依次為第三相移臺(tái)階2-3和第二相移臺(tái)階2-2。本實(shí)施例上述以外的其他實(shí)施方式與實(shí)施例5相同。上述為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不受上述內(nèi)容的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種空間相移器，其特征在于，包括基板以及設(shè)在基板上的多個(gè)相移單元，每個(gè)相移單元包括η個(gè)厚度不等的相移臺(tái)階，所述η為大于等于3的自然數(shù)；將所述η個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/n，其中λ為光波波長(zhǎng)；所述每個(gè)相移單元中不同厚度的相移臺(tái)階之間的位置關(guān)系均相同；所述每個(gè)相移單元與CCD鏡頭光板上的一個(gè)像素相對(duì)應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空間相移器，其特征在于，所述η為3、4或5。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空間相移器，其特征在于，所述的η為3，這3個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/3。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空間相移器，其特征在于，所述3個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系是第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階在縱向依次排列； 或者是第一相移臺(tái)階、第三相移臺(tái)階和第二相移臺(tái)階在縱向依次排列。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空間相移器，其特征在于，所述的η為4，這4個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階、第三相移臺(tái)階和第四相移臺(tái)階，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/4。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的空間相移器，其特征在于，所述4個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系是這4個(gè)相移臺(tái)階分為前后兩行，每行2個(gè)，前行從左至右分別是第一相移臺(tái)階和第二相移臺(tái)階，后行從左至右分別為第三相移臺(tái)階和第四相移臺(tái)階； 或者是這4個(gè)相移臺(tái)階分為前后兩行,每行2個(gè),前行從左至右分別是第一相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階，后行從左至右分別為第二相移臺(tái)階和第四相移臺(tái)階。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空間相移器，特征在于，所述的η為5，這5個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列分別為第一相移臺(tái)階、第二相移臺(tái)階、第三相移臺(tái)階、第四相移臺(tái)階和第五相移臺(tái)階，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/5。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的空間相移器，其特征在于，所述5個(gè)相移臺(tái)階的位置關(guān)系是這5個(gè)相移臺(tái)階分為左右兩列，左列3個(gè)，右列2個(gè)，左列從前到后依次為第一相移臺(tái)階、第四相移臺(tái)階和第五相移臺(tái)階，右列從前到后依次為第二相移臺(tái)階和第三相移臺(tái)階； 或者是這5個(gè)相移臺(tái)階分為左右兩列，左列3個(gè)，右列2個(gè)，左列從前到后依次為第五相移臺(tái)階、第四相移臺(tái)階和第一相移臺(tái)階，右列從前到后依次為第三相移臺(tái)階和第二相移臺(tái)階。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空間相移器，其特征在于，所述的基板由石英玻璃制成。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的空間相移器，其特征在于，所述的第一相移臺(tái)階的厚度等于基板的厚度，該基板的厚度為光波波長(zhǎng)的整數(shù)倍。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種空間相移器，包括基板以及設(shè)在基板上的多個(gè)相移單元，每個(gè)相移單元包括n個(gè)厚度不等的相移臺(tái)階，所述n為大于等于3的自然數(shù)；將所述n個(gè)相移臺(tái)階按厚度從大到小排列，相鄰兩相移臺(tái)階的高度差為λ/n，其中λ為光波波長(zhǎng)；所述每個(gè)相移單元中不同厚度的相移臺(tái)階之間的位置關(guān)系均相同；所述每個(gè)相移單元與CCD鏡頭光板上的一個(gè)像素相對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型的空間相移器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01B11/16GK202770398SQ201220433010
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月28日
發(fā)明者曾啟林, 黃嘉興 申請(qǐng)人:廣州華工百川科技股份有限公司