專利名稱：超高溫濕度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于超高溫濕度傳感器。
背景技術(shù)：
目前，傳統(tǒng)的濕度傳感器只能在100°C以下 的測試環(huán)境溫度條件下測試濕度，當(dāng)測試環(huán)境溫度大于100°c時(shí)，傳統(tǒng)的濕度傳感器則無法測試濕度。這是由于濕度傳感器的探頭上的濕敏元件的材質(zhì)不能耐高溫，且還由于探頭上的濕敏元件的表面涂有化學(xué)元素。當(dāng)這些材料或化學(xué)元素經(jīng)受100°c的高溫時(shí)就會(huì)變質(zhì)，失去濕度傳感器的靈敏度而不能使用。
發(fā)明內(nèi)容因此，本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)ー種超高溫濕度傳感器，能有效在測試環(huán)境溫度大于100°C時(shí)測試環(huán)境濕度，具有結(jié)構(gòu)簡單，測試使用范圍廣，測試準(zhǔn)確，使用方便和效果好的優(yōu)點(diǎn)。為此，本實(shí)用新型主要由半導(dǎo)體制冷器件和濕度傳感器的探頭所組成，該超高溫濕度傳感器包括抽氣管道，用于傳送被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體，抽氣管道的一端與被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)相通，抽氣管道的另一端與抽氣泵的抽氣ロ相通；抽氣泵，用于將被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體抽出，抽氣泵的抽氣ロ相通抽氣管道的一端，抽氣泵的出氣ロ相通半導(dǎo)體制冷器件的進(jìn)氣ロ ；半導(dǎo)體制冷器件，用于將抽出的被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體冷卻，半導(dǎo)體制冷器件的進(jìn)氣ロ相通抽氣泵的出氣ロ，半導(dǎo)體制冷器件的出氣ロ相通濕度傳感器的探頭；濕度傳感器的探頭，用于測量傳輸從半導(dǎo)體制冷器件的出氣ロ輸出氣體的濕度，該探頭與信號輸出線連接。所述的半導(dǎo)體制冷器件、濕度傳感器的探頭位于傳感器體內(nèi)。所述的抽氣泵為微型抽氣泵。上述結(jié)構(gòu)達(dá)到了本實(shí)用新型的目的。本實(shí)用新型能有效在測試環(huán)境溫度大于100°C時(shí)測試環(huán)境濕度，解決溫度超過IOO0C以上測試濕度的問題，本實(shí)用新型可在100°C 600°C之間的高溫測試環(huán)境條件下有效、準(zhǔn)確地測量環(huán)境濕度。具有結(jié)構(gòu)簡單，測試使用范圍廣，測試準(zhǔn)確，使用方便和效果好的優(yōu)點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理示意圖具體實(shí)施方案如圖所示，ー種超高溫濕度傳感器，主要由半導(dǎo)體制冷器件7和濕度傳感器的探頭5所組成，超高溫濕度傳感器包括抽氣管道2，用于傳送被測物高溫高濕密封箱體I內(nèi)的高溫高濕氣體，抽氣管道的一端與被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)相通，抽氣管道的另一端與抽氣泵的抽氣ロ相通；[0009]抽氣泵8，用于將被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體抽出，抽氣泵的抽氣ロ相通抽氣管道的一端，抽氣泵的出氣ロ相通半導(dǎo)體制冷器件的進(jìn)氣ロ ；半導(dǎo)體制冷器件7，用于將抽出的被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體冷卻，半導(dǎo)體制冷器件的進(jìn)氣ロ相通抽氣泵的出氣ロ 6，半導(dǎo)體制冷器件的出氣ロ相通濕度傳感器的探頭；濕度傳感器的探頭，用于測量傳輸從半導(dǎo)體制冷器件的出氣ロ輸出氣體的濕度，該探頭與信號輸出線4連接。信號輸出線連接濕度測試儀。所述的半導(dǎo)體制冷器件、濕度傳感器的探頭位于傳感器體3內(nèi)。所述的抽氣泵為微型抽氣泵。半導(dǎo)體制冷器件、濕度傳感器的探頭和微型抽氣泵由電源供電。使用時(shí)，抽氣泵將被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體順抽氣管道抽出，送至半導(dǎo)體制冷器件中，高溫高濕氣體經(jīng)半導(dǎo)體制冷器件降溫后，形成低溫濕氣，再經(jīng)濕度 傳感器的探頭測量，將測量的數(shù)據(jù)傳輸至濕度測試儀，準(zhǔn)確測出被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的濕度數(shù)據(jù)?？傊緦?shí)用新型能有效在測試環(huán)境溫度大于100°C時(shí)測試環(huán)境濕度，具有結(jié)構(gòu)簡單，測試使用范圍廣，測試準(zhǔn)確，使用方便和效果好的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求1.一種超高溫濕度傳感器，主要由半導(dǎo)體制冷器件和濕度傳感器的探頭所組成，其特征在于超高溫濕度傳感器包括， 抽氣管道，用于傳送被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體，抽氣管道的一端與被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)相通，抽氣管道的另一端與抽氣泵的抽氣口相通； 抽氣泵，用于將被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體抽出，抽氣泵的抽氣口相通抽氣管道的一端，抽氣泵的出氣口相通半導(dǎo)體制冷器件的進(jìn)氣口 ； 半導(dǎo)體制冷器件，用于將抽出的被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體冷卻，半導(dǎo)體制冷器件的進(jìn)氣口相通抽氣泵的出氣口，半導(dǎo)體制冷器件的出氣口相通濕度傳感器的探頭; 濕度傳感器的探頭，用于測量傳輸從半導(dǎo)體制冷器件的出氣口輸出氣體的濕度，該探頭與信號輸出線連接。
2.按權(quán)利要求I所述的超高溫濕度傳感器，其特征在于所述的半導(dǎo)體制冷器件、濕度傳感器的探頭位于傳感器體內(nèi)。
3.按權(quán)利要求I所述的超高溫濕度傳感器，其特征在于所述的抽氣泵為微型抽氣泵。
專利摘要本實(shí)用新型屬于一種超高溫濕度傳感器，包括用于傳送被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體的抽氣管道，抽氣管道的一端與被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)相通，抽氣管道的另一端與抽氣泵的抽氣口相通；用于將被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體抽出的抽氣泵；用于將抽出的被測物高溫高濕密封箱體內(nèi)的高溫高濕氣體冷卻的半導(dǎo)體制冷器件；用于測量傳輸從半導(dǎo)體制冷器件的出氣口輸出氣體濕度的濕度傳感器的探頭。本實(shí)用新型能有效在測試環(huán)境溫度大于100℃時(shí)測試環(huán)境濕度，具有結(jié)構(gòu)簡單，測試使用范圍廣，測試準(zhǔn)確，使用方便和效果好的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號G01N33/00GK202471677SQ20122007379
公開日2012年10月3日 申請日期2012年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月2日
發(fā)明者李維寧, 閆懷兵, 韓文霞 申請人:北京昆侖中大工控技術(shù)發(fā)展有限公司