專利名稱：無源saw加速度計(jì)及加速度測(cè)試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及SAW器件作為敏感元件的傳感器領(lǐng)域，特別涉及一種可實(shí)現(xiàn)無源化檢測(cè)的SAW加速度計(jì)。
背景技術(shù)：
自1965年懷特(R. M. White)和沃爾特默(F. M. Voltmer)用叉指換能器(IDT)在壓電材料表面激發(fā)出聲表面波(SAW)以來，SAW技術(shù)在多個(gè)領(lǐng)域得到迅猛發(fā)展。基于SAW技術(shù)的傳感器實(shí)現(xiàn)了多種物理量的檢測(cè)，特別是在加速度檢測(cè)方面取得了良好的效果。1988年底,法國Thomson-CSF研究中心的Hartemann博士等研制出拉_壓式、非懸臂梁式、雙非懸臂梁式及角形懸臂梁式四種類型的SAW加速度計(jì)，其中在分辨率方面，除拉-壓式外，其余均可達(dá)到系統(tǒng)應(yīng)用的要求。在國內(nèi)，西北工業(yè)大學(xué)在懸臂梁式SAW加速度計(jì)領(lǐng)域開展了多年的研究，溫度漂移抑制、閉環(huán)控制、信號(hào)的快速處理技術(shù)是其研究的重點(diǎn)并有所突破。在現(xiàn)有的SAW加速度計(jì)中，加速度計(jì)工作時(shí)需要有相應(yīng)的供電電源，增加了成本和體積，也不適合在長壽命的場(chǎng)合應(yīng)用；其次，加速度計(jì)工作需要有外部電路，客觀上也增加了成本和體積，不利于器件的微型化；另外，信號(hào)處理終端和加速度計(jì)之間通過信號(hào)線進(jìn)行信號(hào)傳輸，在一些距離較大且加速度計(jì)布點(diǎn)較多的場(chǎng)合需要很長的信號(hào)線才能滿足使用要求，增加了檢測(cè)的復(fù)雜性。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單且可實(shí)現(xiàn)無源化檢測(cè)的SAW加速度計(jì)。本發(fā)明的目的之一是提出一種無源SAW加速度；本發(fā)明的目的之二是提出一種利用該無源SAW加速度計(jì)來進(jìn)行加速度測(cè)試方法。本發(fā)明的目的之一是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的
本發(fā)明提供的無源SAW加速度計(jì)，包括外殼、設(shè)置于外殼內(nèi)的基片上的力轉(zhuǎn)換裝置和SAff器件；
所述SAW器件包括換能器和用于反射從換能器發(fā)出的并沿基片表面?zhèn)鞑バ盘?hào)的第二反射柵；
所述換能器設(shè)置有用于輸入輸出信號(hào)的電極；
所述力轉(zhuǎn)換裝置包括懸臂梁、質(zhì)量塊和與外殼固定連接的固定塊；
所述固定塊與懸臂梁連接，所述懸臂梁與質(zhì)量塊連接；
所述第二反射柵及換能器之間的區(qū)域位于懸臂梁上表面。進(jìn)一步，所述力轉(zhuǎn)換裝置還包括信號(hào)連接線和用于信號(hào)收發(fā)的天線，所述換能器的電極通過信號(hào)連接線與天線相連。進(jìn)一步，所述SAW器件還包括第一反射柵，所述第一反射柵與換能器之間的區(qū)域位于固定塊上表面，所述第一反射柵與第二反射柵關(guān)于換能器對(duì)稱分布。進(jìn)一步，所述SAW器件為諧振器型結(jié)構(gòu)或延遲型SAW器件，且第一反射柵位于懸臂梁的上表面。進(jìn)一步，所述懸臂梁、固定塊的厚度相同，且質(zhì)量塊、懸臂梁通過分立制作后粘接
在一起。進(jìn)一步，所述SAW器件還包括設(shè)置于固定塊的上表面的第三反射柵，所述第三反射柵與第一反射柵位于換能器同側(cè)，且在高度方向完全分離無疊加。進(jìn)一步，所述基片為石英和/或鈮酸鋰材料。本發(fā)明的目的之二是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的 本發(fā)明提供的利用所述無源SAW加速度計(jì)進(jìn)行加速度測(cè)試方法，包括以下步驟
51:獲取換能器與第二反射柵之間的信號(hào)傳播時(shí)間t2 ；
52:通過第二反射柵標(biāo)定時(shí)間計(jì)算信號(hào)傳播時(shí)間的改變量Λ t2 ；
53:根據(jù)傳播時(shí)間改變量Λ t2與加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度的值。進(jìn)一步，所述解算出輸入加速度的值還包括以下修正步驟
531:獲取換能器與第一反射柵之間的傳播時(shí)間h ；
532:通過第一反射柵傳播時(shí)間h及其標(biāo)定時(shí)間計(jì)算傳播時(shí)間改變量Λ ；
533:根據(jù)傳播時(shí)間的改變量Λ h與溫度的函數(shù)關(guān)系以及傳播時(shí)間的改變量Λ t2與加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度值
Zl t1=f1 (,Τ),Δ t2=f2 ia, T)；
其中，所述函數(shù)關(guān)系和f2通過提前標(biāo)定得到的函數(shù)表達(dá)式。進(jìn)一步，所述解算出輸入加速度的值還包括以下修正步驟
S34:獲取換能器分別與第一反射柵、第二反射柵、第三反射柵之間的傳輸時(shí)間分別為11、12、t3 ；
535:通過第一反射柵傳輸時(shí)間、第二反射柵傳輸時(shí)間匕、第三反射柵傳輸時(shí)間G及其標(biāo)定時(shí)間分別計(jì)算傳播時(shí)間改變量Zl t2、A t3%
536:獲取無源SAW加速度計(jì)到終端的傳輸距離S ；
537:通過傳播時(shí)間改變量Zl t2、A G與溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離^之間的加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度值
Λ t1=f1 (J，S)
Δ t2=f2 (J，S)
Δ t3=f3 {a, Tr S)
其中，所述加速度函數(shù)關(guān)系f1、f2及f3是通過對(duì)溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離^三個(gè)參變量進(jìn)行提前標(biāo)定得到的函數(shù)表達(dá)式。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于本發(fā)明采用力轉(zhuǎn)換裝置、SAW器件、天線和信號(hào)連接線構(gòu)成無源SAW加速度，通過力轉(zhuǎn)換裝置的固定塊與外殼固接在一起，當(dāng)外部環(huán)境條件不變且敏感軸方向有加速度a輸入時(shí)，力轉(zhuǎn)換裝置的質(zhì)量塊產(chǎn)生慣性力使得其懸臂梁繞固定塊撓性彎曲，懸臂梁表面產(chǎn)生相應(yīng)的應(yīng)變，SAW在懸臂梁表面的傳播速度、換能器與第二反射柵之間的傳播距離和傳播時(shí)間t2均發(fā)生改變，通過分析傳播時(shí)間的改變量Λ t2可解算出輸入加速度的值；而固定塊下表面固接于器件外殼其上表面不產(chǎn)生應(yīng)變，即換能器與第一反射柵之間的距離不變，SAff在懸臂梁表面的傳播速度、換能器與第一反射柵之間的傳播距離和傳播時(shí)間h均不變；若外界溫度T發(fā)生變化且有加速度a輸入時(shí)，SAW在換能器與第二反射柵之間的傳播時(shí)間t2、在換能器與第一反射柵之間的傳播時(shí)間h均發(fā)生改變，且改變量Λ h和Λ t2滿足函數(shù)關(guān)系Λ tffi (T), Δ t2=f2 (a, T),通過提前標(biāo)定可得到函數(shù)和f2,對(duì)兩個(gè)函數(shù)進(jìn)行綜合解算即可得出輸入加速度的值a，通過該種方法可對(duì)溫度信號(hào)的干擾進(jìn)行有效抑制，提高輸出的穩(wěn)定性和精度。并且信號(hào)的收發(fā)均通過天線完成，實(shí)現(xiàn)了加速度量的無源化檢測(cè)。克服了現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，具體表現(xiàn)在首先有源加速度計(jì)需要電源供電才能工作，縮短了整個(gè)器件的使用壽命，不適合長壽命工作的應(yīng)用場(chǎng)合；其次有源SAW加速度計(jì)供電電源及換能器激振電路的存在也增加了器件的體積和成本，不利于器件的進(jìn)一步微型化及低成本化；另外，有源SAW加速度計(jì)的輸出信號(hào)經(jīng)由信號(hào)線后到達(dá)信號(hào)處理終端，在一些距離較大及加速度計(jì)布點(diǎn)較多的應(yīng)用場(chǎng)合，信號(hào)線過多增加了檢測(cè)過程中布線的復(fù)雜性，增加了工程應(yīng)用的成本。
同時(shí)，該無源SAW加速度還具體以下優(yōu)點(diǎn)
其一，加速度計(jì)器件內(nèi)部無供電電源，使用壽命不受電源電量的限制，相對(duì)有源加速度計(jì)可較大幅度的提聞使用壽命；
其二，加速度計(jì)器件內(nèi)部無需供電電源和換能器激振電路，成本低，體積小，可實(shí)現(xiàn)器件的微型化；
其三，加速度計(jì)信號(hào)的輸出通過無線傳輸?shù)姆绞綄?shí)現(xiàn)，省去了冗長的信號(hào)線，極大地降低了多點(diǎn)加速度檢測(cè)時(shí)的布線復(fù)雜性。


為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述，其中
圖1是使用本發(fā)明的實(shí)施方案I的無源SAW加速度計(jì)示意圖，其中SAW器件為延遲型結(jié)構(gòu)且左端為一個(gè)反射柵；
圖2是使用本發(fā)明的實(shí)施方案2的無源SAW加速度計(jì)示意圖，其中SAW器件為諧振器型結(jié)構(gòu)；
圖3是使用本發(fā)明的實(shí)施方案3的無源SAW加速度計(jì)示意圖，其中SAW器件為延遲型結(jié)構(gòu)且左端為兩個(gè)反射柵；
圖4是使用本發(fā)明的力轉(zhuǎn)換裝置的一個(gè)實(shí)施方案示意圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的描述；應(yīng)當(dāng)理解，優(yōu)選實(shí)施例僅為了說明本發(fā)明，而不是為了限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。實(shí)施例1
圖1是使用本發(fā)明的實(shí)施方案I的無源SAW加速度計(jì)示意圖，其中SAW器件為延遲型結(jié)構(gòu)且左端為一個(gè)反射柵，如圖所示本發(fā)明提供的無源SAW加速度計(jì)，包括外殼、設(shè)置于外殼內(nèi)的基片上的力轉(zhuǎn)換裝置和SAW器件；所述SAW器件包括換能器和用于反射從換能器發(fā)出的并沿基片表面?zhèn)鞑バ盘?hào)的第二反射柵；
所述換能器設(shè)置有用于輸入輸出信號(hào)的電極；
所述力轉(zhuǎn)換裝置包括懸臂梁、質(zhì)量塊和與外殼固定連接的固定塊；
所述固定塊與懸臂梁連接，所述懸臂梁與質(zhì)量塊連接；
所述第二反射柵及換能器之間的區(qū)域位于懸臂梁上表面。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一個(gè)優(yōu)選方案，還包括信號(hào)連接線和用于信號(hào)收發(fā)的天線，所述換能器的電極通過信號(hào)連接線與天線相連。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一個(gè)優(yōu)選方案，所述SAW器件還包括第一反射柵，所述第一反射柵與換能器之間的區(qū)域位于固定塊上表面，所述第一反射柵與第二反射柵關(guān)于換能 器對(duì)稱分布。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一個(gè)優(yōu)選方案，所述SAW器件為諧振器型結(jié)構(gòu)或延遲型SAff器件，且第一反射柵位于懸臂梁的上表面。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一個(gè)優(yōu)選方案，所述懸臂梁、固定塊的厚度相同，且質(zhì)量塊、懸臂梁通過分立制作后粘接在一起。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一個(gè)優(yōu)選方案，所述SAW器件還包括設(shè)置于固定塊的上表面的第三反射柵，所述第三反射柵與第一反射柵位于換能器同側(cè)，且在高度方向完全分離無疊加，即兩個(gè)反射柵在懸臂梁寬度方向要分開，目的是反射信號(hào)不會(huì)有干擾。作為本發(fā)明實(shí)施例的另一個(gè)優(yōu)選方案，所述基片為石英和/或鈮酸鋰材料。本發(fā)明實(shí)施例的還提供了一種利用該無源SAW加速度計(jì)來進(jìn)行加速度測(cè)試的方法，包括以下步驟
S1:獲取換能器與第二反射柵之間的信號(hào)傳播時(shí)間t2 ；
52:通過第二反射柵標(biāo)定時(shí)間計(jì)算信號(hào)傳播時(shí)間的改變量Λ t2 ；
53:根據(jù)傳播時(shí)間改變量Λ t2與加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度的值。所述解算出輸入加速度的值還包括以下修正步驟
531:獲取換能器與第一反射柵之間的傳播時(shí)間h ；
532:通過第一反射柵傳播時(shí)間h及其標(biāo)定時(shí)間計(jì)算傳播時(shí)間改變量Λ ；
533:根據(jù)傳播時(shí)間的改變量Λ h與溫度的函數(shù)關(guān)系以及傳播時(shí)間的改變量Λ t2與加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度值
Zl t1=f1 (,Τ),Δ t2=f2 ia, T)；
其中，所述函數(shù)關(guān)系和f2通過提前標(biāo)定得到的函數(shù)表達(dá)式，采用二維標(biāo)定法可以得到該函數(shù)表達(dá)式。所述解算出輸入加速度的值還包括以下修正步驟
S34:獲取換能器分別與第一反射柵、第二反射柵、第三反射柵之間的傳輸時(shí)間分別為
11、12、t3 ；
535:通過第一反射柵傳輸時(shí)間、第二反射柵傳輸時(shí)間匕、第三反射柵傳輸時(shí)間G及其標(biāo)定時(shí)間分別計(jì)算傳播時(shí)間改變量Zl t2、A t3%
536:獲取無源SAW加速度計(jì)到終端的傳輸距離S ；
537:通過傳播時(shí)間改變量Zl t2、A G與溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離S之間的加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度值
λ t1=f1 σ，s)
Δ t2=f2 (J，S)
Δ t3=f3 {a, Tr S)
其中，所述加速度函數(shù)關(guān)系f1、f2及f3是通過對(duì)溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離^三個(gè)參變量進(jìn)行提前標(biāo)定得到的函數(shù)表達(dá)式，采用二維標(biāo)定法可以得到該函數(shù)表達(dá)式。圖4是使用本發(fā)明的力轉(zhuǎn)換裝置的一個(gè)實(shí)施方案示意圖，本實(shí)施方案的固定塊7 和懸臂梁5厚度相同，可通過在基片表面制作SAW器件后劃片得到，質(zhì)量塊6和懸臂梁5經(jīng)粘接的方式固接到一起，本實(shí)施方案中力轉(zhuǎn)換裝置2具有結(jié)構(gòu)簡單且易于加工的優(yōu)點(diǎn)。實(shí)施例2
圖2是使用本發(fā)明的實(shí)施方案2的無源SAW加速度計(jì)示意圖，其中SAW器件為諧振器型結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于在該實(shí)施方案中，第一反射柵4a及其與換能器3之間的區(qū)域均位于懸臂梁5的上表面，且與第二反射柵4b關(guān)于換能器3左右對(duì)稱分布，換能器3與第一反射柵4a、第二反射柵4b構(gòu)成諧振器型SAW器件1.有加速度a輸入時(shí)，懸臂梁5表面產(chǎn)生應(yīng)變，換能器3的叉指電極的寬度、間距變化，SAW在懸臂梁5表面的傳播速度也產(chǎn)生變化，進(jìn)而可計(jì)算得出輸入加速度a。實(shí)施例3
圖3是使用本發(fā)明的實(shí)施方案3的無源SAW加速度計(jì)示意圖，其中SAW器件為延遲型結(jié)構(gòu)且左端為兩個(gè)反射柵；本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別僅在于
在該實(shí)施方案中，換能器3左端制作第一反射柵4a、第二反射柵4b，右端制作第三反射柵4c，在實(shí)際的加速度測(cè)量中，SAW在換能器3與第一反射柵4a、換能器3與第二反射柵4b、換能器3與第三反射柵4c之間的傳輸時(shí)間不但受到溫度Γ和輸入加速度a的影響，其在無線傳送到終端處理系統(tǒng)過程中也會(huì)受到傳輸距離S的影響，設(shè)終端獲得的三個(gè)傳輸時(shí)間分別為h、t2、t3,三者與溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離S的函數(shù)關(guān)系可表示為
λ t1=f1 σ，s)
Δ t2=f2 (J，S)
Δ t3=f3 {a, Tr S)
通過對(duì)溫度r、輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離S三個(gè)參變量進(jìn)行提前標(biāo)定可得到函數(shù)/,、厶及/^的確切表達(dá)式，采用二維標(biāo)定法可以得到該函數(shù)表達(dá)式，對(duì)上述三個(gè)函數(shù)進(jìn)行綜合解算即可得出輸入加速度的值3，相對(duì)于圖1中的實(shí)施方案，該實(shí)施方案不但能對(duì)溫度信號(hào)的干擾進(jìn)行有效抑制，還可消除傳輸距離的不同帶來的檢測(cè)誤差，檢測(cè)精度更高。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并不用于限制本發(fā)明，顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.無源SAW加速度計(jì)，包括外殼，其特征在于還包括設(shè)置于外殼內(nèi)的基片上的力轉(zhuǎn)換裝置和SAW器件；所述SAW器件包括換能器和用于反射從換能器發(fā)出的并沿基片表面?zhèn)鞑バ盘?hào)的第二反射柵；所述換能器設(shè)置有用于輸入輸出信號(hào)的電極；所述力轉(zhuǎn)換裝置包括懸臂梁、質(zhì)量塊和與外殼固定連接的固定塊；所述固定塊與懸臂梁連接，所述懸臂梁與質(zhì)量塊連接；所述第二反射柵及換能器之間的區(qū)域位于懸臂梁上表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)，其特征在于還包括信號(hào)連接線和用于信號(hào)收發(fā)的天線，所述換能器的電極通過信號(hào)連接線與天線相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)，其特征在于所述SAW器件還包括第一反射柵，所述第一反射柵與換能器之間的區(qū)域位于固定塊上表面，所述第一反射柵與第二反射柵關(guān)于換能器對(duì)稱分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)，其特征在于所述SAW器件為諧振器型結(jié)構(gòu)或延遲型SAW器件，且第一反射柵位于懸臂梁的上表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)，其特征在于所述懸臂梁、固定塊的厚度相同，且質(zhì)量塊、懸臂梁通過分立制作后粘接在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)，其特征在于所述SAW器件還包括設(shè)置于固定塊的上表面的第三反射柵，所述第三反射柵與第一反射柵位于換能器同側(cè)，且在高度方向完全分離無疊加。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)，其特征在于所述基片為石英和/或鈮酸鋰材料。
8.利用權(quán)利要求1所述的無源SAW加速度計(jì)進(jìn)行加速度測(cè)試方法，其特征在于包括以下步驟51:獲取換能器與第二反射柵之間的信號(hào)傳播時(shí)間t2 ；52:通過第二反射柵標(biāo)定時(shí)間計(jì)算信號(hào)傳播時(shí)間的改變量Λ t2 ；53:根據(jù)傳播時(shí)間改變量Λ t2與加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度的值。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加速度測(cè)試方法，其特征在于所述解算出輸入加速度的值還包括以下修正步驟531:獲取換能器與第一反射柵之間的傳播時(shí)間h ；532:通過第一反射柵傳播時(shí)間h及其標(biāo)定時(shí)間計(jì)算傳播時(shí)間改變量Λ ；533:根據(jù)傳播時(shí)間的改變量Λ h與溫度的函數(shù)關(guān)系以及傳播時(shí)間的改變量Λ t2與加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度值Zl t1=f1 (,Τ),Δ t2=f2 ia, T)；其中，所述函數(shù)關(guān)系和f2通過提前標(biāo)定得到的函數(shù)表達(dá)式。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加速度測(cè)試方法，其特征在于所述解算出輸入加速度的值還包括以下修正步驟S34:獲取換能器分別與第一反射柵、第二反射柵、第三反射柵之間的傳輸時(shí)間分別為·11、12、t3 ；535:通過第一反射柵傳輸時(shí)間、第二反射柵傳輸時(shí)間匕、第三反射柵傳輸時(shí)間G及其標(biāo)定時(shí)間分別計(jì)算傳播時(shí)間改變量Zl t2、A t3%536:獲取無源SAW加速度計(jì)到終端的傳輸距離S ；537:通過傳播時(shí)間改變量Zl t2、A G與溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離^之間的加速度函數(shù)關(guān)系解算出輸入加速度值Λ t1=f1 (J，S) Δ t2=f2 (J，S)Δ t3=f3 {a, Tr S)其中，所述加速度函數(shù)關(guān)系f1、f2及f3是通過對(duì)溫度八輸入加速度a、加速度計(jì)到終端的傳輸距離^三個(gè)參變量進(jìn)行提前標(biāo)定得到的函數(shù)表達(dá)式。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種無源SAW加速度計(jì)及加速度測(cè)試方法，所述的加速度計(jì)由力轉(zhuǎn)換裝置2、SAW器件1、天線8及信號(hào)連接線9構(gòu)成，SAW器件1包括換能器3、第一反射柵4a和第二反射柵4b，換能器的兩個(gè)電極通過信號(hào)連接線與用于信號(hào)收發(fā)的天線相連；力轉(zhuǎn)換裝置2包括懸臂梁5、質(zhì)量塊6、固定塊7，有加速度輸入時(shí)，質(zhì)量塊產(chǎn)生慣性力和對(duì)固定塊的慣性力矩，該力矩使得懸臂梁繞固定塊撓曲變形和SAW信號(hào)在基片表面?zhèn)鬏敃r(shí)間的變化，通過解算傳輸時(shí)間變化量即可得到輸入加速度的值，信號(hào)的收發(fā)及能量的傳遞均通過天線完成，實(shí)現(xiàn)了加速度量的無源化檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01P15/03GK103018484SQ20121057410
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者林丙濤, 卜繼軍, 馬晉毅, 丁毅, 杜波, 趙建華, 翁邦英 申請(qǐng)人:中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所